JPS6016604B2 - 音響光学素子 - Google Patents
音響光学素子Info
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- JPS6016604B2 JPS6016604B2 JP8648678A JP8648678A JPS6016604B2 JP S6016604 B2 JPS6016604 B2 JP S6016604B2 JP 8648678 A JP8648678 A JP 8648678A JP 8648678 A JP8648678 A JP 8648678A JP S6016604 B2 JPS6016604 B2 JP S6016604B2
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- Expired
Links
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は音響光学素子特に音波ステアリング型音響光学
光偏光向素子の構造に関するものであり、特に平面上に
設けられ分割された圧電振動子の電気的接続法に関する
ものである。
光偏光向素子の構造に関するものであり、特に平面上に
設けられ分割された圧電振動子の電気的接続法に関する
ものである。
音響光学光偏向素子において要望される重要な特性の一
つに偏向効率の広帯域化がある。
つに偏向効率の広帯域化がある。
この広帯域化の手段の一つに光偏向を受けるレーザ光と
音波の間の回折条件を常に満足するように、周波数を変
えて音波の進行方向を変える音波ステアリング方式があ
る。この音波ステアリング方式に関しては第１図に示す
ような音響光学媒体の圧電振動子の接着面を階段状にし
た素子と第２図のように平面のままで圧電振動子の接続
法を交互に変えることによる素子の２種類が存在する。
第１図において、１はステアリング形光偏光素子全体を
示す。
音波の間の回折条件を常に満足するように、周波数を変
えて音波の進行方向を変える音波ステアリング方式があ
る。この音波ステアリング方式に関しては第１図に示す
ような音響光学媒体の圧電振動子の接着面を階段状にし
た素子と第２図のように平面のままで圧電振動子の接続
法を交互に変えることによる素子の２種類が存在する。
第１図において、１はステアリング形光偏光素子全体を
示す。
２は音響光学媒体で一つの面には高さが音波の１／２皮
長に等しい階段状段差が形成される。
長に等しい階段状段差が形成される。
音響光学媒体２の各階段状部には両面を下地電極４およ
び上部電極５ではさまれた圧電振動子３が形成され、電
気信号を音波に変換するトランスジューサとして動作す
る。６は下地電極４と隣接する圧電振動子３の上部電極
６とを電気的に連結するりード線である。
び上部電極５ではさまれた圧電振動子３が形成され、電
気信号を音波に変換するトランスジューサとして動作す
る。６は下地電極４と隣接する圧電振動子３の上部電極
６とを電気的に連結するりード線である。
このような階段形ステアリング素子１では、高周波領域
になると段差の高さが非常に小さくなり製作が極めて困
難になるので、高周波用としては不適である。
になると段差の高さが非常に小さくなり製作が極めて困
難になるので、高周波用としては不適である。
このため第２図に示すような平面形ステアリング素子が
考えられている。
考えられている。
図中第１図と同一部分には同一符号を付して説明を省略
する。７は導電性ペーストである。
する。７は導電性ペーストである。
この平面型素子では一枚の圧軍振動子を接着し、その後
、駆動周波数に応じて必要な複数個に分割し、その励振
状態を半波長ずつ位相を変えてステアリング作用をさせ
るために比較的高周波でも製作が容易である。例えば音
響光学光偏向素子２によく用いられる二酸化テルル単結
晶やモリブデン酸鉛結晶では２００ＭＨｚ位までの中心
周波数では圧電振動子３の分割幅は数側以上と広いため
、分割された振動子３の接続には銀線などのりード線６
を用いて導電性ペースト７で第２図のように行うことも
可能である。しかしながら２００ＭＨｚ以上の更に高周
波領域で動作させる光偏向素子では分割する圧電振動子
の幅が更に狭くなり、今度は各圧電振動子３の電気的援
続法が問題となる。
、駆動周波数に応じて必要な複数個に分割し、その励振
状態を半波長ずつ位相を変えてステアリング作用をさせ
るために比較的高周波でも製作が容易である。例えば音
響光学光偏向素子２によく用いられる二酸化テルル単結
晶やモリブデン酸鉛結晶では２００ＭＨｚ位までの中心
周波数では圧電振動子３の分割幅は数側以上と広いため
、分割された振動子３の接続には銀線などのりード線６
を用いて導電性ペースト７で第２図のように行うことも
可能である。しかしながら２００ＭＨｚ以上の更に高周
波領域で動作させる光偏向素子では分割する圧電振動子
の幅が更に狭くなり、今度は各圧電振動子３の電気的援
続法が問題となる。
例えば、光偏向帯域幅を２４０ＭＨｚ必要とする場合は
、中心周波数は３６０ＭＨｚとなり「二酸化テルル結晶
を用いた平面型ステアリング素子量の圧電振動子３の分
割幅は約０．５５側となる。一方、圧電振動子３の厚さ
はよく用いられているニオブ酸リチウム結晶では約１０
科となる。この場合の各圧電振動子３の接着には一般に
インジウムや錫金属などの蒸着膜で行なわれているため
この蒸着層が下地電極４として使用される。圧電振動子
の上部電極５には金やアルミなどの蒸着層が用いられて
いる。ステアリング作用を施こすために狭く分割された
圧電振動子３を接続する方法には従来のリード線６を導
電ペースト７で接着する方法は圧電振動子３が狭いため
に使用できない。また圧電振動子３の厚さが薄く〜かつ
上部電極５が強固に蒸着されていないためにワイヤボン
ディングは困難である。本発明は以上の困難な圧電振動
子の電気的接続を容易にする構造を提供するものである
。
、中心周波数は３６０ＭＨｚとなり「二酸化テルル結晶
を用いた平面型ステアリング素子量の圧電振動子３の分
割幅は約０．５５側となる。一方、圧電振動子３の厚さ
はよく用いられているニオブ酸リチウム結晶では約１０
科となる。この場合の各圧電振動子３の接着には一般に
インジウムや錫金属などの蒸着膜で行なわれているため
この蒸着層が下地電極４として使用される。圧電振動子
の上部電極５には金やアルミなどの蒸着層が用いられて
いる。ステアリング作用を施こすために狭く分割された
圧電振動子３を接続する方法には従来のリード線６を導
電ペースト７で接着する方法は圧電振動子３が狭いため
に使用できない。また圧電振動子３の厚さが薄く〜かつ
上部電極５が強固に蒸着されていないためにワイヤボン
ディングは困難である。本発明は以上の困難な圧電振動
子の電気的接続を容易にする構造を提供するものである
。
以下に本発明の実施例を音響媒体として二酸化テルル単
結晶を用いも中心周波数３６０ＭＨｚの光偏向素子につ
いて第３図により説明する。Ｍま本発明による光偏向素
子で〜二酸化テルル単結晶２の上に下地電極４としての
インジウムまたはスズ金属で圧着された約１０仏机の厚
さの圧電振動子３には上部にＮｉ皿Ｃてと金による上部
電極６を蒸着し「その後、ワイヤソーで０．５５脚間隔
で上部電極５を切断する。
結晶を用いも中心周波数３６０ＭＨｚの光偏向素子につ
いて第３図により説明する。Ｍま本発明による光偏向素
子で〜二酸化テルル単結晶２の上に下地電極４としての
インジウムまたはスズ金属で圧着された約１０仏机の厚
さの圧電振動子３には上部にＮｉ皿Ｃてと金による上部
電極６を蒸着し「その後、ワイヤソーで０．５５脚間隔
で上部電極５を切断する。
この場合ｔ第３図のように切断個所の１つおきにトすな
わち１．１肋間隔で圧電振動子３および下地の接着層４
まで切断する。中間の切溝翼川ま圧電振動子３にわずか
に食し・込んだ点まで切断を止め下地の接着層４は切断
しないで「下地電極４の接続に利用している。ステアリ
ング作用を持たせるための上側の電極５の接続には下地
電極４まで切断した溝８に上、下の電極４，５及び切断
された下地電極４相互間の絶縁を図るために有機接着剤
や合成樹脂、例えばシアゾアクリレート系接着剤９を充
填塗布する。次いで導電性ペースト？をこの絶縁層９の
上を覆って隣接する上部電極馬間を相互に接続するよう
に塗布する。最後に両端の圧電振動子の励振に関係のな
い広い電極部にリード線６を取りつける。このような構
成の本発明による音響光学素子においては、高周波、広
帯域ステアリング型光偏向素子の製作が容易になる。
わち１．１肋間隔で圧電振動子３および下地の接着層４
まで切断する。中間の切溝翼川ま圧電振動子３にわずか
に食し・込んだ点まで切断を止め下地の接着層４は切断
しないで「下地電極４の接続に利用している。ステアリ
ング作用を持たせるための上側の電極５の接続には下地
電極４まで切断した溝８に上、下の電極４，５及び切断
された下地電極４相互間の絶縁を図るために有機接着剤
や合成樹脂、例えばシアゾアクリレート系接着剤９を充
填塗布する。次いで導電性ペースト？をこの絶縁層９の
上を覆って隣接する上部電極馬間を相互に接続するよう
に塗布する。最後に両端の圧電振動子の励振に関係のな
い広い電極部にリード線６を取りつける。このような構
成の本発明による音響光学素子においては、高周波、広
帯域ステアリング型光偏向素子の製作が容易になる。
またも電極間を接続するりード線がないため浮遊容量や
線間ィンダクタンスが発生しない。
線間ィンダクタンスが発生しない。
さらに機械的強度が強くなる。などのすぐれた効果を呈
し高周波広帯域用音響光学素子として特に有用である。
し高周波広帯域用音響光学素子として特に有用である。
第骨図は階段型ステアリング光偏向素子の横断面図「第
２図は従来の平面型ステアリング光偏向素子の横断面図
、第３図は本発明の一実施例における平面型ステアリン
グ光偏向素子の横断面図である。 官・…・・ステアリング型光偏向素子ト２……音響光学
媒体、８……圧電振動子、４…・・・下地電極、辱……
上部電極「 ６・…・’リード線、す……導電性ペース
トも函……切断溝「 ９…・・・有機接着材、竜鰯・…
Ｗ中間切溝。 第１図 第２図 第３図
２図は従来の平面型ステアリング光偏向素子の横断面図
、第３図は本発明の一実施例における平面型ステアリン
グ光偏向素子の横断面図である。 官・…・・ステアリング型光偏向素子ト２……音響光学
媒体、８……圧電振動子、４…・・・下地電極、辱……
上部電極「 ６・…・’リード線、す……導電性ペース
トも函……切断溝「 ９…・・・有機接着材、竜鰯・…
Ｗ中間切溝。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １ 音響光学媒体、両面に第１および第２の平面電極を
有し第１の平面電極が前記音響光学媒体の１つの平面に
密着するように配された複数の圧電振動子、前記複数の
圧電振動子を互に分離する絶縁層、この絶縁層上に形成
され互に隣接する圧電振動子の第２の平面電極を電気的
に接続する導電ペースト、および前記第２の電極を中間
部で２つに分離する切溝とを有する音響光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8648678A JPS6016604B2 (ja) | 1978-07-14 | 1978-07-14 | 音響光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8648678A JPS6016604B2 (ja) | 1978-07-14 | 1978-07-14 | 音響光学素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5512973A JPS5512973A (en) | 1980-01-29 |
| JPS6016604B2 true JPS6016604B2 (ja) | 1985-04-26 |
Family
ID=13888302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8648678A Expired JPS6016604B2 (ja) | 1978-07-14 | 1978-07-14 | 音響光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016604B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2138584B (en) * | 1983-04-23 | 1986-09-17 | Standard Telephones Cables Ltd | Acousto-optic deflector systems |
-
1978
- 1978-07-14 JP JP8648678A patent/JPS6016604B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5512973A (en) | 1980-01-29 |
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