JPS60168009A - 透過形超音波顕微鏡の心合わせ方法 - Google Patents
透過形超音波顕微鏡の心合わせ方法Info
- Publication number
- JPS60168009A JPS60168009A JP2280884A JP2280884A JPS60168009A JP S60168009 A JPS60168009 A JP S60168009A JP 2280884 A JP2280884 A JP 2280884A JP 2280884 A JP2280884 A JP 2280884A JP S60168009 A JPS60168009 A JP S60168009A
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- Japan
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- ultrasonic
- steel ball
- spherical lens
- collecting element
- focused ultrasound
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は透過層超音波顕微鏡に係り、特に集束超音波発
生素子と超音波集音素子の心合わせに好適な透過層超音
波顕微鏡の心合わせ方法に関するものである。
生素子と超音波集音素子の心合わせに好適な透過層超音
波顕微鏡の心合わせ方法に関するものである。
第１図は透過層超音波顕微鏡の基本構成を示すブロック
図である。１は高周波３１！−振器、２は送波側の集束
超音波発生素子、３は受波側の超音波集音素子で、これ
らの集束超音波発生素子２あるいは超音波集音素子３と
しては一般に音響レンズや凹面形超音波変換子などが使
用される。４は水などの超音波伝播媒質、５は試料保持
台、６は試料、７は試料保持台５を図示Ｘ及びＹ方向に
移動させる走査装置、８は走査装置７を制御する走査回
路、９は受波側の超音波集音素子３からの出力を受信す
る受信回路、】０は表示装置である。
図である。１は高周波３１！−振器、２は送波側の集束
超音波発生素子、３は受波側の超音波集音素子で、これ
らの集束超音波発生素子２あるいは超音波集音素子３と
しては一般に音響レンズや凹面形超音波変換子などが使
用される。４は水などの超音波伝播媒質、５は試料保持
台、６は試料、７は試料保持台５を図示Ｘ及びＹ方向に
移動させる走査装置、８は走査装置７を制御する走査回
路、９は受波側の超音波集音素子３からの出力を受信す
る受信回路、】０は表示装置である。
第１図の超音波顕微鏡装置において、まず送波側の集束
超音波発生素子２から放射されたえ召音波は、該送波側
の集・東超音波発生素子２との共焦点の位置に配置した
受波側の超音波集音素子３によって集音され、電気信号
に変換される。ここで、試料６の検音面が前記集束超音
波発生素子２の焦点に位置するようにし、試料保持台５
をＸ方向に振動させなからＹ方向に少しづつ移動させれ
ば、超音波ビームは相対的に試料面を走査することにな
る。超音波ビームが試料６を透過する際、擾幅や位相の
変化を受けるので超音波ビームが透過する試料面の各点
に対応させて表示装ａｉｏ内のＣＲＴの電子ビームを掃
引し、受渡側の超音波集音素子３の出力信号に応じて輝
度変調をかければ、Ｉｌｌ記ＣＲＴ上には二次元的に顕
微鏡像が得られる。
超音波発生素子２から放射されたえ召音波は、該送波側
の集・東超音波発生素子２との共焦点の位置に配置した
受波側の超音波集音素子３によって集音され、電気信号
に変換される。ここで、試料６の検音面が前記集束超音
波発生素子２の焦点に位置するようにし、試料保持台５
をＸ方向に振動させなからＹ方向に少しづつ移動させれ
ば、超音波ビームは相対的に試料面を走査することにな
る。超音波ビームが試料６を透過する際、擾幅や位相の
変化を受けるので超音波ビームが透過する試料面の各点
に対応させて表示装ａｉｏ内のＣＲＴの電子ビームを掃
引し、受渡側の超音波集音素子３の出力信号に応じて輝
度変調をかければ、Ｉｌｌ記ＣＲＴ上には二次元的に顕
微鏡像が得られる。
ところで、上述の如き透過形超音波顕微鏡装置において
、送波側の集束超音波発生素子と受波側の超音波集音素
子とを共焦点軸上に配置する作業は、かなり厄介で苦労
を要していた。例えば、１００ＭＨｚで方位分解能が４
０μｍ程度のものであれば、１０μｍも位置がずれれば
得られる観察像はかなり見づらいものになる。
、送波側の集束超音波発生素子と受波側の超音波集音素
子とを共焦点軸上に配置する作業は、かなり厄介で苦労
を要していた。例えば、１００ＭＨｚで方位分解能が４
０μｍ程度のものであれば、１０μｍも位置がずれれば
得られる観察像はかなり見づらいものになる。
本発明の目的は従来の欠点を改善するもので、集束超音
波発生素子と超音波集音素子の球面レンズ部に合致する
鋼球な利用することにより、心合わせ作業が容易な方法
を提供することにある。
波発生素子と超音波集音素子の球面レンズ部に合致する
鋼球な利用することにより、心合わせ作業が容易な方法
を提供することにある。
〔発明の概要〕
透過形超音波顕微鏡では数百Ｍ Ｈｚ以下の周波数を使
用し、集束超音波発生素子と超音波集音素子の材質は適
度な塑性変形が可能なもの例えばＡノ材料とし、凹球面
レンズ部加工に超精密級の精度が比較的容易に得られる
鋼球な利用することができ、精密な凹球面が形成可能と
なった。本発明は、該超精密級の鋼球な心合わせ治具と
して利用することにより容易に心合わせ作業ができるよ
うにしたものである。
用し、集束超音波発生素子と超音波集音素子の材質は適
度な塑性変形が可能なもの例えばＡノ材料とし、凹球面
レンズ部加工に超精密級の精度が比較的容易に得られる
鋼球な利用することができ、精密な凹球面が形成可能と
なった。本発明は、該超精密級の鋼球な心合わせ治具と
して利用することにより容易に心合わせ作業ができるよ
うにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第２図および第３図により説
明する。この基本構成は第１図と同様である。
明する。この基本構成は第１図と同様である。
集束超音波発生素子１０３及び超音波集音素子１０】は
それぞれホルダ＋０４及び】０２により組立てられてい
る。ホルダ１０４は、装置全体の土工動可能な機構（図
示省略）を持つアーム１０８に固定さしている。集束超
音波発生素子１０３の球面レンズ部には、球面レンズ部
加工時に用いた超精密級の鋼球１１０が密着してセット
され、鋼球１１０は鋼球保持器１１１に保持されねじ】
１２によりアーム１０８に固定されている。ホルダ】０
２は、ホルダ】０２が移動可節な間隙を設は調整ねじ］
０６を２個以上有するブラケット１０５に４かれ、ブラ
ケット１０５は固定ねじ１０７によりＺステージ１０９
に固定されている。Ｚステージ１０９は、２方向にμ＋
ｎ ７４１位で０動可能な機構を有したものを用いてお
り、アーＡｌＯ３に取付けられている。
それぞれホルダ＋０４及び】０２により組立てられてい
る。ホルダ１０４は、装置全体の土工動可能な機構（図
示省略）を持つアーム１０８に固定さしている。集束超
音波発生素子１０３の球面レンズ部には、球面レンズ部
加工時に用いた超精密級の鋼球１１０が密着してセット
され、鋼球１１０は鋼球保持器１１１に保持されねじ】
１２によりアーム１０８に固定されている。ホルダ】０
２は、ホルダ】０２が移動可節な間隙を設は調整ねじ］
０６を２個以上有するブラケット１０５に４かれ、ブラ
ケット１０５は固定ねじ１０７によりＺステージ１０９
に固定されている。Ｚステージ１０９は、２方向にμ＋
ｎ ７４１位で０動可能な機構を有したものを用いてお
り、アーＡｌＯ３に取付けられている。
第３図は、第２図の状態からＺステージ１０９により超
音波集音素子１０１を下降させ、鋼球Ｊ１０に密着させ
た状態である。心合わせに際しては、超音波集音素子１
０１を鋼球１１０に当たるｆｌｆｎπまで下降させ、超
音波集音素子１０１の球面レンズ部と鋼球１】０の間隙
が一様になったｔころでさらに下降させてｒ＃着させ、
その位置でホルダ１０２をブラケット】０５に固定する
という手順で行なう。万全を期すためには、ホル々゛Ｉ
０２とブラケット１０５の摺動画に潤滑剤を塗付ずれば
、目視である程度超音波集音素子１０】の球面レンズ部
と鋼球１１０の間隙が一様になったことを確認した後、
そのまま下降することｉこより、自動的に所定の心合わ
せが可能となる。
音波集音素子１０１を下降させ、鋼球Ｊ１０に密着させ
た状態である。心合わせに際しては、超音波集音素子１
０１を鋼球１１０に当たるｆｌｆｎπまで下降させ、超
音波集音素子１０１の球面レンズ部と鋼球１】０の間隙
が一様になったｔころでさらに下降させてｒ＃着させ、
その位置でホルダ１０２をブラケット】０５に固定する
という手順で行なう。万全を期すためには、ホル々゛Ｉ
０２とブラケット１０５の摺動画に潤滑剤を塗付ずれば
、目視である程度超音波集音素子１０】の球面レンズ部
と鋼球１１０の間隙が一様になったことを確認した後、
そのまま下降することｉこより、自動的に所定の心合わ
せが可能となる。
以上、本実施例によれば透過形超音波顕微鏡の構成上難
点となっていた心合わせ作業に、球面レンズ部製作に用
いた鋼球なそのまま利用でき、簡単に心合わせ作業がで
きる効果がある。
点となっていた心合わせ作業に、球面レンズ部製作に用
いた鋼球なそのまま利用でき、簡単に心合わせ作業がで
きる効果がある。
なお、前記実施例ではホルダを用いたが、鋼球だけでも
同様な効果を得ることができ、したがって、球面レンズ
部加工に用いた鋼球がそのまま利用できる。
同様な効果を得ることができ、したがって、球面レンズ
部加工に用いた鋼球がそのまま利用できる。
本発明によれば、集束超音波発生素子と超音波集音素子
の心合わせ作業が容易にできるという効果がある。
の心合わせ作業が容易にできるという効果がある。
第１図は透過形超音波顕微鏡の基本構成を示すブロック
図、第２図は本発明の一実施例を示す断面図、第３図は
その心合わせ状態を示す断面図である。 １０１・・・・超音波集音素子、１０２，１０４・・・
・・・ホルダ、１０３・・・・・・集束超音波発生素子
、１゜５・・・・・・ブラケット、】０８・・・・・・
アーム、１１０・・・・・・鋼球。 才１図 ２２図
図、第２図は本発明の一実施例を示す断面図、第３図は
その心合わせ状態を示す断面図である。 １０１・・・・超音波集音素子、１０２，１０４・・・
・・・ホルダ、１０３・・・・・・集束超音波発生素子
、１゜５・・・・・・ブラケット、】０８・・・・・・
アーム、１１０・・・・・・鋼球。 才１図 ２２図
Claims (1)
- １、ｉｌｌ察すべき対象物に集束超音波を照射するため
の集束超音波発生素子と、該対象物内部で変化を受けた
超音波エネルギーを該対象物の微少部分において検出す
る超音波集音素子よりなる超音波顕微鏡において、一方
の素子の球面レンズ部に鋼球な密着させておき、他方の
素子の球面レンズ部を上記鋼球に密着するようにしたこ
とを特徴とする透過層超音波顕微鏡の心合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2280884A JPS60168009A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 透過形超音波顕微鏡の心合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2280884A JPS60168009A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 透過形超音波顕微鏡の心合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60168009A true JPS60168009A (ja) | 1985-08-31 |
Family
ID=12092987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2280884A Pending JPS60168009A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 透過形超音波顕微鏡の心合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60168009A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102269574A (zh) * | 2011-05-03 | 2011-12-07 | 杭州电子科技大学 | 一种起重机结构安全的多参数检测装置 |
-
1984
- 1984-02-13 JP JP2280884A patent/JPS60168009A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102269574A (zh) * | 2011-05-03 | 2011-12-07 | 杭州电子科技大学 | 一种起重机结构安全的多参数检测装置 |
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