JPS60170141A - イオン源装置 - Google Patents

イオン源装置

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JPS60170141A
JPS60170141A JP59022732A JP2273284A JPS60170141A JP S60170141 A JPS60170141 A JP S60170141A JP 59022732 A JP59022732 A JP 59022732A JP 2273284 A JP2273284 A JP 2273284A JP S60170141 A JPS60170141 A JP S60170141A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
hot cathode
disk
conductor plate
anode wall
Prior art date
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Pending
Application number
JP59022732A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuyuki Ito
保之 伊藤
Toru Sugawara
亨 菅原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to US06/689,943 priority patent/US4641031A/en
Publication of JPS60170141A publication Critical patent/JPS60170141A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H01J27/14—Other arc discharge ion sources using an applied magnetic field

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明はガス放電によってプラズマを生成し。
該プラズマからイオンを引出し加速するイオン源装置に
関する。
〔従来技術とその問題点〕
従来のイオン源装置はその陰極としてフィラメントを加
熱して熱電子を放出させガス放電を行っていた寿命の短
いものであった。これを解決するために該フィラメント
状熱陰極の代りに、塊状又は板状の熱陰極を導入したイ
オン源では、ガス放′成によって生成されたプラズマの
閉じ込めを良くするために永久磁石等によって生成した
磁場が該塊状又は板状の熱陰極面を覆い、該熱陰極から
の熱電子放出を妨げることにより、該主放電室内のガス
放電を起こすことが困難であった。
〔発明の目的〕
この発明は上述した従来装置の欠点を改良したものであ
り、前記熱陰極からの熱電子放出を起こしやす（するた
めに前記熱陰極面を覆う磁力線の一部又は全部を取り去
ることを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は前記熱陰極の周囲に強磁性体を設置したイオン
源装置である。
〔発明の効果〕
本発明によれば放電プラズマを閉じ込めるための磁場が
熱陰極面に影響を及ぼさないので、自由に熱電子を放出
させることがでａガス放電を確実に点弧させることがで
きる。
〔発明の実症例〕
本発明の一実施例を第１乃至第３図に示す。イオン源の
放電室４は放電陽極壁１．イオンヒ〜ムを引出すグリラ
ド電極３１円板状熱陰極５．導体板１０からなる。放電
陽極壁１及び導体板１ｏには、ガス放電によって生成さ
れたプラズマの閉じ込めを良くするために永久磁石２が
取り付けられている。導体板１０は抵抗９を介して放電
陽極壁１と電気的に接続しである。円板状熱陰極５はそ
の背後ｌこ電流で加熱されるタングステンフィラメント
６を用いて電子衝撃法により加熱される。その為、副放
電室１２は真空に保たれている。円板状熱陰極５の面が
永久磁石２からでる磁力線に覆れると、熱電子を放出し
難くなるので強磁性体（例えばフェライト鋼）のリング
８を導体板１０に設置して、磁力線を吸収する。
〔発明の他の実施例〕
前記導体板１０をなくし、熱陰極取付用フランジ１１と
放電陽極壁１のフランジとを電気的に絶縁させた状態で
接合してもよい。但し永久磁石２や強磁性体リング管５
　ｉ　斤′に取付ける。熱陰極１２及び強磁性体８の形
状は上述の限りではない。また熱陰極５と強磁性体８の
組はイオン源装置において複数個であってよい。熱陰極
１２は加熱された物体からの放射熱で加熱してもよい。
又、タングステンフィラメント６の代りに、板状の補助
電極より放出される熱電子で電子衡撃加熱を行なっても
よい。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明装置を説明するための断面図である。 １・・・放電陽極壁、２・・・永久磁石、３・・・グリ
ッド電極、４・・・放電室、５・・・板状熱陰極、６・
・・タングステンフィラメント、７・・・絶縁材、８・
・・強磁性体リング、９・・・抵抗、１０・・・導体板
、１１・・・熱陰極取付用フランジ、１２・・・副放電
室。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. イオンビームが引出されるプラズマを生成するための熱
    電子を放出する塊状又は板状の熱陰極の周囲に強磁性体
    を設置したことを特徴とするイオン源装置。
JP59022732A 1984-02-13 1984-02-13 イオン源装置 Pending JPS60170141A (ja)

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JP59022732A JPS60170141A (ja) 1984-02-13 1984-02-13 イオン源装置
US06/689,943 US4641031A (en) 1984-02-13 1985-01-09 Ion source apparatus

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JP59022732A JPS60170141A (ja) 1984-02-13 1984-02-13 イオン源装置

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