JPS60177417A - 薄膜磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドの製造方法Info
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- JPS60177417A JPS60177417A JP3299184A JP3299184A JPS60177417A JP S60177417 A JPS60177417 A JP S60177417A JP 3299184 A JP3299184 A JP 3299184A JP 3299184 A JP3299184 A JP 3299184A JP S60177417 A JPS60177417 A JP S60177417A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は薄膜磁気へ・ノドの製造方法に関する。
薄膜磁気へ・ノドの構造を第１図に示す。第１図（６）
はＮ１１図（α）のＡ−に断面図である。
はＮ１１図（α）のＡ−に断面図である。
下部磁極１−１− １一部磁叛１−２で膜鯰を膚虚し、
記録電流を流し再生電圧を取り出すコイル１−３が絶＃
１１１−４．１−７を介して巻き回されている。
記録電流を流し再生電圧を取り出すコイル１−３が絶＃
１１１−４．１−７を介して巻き回されている。
従来、下部磁極はめっきあるいけスパヅタで形成されて
いるが、段差部１−６が急峻であると、その上にくるコ
イル１−３の１−７の部分が薄くなって、断線あるいけ
コイル抵抗の原因となっている。これを防ぐために、第
２図（ハ）ＮＣ示すようにめっきの枠として用いたレジ
ストなどの樹脂２−５を残して下部磁極２−４の段差を
なくす方法、あるい１−を第２図（ｂ＞Ｋ示すようにス
パッタ筒で付着させた軟磁性鳴２−５ ？エツチングし
てテーパー２−７ｆつけて急峻な段差をなくす方法が使
われている。しかし、第２Ｍ（α）で示した方法では、
磁気へ９ドとして研磨すると記録媒体と接する面に樹脂
２−３が露出することになり、耐久性に問題、が生じる
。一方、第２図（ｂ）で示したテーパー２−７１一つけ
るという方法は、テーパー角■の制御が難かしく、良い
再現性が得にくく、歩留りが低くなるという問題があっ
た。
いるが、段差部１−６が急峻であると、その上にくるコ
イル１−３の１−７の部分が薄くなって、断線あるいけ
コイル抵抗の原因となっている。これを防ぐために、第
２図（ハ）ＮＣ示すようにめっきの枠として用いたレジ
ストなどの樹脂２−５を残して下部磁極２−４の段差を
なくす方法、あるい１−を第２図（ｂ＞Ｋ示すようにス
パッタ筒で付着させた軟磁性鳴２−５ ？エツチングし
てテーパー２−７ｆつけて急峻な段差をなくす方法が使
われている。しかし、第２Ｍ（α）で示した方法では、
磁気へ９ドとして研磨すると記録媒体と接する面に樹脂
２−３が露出することになり、耐久性に問題、が生じる
。一方、第２図（ｂ）で示したテーパー２−７１一つけ
るという方法は、テーパー角■の制御が難かしく、良い
再現性が得にくく、歩留りが低くなるという問題があっ
た。
本発明はこのような問題点を解決するもので、その目的
とするところは、磁気ヘッドとしての耐久性も確惺しな
がら、コイルの断線、高抵抗化を防ぐために≦イルの下
地となる面を平担にするための下部磁極の形成方法を提
供することにある、〔概要〕 本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、磁極と同じ厚さ
の絶縁性を有する無機物で磁極以外の部分を形成し、磁
極はめっきで前記無機物と同じＪｆｆさまで形成するこ
とを特徴とする。
とするところは、磁気ヘッドとしての耐久性も確惺しな
がら、コイルの断線、高抵抗化を防ぐために≦イルの下
地となる面を平担にするための下部磁極の形成方法を提
供することにある、〔概要〕 本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、磁極と同じ厚さ
の絶縁性を有する無機物で磁極以外の部分を形成し、磁
極はめっきで前記無機物と同じＪｆｆさまで形成するこ
とを特徴とする。
以下、本発明について実施例に基づき詳細に説明する。
第３図に本発明の実施例の行程を示す。非磁性等板３−
１に非磁性金属３−２を蒸着する。これは軟磁性膜３−
５を電解めっきを干るための電極として用いるものであ
り、軟磁性膜３−５を無電解めっきで形成中る場合には
不要である。
１に非磁性金属３−２を蒸着する。これは軟磁性膜３−
５を電解めっきを干るための電極として用いるものであ
り、軟磁性膜３−５を無電解めっきで形成中る場合には
不要である。
続いて（２）に示すよ５にＲｉｏｔ 、ｋｔ２０ｓなど
の無機物３−３ｆスパツタ等で付着させる。この厚みは
必要とされる軟磁性膜３−５の厚みと同じとする。
の無機物３−３ｆスパツタ等で付着させる。この厚みは
必要とされる軟磁性膜３−５の厚みと同じとする。
続いて（３）Ｉｃ示すようＫ、レジス） ３−４ ｆ塗
布して、磁極として必要な嵌状の部分だけレジストを除
去する。
布して、磁極として必要な嵌状の部分だけレジストを除
去する。
続いて（４１Ｋ示すようＩＣ、レジスト３−４をマヌク
として無機物層３−３をエツチングした後、レジストを
除去する。
として無機物層３−３をエツチングした後、レジストを
除去する。
続いて（５）Ｋ示すように、パーマロイなどの軟磁性膜
３−５ｆ無機物Ｉｆ４３−’３と同じ厚みまでめっきに
よって形成する。
３−５ｆ無機物Ｉｆ４３−’３と同じ厚みまでめっきに
よって形成する。
続いて（６）に示すように、軟磁性膜５−５とコイル６
−７の絶縁をとるための絶縁層３−６を形成する。本実
施例では、軟磁性膜の原人け２μｍであるが、絶縁層３
−６の表面用さけ０．２μ惜以下となっている。
−７の絶縁をとるための絶縁層３−６を形成する。本実
施例では、軟磁性膜の原人け２μｍであるが、絶縁層３
−６の表面用さけ０．２μ惜以下となっている。
続いて（ハに示すようにコイルを形成する。
さらＫ、絶縁層、上部磁極の形成が行すれる。
以上述べたように本発明によれば、５ｉｏ２．ｈ４ｏｓ
などの無機物を枠として＠棒のめつ★を行うことによっ
て磁極の段差を小さく干ることができ、コイル断線、あ
るいけ磁極段差部でコイルが薄くなることによりてコイ
ルの’ｔ７気抵抗抵抗くなることを防ぐことができ、薄
膜磁気ヘッドの製造における歩留りが向上するという効
果を有する。また、磁極のまわりがＦｉ（ｋなどで充填
されて（／−するため、＠気ヘラドとして研磨を行って
も、記録媒体に接する磁気へ・ソド表面に琲われるのけ
樹脂とは異うて比較的固い物質であるために、耐久性が
向−ヒするという効果を有する。
などの無機物を枠として＠棒のめつ★を行うことによっ
て磁極の段差を小さく干ることができ、コイル断線、あ
るいけ磁極段差部でコイルが薄くなることによりてコイ
ルの’ｔ７気抵抗抵抗くなることを防ぐことができ、薄
膜磁気ヘッドの製造における歩留りが向上するという効
果を有する。また、磁極のまわりがＦｉ（ｋなどで充填
されて（／−するため、＠気ヘラドとして研磨を行って
も、記録媒体に接する磁気へ・ソド表面に琲われるのけ
樹脂とは異うて比較的固い物質であるために、耐久性が
向−ヒするという効果を有する。
第１図（σ、）は薄膜磁気ヘッドの概略的な構造であり
、（ｂ）けれ）のＡ、、、、 Ａ′商面図である。 第２図は従来の磁極の形成方法であり、は）の（１）〜
（４）は、樹脂を枠として軟磁性１１優をめっきで形成
する方法、（ｂ）の（１）〜（３）は軟磁性膜をスパッ
タ、蒸着などで付着させた後、エツチングで磁極にテー
パーをつけて形成する方法である。 第３図（１）〜（ハは本発明の薄［磁気ヘッドの製造方
法の一実施例を示す図である。 １−１・・・・・・下部磁極 １−２・・・・・・−上部磁極 １−３・・・・・・コイル １−４・・・・・・絶縁膜 １−５・・・・・・基板 １−６・・・・・・下部磁極段差部 １−７・・・・・・下部磁極段差部上のコイル２−１・
・・・・・基板 ２−２・・・・・・金属膜 ２−３・・・・・・樹脂 ２−４・・・・・・軟磁性膜 ２−５・・・・・・軟磁性膜 ２−６・・・・・・レジスト ２−７・・・・・・磁極テーパ一部 ３−１・・・・・・基板 ３−２・・・・・・金属膜 ３−３・・・・・・無機物層 ３−４・・・・・・レジスト ５−５・・・・・・軟磁性膜 ３−６・・・・・・絶縁膜 ３−７・・・・・・コイル 以 ヒ 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士量−Ｆ （０−〕 第１図 ０） 第２図 第３図
、（ｂ）けれ）のＡ、、、、 Ａ′商面図である。 第２図は従来の磁極の形成方法であり、は）の（１）〜
（４）は、樹脂を枠として軟磁性１１優をめっきで形成
する方法、（ｂ）の（１）〜（３）は軟磁性膜をスパッ
タ、蒸着などで付着させた後、エツチングで磁極にテー
パーをつけて形成する方法である。 第３図（１）〜（ハは本発明の薄［磁気ヘッドの製造方
法の一実施例を示す図である。 １−１・・・・・・下部磁極 １−２・・・・・・−上部磁極 １−３・・・・・・コイル １−４・・・・・・絶縁膜 １−５・・・・・・基板 １−６・・・・・・下部磁極段差部 １−７・・・・・・下部磁極段差部上のコイル２−１・
・・・・・基板 ２−２・・・・・・金属膜 ２−３・・・・・・樹脂 ２−４・・・・・・軟磁性膜 ２−５・・・・・・軟磁性膜 ２−６・・・・・・レジスト ２−７・・・・・・磁極テーパ一部 ３−１・・・・・・基板 ３−２・・・・・・金属膜 ３−３・・・・・・無機物層 ３−４・・・・・・レジスト ５−５・・・・・・軟磁性膜 ３−６・・・・・・絶縁膜 ３−７・・・・・・コイル 以 ヒ 出願人 株式会社諏訪精工舎 代理人 弁理士量−Ｆ （０−〕 第１図 ０） 第２図 第３図
Claims (1)
- 軟磁性薄嘩、絶縁層および導体薄膜から成る薄膜磁気ヘ
ッドにおいて、的記軟磁性薄膜と同じ厚さの絶縁性を有
する無機物で前記軟磁性薄膜の形状以外の部分を形成し
、前記軟磁性薄膜はめっきで前記無機物と間じ厚さまで
形成することｆ特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3299184A JPS60177417A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3299184A JPS60177417A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177417A true JPS60177417A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12374323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3299184A Pending JPS60177417A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177417A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06274823A (ja) * | 1993-10-20 | 1994-09-30 | Yamaha Corp | 磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57117117A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film magnetic head |
| JPS5823316A (ja) * | 1981-08-04 | 1983-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
-
1984
- 1984-02-23 JP JP3299184A patent/JPS60177417A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57117117A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Thin film magnetic head |
| JPS5823316A (ja) * | 1981-08-04 | 1983-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06274823A (ja) * | 1993-10-20 | 1994-09-30 | Yamaha Corp | 磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
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