JPS60177452A - スタンパ−に中心孔を穿孔する方法 - Google Patents
スタンパ−に中心孔を穿孔する方法Info
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- JPS60177452A JPS60177452A JP3222984A JP3222984A JPS60177452A JP S60177452 A JPS60177452 A JP S60177452A JP 3222984 A JP3222984 A JP 3222984A JP 3222984 A JP3222984 A JP 3222984A JP S60177452 A JPS60177452 A JP S60177452A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0014—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form
- G11B23/0021—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture record carriers not specifically of filamentary or web form discs
- G11B23/0028—Details
- G11B23/0035—Details means incorporated in the disc, e.g. hub, to enable its guiding, loading or driving
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は高密度情報記録担体の成形に用いられるスタン
パ−の製造方法およびそれにより得られるメタ/パーに
関するものであり、特に、光ディスク、静電容量式ディ
スク等のプラスチック製高密度情報記録ディスクの成形
時に使用されるスタンパ−の製造方法、特にメタ/バー
の中心に正確に中心孔を形成するだめの方法に関するも
のである。
パ−の製造方法およびそれにより得られるメタ/パーに
関するものであり、特に、光ディスク、静電容量式ディ
スク等のプラスチック製高密度情報記録ディスクの成形
時に使用されるスタンパ−の製造方法、特にメタ/バー
の中心に正確に中心孔を形成するだめの方法に関するも
のである。
(従来技術)
レーザーや静電容量変化を利用して高密度の情報をプラ
スチックディスク上に記録したり、読取ったりする方式
は広く用いられている0このプラスチックディスクは一
般に2p法(photo −polymerizati
on process)といわれる紫外線硬化法、圧縮
成形法、工/ポジ/グあるいは射出成形によって作られ
る。いずれの方法を用いるに伊よ、プラスチック材料に
ザブミクロ/オーター−の微細な凹凸情報を転写するた
めにメタ/パーとよばれる型が使用される。このメタ/
パーの中心孔はスタンパ−を金型上に正確に位置決めす
るために極めて高い精度で形成しなければならない。
スチックディスク上に記録したり、読取ったりする方式
は広く用いられている0このプラスチックディスクは一
般に2p法(photo −polymerizati
on process)といわれる紫外線硬化法、圧縮
成形法、工/ポジ/グあるいは射出成形によって作られ
る。いずれの方法を用いるに伊よ、プラスチック材料に
ザブミクロ/オーター−の微細な凹凸情報を転写するた
めにメタ/パーとよばれる型が使用される。このメタ/
パーの中心孔はスタンパ−を金型上に正確に位置決めす
るために極めて高い精度で形成しなければならない。
このスタノパーは種々の方法で作られる。すなわち、一
般にはガラス等で作られた基材上にラッカ一層、フォト
レジスト層あるいは金属薄膜層を形成し、これらの層を
釧またはレーザーによって選択的にその一部を除去しく
カンティングという)で原盤を作り、この原盤から電鋳
法等によってマスターあるいはメタ/パーが作られる。
般にはガラス等で作られた基材上にラッカ一層、フォト
レジスト層あるいは金属薄膜層を形成し、これらの層を
釧またはレーザーによって選択的にその一部を除去しく
カンティングという)で原盤を作り、この原盤から電鋳
法等によってマスターあるいはメタ/パーが作られる。
実際にはこの他に種々の処理・操作が必要であるが、こ
れらは本発明の一部を成すものではないので詳細は省略
する。メタ/バーの製造法に関しては特開昭54−24
602号、特開昭58−157984号等を参照された
い。
れらは本発明の一部を成すものではないので詳細は省略
する。メタ/バーの製造法に関しては特開昭54−24
602号、特開昭58−157984号等を参照された
い。
上記のように電鋳等により作られたスタンパ−原板、す
なわち例えば0.25 mm厚のニッケル製スタンバ−
原板にはスタンパ−を金型に取付けるための中心孔を形
成する必要がある。この中心孔は一般にスタンパ−原板
から中心部を切削工具あるいはレーザーを用いて切り抜
くことによって形成されるが、メタ/バー原板の中心に
正確に中心孔を明けるだめのメタ/バー原板の位置決め
法に完全なものはこれまでなかった。そのため、従来は
、成形後のディスクの中心孔の偏心が何によって生じた
のか、すなわちメタ/パーの中心孔自体の偏心によるも
のか、成形機の金型に取付ける際り心出し不良によるも
のかを評価することができなかった。
なわち例えば0.25 mm厚のニッケル製スタンバ−
原板にはスタンパ−を金型に取付けるための中心孔を形
成する必要がある。この中心孔は一般にスタンパ−原板
から中心部を切削工具あるいはレーザーを用いて切り抜
くことによって形成されるが、メタ/バー原板の中心に
正確に中心孔を明けるだめのメタ/バー原板の位置決め
法に完全なものはこれまでなかった。そのため、従来は
、成形後のディスクの中心孔の偏心が何によって生じた
のか、すなわちメタ/パーの中心孔自体の偏心によるも
のか、成形機の金型に取付ける際り心出し不良によるも
のかを評価することができなかった。
成形後の高密度情報記録用ディスクの中心孔の許容偏心
度は一般に30μm以下が要求される。
度は一般に30μm以下が要求される。
この偏心度はメタ/パー原板への穿孔時とスタンパ−の
金型への取付は時の両方の偏心度の和となり、特に前者
の偏心度が成形ディスクの偏心に大きな影響を与える。
金型への取付は時の両方の偏心度の和となり、特に前者
の偏心度が成形ディスクの偏心に大きな影響を与える。
(発明の目的)
本発明の目的Vi電鋳等によって原盤から作ったメタ/
パー原板の中心に高精度で中心孔を明ける方法を提供す
ることにある。
パー原板の中心に高精度で中心孔を明ける方法を提供す
ることにある。
本発明の他の目的はさらに上記方法によって作ったメタ
/パーを提供することにある。
/パーを提供することにある。
(発明の構成)
本発明の第1の%徴はター/テーブルの中上・スピンド
ルと係合する中心開口を有する高密度情報記録用プラス
チックディスクの成形時に用いられるスタンパ−の製作
方法であって、基材上に被カクテイ/ダ層を形成し、こ
の被カッティング層に情報をカッティングした原盤上に
金属層を形成し、この金属層を原盤から剥してメタ/パ
ー原板を作り、このメタ/パー原板に中心孔を穿孔して
最終メタ/パーを製作する方法において、上記の情報の
カンフ4フフ時に、上記の中心孔の直径と同じかそれよ
りわずかに大きい直径の中心孔ガイド円をカッティング
する点にある。
ルと係合する中心開口を有する高密度情報記録用プラス
チックディスクの成形時に用いられるスタンパ−の製作
方法であって、基材上に被カクテイ/ダ層を形成し、こ
の被カッティング層に情報をカッティングした原盤上に
金属層を形成し、この金属層を原盤から剥してメタ/パ
ー原板を作り、このメタ/パー原板に中心孔を穿孔して
最終メタ/パーを製作する方法において、上記の情報の
カンフ4フフ時に、上記の中心孔の直径と同じかそれよ
りわずかに大きい直径の中心孔ガイド円をカッティング
する点にある。
上記プラスチックディスクUZp法、エンボス法、圧縮
成形法、射出成形法等、メタ/パーを必要とする任意の
成形法によって成形することができる。ディスクの寸法
は外径が約100〜300朋、内径が10〜35#++
+11厚さが1〜2#Imのものが一般的であり、樹脂
としてはアクリル樹脂、ポリカーボネートポリ塩化ビニ
ル、ポリ″エステル等がある。
成形法、射出成形法等、メタ/パーを必要とする任意の
成形法によって成形することができる。ディスクの寸法
は外径が約100〜300朋、内径が10〜35#++
+11厚さが1〜2#Imのものが一般的であり、樹脂
としてはアクリル樹脂、ポリカーボネートポリ塩化ビニ
ル、ポリ″エステル等がある。
上記プラスチックディスク上にはザブミクロ/オでグー
の凹凸情報が刻印されていて、レーサー光の変化や静電
容量の変化を利用して情報の記録・再生が行われる。機
能的には読取り専用(ReadOnly)型、書込み可
能(DRAW)型、再記鋒可能(E−’DRAW)型が
あり、読取り専用型では上記凹凸自体が情報となり、D
RAWおよびE−DrLAW型では上記凹凸をトラッキ
7グに利用するのが普通である。本発明はこの凹凸情報
を刻印(成形)する際に使われるスタンパ−に関するも
のである。
の凹凸情報が刻印されていて、レーサー光の変化や静電
容量の変化を利用して情報の記録・再生が行われる。機
能的には読取り専用(ReadOnly)型、書込み可
能(DRAW)型、再記鋒可能(E−’DRAW)型が
あり、読取り専用型では上記凹凸自体が情報となり、D
RAWおよびE−DrLAW型では上記凹凸をトラッキ
7グに利用するのが普通である。本発明はこの凹凸情報
を刻印(成形)する際に使われるスタンパ−に関するも
のである。
前記基拐としては一般に研磨ガラス板が使用さノt、被
カンティング層としてはラッカ一層、フォトレジスト層
あるいはBi + Cu + AI 、 Cr等の金属
やIn2O3等の金属酸化物、その他の無機材料の層に
することができる。カッティングはラッカーノーの場合
には針で、フォトレジスト層や金属層の場合にはレーザ
ーで行われ、1tead 0nly型用には不連続ナヒ
ットカ、マタ、DRAW、E−DRAW型用には同心円
またはスパイラル状のトランク溝が被カッティ/り層に
刻まれる。
カンティング層としてはラッカ一層、フォトレジスト層
あるいはBi + Cu + AI 、 Cr等の金属
やIn2O3等の金属酸化物、その他の無機材料の層に
することができる。カッティングはラッカーノーの場合
には針で、フォトレジスト層や金属層の場合にはレーザ
ーで行われ、1tead 0nly型用には不連続ナヒ
ットカ、マタ、DRAW、E−DRAW型用には同心円
またはスパイラル状のトランク溝が被カッティ/り層に
刻まれる。
こうしてカッティングされたいわゆる原盤から一般に電
鋳によって金属層を形成する。すなわち原盤に導電処理
をした後に回転陰極に取付け、ニッケル陽極を用いて厚
さ約0.25 amのマスターを作る。これをスタンパ
−に利用することもできるが、必要に応じてマザーを作
り、それから再度マスターを作ることもできる。この電
鋳方法は公知であり、例えば本出願人による特願昭58
−68(120号、Will&58−121690号に
詳#IK説明されている。
鋳によって金属層を形成する。すなわち原盤に導電処理
をした後に回転陰極に取付け、ニッケル陽極を用いて厚
さ約0.25 amのマスターを作る。これをスタンパ
−に利用することもできるが、必要に応じてマザーを作
り、それから再度マスターを作ることもできる。この電
鋳方法は公知であり、例えば本出願人による特願昭58
−68(120号、Will&58−121690号に
詳#IK説明されている。
こうして作られたマスター原板すなわち中心に孔の明い
ていないスタンパ−原板を金型中に正確に位置決めする
ためにはスタンパ−原板の中心に正確に中心孔を形成し
なければならない。この中心孔の穿孔は一般に機械的切
削またはレーザーによシ行われるが、第1図に示すよう
に電鋳しただけのメタ/パー原板IKは正確な中心がな
く、中心には原盤を・陰極に取付けるボルトによって生
じる不正確な穴3しかない。中心孔の切削には一般に情
報(ピットまたはグループ)が転写された情報区域2を
ガイドとして行われているが、中心孔が正確に中心に切
削されたか否かを確認するのは困難である。
ていないスタンパ−原板を金型中に正確に位置決めする
ためにはスタンパ−原板の中心に正確に中心孔を形成し
なければならない。この中心孔の穿孔は一般に機械的切
削またはレーザーによシ行われるが、第1図に示すよう
に電鋳しただけのメタ/パー原板IKは正確な中心がな
く、中心には原盤を・陰極に取付けるボルトによって生
じる不正確な穴3しかない。中心孔の切削には一般に情
報(ピットまたはグループ)が転写された情報区域2を
ガイドとして行われているが、中心孔が正確に中心に切
削されたか否かを確認するのは困難である。
本発明の特徴は、上記中ノビ孔の直径とほぼ同じかそれ
よりわずかに大きい中心孔ガイド円をカッティング時に
被カソテイノグ層に形成しておく点にある。
よりわずかに大きい中心孔ガイド円をカッティング時に
被カソテイノグ層に形成しておく点にある。
こうして被カッティング層に付けた中心孔ガイド円は電
鋳後メタ/パー原板1に中心孔ガイド円5として転写さ
れるので、この中心孔ガイド円5を案内として切削を行
うことができ、また、切削後の偏心度評価も容易に行う
ことができる。
鋳後メタ/パー原板1に中心孔ガイド円5として転写さ
れるので、この中心孔ガイド円5を案内として切削を行
うことができ、また、切削後の偏心度評価も容易に行う
ことができる。
なお、スタンパ−原板lの外周には余分な電鋳部分4が
あり、この部分4にも前記と同じ外周ガイド円6を付け
ておけばメタ/パー外径の切除がよシ正確に行える。
あり、この部分4にも前記と同じ外周ガイド円6を付け
ておけばメタ/パー外径の切除がよシ正確に行える。
上記中心孔ガイド円5の直径は現実に切削する中心孔の
直径とほぼ同一かわずかに大きくてよく、実際には両者
の差が100μm以下になるようにするのが好ましい。
直径とほぼ同一かわずかに大きくてよく、実際には両者
の差が100μm以下になるようにするのが好ましい。
上記中心ガイド円5の巾は特に限定されないが、50μ
m以下で十分である。
m以下で十分である。
中心孔切削時および切削後の偏心度の評価は顕微鏡を用
いて容易に行うことができる。
いて容易に行うことができる。
また、上記中心孔ガイド円はスタンパ−を金型のスタン
パ−押えに取付ける締付ける際にメタ/パーがスタンパ
−押えに対して正確に中心に来ているか否かを評価する
ときにも利用できる。すなわち、メタ/パー押えを締付
けた際にスタンパ−に付く押圧痕と上記中心孔ガイド円
とを目視で観察してスタンパ−の金型への心出しをより
正確に行うことができる。
パ−押えに取付ける締付ける際にメタ/パーがスタンパ
−押えに対して正確に中心に来ているか否かを評価する
ときにも利用できる。すなわち、メタ/パー押えを締付
けた際にスタンパ−に付く押圧痕と上記中心孔ガイド円
とを目視で観察してスタンパ−の金型への心出しをより
正確に行うことができる。
以下、実施例を用いて本発明を説明する。
実施例
直径350mmの研磨ガラス上にフォトレジストをスピ
ンコードして形成したフォトレジスト層にレーザーを用
いて2μmピンチのスパイラル状トラック溝を半径が4
0mmから150mmの情報区域にカッティングした。
ンコードして形成したフォトレジスト層にレーザーを用
いて2μmピンチのスパイラル状トラック溝を半径が4
0mmから150mmの情報区域にカッティングした。
このカッティング工程と同時に、フォトレジスト層の中
心に半径が32.55 mmの所に巾20μの中心・ガ
イド円をカッティングした。
心に半径が32.55 mmの所に巾20μの中心・ガ
イド円をカッティングした。
こうして得られたカッティング済み原盤からニッケル電
鋳により作ったメタ/パー原板の中心に切削工具を用い
て中心孔を切削した。得られた中心孔を穿孔したメタ/
パーを倍率200倍の顕微鏡を用いて調べた結果を第2
図に示す。この図はスタンパ−1の中心孔の直径方向対
向4ヶ所A7B、C,Dの顕微鏡写真を模写したもので
、中心ガイド円5と実際に切削した中心孔の端縁10と
の間の距離dは以下に示すような値であった0従って、
このスタンパ−の最大偏心量は68−40=28μmで
あることが評価できた。
鋳により作ったメタ/パー原板の中心に切削工具を用い
て中心孔を切削した。得られた中心孔を穿孔したメタ/
パーを倍率200倍の顕微鏡を用いて調べた結果を第2
図に示す。この図はスタンパ−1の中心孔の直径方向対
向4ヶ所A7B、C,Dの顕微鏡写真を模写したもので
、中心ガイド円5と実際に切削した中心孔の端縁10と
の間の距離dは以下に示すような値であった0従って、
このスタンパ−の最大偏心量は68−40=28μmで
あることが評価できた。
以上の説明から明らかなように、本発明の方法を用いる
ことによりメタ/パーの偏心度が簡単に評価でき、従っ
て高密度情報記録担体用ディスクの偏心量を正確に制御
することが可能となり、蟲技術分野に多大の貢献をする
ものである。
ことによりメタ/パーの偏心度が簡単に評価でき、従っ
て高密度情報記録担体用ディスクの偏心量を正確に制御
することが可能となり、蟲技術分野に多大の貢献をする
ものである。
第1図は中心孔切削前のメタ/パー原板を示す概念的斜
視図。 第2図は本発明による中心孔の偏心度評価法の一実施例
を示す倍率200倍の顕微鏡写真の模写図である。 (図中符号) 1°スタ/パー原板、 2:情報記録区域、5:中心孔
ガイド円、 10:中心孔端縁、A、B、C,D 観察
位置
視図。 第2図は本発明による中心孔の偏心度評価法の一実施例
を示す倍率200倍の顕微鏡写真の模写図である。 (図中符号) 1°スタ/パー原板、 2:情報記録区域、5:中心孔
ガイド円、 10:中心孔端縁、A、B、C,D 観察
位置
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)ターンテーブルの中心スピンドルと係合する中心開
口を有する高密度情報記録用プラスチックディスクの成
形時に用いられるメタ/バーの製作方法であって、基材
上に被カッティング層を形成し、この被カッティング層
に情報をカッティングした原盤上に金属層を形成し、こ
の金属層を原盤から剥してメタ/パー原板を作り、仁の
スタンパ−原板に中心孔を穿孔して最終メタ/パーを製
作する方法において、上記の情報のカッティング時に、
上記の中心孔の直径と同じかわずかに大きい直径の中心
孔ガイド円をカッティングすることを特徴とするスタン
パ−の製作方法。 2)上記の被カッティング層がフォトレジスト層である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法。 3)上記の被カッティング層が無機材料または金属であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法
。 4)上記の原盤上に形成される金属層が電鋳によって形
成されることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
方法。 5)上記の中心孔の穿孔が機械的カッターによって行わ
れることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の方法
。 6)上記の中心孔の穿孔がレーザーによって行われるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法。 7)上記の中心孔ガイド円の直径が上記中心孔の直径よ
り20〜100μだけ大きいことを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の方法。 8)ターンテーブルの中心スピンドルと係合する中心開
口を有する高密度情報記録用プラスチックディスクの成
形時に用いられる中心孔を有するスタンパ−であって、
メタ/パー上に上記中心孔の直径と同じかまたはわずか
に大きい直径の中心孔ガイド円か設けられていることを
特徴とするメタ/パー。 9)上記の中心孔ガイド円の直径が上記中心孔の直径と
同じか筐だけ100μ以内だけ大きいことを特徴とする
特許請求の範囲第8項記載のスタノパー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3222984A JPS60177452A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | スタンパ−に中心孔を穿孔する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3222984A JPS60177452A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | スタンパ−に中心孔を穿孔する方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177452A true JPS60177452A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12353138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3222984A Pending JPS60177452A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | スタンパ−に中心孔を穿孔する方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177452A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999063535A1 (en) * | 1998-05-29 | 1999-12-09 | Obducat Aktiebolag | Raw matrix for optical storage media and a method of manufacturing such a matrix |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56169234A (en) * | 1980-05-29 | 1981-12-25 | Trio Kenwood Corp | Manufacture of recorded disk of optical record disk |
| JPS5814336A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-27 | Toshiba Corp | 情報記憶媒体およびその製造方法 |
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1984
- 1984-02-22 JP JP3222984A patent/JPS60177452A/ja active Pending
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