JPS60179948U - 半導体圧力センサの検査装置 - Google Patents

半導体圧力センサの検査装置

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JPS60179948U
JPS60179948U JP6731684U JP6731684U JPS60179948U JP S60179948 U JPS60179948 U JP S60179948U JP 6731684 U JP6731684 U JP 6731684U JP 6731684 U JP6731684 U JP 6731684U JP S60179948 U JPS60179948 U JP S60179948U
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JP
Japan
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pressure sensors
semiconductor pressure
inspection equipment
post
semiconductor chip
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JP6731684U
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浅野　光彦
俊男 鈴木
藤本　郁夫
光夫 中村
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Fujikura Ltd
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Fujikura Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の一実施例を示すもので、
第１図は概略を示す外観斜視図、第２図は要部の縦断面
図、第３図は半導体圧力センサの　　　　−一構造例を
示す一部を断面した外観斜視図、第４図は従来の検査装
置の一例を示す概略図である。 １・・・半導体圧力センサ、２・・・半導体チップ、３
・・・ケース、４・・・圧力導入管、５・・・ポスト、
９・・・検査装置、１０・・・ソケット、１１・・・加
圧室、１２・・・接触端子、１３・・・加圧手段、２０
・・・弾性リング、２１・・・連絡管、２２・・・集合
管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 圧力を電気信号に変換する半導体チップ２が収納された
    ケース３に、被測定流体を導入するための圧力導入管４
    と、前記半導体チップから出力される電気信号を取り出
    すためのポスト５とを設け１　た半導体圧力センサ１を
    検査するための装置であって、前記半導体圧力センサが
    装着されるソケット１０に、前記圧力導入管が気密に挿
    入される加圧室１１と、前記ポストが電気的に接続させ
    られる接触端子１２とを設け、かつ、前記加圧室に、圧
    縮流体を供給するための加圧手段１３を連設して成る半
    導体圧力センサの検査装置。
JP6731684U 1984-05-09 1984-05-09 半導体圧力センサの検査装置 Granted JPS60179948U (ja)

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JPS60179948U true JPS60179948U (ja) 1985-11-29
JPH0528505Y2 JPH0528505Y2 (ja) 1993-07-22

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57122546U (ja) * 1981-01-23 1982-07-30

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57122546U (ja) * 1981-01-23 1982-07-30

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JPH0528505Y2 (ja) 1993-07-22

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