JPH0360045U - - Google Patents

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JPH0360045U
JPH0360045U JP12208189U JP12208189U JPH0360045U JP H0360045 U JPH0360045 U JP H0360045U JP 12208189 U JP12208189 U JP 12208189U JP 12208189 U JP12208189 U JP 12208189U JP H0360045 U JPH0360045 U JP H0360045U
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JP
Japan
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base
sensor chip
leads
lead
substrate
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第３図は第１図
の要部拡大図、第４図は従来より一般に使用され
ている従来例の構成説明図、第５図は第４図のＡ
−Ａ断面図である。 １…センサチツプ、１１…凹部、１２…ダイア
フラム、１３…歪み検出センサ、２…基板、２１
…大気圧基準室、２２…貫通孔、３…大気導通パ
イプ、４…ベース、５…ボデイ、５１…測定室、
５２…接液ダイアフラム室、５３…連通孔、６１
…接液ダイアフラム、６２…封入液、６３…ケー
ス、６４…ケーブル、７…ハーメチツク端子７１
…リード、７２…絶縁体、７３…シールド体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 半導体よりなるセンサチツプと、 該センサチツプを保持する基板と、 該基板に一端が接合されたマウント部材と、 該マウント部材の他端が接続されたベースと、 該ベースに設けられ前記センサチツプの電気信
    号を外部に取出すハーメチツク端子とを具備する
    半導体圧力計において、 平行に設けられた複数のリードと 該リード間を絶縁する絶縁体と 前記複数のリードと前記ベースとの間に設けら
    れ該リードとベースとを電気的に絶縁するパイプ
    状のシールド体と を備えるハーメチツク端子を 具備したことを特徴とする半導体圧力計。
JP12208189U 1989-10-18 1989-10-18 Pending JPH0360045U (ja)

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JP12208189U JPH0360045U (ja) 1989-10-18 1989-10-18

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JP12208189U JPH0360045U (ja) 1989-10-18 1989-10-18

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JPH0360045U true JPH0360045U (ja) 1991-06-13

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4553984B1 (ja) * 2009-04-23 2010-09-29 三菱電機エンジニアリング株式会社 電磁変換器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6117642B2 (ja) * 1980-11-11 1986-05-08 Uroko Seisakusho Co Ltd

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6117642B2 (ja) * 1980-11-11 1986-05-08 Uroko Seisakusho Co Ltd

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4553984B1 (ja) * 2009-04-23 2010-09-29 三菱電機エンジニアリング株式会社 電磁変換器

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