JPS60180964A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPS60180964A JPS60180964A JP59032548A JP3254884A JPS60180964A JP S60180964 A JPS60180964 A JP S60180964A JP 59032548 A JP59032548 A JP 59032548A JP 3254884 A JP3254884 A JP 3254884A JP S60180964 A JPS60180964 A JP S60180964A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高純度、高密度で且つ特に熱伝導性に優れた窒
化アルミニウム焼結体の製造方法に関する。
化アルミニウム焼結体の製造方法に関する。
窒化アルミニウム焼結体は耐熱性、耐食性あるいは強度
などの優れた特性の他に高熱伝導性を有する絶縁体とし
て最近特に注目されている物質である。
などの優れた特性の他に高熱伝導性を有する絶縁体とし
て最近特に注目されている物質である。
しかしながら、従来窒化アルミニウム焼結体を製造する
ための原料として用いられる窒化アルミニウム粉末はそ
の製造方法に、依拠して、種々の不純物を不可避的に含
有し１、且つ粒子径や粒子径分布が十分なものではなか
ったため、高純度でち密な焼結体を与えることカ難しく
、熱伝導性など窒化アルミニウム本米の優れた特性を十
分発揮するものとはならなかった。
ための原料として用いられる窒化アルミニウム粉末はそ
の製造方法に、依拠して、種々の不純物を不可避的に含
有し１、且つ粒子径や粒子径分布が十分なものではなか
ったため、高純度でち密な焼結体を与えることカ難しく
、熱伝導性など窒化アルミニウム本米の優れた特性を十
分発揮するものとはならなかった。
本発明者等は窒化アルミニウム粉末について鋭意研究し
た結果、従来にない高純度な均一微粉末で且つ焼結性に
優れた窒化アルミニウム粉末を見出し既に提案した。該
新規な窒化アルミニウム粉末を原料として焼結した窒化
アルミニウム焼結体は耐食性、電気特性。
た結果、従来にない高純度な均一微粉末で且つ焼結性に
優れた窒化アルミニウム粉末を見出し既に提案した。該
新規な窒化アルミニウム粉末を原料として焼結した窒化
アルミニウム焼結体は耐食性、電気特性。
熱伝導性などの物性において従来の窒化アルミニウム焼
結体をはるかに超えるものであり、また製造条件によっ
ては従来全く知られていなかった高い透光性を有する焼
結体と、なることも見出し既に提案した。更に研究を続
けた結果、窒化アルミニウム粉末の焼結助剤の種類及び
焼結原料の混合手段の組合せによって窒化アルミニウム
焼結体の性状が大きく影響されることを見出し本発明を
完成させた。
結体をはるかに超えるものであり、また製造条件によっ
ては従来全く知られていなかった高い透光性を有する焼
結体と、なることも見出し既に提案した。更に研究を続
けた結果、窒化アルミニウム粉末の焼結助剤の種類及び
焼結原料の混合手段の組合せによって窒化アルミニウム
焼結体の性状が大きく影響されることを見出し本発明を
完成させた。
即ち本発明の目的は窒化アルミニウム粉末と焼結助剤と
より主として成る組成物を液体分散媒体中で混合し、該
混合物を焼結して窒化アルｚニウム焼結体を製造するに
際し、該焼結助剤として周期律表…ａ族金属の硝酸塩を
用層る事を特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方
法である。
より主として成る組成物を液体分散媒体中で混合し、該
混合物を焼結して窒化アルｚニウム焼結体を製造するに
際し、該焼結助剤として周期律表…ａ族金属の硝酸塩を
用層る事を特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方
法である。
本発明で使用する窒化アルミニウム粉末は特に限定され
ず用いうるが、特に有効な窒化アルミニウム粉末は平均
粒子径２μｍ以下で３μｍ以下の粒子を７０容量％以上
の割合で含有し、酸素含有量が３重量％以下且つ陽イオ
ン不純物含有量が０．５重量％以下含まれている粉末が
好適に使用される。ここで言う平均粒子径とは粉末の走
査型電子顕微鏡の写真などから計算される一次粒子の粒
子径の平均値ではなく、沈降式の粒度分布測定器によっ
て実測されるような二次凝集粒子の大きさの平均値を言
う。−炭粒子が−〈ら細かくても、それが凝集し特に２
μｍ以上になると、焼結の際ち密化が十分進まず、その
結果として熱伝導性の高いものが得られない場合がある
。
ず用いうるが、特に有効な窒化アルミニウム粉末は平均
粒子径２μｍ以下で３μｍ以下の粒子を７０容量％以上
の割合で含有し、酸素含有量が３重量％以下且つ陽イオ
ン不純物含有量が０．５重量％以下含まれている粉末が
好適に使用される。ここで言う平均粒子径とは粉末の走
査型電子顕微鏡の写真などから計算される一次粒子の粒
子径の平均値ではなく、沈降式の粒度分布測定器によっ
て実測されるような二次凝集粒子の大きさの平均値を言
う。−炭粒子が−〈ら細かくても、それが凝集し特に２
μｍ以上になると、焼結の際ち密化が十分進まず、その
結果として熱伝導性の高いものが得られない場合がある
。
また酸素含有量が３重量％以上、陽イオン不純物量が０
．５重量％以上含まれる窒化アルミニウム粉末を原料と
して用いると焼結体の粒界にこれらの不純物が第２相を
形成し熱伝導率を著るしく低下させる場合がある。本発
明の実施に好適に使用される前記窒化アルＳニウム粉末
の製造法の代表的なものを例示すれば次の通りである。
．５重量％以上含まれる窒化アルミニウム粉末を原料と
して用いると焼結体の粒界にこれらの不純物が第２相を
形成し熱伝導率を著るしく低下させる場合がある。本発
明の実施に好適に使用される前記窒化アルＳニウム粉末
の製造法の代表的なものを例示すれば次の通りである。
（１） 純度９９．０重量％好ましくは９９．５重量％
以上で平均粒子径が２μｍ以下で３μｍ以下の粒子を７
０容量％以上の割合で含有するアルミナ微粉末と、灰分
含量が最大０２重量％で平均粒子径が１μｍ以下のカー
ボン微粉末とを液体分散媒体中で緊密に混合し、その際
該アルミナ微粉末対賠カーボン微粉末の重量比は１ ：
０．３６〜１：１であり、 （２）得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はア
ンモニアの雰囲気下で１４００〜１７００℃の温度で焼
成し、 （３）次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６
００〜９００Ｃの温度で加熱して未反応のカーボンを加
熱除去する 工程によって得ることができる。
以上で平均粒子径が２μｍ以下で３μｍ以下の粒子を７
０容量％以上の割合で含有するアルミナ微粉末と、灰分
含量が最大０２重量％で平均粒子径が１μｍ以下のカー
ボン微粉末とを液体分散媒体中で緊密に混合し、その際
該アルミナ微粉末対賠カーボン微粉末の重量比は１ ：
０．３６〜１：１であり、 （２）得られた緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はア
ンモニアの雰囲気下で１４００〜１７００℃の温度で焼
成し、 （３）次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６
００〜９００Ｃの温度で加熱して未反応のカーボンを加
熱除去する 工程によって得ることができる。
本発明で用いる焼結助剤は周期律表１ａ族金属例えばカ
ルシウム、バリウム、ストロンチウムなどの硝酸塩であ
る。該硝酸塩の添加量は窒化アルミニウム粉末忙対し、
硝酸塩を酸化物に換算し化０１〜５重ｉ％の範囲に選ぶ
のが望ましい。０．０１重量％以下では焼結性、焼結体
の透光性、熱伝導率などの向上に効果的ではない。又５
重量％以上では熱伝導率はかえって低下するので好まし
くないつ本発明で用いる焼結助剤が周期律表■ａ族金属
の硝酸塩である場合は、その炭酸塩や酸化物に比べ窒化
アルミニウム焼結体の性状例えば熱伝導率に特にすぐれ
た効果を発揮する。
ルシウム、バリウム、ストロンチウムなどの硝酸塩であ
る。該硝酸塩の添加量は窒化アルミニウム粉末忙対し、
硝酸塩を酸化物に換算し化０１〜５重ｉ％の範囲に選ぶ
のが望ましい。０．０１重量％以下では焼結性、焼結体
の透光性、熱伝導率などの向上に効果的ではない。又５
重量％以上では熱伝導率はかえって低下するので好まし
くないつ本発明で用いる焼結助剤が周期律表■ａ族金属
の硝酸塩である場合は、その炭酸塩や酸化物に比べ窒化
アルミニウム焼結体の性状例えば熱伝導率に特にすぐれ
た効果を発揮する。
しかしこのような効果が該硝酸塩のどのような作用で発
揮されるのか明らかではない。本発明者等は後述するよ
うに焼結に先きだち、原料を液体分散媒体中で混合する
とき、該焼結助剤の分散性の差異に基づく効果の違いと
なって現われるのではないかと想定している、また周期
律表■ａ族金属の硝酸塩は、焼結後の焼結体中には添加
量の１／１ｏ程度しか残存しておらず、結局焼結体中に
物性に悪影響を及ぼす第２相を作りにぐい性質があるも
のと考えている。
揮されるのか明らかではない。本発明者等は後述するよ
うに焼結に先きだち、原料を液体分散媒体中で混合する
とき、該焼結助剤の分散性の差異に基づく効果の違いと
なって現われるのではないかと想定している、また周期
律表■ａ族金属の硝酸塩は、焼結後の焼結体中には添加
量の１／１ｏ程度しか残存しておらず、結局焼結体中に
物性に悪影響を及ぼす第２相を作りにぐい性質があるも
のと考えている。
本発明に於ける窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混
合は液体分散媒体中で実施される。該液体分散媒体は水
、アルコール、炭化水素、またはこれらの混合物など公
知の不活性の液体が使用出来る。特に工業的に最も好適
に採用されるのはメタノール、エタノール。
合は液体分散媒体中で実施される。該液体分散媒体は水
、アルコール、炭化水素、またはこれらの混合物など公
知の不活性の液体が使用出来る。特に工業的に最も好適
に採用されるのはメタノール、エタノール。
ブタノールなどの炭素厚子数４以下の低級アルコール類
である。
である。
また前記原料の混合に使用する湿式混合装置としては特
に限定されず公知のものが使用されるが材質に基因する
不純物成分を生じないものをｉぶのが好ましい。例えば
材質としては窒化アルミニウム自身あるいはポリエチレ
ン、ポリウレタン、ナイロンなどのプラスチック材料成
層はこれらで被覆された材質などを選定すればよい。
に限定されず公知のものが使用されるが材質に基因する
不純物成分を生じないものをｉぶのが好ましい。例えば
材質としては窒化アルミニウム自身あるいはポリエチレ
ン、ポリウレタン、ナイロンなどのプラスチック材料成
層はこれらで被覆された材質などを選定すればよい。
該液体分散媒体中で均一に混合した混合物は適宜乾燥後
、ホットプレスあるいは常圧下に焼結して窒化アルミニ
ウム焼結体とする。
、ホットプレスあるいは常圧下に焼結して窒化アルミニ
ウム焼結体とする。
ホットプレスの場合は該混合物を黒鉛などのモールドに
充填し通常５０〜３００Ｋｙ／−の圧力を加えながら窒
素気流中１６ｏｏ〜２１００℃に加熱し焼結体を製造す
る。上記常圧焼結の場合には該混合物をそのままか、あ
るいはパラフィンやポリビニルブチラールなどの公知の
バインダーを添加して所望の形状にラバープレスなどの
方法で成形した後焼成するのが一般的である。あるいは
該混合物に結合剤。
充填し通常５０〜３００Ｋｙ／−の圧力を加えながら窒
素気流中１６ｏｏ〜２１００℃に加熱し焼結体を製造す
る。上記常圧焼結の場合には該混合物をそのままか、あ
るいはパラフィンやポリビニルブチラールなどの公知の
バインダーを添加して所望の形状にラバープレスなどの
方法で成形した後焼成するのが一般的である。あるいは
該混合物に結合剤。
可塑剤、解膠剤及び有機溶媒を加えて泥漿とし、これを
ドクターブレード成形機を用いてシート状成形物とした
後焼成する方法も好適に採用し得る。該常圧焼結の条件
としては一般忙窒素雰囲気下１６０ｏ〜２０００Ｃの温
度で焼成するとよい。
ドクターブレード成形機を用いてシート状成形物とした
後焼成する方法も好適に採用し得る。該常圧焼結の条件
としては一般忙窒素雰囲気下１６０ｏ〜２０００Ｃの温
度で焼成するとよい。
本発明の方法で得られる窒化アルミニウム焼結体は耐熱
性、耐食性に優れ且つ低誘電損失、高熱伝導率など窒化
アルミニウムが本来有する優れた特性を発揮するセラミ
ックスであり、各種基板材料、放熱材料、絶縁材料とし
て工業的価値が極めて高いものである。
性、耐食性に優れ且つ低誘電損失、高熱伝導率など窒化
アルミニウムが本来有する優れた特性を発揮するセラミ
ックスであり、各種基板材料、放熱材料、絶縁材料とし
て工業的価値が極めて高いものである。
以下実施例によって本発明をより詳細に説明するが本発
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
実施例 １
純度９９．９９％（不純物分析値を表１に示す）で平均
粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９５
ｖｏＬ％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０８
ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラック
５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコーティ
ングしたボールを吊込エタノールを分散媒体として均一
にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高純
度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを５１ ／ ｍ
ｉｎで連続的圧供給しながら１６００１：、の温度で６
時間加熱した。
粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９５
ｖｏＬ％のアルミナ１００重量部と、灰分０．０８
ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラック
５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコーティ
ングしたボールを吊込エタノールを分散媒体として均一
にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、高純
度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを５１ ／ ｍ
ｉｎで連続的圧供給しながら１６００１：、の温度で６
時間加熱した。
得られた反応混合物を空気中で７５００の温度で４時間
加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。得られた白
色の粉末はＸ線回折分析（Ｘｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔ
ｉｏｎ ａｎａｌｙｓｉｓ ）の結果、単相（ｓｉｎｇ
ｌｅ ｐｈａｓｅ ）のＡ／＝Ｎであり、Ａｔ２０５
の回折ピークは無かった。また該粉末の平均粒子径を粒
度分布測定器（堀場製作所製ＣＡＰＡ −５００）を用
いて測定したところ１．３１μｍであり、６μｍ以下が
９０容量％を占めた。走査型電子顕微鏡にＪ：る観察で
はこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子であった
。また比表面積の測定値ｔ１４．Ｏｍ’／ｆであった。
加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。得られた白
色の粉末はＸ線回折分析（Ｘｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔ
ｉｏｎ ａｎａｌｙｓｉｓ ）の結果、単相（ｓｉｎｇ
ｌｅ ｐｈａｓｅ ）のＡ／＝Ｎであり、Ａｔ２０５
の回折ピークは無かった。また該粉末の平均粒子径を粒
度分布測定器（堀場製作所製ＣＡＰＡ −５００）を用
いて測定したところ１．３１μｍであり、６μｍ以下が
９０容量％を占めた。走査型電子顕微鏡にＪ：る観察で
はこの粉末は平均０．７μｍ程度の均一な粒子であった
。また比表面積の測定値ｔ１４．Ｏｍ’／ｆであった。
この粉末の分析値を表２に示す。
表 Ｉ ＡＬ２０ｓ粉末分析値
Ａｔ２０ｇ含有量 ９９．９９％
元 素 含有量 （ＰＰＭ）
Ｍｇ＜ ５
Ｃｒ ＜１０
Ｓｌ ３０
Ｚｎ ＜ ５
Ｆｅ ２２
Ｃｕ ＜ ５
Ｃａ 、 ＜２Ｏ
Ｎ１ １５
Ｔ１＜５
（
表 ２ ＡｔＮ粉末分析値
ＡｔＮ含有量 ９７．８％
元 素 含有量
Ｍｇ ＜５ （ＰＰＭ）
Ｃｒ２１（＃）
Ｓ１１２５（Ｉ）
ｚｎ ９（’）
Ｆｅ ２ｏ（ｚ）
Ｃｕ （５（１）
Ｍｎ’ ５（’）
Ｎｉ ２７ （＃）
Ｔ１ く５ （１）
ｃｏ ＜５（’）
Ａｔ６４．８ （ｗｔＸ）
Ｎ ３３．４ （＃ ）
０ １．１（＃）
ＣＤ、１１ （１）
このようにして得られた窒化アルミニウム粉末忙硝酸カ
ルシウム、 Ｃａ（ＮＯｘ）２−４ Ｎ２０をＣａＯ換
算で３．０重量％となるよう添加し、エタノールを分散
媒として均−忙混合した。
ルシウム、 Ｃａ（ＮＯｘ）２−４ Ｎ２０をＣａＯ換
算で３．０重量％となるよう添加し、エタノールを分散
媒として均−忙混合した。
混合後攪拌しなから徐々忙エタノールを飛ばして乾燥し
た。この混合粉末０．６ｔを内径１３−の金型で一軸プ
レスし、次いで２０００Ｋｆ／−の圧でラバープレスし
て円板状の成形体とした。この成形体を内壁なりＮ（窒
化ホウ素）コーティングした黒鉛製るつほに入れ、１気
圧の窒素中で１８０００．！ｉ時間焼成した。焼成後の
焼結体は直径約１０ｍの黄味を帯びた透光感のある焼結
体で密度は５．２４ ｆ／ｃＪｉであった。この焼結体
を厚み２■に研摩したものについて理学電機製レーザー
法熱定数測定装置ＰＳ−７を用−て非接触法で熱伝導率
を測定し７たところ１０７Ｗ／ｍＫであった。またこの
焼結体中のカルシウム含有量を測定するため、焼結体を
白金るつぼ中でＮａ ０Ｈ７ｔとともに６５０℃で５時
間加熱溶解し、溶解後ＨＣｔで中和した。焼結体は完全
に酸溶解しないので溶解前後の重量差（９６ｗｑ）を溶
解量として計算に用いた。この液を１０゜−にメスアッ
プした後溶液中のカルシウム含有量を誘導結合プラズマ
（ＩＣＰ）発光分析装置（第二精工金製Ｉ ＣＰ−ｈｗ
ｓ ）を用いて定量したところ、焼結体中のカルシウム
含有量はＣａＯとして０．１６重重電であった。
た。この混合粉末０．６ｔを内径１３−の金型で一軸プ
レスし、次いで２０００Ｋｆ／−の圧でラバープレスし
て円板状の成形体とした。この成形体を内壁なりＮ（窒
化ホウ素）コーティングした黒鉛製るつほに入れ、１気
圧の窒素中で１８０００．！ｉ時間焼成した。焼成後の
焼結体は直径約１０ｍの黄味を帯びた透光感のある焼結
体で密度は５．２４ ｆ／ｃＪｉであった。この焼結体
を厚み２■に研摩したものについて理学電機製レーザー
法熱定数測定装置ＰＳ−７を用−て非接触法で熱伝導率
を測定し７たところ１０７Ｗ／ｍＫであった。またこの
焼結体中のカルシウム含有量を測定するため、焼結体を
白金るつぼ中でＮａ ０Ｈ７ｔとともに６５０℃で５時
間加熱溶解し、溶解後ＨＣｔで中和した。焼結体は完全
に酸溶解しないので溶解前後の重量差（９６ｗｑ）を溶
解量として計算に用いた。この液を１０゜−にメスアッ
プした後溶液中のカルシウム含有量を誘導結合プラズマ
（ＩＣＰ）発光分析装置（第二精工金製Ｉ ＣＰ−ｈｗ
ｓ ）を用いて定量したところ、焼結体中のカルシウム
含有量はＣａＯとして０．１６重重電であった。
なお他の陽イオンの含有貴社表２の原料粉体の分析値と
ほぼ一致した。
ほぼ一致した。
比較例として、窒化アルミニウムにＣａＯを３．０重量
％加えたもの、ＣａＣＯ３をＣａＯＫ換算して３．０重
量％加えたものにっ込て前記実施例と全く同じ手順で焼
結体を作成し、熱伝導率および焼結体中のＣａ含有量の
測定を行った。結果を前記実施例とともに族３４Ｃ示す
。
％加えたもの、ＣａＣＯ３をＣａＯＫ換算して３．０重
量％加えたものにっ込て前記実施例と全く同じ手順で焼
結体を作成し、熱伝導率および焼結体中のＣａ含有量の
測定を行った。結果を前記実施例とともに族３４Ｃ示す
。
表 ６ 窒化アルミニウム焼結体の物性表実施例 ２
実施例１で用いたものと同じ窒化アルミニウム粉末にＣ
ａ（ＮＯ３）２・４Ｈ２０をＣａＯに換算して１．０重
量％添加し、メタノールを分散媒として実施例１と同様
にして混合、乾燥した。
ａ（ＮＯ３）２・４Ｈ２０をＣａＯに換算して１．０重
量％添加し、メタノールを分散媒として実施例１と同様
にして混合、乾燥した。
この混合粉末０．６１をＢＮを塗布した内径１０餠の黒
鉛モールド°に充填し、２００＆ｙ／ｃ＋＋１゜１８０
０’Ｃの条件で窒素中で２時間ホットプレスした。得ら
れた密度３．２５ｆ／−の焼結体の熱伝導率は１１０
Ｗ／ｍＫであり、焼結体のカルシウム含有量はＣａＯＫ
換算して０．０１２重量％であった。また全く同条件で
作成した幾つかのホットプレス焼結体について電気特性
を測定したところ、体積固有抵抗は２Ｘ１０”Ω・ｃｍ
ｅ Ｉ ＭＨｚの周波数における比誘電率は９０、誘
電損失は０，１５％であった。
鉛モールド°に充填し、２００＆ｙ／ｃ＋＋１゜１８０
０’Ｃの条件で窒素中で２時間ホットプレスした。得ら
れた密度３．２５ｆ／−の焼結体の熱伝導率は１１０
Ｗ／ｍＫであり、焼結体のカルシウム含有量はＣａＯＫ
換算して０．０１２重量％であった。また全く同条件で
作成した幾つかのホットプレス焼結体について電気特性
を測定したところ、体積固有抵抗は２Ｘ１０”Ω・ｃｍ
ｅ Ｉ ＭＨｚの周波数における比誘電率は９０、誘
電損失は０，１５％であった。
実施例 ３
実施例１で用すたものと同じ窒化アルミニウム粉末にＢ
ａ （Ｎｏ ｓ ）２をＢａＯに換算して０．５重量％
添加してエタノールを分散媒どして実施例１と同様の方
法で混合、乾燥した。この粉末を実施例１と同様の方法
で成形、焼結して密度３．２３ ｆ ／ｅ＋Ｊの焼結体
を得た。この焼結体の熱伝導率を測定したところ１０２
Ｗ／ｍＫであった。また比較として窒化アルミニウム粉
末にＢａＣ／４をＢａＯ換算で０，５重量％添加し、前
記と全く同じ手順によって常圧焼結した焼結体は密度が
５．２２ｆ／−で熱伝導率は７９ｗ／ｍｘ Ｔあ°た・
特許出願人 徳山曹達株式会社
ａ （Ｎｏ ｓ ）２をＢａＯに換算して０．５重量％
添加してエタノールを分散媒どして実施例１と同様の方
法で混合、乾燥した。この粉末を実施例１と同様の方法
で成形、焼結して密度３．２３ ｆ ／ｅ＋Ｊの焼結体
を得た。この焼結体の熱伝導率を測定したところ１０２
Ｗ／ｍＫであった。また比較として窒化アルミニウム粉
末にＢａＣ／４をＢａＯ換算で０，５重量％添加し、前
記と全く同じ手順によって常圧焼結した焼結体は密度が
５．２２ｆ／−で熱伝導率は７９ｗ／ｍｘ Ｔあ°た・
特許出願人 徳山曹達株式会社
Claims (4)
- （１） 窒化アルミニウム粉末と焼結助剤とより主とし
て成る組成物を液体分散媒体中で混合し、該混合物を焼
結して窒化アルミニウム焼結体を製造する忙際し、該焼
結助剤として周期律表１ａ族金属の硝酸塩を用いる事を
特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （２）窒化アルミニウム粉末が平均粒子径２μｍ以下で
３μｍ以下の粒子を７０容量％以上の割合で含有し、酸
素含有量が６．０重量％以下、且つ陽イオン不純物含有
量が０．５重量％以下の粉末である特許請求の範囲第（
１）項記載の窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （３）窒化アルミニウム粉末に対し混合する周期律表１
ａ族金属の硝酸塩が酸化物に換算して０．０５〜５重量
％の範囲である特許請求の範囲第←）項記載の窒化アル
ミニウム焼結体の製造方法。 - （４）液体分散媒体が炭素数４以下の脂肪族アルコール
である特許請求の範囲第（１）項記載の窒化アルミニウ
ム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032548A JPS60180964A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59032548A JPS60180964A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60180964A true JPS60180964A (ja) | 1985-09-14 |
| JPH0512299B2 JPH0512299B2 (ja) | 1993-02-17 |
Family
ID=12361983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59032548A Granted JPS60180964A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60180964A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6461361A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Sumitomo Electric Industries | Aluminum nitride sintered compact having high heat conductivity |
| US6017485A (en) * | 1996-03-28 | 2000-01-25 | Carborundum Corporation | Process for making a low electrical resistivity, high purity aluminum nitride electrostatic chuck |
| CN108863366A (zh) * | 2018-07-11 | 2018-11-23 | 无锡市惠诚石墨烯技术应用有限公司 | 一种基于石墨烯制备高导热氮化铝粉末的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023411A (ja) * | 1973-06-30 | 1975-03-13 | ||
| JPS5734232A (en) * | 1980-08-07 | 1982-02-24 | Toshiba Corp | Information processor |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59032548A patent/JPS60180964A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5023411A (ja) * | 1973-06-30 | 1975-03-13 | ||
| JPS5734232A (en) * | 1980-08-07 | 1982-02-24 | Toshiba Corp | Information processor |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6461361A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Sumitomo Electric Industries | Aluminum nitride sintered compact having high heat conductivity |
| US6017485A (en) * | 1996-03-28 | 2000-01-25 | Carborundum Corporation | Process for making a low electrical resistivity, high purity aluminum nitride electrostatic chuck |
| CN108863366A (zh) * | 2018-07-11 | 2018-11-23 | 无锡市惠诚石墨烯技术应用有限公司 | 一种基于石墨烯制备高导热氮化铝粉末的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512299B2 (ja) | 1993-02-17 |
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