JPS60181852U - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
- Publication number
- JPS60181852U JPS60181852U JP7093284U JP7093284U JPS60181852U JP S60181852 U JPS60181852 U JP S60181852U JP 7093284 U JP7093284 U JP 7093284U JP 7093284 U JP7093284 U JP 7093284U JP S60181852 U JPS60181852 U JP S60181852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- ion beam
- ion implantation
- ion
- implanted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のイオン注入装置の構成図、第２図はこの
考案の一実施例であるイオン注入装置の構成図、第３図
はその要部拡大断面図である。 １・・・チャンバ、２・・・イオンビーム、３・・・マ
スク、４・・・基材、８・・・サプレッサー電極、１１
・・・コーテイング膜。
考案の一実施例であるイオン注入装置の構成図、第３図
はその要部拡大断面図である。 １・・・チャンバ、２・・・イオンビーム、３・・・マ
スク、４・・・基材、８・・・サプレッサー電極、１１
・・・コーテイング膜。
Claims (2)
- （１）真空チャンバ内の基材に向けてイオンビームを注
入するようにしたイオン注入装置において、イオンビー
ムの進行経路途中に配設された部品の少なくとも表層部
を、基材と同一組成の物質で構成したことを特徴とする
イオン注入装置。 - （２）前記部品は、基材へ到達するイオンビームの範囲
を制限するマスクと、基材へのイオンビームの注入によ
りその基材から放出される二次電子を制御するサプレッ
サー電極を含む実用新案登録請求の範囲第１項記載のイ
オン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7093284U JPS60181852U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7093284U JPS60181852U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | イオン注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60181852U true JPS60181852U (ja) | 1985-12-03 |
Family
ID=30607966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7093284U Pending JPS60181852U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60181852U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016085799A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線像撮像用ユニット及びｘ線顕微鏡 |
-
1984
- 1984-05-15 JP JP7093284U patent/JPS60181852U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016085799A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線像撮像用ユニット及びｘ線顕微鏡 |
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