JPS60143770U - 電子衝撃型蒸着装置 - Google Patents

電子衝撃型蒸着装置

Info

Publication number
JPS60143770U
JPS60143770U JP3241184U JP3241184U JPS60143770U JP S60143770 U JPS60143770 U JP S60143770U JP 3241184 U JP3241184 U JP 3241184U JP 3241184 U JP3241184 U JP 3241184U JP S60143770 U JPS60143770 U JP S60143770U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron impact
evaporation equipment
vapor deposition
vapor
impact evaporation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3241184U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0238925Y2 (ja
Inventor
俊敬 鳥飼
尾鍋　研太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP3241184U priority Critical patent/JPS60143770U/ja
Publication of JPS60143770U publication Critical patent/JPS60143770U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0238925Y2 publication Critical patent/JPH0238925Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
示１図は従来装置、第２図は本考案の装置の概略図であ
る。 図において１は蒸着源カバー、１′は小孔、２はフィラ
メント、３ａ、３ｂはフィラメントの固定電極、４は蒸
着金属、５はしやへい板、６は固定治具、７はフィラメ
ント加熱電源、８は高圧電　−源、９は被ふく絶縁物質
である。第３図は蒸着時間に対する蒸着膜厚の一例で３
１は従来の場合、３２は本考案の場合を示している。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 容器内に蒸着源と試料保持手段とを少なくとも備え、−
    前記蒸着源が、蒸着金属を保持した陽極と、熱電子放出
    用の）イラメントとを少なくとも備えている電子衝撃型
    蒸着装置において、前記蒸着金属の先端領域を除いた部
    分を絶縁物質で被覆しであることを特徴とする電子衝撃
    型蒸着装置。
JP3241184U 1984-03-07 1984-03-07 電子衝撃型蒸着装置 Granted JPS60143770U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3241184U JPS60143770U (ja) 1984-03-07 1984-03-07 電子衝撃型蒸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3241184U JPS60143770U (ja) 1984-03-07 1984-03-07 電子衝撃型蒸着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60143770U true JPS60143770U (ja) 1985-09-24
JPH0238925Y2 JPH0238925Y2 (ja) 1990-10-19

Family

ID=30533899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3241184U Granted JPS60143770U (ja) 1984-03-07 1984-03-07 電子衝撃型蒸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60143770U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0238925Y2 (ja) 1990-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60143770U (ja) 電子衝撃型蒸着装置
JPS5974659U (ja) イオン注入装置のイオン発生装置
JPS6013740U (ja) 試料保持装置
JPS5810354U (ja) 電界放射型陰極
JPS59103756U (ja) 高周波プラズマ励起用電極
JPS58182140U (ja) 蒸着装置
JPS5871958U (ja) マグネトロン
JPS60194863U (ja) 電子銃
JPS6345734Y2 (ja)
JPS6076864U (ja) Ｘ線管装置
JPS60185656U (ja) 高周波スパツタ装置
JPS58120556U (ja) 質量分析装置のイオン源
JPS6123254U (ja) 回転陽極ｘ線管
JPS6124469U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS5849864U (ja) 電子銃
JPS60113367U (ja) 蒸着用坩堝
JPS6113456U (ja) 線形カソ−ド形電子線照射装置
JPS5933654U (ja) 電子管用電子銃
JPS5916063U (ja) Ｘ線管の陰極構造
JPH0163062U (ja)
JPS62157968U (ja)
JPS6129458U (ja) 電子ビ−ム管
JPS60849U (ja) 螢光表示管
JPS5881854U (ja) Ｘ線管
JPS59117055U (ja) 質量分析装置