JPS60182814A - 圧電振動子とその封止方法 - Google Patents
圧電振動子とその封止方法Info
- Publication number
- JPS60182814A JPS60182814A JP3932184A JP3932184A JPS60182814A JP S60182814 A JPS60182814 A JP S60182814A JP 3932184 A JP3932184 A JP 3932184A JP 3932184 A JP3932184 A JP 3932184A JP S60182814 A JPS60182814 A JP S60182814A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- piezoelectric vibrator
- conductive agent
- agent
- induction heating
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［本発明の技術分野１
本発明は圧電振動子の気密封止時において、封着部剤に
高周波誘導加熱で発熱する導電剤により気密封止した圧
電振動子とその打止方法に関する。
高周波誘導加熱で発熱する導電剤により気密封止した圧
電振動子とその打止方法に関する。
［従来技術の説明］
従来よりチップ型圧電振動子の封止方法については既に
いろいろと発表されている。そしてその多くが気密封止
に低融点ガラスを用いている。これはチップ型圧電振動
子を基板に実装する場合のハンダなどの加熱による熱に
より気密封止部分が剥離またはリークしないようにハン
ダよりも高温で封止する必要からである。しかし、低融
点ガラスの溶解点は４００℃程度であり、加熱温度は４
３０℃程度となり、封止時の加熱時間もかかり、内部の
圧電振動板や圧電振動板を固着する接着剤などに悪影響
を与えており、高温で封止出来、かつ短時間に封止作業
ができ、内部の圧電振動板に影響しない封止方法がめら
れていた。
いろいろと発表されている。そしてその多くが気密封止
に低融点ガラスを用いている。これはチップ型圧電振動
子を基板に実装する場合のハンダなどの加熱による熱に
より気密封止部分が剥離またはリークしないようにハン
ダよりも高温で封止する必要からである。しかし、低融
点ガラスの溶解点は４００℃程度であり、加熱温度は４
３０℃程度となり、封止時の加熱時間もかかり、内部の
圧電振動板や圧電振動板を固着する接着剤などに悪影響
を与えており、高温で封止出来、かつ短時間に封止作業
ができ、内部の圧電振動板に影響しない封止方法がめら
れていた。
［本発明の目的・構成１
本発明の目的は、前述した欠点を除去し、加熱時間が短
く、かつ加熱部分が封着部分にできるだけ限定し、内部
の圧電振動子の特性の劣化を防止出来る圧電振動子を提
供することにあり、その目的を達成するため、高周波誘
導加熱によって気密封止される圧電振動子において、容
器の側面の接線と直角を成す断面において封着部側に高
周波誘導加熱により発熱する導電剤の密集部分を備えて
いることを主構成としている。
く、かつ加熱部分が封着部分にできるだけ限定し、内部
の圧電振動子の特性の劣化を防止出来る圧電振動子を提
供することにあり、その目的を達成するため、高周波誘
導加熱によって気密封止される圧電振動子において、容
器の側面の接線と直角を成す断面において封着部側に高
周波誘導加熱により発熱する導電剤の密集部分を備えて
いることを主構成としている。
［実施例の説明］
第１図（ａ＞は本発明の圧電振動子１の斜視図である。
第１図（ｂ）は本発明の圧電振動子ｌの断面図であり、
セラミックやガラス等の絶縁材料にリート端子２を貫通
しており、リート端子２はガラス等で気密構造と成って
いるベース３を形成している。またリード端子２上に励
振電極（本図では略している）を施した圧電振動板５を
導電性接着剤等６で電気的兼機械的に固着している。そ
してベース３と蓋４きて容器１０を形成する。そしてこ
の容器１０を気密構造とするが、固着の際に使用される
封着部側７である低融点ガラスに鉄、コバー等の高周波
誘導加熱により発熱する導電剤７を用いる。まず容器１
０の封止部分に合わせて封着部側７である低融点ガラス
を金型に入れ圧縮し、所定の形状にした、いわゆるタブ
レットにする。
セラミックやガラス等の絶縁材料にリート端子２を貫通
しており、リート端子２はガラス等で気密構造と成って
いるベース３を形成している。またリード端子２上に励
振電極（本図では略している）を施した圧電振動板５を
導電性接着剤等６で電気的兼機械的に固着している。そ
してベース３と蓋４きて容器１０を形成する。そしてこ
の容器１０を気密構造とするが、固着の際に使用される
封着部側７である低融点ガラスに鉄、コバー等の高周波
誘導加熱により発熱する導電剤７を用いる。まず容器１
０の封止部分に合わせて封着部側７である低融点ガラス
を金型に入れ圧縮し、所定の形状にした、いわゆるタブ
レットにする。
そして２枚の封着部側７の間に粉体状で固形化した導電
剤８か、または液状にして２枚の封着部剤７０間に塗布
する。このような状態を第３図（ａ）に示す。また、封
着部側７をタブレットにし、このタブレットの一部に凹
部を設けその凹部に導電剤８の粉体を詰めるか液体状に
して流す。このような状態を第３図（ｂ）に示す。さら
に、封着部側７のタブレット上の表面に装着して導電剤
８を塗布または載置する。このような状態を第３図（ｃ
）に示す。そして蓋４を載置して第２図に示すように封
着部側７の近傍に高周波誘導加熱に用いるコイル９を近
すけ高周波電流をこのコイル９に流し加熱する。高周波
電流をコイルに流すことにより封着部側である低融点ガ
ラスに含有した導電剤が発熱し、低融点ガラスが溶解し
封止される。この結果台まではベース全体に加熱される
熱が伝わったのが、本発明では封止部分のみ高周波誘導
加熱で加熱されるため、封止時の他の部分の加熱温度が
低温ですみ、圧電振動子の特性に悪影響がない。
剤８か、または液状にして２枚の封着部剤７０間に塗布
する。このような状態を第３図（ａ）に示す。また、封
着部側７をタブレットにし、このタブレットの一部に凹
部を設けその凹部に導電剤８の粉体を詰めるか液体状に
して流す。このような状態を第３図（ｂ）に示す。さら
に、封着部側７のタブレット上の表面に装着して導電剤
８を塗布または載置する。このような状態を第３図（ｃ
）に示す。そして蓋４を載置して第２図に示すように封
着部側７の近傍に高周波誘導加熱に用いるコイル９を近
すけ高周波電流をこのコイル９に流し加熱する。高周波
電流をコイルに流すことにより封着部側である低融点ガ
ラスに含有した導電剤が発熱し、低融点ガラスが溶解し
封止される。この結果台まではベース全体に加熱される
熱が伝わったのが、本発明では封止部分のみ高周波誘導
加熱で加熱されるため、封止時の他の部分の加熱温度が
低温ですみ、圧電振動子の特性に悪影響がない。
高周波誘導加熱で加熱する対象物は、鉄等の導電剤であ
る必要があり、また加熱される物の形状が輪状になって
いることが好ましい。本願ではこの条件に合わせて発明
されており、封着部側の断面、これは容器の側面の接線
に直角に交差する面、すなわち封着部側のいずれにおけ
る断面においても封着部側に導電剤の密集した部分が必
ずある状態にしである。これは、前述した導電剤が電気
的に輪状にするために必要な条件である。
る必要があり、また加熱される物の形状が輪状になって
いることが好ましい。本願ではこの条件に合わせて発明
されており、封着部側の断面、これは容器の側面の接線
に直角に交差する面、すなわち封着部側のいずれにおけ
る断面においても封着部側に導電剤の密集した部分が必
ずある状態にしである。これは、前述した導電剤が電気
的に輪状にするために必要な条件である。
本発明において、低融点ガラスを封着部剤七して例に挙
げたが、他に絶縁性の接着剤等の材料であってもいい。
げたが、他に絶縁性の接着剤等の材料であってもいい。
また、封着部側に混合させる導電剤上して、鉄やコバー
等の金属を例に挙げたが、誘導加熱によって発熱する材
料であれば何でもよい。
等の金属を例に挙げたが、誘導加熱によって発熱する材
料であれば何でもよい。
圧電体としては水晶振動子、圧電セラミ、ンク、タンタ
ル酸リチウム等である。
ル酸リチウム等である。
［本発明の効果１
本発明によって従来圧電振動子全体が加熱され、その結
果圧電振動子の特性に悪影響があった。しかし本発明に
よって、封止の際の加熱温度が封着部材の部分にのみ限
定され、圧電撮動子や他の部分を加熱されることなく封
止出来、その結果リーク不良や圧電振動振動子を固着す
る導電性接着剤の劣化を防止し、導電性接着剤の機械強
度の劣化等がなくなり、安定な圧電振動子が得られるよ
うになった。また、封止の際の加熱時間か短時間で済む
ようになり、作業性がよくなり、工数が軽減出来た。ま
た、高周波誘導加熱が封止部分全体にわたり電気的に輪
状になった導電剤のため確実に、かつ効率的に加熱され
封止が出来る。
果圧電振動子の特性に悪影響があった。しかし本発明に
よって、封止の際の加熱温度が封着部材の部分にのみ限
定され、圧電撮動子や他の部分を加熱されることなく封
止出来、その結果リーク不良や圧電振動振動子を固着す
る導電性接着剤の劣化を防止し、導電性接着剤の機械強
度の劣化等がなくなり、安定な圧電振動子が得られるよ
うになった。また、封止の際の加熱時間か短時間で済む
ようになり、作業性がよくなり、工数が軽減出来た。ま
た、高周波誘導加熱が封止部分全体にわたり電気的に輪
状になった導電剤のため確実に、かつ効率的に加熱され
封止が出来る。
第１図（ａ）は本発明の圧電振動子の斜視図である。第
１図（ｂ）は本発明の圧電振動子の断面図である。第２
図は本発明の封止の際の高周波誘導加熱する状態を示す
断面図、第３図（ａ）は導電剤を封着部側にはさんで封
止部分に載置した状態を示す部分断面図、同図（ｂ）は
封着部側の一部に四部を設は導電剤を入れ封止部に載置
した状態を示す部分断面図、同図（ｃ）は、封着部剤表
面に導電剤を装着した状態を示す部分断面図、第４図は
、本発明の他の実施例の封止部を示す部分断面図である
。 ６・・・・・・・・・封着部側、 ８・・・・・・・・−導電剤、 １０・・・・・・・・容器 （ａ） 第３図 ｃｂ） （Ｃ） 手続補正書動式） ％式％ １、事件の表示 昭和５９年特許願第０３９３２１号２
、発明の名称 圧電撮動子とその封止方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 郵便番号２０１ 電話番号（０３）４８！Ｊ−２３１１
昭和５９年５月２９日（発送日） ５、補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ６、補正の内容 明細書第７頁第５行目から第６行目の「、第４図は、本
発明の他の実施例の封止部を示す部分断面図、を削除す
る。
１図（ｂ）は本発明の圧電振動子の断面図である。第２
図は本発明の封止の際の高周波誘導加熱する状態を示す
断面図、第３図（ａ）は導電剤を封着部側にはさんで封
止部分に載置した状態を示す部分断面図、同図（ｂ）は
封着部側の一部に四部を設は導電剤を入れ封止部に載置
した状態を示す部分断面図、同図（ｃ）は、封着部剤表
面に導電剤を装着した状態を示す部分断面図、第４図は
、本発明の他の実施例の封止部を示す部分断面図である
。 ６・・・・・・・・・封着部側、 ８・・・・・・・・−導電剤、 １０・・・・・・・・容器 （ａ） 第３図 ｃｂ） （Ｃ） 手続補正書動式） ％式％ １、事件の表示 昭和５９年特許願第０３９３２１号２
、発明の名称 圧電撮動子とその封止方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 郵便番号２０１ 電話番号（０３）４８！Ｊ−２３１１
昭和５９年５月２９日（発送日） ５、補正の対象 明細書の図面の簡単な説明の欄 ６、補正の内容 明細書第７頁第５行目から第６行目の「、第４図は、本
発明の他の実施例の封止部を示す部分断面図、を削除す
る。
Claims (4)
- （１）高周波誘導加熱によって気密封止される圧電振動
子において、容器の側面の接線と直角を成す断面におい
て封着部剤に高周波誘導加熱により発熱する導電剤の密
集部分を備えていることを特徴とする圧電振動子。 - （２）封着部剤に導電剤を装着する工程と、容器の封止
部分に該封着部剤を載置する工程と、該封着部剤の近傍
に高周波誘導加熱のためのコイルに高周波電流を流すこ
七により発熱して気密封止されるこ七を特徴とする圧電
振動子の封止方法。 - （３） 該封着部剤に凹部を設け、該凹部に該導電剤を
装着したことを特徴とする特許請求の範囲第２項の圧電
振動子の封止方法。 - （４） 該封着部剤の表面に該導電剤を装着したこ吉を
特徴とする特許請求の範囲第２項の圧電振動子の封止方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3932184A JPS60182814A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧電振動子とその封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3932184A JPS60182814A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧電振動子とその封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60182814A true JPS60182814A (ja) | 1985-09-18 |
Family
ID=12549839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3932184A Pending JPS60182814A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧電振動子とその封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60182814A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2660499A1 (fr) * | 1990-03-27 | 1991-10-04 | Electronique Piezo Elect Cie | Pilote thermostate a resonateur piezoelectrique, peu sensible aux variations climatiques. |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5523607A (en) * | 1978-07-14 | 1980-02-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal oscillator |
| JPS5592015A (en) * | 1978-12-29 | 1980-07-12 | Seiko Epson Corp | Hermetic vessel sealing unit of piezo-vibrator |
| JPS57136899A (en) * | 1981-02-18 | 1982-08-24 | Kinseki Kk | Airtight package for piezoelectric oscillator and its manufacture |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP3932184A patent/JPS60182814A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5523607A (en) * | 1978-07-14 | 1980-02-20 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal oscillator |
| JPS5592015A (en) * | 1978-12-29 | 1980-07-12 | Seiko Epson Corp | Hermetic vessel sealing unit of piezo-vibrator |
| JPS57136899A (en) * | 1981-02-18 | 1982-08-24 | Kinseki Kk | Airtight package for piezoelectric oscillator and its manufacture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2660499A1 (fr) * | 1990-03-27 | 1991-10-04 | Electronique Piezo Elect Cie | Pilote thermostate a resonateur piezoelectrique, peu sensible aux variations climatiques. |
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