JPS60183752U

JPS60183752U - 基板搬送装置

Info

Publication number: JPS60183752U
Application number: JP7106184U
Authority: JP
Inventors: 谷口　松良; 研一中村
Original assignee: 大日本スクリ−ン製造株式会社
Priority date: 1984-05-17
Filing date: 1984-05-17
Publication date: 1985-12-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の第１の実施例における一基板挾持手
段の斜視図、第２図は、同じく全体の側面図、第３図は
、同じく要部の縦断拡大側面図、第４図は、カムレール
の第２の実施例を示す、第３図と同様の縦断側面図、第
５図は、カムレールの第３の実施例を示す、第３図と同
様の縦断側面図である。１・・・横杆、２・・・挟持杆、２ａ・・・切欠き、３
゜３′・・・ブロック、３１ｔ３３’・・・止めねじ、
４゜４′・・・チェーン、５・・・軸、６，６′・・・
揺動片、６ａ９６”ｇ　６　ｂ、　　６ｂ’＊ａａ腕部
、７・・・カムフォロア、７ａ・・・軸、８，８′・・
・カムレール、９・・・軸杆、９ａ・・・ナツト、１０
・・・圧縮ばね、１１・・・基板、１２・・・駆動スプ
ロケット、１３・・・従動スプロケット、１４・・・ガ
イド、１５・・・基板挾持手段、１６・・・冷却用搬送
装置、１７・・・ストッパ、１８・・・巻きばね、１９
・・・ガイド、２０・・・自動表面処理装置、２１・・
・搬送ロボット、２２・・・アーム、２３・・・エアシ
リンダ、２４・・・楔、２５・・・挾持片、２６・・・
搬送ベルト、２７・・・軸、２８・・・連結杆、２９・
・・エアシリンダ、３０・・・矢印、３１・・・カムレ
ール、３１ａ・・・傾斜案内面、３１ｂ・・・水平面、
３２・・・垂直カム板、３３・・・カム溝。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

（１）少な（とも一対のスプロケットの間に張鰻した無
端チェーン、　　　　　　　　　　、−前記、無端チェ
ーンの走行方向に対して交叉する方向を向き、かつ前記
無端チェーンに止着された横杆、前記横杆又は無端チェーンに枢支され、前記横杆に対し
て開閉可能の挟持杆、前記挟持杆に付設したカムフォロアに係合し　前記横杆
が基板の受は取り位置に達したとき、前記挟持杆を開か
せ、かつ前記横杆が所望位置に達するまで、前記横杆を
閉じさせるカム゛レール、前記横杆又は挟持杆のいずれかに設けられ、かつ前記横
杆と挟持杆との間に進入してきた基板を停止されるスト
ッパを具備することを特徴とする基板搬送装置。
（２）カムレールの１端を揺動自在に設けてなる実用新
案登録請求の範囲第（１）項記載の基板搬送装置。
（３）カムレールが、カムフォロアに嵌合するカム溝を
備える実用新案登録請求の範囲第（１）項又は第（２）
項記載の基板搬送装置。
（４）横杆と挟持杆の間にばねを設け、該ばねにより、
挟持杆を常時開く方向に付勢してなる実用０　新案登録
請求の範囲第（１）項又は第（２）項に記載の基板搬送
装置。
（５）　　挟持杆を、自重により常時開くようにしてな
る実用新案登録請求の範囲第（１）項又は第（２）項に
記載の基板搬送装置。
（６）　　挟持杆又は横杆の基板挾持側面に弾性体を介
して、基板当接部を付勢するようにした実用新案登録請
求の範囲第（１）項乃至第（５）項のいずれかに記載の
基板搬送装置。