JPS60183982A - 圧電モ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電体を用いて駆動力を発生するモータに関す
る。

従来例の構成とその問題点 近年圧電セラミックス等の電気−機械変換子を用いて種
々の超音波振動を励振することにより、回転あるいは走
行運動を得る圧電モータが高いエネルギー密度等を有す
ることから注目されている○以下に図面を参照しながら
これらの超音波振動を利用した従来の圧電モータについ
て説明する。

第１図は日経メカニカル（５８，２，２８）　なとに掲
載された従来の圧電モータの一例であり、９１ＪＩ性リ
ング１の表面に圧電素子リング２を貼合わせて一体化し
ている。前記圧電素子リング２は第２図に示すようにリ
ングを周方向に例えば２２．５°あるいは１１．２５′
−′の分割比により１７個の領域に分割して電極をつけ
分極している。分極の方向は隣り合う領域で逆方向とす
る。その後、圧電菓子表面を導電塗料で覆い電極を斜線
で示すように２つにまとめる。Ｅはアース端子である。

前記弾性リング１の上部にはスライダ３を固着された動
体４が位置している。

以上のように構成された従来の圧電モータについてその
動作を以上に説明する。前記圧電素子２の片側の電（ヴ
ＡにＶ　ｓｉｎωｔ、他方の電極Ｂに■。

ＣＯ３ｏｉ　ｔ　の交流信号をそれぞれ加える。すると
分割した領域か交互に周方向に伸縮し、弾性体リング１
に曲げ撮動が発生する。第３図は動体と弾性体の接触状
況を拡大して描い／ζもので、表面波に伴う粒子の楕円
運動として周知である（たとえば御子柴宣夫著１音波物
性」昭和４８年三省堂社発行を参照）弾性体の表面上の
１つの点（ハ）に着目すると、点四は長軸２Ｗ、短軸２
ｕの楕円状の軌跡を描いている。弾性体が動体と接触す
る頂点で、点四はＸ軸の負の方向に■−２πｆｕの速度
を持つ。

この結果、動体は弾性体との摩擦力で波の進行と逆方向
に速度Ｖで駆動される。このように弾性体の表面に推力
としての楕円軌跡を描かせるには弾性表面波のレイリー
波か、または弾性体の曲げ振動を利用することが考えら
れる。弾性表面波では例えば波長が１ｏＣＩｎ程度と長
くなり、弾性体の曲げ振動を利用すると波長を数ｔｎｍ
にできるので接触点となる頂点を数個に増すことができ
る。弾性表面波のレイリー波による駆動原理を、弾性体
の一部領域の曲げ振動を用いて波を伝播し、弾性体表面
に楕円軌跡を与えることで実現している。この表面波形
圧電モータは、接触点となる波の頂点が常に動体と接触
しているので動体の速度は、頂点速度と等しい。また出
力トルクの大きさは、接触面積と負荷り重と接触部の摩
擦係数によりもとする。またこの圧電モータは、２相・
３相モータと同じ原理で移相のずれた電源（（より、容
易に回転方向を切り換えることができる。

しかしながら、上記のような構成においては、以下のよ
うな欠点が存在する。

（１）　ヤング率の大きい弾性体を繰り返し曲げるため
にエネルギーが消費されて、発熱を誘起することになり
きわめてリニアリティが悪い。

（２）加えて約０．２５μｍ以下という微小振幅から推
力を取り出すために、動体は、ステータにおける発生ス
ピードがそれぞれに異なる振幅の山や谷にも一様に接触
しており、動体速度は積分値にちがい低スピードになっ
ている。このため実用的な回転数及びトルク等を得るた
めには、従来モータの１０〜１００倍程度という大電力
を必要とした。

（３）まだ表面波形の圧電モータ実駆動時の振動振幅は
、最大で縦方向成分が約０．５μｍ、推力となる横方向
成分か約０．２５μｍとなっており、推力に必要な振動
の発生エネルギーに比べて、無効となるエネルギーが約
２倍以上消費され電力効率のきわめて悪い構造となって
いる。

（４）上記従来の表面波形の圧電モータはドライブ電極
が２組に別かれており、Ａ電極の励起した波がＢ電極に
伝播されるか、反対にＢ電極の励起した波がＡ電極に縦
波成分と横波成分を持つ波として伝播されて、弾性体の
表面に楕円軌跡を発生する。このような駆動原理に起因
して、有効駆動面積は常に５０％と低い。

（５）　このため弾性リングは無限自由振動系になり、
不要なリング面内高次モードが同時に励振されて、耳ぎ
わシな可聴域騒音の発生源となって込る。

（６）　まだ表面波デバイスの構成を駆動原理として用
いているので、ステータがエンド゛レス構成にならざる
を得す、−次振幅を励起した上で二次振幅を用いるとい
う、−二次効果利用の消極的なきわめて設削範囲が狭い
構成となっている。

すなわち空間波あるいはバルク波等による円板や矩形板
のもつ直接・強力な推力の使用が不ＤＪ能である。

（７）　また全面積の半分は常に強制励振々動子として
機能するが、他の面積は無限自由振動系として開放され
るので、特に実駆動時レベルの重負荷では顕著にたて方
向歪の分布が不均一となり回転ムラを生じる。

（８）またこの圧電モータは、ステ〜りとロータ間の摩
慄接触によってエネルギ〜の伝達が行なわれており、接
触面に用いる材料特性が（ａ）直接モータ寿命、（１）
）　ｌ−ルク特性、（Ｃ）回転数、あるいは（ｄ）電力
効率等に影響をあたえており、実用的な語出力特性レベ
ルの実駆動時においては、使用用能範囲がいずれも数時
間ないし最大でも約数拾時間を超えることはないなど、
以上に述べたかず多くの問題点を有していた。

発明の目的 本発明の目的は」二記諸種の欠点を解決するために、圧
電セラミック振動子の励起する高効率な空間波あるいは
バルク波に着目し、これを駆動力とすることによってき
わめて能率のよい実用的な圧電モータを提供することに
ある。

発明の構成 本発明による圧電モータは、２つの圧電振動子と音響４
２利とを甘みそれらが厚み方向に重ねられた固定子と、
その固定子に対して厚み方向に重ねられて面接触する摺
動子とを備え前記固定子表面に振動伝達部材を有してい
る。前記両圧電振動子は摺動子移動方向に分割された一
対もしくは複数対の分割領域からなる厚み方向分極を有
し、それらの分極は隣接する領域におりでは互いに方向
が逆である。両圧電振動子は、一方の各分極領域の境界
近傍が他方の各分極領域の中火近傍に位置するよう配置
される。以上のよう／！ｉ：構成の圧電振動子を、互い
に位相のずれだ所定の強制励振周波数の電圧で駆動する
と、両圧電振動子による同定子の合成振動はその最大振
幅位置が時間とともに一定方向に移動するものとなり、
その頂点に接する摺動子はその方向の駆動力を受ける。

実施例の説明 本発明の実施例の詳細ＶＣついて図面を用いて説明する
。固定子は例えば第４図に示すような構造を有する。円
板形状の第１圧電振動子５の表面には例えば４５′）毎
の領域に分割された８個の電極て、第１圧′心振動子５
０表面に印刷、蒸着あるいはメンキなどの方法により形
成されている。裏面：　に具備される電極（図示せず）
は前記表１ｎｊ電極と同様に分割されても、されていな
くとも良い０以上のように構成された第１圧電振動子６
の相隣合う電極毎に、板厚方向に分極方向が互いに異な
るようにして分極を行なう。この結果第４図において示
すように互い違いにグラス極性あるいは冑イナス極性を
有する領域からなる８極、４組の強制励振振動子が構成
される。電極５ａは、分極後は分割されている必要はな
く、一括して電圧を印加できるように接続される。円板
形状の第２圧電振動子６も第１圧電振動子５と同様の構
造であり、圧い違いにプラス極性あるいはマイナス極性
を有する８極、４組の強制励振振動子が構成されている
。

前記第１圧電振動子５あるいは第２圧電振動子６の最小
振幅位置は、各々相隣合う電極どうしの境界位置近傍と
なり、最大振幅位置は各々の電極の中央近傍位置となる
。そして、両圧電振動子５゜６ｒｒＪ、、第１圧電振動
子６の最大振幅位置となる電極中央近傍に、第２圧電振
動子６の最小振幅位置となる相隣合う′電極どうじの境
界が位置するよう重ね合わされている。

以上のように構成された第１圧電振動子５及び第２圧電
振動子６は、圧電振動子と同等ないし１００倍程の厚み
を有する固定子基体了に重ね合わせて取付けられる。こ
の固定子基体７は、アルミニウム、黄銅、鉄、ステンレ
ス、焼入鋼、あるいはナイロン等の合成樹脂材料、セラ
ミック材料、ガラス材料、あるいはそれらを複合化した
複合材料等からなる音響拐料あるいは摩擦材料等を用い
て形成されている。また前記固定子基体７０表面には、
例えば直径の約に６程度となる位置近傍に振動伝達部材
である突起８、中心に軸９が形成されている。

以上のように構成したものを第５図において示す固定子
１０として用いる。第５図に示すように、固定子１０に
よシ定まる強制励振駆動周波数にて発振器１１により発
振された出力信号を分岐し、一方を直接増幅器１２に、
他方を移相器１３を介して増幅器１４に入力する。前記
移相器１３では後述するような正方向回転あるいは逆方
向回転に使用する＋１００ないし＋１７０°の範囲で位
相シフトした信号が整形される。前記発振器１１の出力
信号を直接増幅器１２に入力して増幅した信号をリード
線１５及び１６により第１圧電振動子５に印加する。そ
れにより固定子１０には、第１圧電振動子５の分極方向
が互いに異なるグラス極性あるいはマイナス極性を有す
る領域の一対を１波長として８極、４組の強制励振振動
子に対応する４波長の強制励振波が発生される。第２圧
電振動子６も増幅器１４の出力をリード線１６．１７を
介して印加することにより同様に駆動される。

第６図に第１圧電振動子５及び第２圧電振動子６に電気
信号を印加したときの、たて方向の歪を最大直径に対し
て７０％程度の位置での周方向位置に対する変化として
測定した結果を示す。測定は測定個ノツ１にＨｅ−Ｎｅ
ガスレ〜ザ光を照射し、入射光と反射光との干渉法を用
いて測定した。第６図ａＫはリード線１５及び１６に信
号を印加して第１圧電振動子６を駆動したときの測定結
果を示した０６ｏｖ印加時±０．８Ｂｒｎ程度の振幅を
示した。最小振幅位置は各々相隣合う電極と電極の境界
位置近傍となり、最大振幅位置は各々の電極の中央近傍
位置となっている。同様にして第２圧電振動子６を駆動
した場合に測定したたて方向歪の結果を第６図すに示し
た。ＳＯＶ印加時±０．８μｍ程度の振幅を示した。最
小振幅位置は各々相隣合う電極と電極の境界位置近傍と
なり、最大振幅位置は各々の電極の中央近傍位置となっ
ている。

次に第１圧電振動子６及び第２圧電振動子６を第４図及
び第５図に示した構成により同時に駆動し／こときの測
定結果を第６図Ｃに示した。たて方向の歪の分布におい
て、ａ、ｌ！：ｂとの中間位置に振幅が最大を示す位置
が移動している。またたて方向歪の最大振幅は約１．３
倍程度に大きくなっている。ここで、前述のように第２
圧電振動子６は第１圧電振動子に対して＋１００ないし
±１７０°位相シフトして駆動されるため、合成波Ｃの
最大振幅位置は、時間とともに一定方向に移動する。

固だ子１ｏの上には、摺動子１８が当接している。摺動
子１８は、摩擦材料あるいは弾性材料等からなる弾性体
１９とそれに結合された音響材料２０から構成される。

上述のように固定子１ｏを駆動すると、固定子１０にお
ける摺動子１８に面する側の振動の頂点が摺動子１８に
接触し、しかもその頂点が時間とともに移動するため、
摺動子１８には横方向成分を有する力が加えられること
になる。かくして摺動子１８は、固定子１ｏにより定ま
る駆動周波数により横方向成分による位置移動を繰り返
す結果、はｌｆｆ１分間に数回転ないし数千回転程度の
範囲での回転運動を得ることができる。発生トルクは固
定子を構成するところの音響材料及び固定子等と面接触
をなす摺動子の摩擦係数及び接触面積あるいは受ける荷
重の大きさ等により変化するか、数拾ｑｆ−ｃｍから数
千ｇｆ−σの範囲のトルクを得ることができた。また回
転の方向については、基準信号に対して＋１００ないし
＋１７０°の範囲で位相シフトした信号を第２圧電振動
子に印加して駆動したときに得る回転を例えば正方向回
転とすると、基準信号に対して−１００ないし−１７０
０の範囲で位相シフトした信号を同時に印加して駆動し
たときに得る回転方向は逆方向の回転となる。まだ回転
数は印加信号の大きさあるいは位相、あるいは接触部の
受ける荷重等の大きさを選ぶことにより任意に選定１り
能である。

さらに第４図及び第５図に示し／こ構成によると、従来
方式のヤング率の大きい金属を歪１ぜるという重負荷が
解消されている。従来方式では、楕円状軌跡の知軸２ｕ
を増すには、貼合わせる金属の厚ノドをさらに上積して
厚みを加えることに、Ｌす（拝能と考えられる。共振特
性のグイナミノクレンジの大きさは、強性な励振のレヘ
ルを・表わずか、前ｆ’ｆＬ　”ニジ属厚みを１ｍｍ増
すごとに共振特性は１ｓｄＢ程度減衰するので、実際に
は推力となる短軸２ｕを増すには、大電力による駆動を
必要とする。この場合きわめてリニアリティの悪い構造
の／こめ高い元勲をともなうか、推力の増加は極めて僅
かである。

第７図に本発明による固定子１ｏに電気信号を印加した
駆動時のたて方向の歪を、仮想線にて示す固定子１０′
の断面方向に対する変化として測定した結果を示す。測
定は周方向の測定と同様に、レーザ光による干渉法を用
いて測定した。５０Ｖ印加時、第４図において示した振
動伝達部材である突起８近傍において１　、８　／Ｉ　
ｍ　）ｌｌｉｊ度の最大振幅を示しだ。振幅の移相折り
返し点いわゆる振動の節は、直径を１００％とすると、
８０〜８５％の位置となりほぼ直線的に変化しており終
端は２．５μｍ程度の振幅となった。また前記振動の節
近傍から電気信シづ印加用リード線１５，１６．１７を
とりたずと振動疲労による断線が皆無となった。また、
後述の第１５図において示し／こように、実用的な構造
としては、固定子１０の下部に、緩衝体３９か設けられ
る。その場合、前記固定子１ｏは前記緩衝体３９を基体
として第７図に示すように湾曲するのて、みかけ上振幅
が拡大される効果を得る。

丑だ支持位置を振動の節近傍とすると、より損失の少な
いドライブが実現できる。この結果突起８において摺動
子１８の推力となる横方向成分が増して、前記摺動子１
８がきわめて能率よく一定方向に移動する。

第８図に、本発明によって成る圧電モータの駆動電圧と
回転数の関係を示した。（ａ）に比較のため、従来の表
面波形圧電モータの特性を示しだ。（ｂ）は、本発明に
よって成る圧電モ〜りの突起無しにおける特性、（Ｃ）
は、本発明によって成る圧電モータの突起の」二下方向
長さが４ｍｍの場合の特性、（ｄ）は、本発明によって
成る圧電モータの突起の」二下刃向の長さが８ｍｍの場
合の特性をそれぞれ示している。

このように同定子の部材の突起８の」−下方向長さを変
化させることにより、所望のノ［行スピードを得ること
ができプこ。これらのことから本発明によって成る圧電
モータがきわめて能率のよいことがわかる。第８図にお
いて、最大スピードか３６０ｒｐｍ　となっているが、
直径を太きくしだ試作機あるいは前記リプ３６の直径を
小さくしたモデルなどでは、１１０００ｒｐ程度のスピ
ードが測定できた０またこのときの消費電力は、従来の
圧電モータに比べて１／１０〜１／１００程度となった
。さらに電力効率もＤＣマイクロモータ等よりも比較的
良い値となった。

第９図に、固定子の一部を成す突起８の構成の一例を示
し／こ。突起８の摺動子１８との当接面には、前記摺動
子１８の移動方向と直交する方向となる径方向に、深さ
数μｍ〜数１０ｍｊｎ程度の複数個以上から成る、例え
ば１°あるいは数１０度おきにエツチングあるいは機械
加工されたナイフエッチの溝２１が設けられている。そ
れにより、突起８及び摺動子１８等の回転摩耗による析
出物を溝２１によりクリーニングする効果が得られる。

析出物は前記溝２１の内を案内されて外部に運ばれる。

この結果前記突起８及び摺動子１８の両接触面は、摩擦
係数は初期の摩擦係数及び接触面積を維持することがで
き、発生するトルクは常に一定となった。

第１０図に、突起８と、摺動子１８の弾性体１９の材質
を変えた時の動作時間の変化を示す。ａは、石綿等をゴ
ム系バインダーによシ複合化した材料により弾性体１９
を構成した場合の動作時間を示している。ｂは、突起８
の材料として焼入鋼等の構造用材料を用いたときの動作
時間を示している。

Ｃは、パルプやシリカ等を合成樹脂系バインダーにより
複合化した材料によシ弾性体１９を構成した場合の動作
時間を示している。ｄは、第９図に示したように、突起
８に回転摩耗による析出粉をクリーニングするナイフエ
ッチの溝を設けたときの動作時間を示したものであり、
約１０００時間以上の回転実績においても初期特性を保
証できている。

従来の圧電モータの回転数は数回転から３０ｒｐｍ程度
と限られている、これはザブミクロンという微小な振幅
を用いる表面波形の駆動原理によっており、従来の圧電
モータは低速を特長として、カメラレンズ等の駆動を目
的としたものである。

本発明による強精な振動吉なる空間波あるいはバルク波
を直接に用いた圧電モータは、第４図において示した突
起８が例えば８鵡程度の高さのときに、５０Ｖの駆動電
圧では２２　Ｏｒｐｍｇ度の回転数を得ている。前記突
起８の直径を変化したときの、前記直径と回転数の関係
を第１１図に示した。本発明による圧電モータは、第１
１図から明らかなように１分間に数回転から手回転程度
まで、突起８の直径あるいは高さを選定することにより
任意に希望とする回転数を得ることができる。さらに駆
動電圧２００Ｖ程度までリニアな特性となっているので
電圧のアンプによっても回転数を増すことができる。ま
た構成原理あるいは構成部品に磁石やコイル等という一
切の磁気的手段を有していないので、例えば４００　ｒ
ｐｍあるいは７００ｒｐｍ程度の圧電モータでは、フロ
ンピーディスクあるいはビデオテープレコーダ等の磁気
記録・再生機器モータとしては、磁気的影響が皆無であ
るという理想的なモータを得ることができる。

第１２図に別の構成から成る固定子を示した０この構成
においては、第１圧電振動子２５．２５’及び第２圧電
振動子２６のあいだに前記圧電振動子と同等ないし１０
倍程度の厚みからなる固定子基体２７を装着したことを
基本構成としているＯまだ前記固定子基体２７の表面に
は、直径の約％程度となる位置近傍に突起２８、中心に
軸２９が形成されている。各々の部拐の材料・構造は第
４図の実施例と同様である。第１圧電振動子２５゜２５
′及び第２圧電振動子２６の分極の相対配置こは。

第４図及び第５図に示す構成の固定子１０と全く同様で
ある。第１圧電振動子２５．２６’が２枚に分かれ、か
つ小孔を有するのは突起２８及び軸２９貫通のためであ
る。またこの固定子の駆動回路としては、第６図におい
て示した回路と全く同じ構成を用いることができるので
詳細な説明は省略するＱ 第１３図に更に他の実施例における固定子を示した。こ
の実施例においては、第１圧電振動子電極３１及び第２
圧電振動子電Ｖｊ！、３２を有する圧電振動子３０と前
記圧電振動子と同等ないし１０倍程度近傍の厚みからな
る固定子基体３３を装着したことを基本構成としている
。また前記固定子基体３３の表面には、直径の約３Ａ程
度となる位１６近傍にリング状の突起（図示せず）及び
軸３４が形成されている。各々の部材の材料・構造は第
４図の実施例と同様である。第１圧電振動子電極３１及
び第２圧′屯振動子電極３２笠の分極の相対配置は、第
４図及び第５図に示ず１１４成の固定子１０と全く同様
である。またこの固定子の駆動回路としては、第５図に
おいて示した回路と全く同じ構成を用いることができる
ので詳細な説明は省略する。

第１４図に更に他の実施例における固定子を示した。こ
の実施例においては、円環形の第１圧電振動子３６及び
円環形の第２圧電振動子３６の上部に前記圧電振動子と
同等ないし１０倍程度近傍の厚みからなる円環形の固定
子基体３７を装着したことを基本構成としている。また
前記固定子基体３５の表面の縦方向振幅最大近傍に突起
３８が形成されている。各々の部材の材料・構造は第４
図の実施例と同様である。第１圧電振動子３６及び第２
圧電振動子３６の分極の相対配置は、第４図及び第６図
に示す構成の固定子１０と全く同様である。）またこの
固定子の駆動回路としては、第５図において示した回路
と全く同じ構成を用因ることができるので詳細な説明は
省略する。

第５図の駆動回路を用いて第１２図〜第１３図の固定子
に、各々の固定子により定まる強制励振周波数にて６ｏ
Ｖ印加した時のたて方向の歪を測定したところ、たて方
向歪は第６図にて示しだものと全く同じ結果が得られた
。後述する第１６図に示す本発明による圧電モータの構
成とほぼ同様の構成によりそれらの固定子を装着して駆
動したところ、はぼ１分間に数回転ないし数千回転程度
の範囲での回転運動を得ることができた。発生トルクは
固定子を構成するところの前記音響材料及び前記固定子
等と面接触をなず摺動子等の摩擦係数及び接触面積ある
いは受ける荷重の大きさにより変化するが、数＋ｑｆ−
ｃｍから数千ｑｆ−ｃｍの範囲のトルクを得ることがで
きた。

第１５図に、本発明の一実施例における圧電モータのよ
り具体的な構造を示す。第６図と同様の部分については
同一番号を付した。リード線１５゜１６．１７を付与さ
れた同定子１０は、緩衝体３９を介してフレーム（図示
せず）に振動自由に装着されている。固定子１０の上に
は軸９に押入された軸受４０をブｒして摺動子１８が当
接している。

押圧力調整ネジ４１は軸９の」二端部に装着され、これ
を締め付けると、菊形板バネ４２が撓み、任意の押圧力
で前記固定子１０と前記摺動子１８を当接させることが
できる。この結果数拾ｑｆ−αから数千ｑｆ＝αの範囲
のトルクを得ることができた０また摺動子１８の上には
、固定リング４３が固着されており、仮想線で示したガ
イドリンク４４との間に被回転体を挾み込むことにより
、被回転体に回転が伝達される。

以上の構成から成る圧電モータは見掛けの収納面積を感
じさせないばかりか駆動信号の位相を変化させるだけで
正転・逆転駆動が任意に可能となり、かつ約１１０００
ｒｐ以内の低・中速回転において数千ｑｆ−α程度内の
トルクが発生できる。まだ回転数は印加信号の大きさあ
るいは位相、あるいは接触部の受ける荷重等の大きさあ
るいは突起の長さ直径等を選ぶことにより約数千回転程
度迄任意に選定可能である。したがって減速機等が全く
不要である。かつ常に接触摩擦対偶をなすので慣性モー
メントが無く、微小なパルス動作性に富むうえにコンパ
クト性に優れている。また構造が至ってｍ〕単であるの
で低価格である。

発明の効果 以上のように本発明による圧電モータは、固定子に２個
の圧電振動子を備え、その両圧電振動子は摺動子移動方
向において交互に分極の向きの逆転した少くとも一対の
領域に分割されるとともに、互いにほぼ半領域ずらして
配置され、その固定子には振動伝達部口を介して摺動子
が当接させられた構成であり、両圧電振動子に互いに位
相のずハだ所定周波数の電圧を印加することにより、一
定方向に移動する振動波が固定子中に発生し、摺動子が
駆動されるものである。したかつて極めて簡単な構造で
モータを構成することができ、小型で゛　応答の良いモ
ータを実現することができる。

しかも、円板形状のバルク波を直接な手段で励振する構
造により、推力となる横方向成分を得る構造となってい
るので、一定電圧では機械的変位が数倍となり、かつ断
面方向の撓みの全域を出力しているので、スピードが平
均化されずにピーク速度を取り出すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図（は各々従来例の圧電モータの構成を
示す断面図及び平面図、第３図はその動作を示す斜視図
、第４図は本発明の一実施例における圧電モータの固定
子の分解斜視図、第５図は、同固定子を用いた圧電モー
タの概要とその駆動回路を示す断面図、第６図及び第７
図は第５図の圧電モータｆ、’、Ｉ定子の駆動時におけ
る歪分布を示す図、第８図は本発明による圧電モータの
駆動電圧に対する回転数の特性を示すグラフ、第９図は
同モータ同定子要部の斜視図、第１０図は同モータの動
作時間特性を示すグラフ、第１１図は本発明による圧電
モータの固定子要部の直径に対する回転数モータの１ｂ
Ｊ定子の分解斜視図、第１５図は本発明の一実施例にお
ける圧電モータのよシ具体的な構造を示す一部断面で示
した正面図である。 ５．６，２５．２５’、２６，３０，３５，３６・・・
・・・圧電振動子、５ａ、３１，３２・・・・・・電極
、１ｏ・・・・・・固定子、１８・・・・・摺動子、１
１・・・・発振器、１２，１４・・・・・・増幅器、１
３・・・・・・移相器。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はか１名第１
図 第２図 第３図 第４図 竿５図 第６図 一十−＋ 範７図 第８図 ｙ！Ｊ区動生動化圧Ｐｆｌ 第９図 ？ｌ 第１ＯＮ □□■ 〃θ （Ｈθαｒ） 第１１図 直　４蚤　（ｍＨ） 第１２図 第１４図 第１５０ ９１７

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１対の領域に分割されその各領域の分
   極方向が交互に逆転しているよう構成された２つの板状
   圧電振動子を、その一方における前記各領域の中火部近
   傍に他方の板状圧電振動子の前記各領域の境界が位置す
   るよう配置するとともに、音響材料等からなる基体を、
   前記両圧電振動子とともに多層に重ねて＜２６成した固
   定子と、その固定子と面対面する摺動子とを具備し、前
   ｉ；＋３１ＬＩｄ定子表面に前記摺動子と接触する振動
   伝達部材を有することを特徴とする圧電モータ。
2. （２）振動伝達部拐が、固定子の変位最大位置近傍に設
   けられたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   圧電モータ。
3. （３）振動伝達部拐の直径が、数ｍｍないし数１　’Ｏ
   ｍｍ程度であることを特徴とする特許請求の範囲ＷＪ１
   項記載の圧電モータ。
4. （４）振動伝達部材の厚みが圧電振動子と同等ないし１
   ００倍程度であることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の圧電モータ。
5. （５）振動伝達部拐の摺動子当接面に、複数個の深さ数
   βｍないし数１ｏｆｉ程度の溝を有する特許請求の範囲
   第１項記載の圧電モータ〇
6. （６）両圧電振動子が円板形状から成ることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。
7. （７）両圧電振動子の分割が等分であることを特徴吉す
   るｑ！Ｊ訂Ｊｔ５求の範囲第」項記載の圧電モータ。
8. （８）２つの圧７Ｌ振動子が、所定の周波数の電圧を〃
   いに位相をずらして印加されることを特徴とする特πＦ
   　請求の範囲第１項記載の圧電モータ。
9. （９）Ｆ＾゛ｊ定−ｆの中心に軸を有することを特徴と
   する特γＦ請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 ＱＣ？　摺動子が、固定子側に位置する弾性体とそれに
   結合された音響材料とからなることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の圧電モータ。 Ｑυ　電気信号印加用リード線が、振動の部近傍に固着
   されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
   電モータ。