JPH05950B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電圧体を用いて駆動力を発生するモー
タに関する。

従来例の構成とその問題点 近年電圧セラミツクス等の電気−機械変換子を
用いて種々の超音波振動を励振することにより、
回転あるいは走行運動を得る圧電モータが高いエ
ネルギー密度等を有することから注目されてい
る。

以下に図面を参照しながらこれらの超音波振動
を利用した従来の圧電モータについて説明する。

第１図は日経メカニカル（58.2.28）などに掲
載された従来の圧電モータの一例であり、弾性リ
ング１の表面に電圧素子リング２を貼合わせて一
体化している。前記電圧素子リング２は第２図に
示すようにリングを周方向に例えば22.5°あるい
は11.25°の分割比により17個の領域に分割して電
極をつけ分極している。分極の方向は隣り合う領
域で逆方向とする。その後、電圧素子表面を導電
塗料で覆い電極を斜線で示すように２つにまとめ
る。Ｅはアース端子である。前記弾性リング１の
上部にはスライダ３を固着された動体４が位置し
ている。

以上のように構成された従来の圧電モータにつ
いてその動作を以下に説明する。前記圧電素子２
の片側の電極ＡにV_Osinωt、他方の電極ＢにV_O
cosωtの交流信号をそれぞれ加える。すると分割
した領域が交互に周方向に伸縮し、弾性体リング
１に曲げ振動が発生する。第３図は動体と弾性体
の接触状況を拡大して描いたもので、表面波に伴
う粒子の楕円運動として周知である（たとえば御
子柴宣夫著「音波物性」昭和48年三省堂社発行を
参照）弾性体の表面上の１つの点Ａに着目する
と、点Ａは長軸２ｗ、短軸２ｕの楕円上状の軌跡
を描いている。弾性体が動体と接触する頂点で、
点Ａはｘ軸の負の方向にＶ＝2πfuの速度を持つ。
この結果、動体は弾性体との摩擦力で波の進行と
逆方向に速度Ｖで駆動される。このよう弾性体の
表面に推力としての楕円軌跡を描かせるには弾性
表面波のレイリー波か、または弾性体の曲げ振動
を利用することが考えられる。弾性表面波では例
えば波形が10cm程度と長くなり、弾性体の曲げ振
動を利用すると波長を数mmにできるので接触点と
なる頂点を数個に増すことができる。弾性表面波
のレイリー波による駆動原理を、弾性体の一部領
域の曲げ振動を用いて波を伝播し、弾性体表面に
楕円軌跡を与えることで実現している。この表面
波形圧電モータは、接触点となる波の頂点が常に
動体と接触しているので動体の速度は、頂点速度
と等しい。また出力トルクの大きさは、接触面積
と負荷々重と接触部の摩擦係数によりもとまる。
またこの圧電モータは、２相・３相モータと同じ
原理で移相のずれた電源により、容易に回転方向
を切り換えることができる。

しかしながら、上記のような構成においては、
以下のような欠点が存在する。

(1) ヤング率の大きい弾性体を繰り返し曲げるた
めにエネルギーが消費されて、発熱を誘起する
ことになりきわめてリニアリテイが悪い。

(2) 加えて約0.25μｍ以下という微小振幅から推
力を取り出すために、動体は、ステータにおけ
る発生スピードがそれぞれに異なる振幅の山や
谷にも一様に接触しており、動体速度は積分値
にちかい低スピードになつている。このため実
用的な回転数及びトルク等を得るためには、従
来モータの10〜100倍程度という大電力を必要
とした。

(3) また表面波形の圧電モータ実駆動時の振動振
幅は、最大で縦方向成分が約0.5μｍ、推力とな
る横方向成分が約0.25μｍとなつており、推力
に必要な振動の発生エネルギーに比べて、無効
となるエネルギルーが約２倍以上消費され電力
効率のきわめて悪い構造となつている。

(4) 上記従来の表面波形の圧電モータはドライブ
電極が２組に別かれており、Ａ電極の励起した
波がＢ電極に伝播されるか、反対にＢ電極の励
起した波がＡ電極に縦波成分と横波成分を持つ
波として伝播されて、弾性体の表面に楕円軌跡
を発生する。このような駆動原理に起因して、
有効駆動面積は常に50％と低い。

(5) このため弾性リングは無限自由振動系にな
り、不要なリング面内高次モード同時に励振さ
れて、耳ざわりな可聴域騒音の発生源となつて
いる。

(6) また表面波デバイスの構成を駆動原理として
用いているので、ステータがエンドレス構成に
ならざるを得ず、一次振幅を励起した上で二次
振幅を用いるという、二次効果利用の消極的な
きわめて設計範囲が狭い構成となつている。す
なわち空間波あるいはバルク波等による円板や
矩形板のもつ直接・強力な推力の使用が不可能
である。

(7) また全面積の半分は常に強制励振々動子とし
て機能するが、他の面積は無限自由振動系とし
て開放されるので、特に実駆動時レベルの重負
荷では顕著にたて方向歪の分布が不均一となり
回転ムラを生じる。

(8) またこの圧電モータは、ステータとロータ間
の摩擦接触によつてエネルギーの伝達が行なわ
れており、接触面に用いる材料特性が(a)直接モ
ータ寿命、(b)トルク特性、(c)回転数、あるいは
(d)電力効率等に影響をあたえており、実用的な
諸出力特性レベルの実駆動時においては、使用
可能範囲がいずれも数時間ないし最大でも約数
拾時間を超えることはないなど、以上に述べた
かず多くの問題点を有していた。

発明の目的 本発明の目的は上記諸種の欠点を解決するため
に、圧電セラミツク振動子の励起する高効率な空
間波あるいはバルク波に着目し、これを駆動力と
することによつてきわめて能率のよい実用的な圧
電モータを提供するとにある。

発明の構成 本発明による圧電モータは、２つの圧電振動子
と音響材料とを含みそれらが厚み方向に重ねられ
た固定子と、その固定子に対して厚み方向に重ね
られて面接触する摺動子とを備え前記固定子表面
に振動伝達部材を有している。前記両圧電振動子
は摺動子移動方向に分割された一対もしくは複数
対の分割領域からなる厚み方向分極を有し、それ
らの分極は隣接する領域においては互いに方向が
逆である。両圧電振動子は、一方の各分極領域の
境界近傍が他方の各分極領域の中央近傍に位置す
るように配置される。以上のような構成の圧電振
動子を、互いに位相のずれた所定の強制励振周波
数の電圧で駆動すると、両圧電振動子による固定
子の合成振動はその最大振動位置が時間とともに
一定方向に移動するものとなり、その頂点に接す
る摺動子はその方向の駆動力を受ける。

実施例の説明 本発明の実施例の詳細について図面を用いて説
明する。固定子は例えば第４図に示すような構造
を有する、円板形状の第１圧電振動子５の表面に
は例えば45°毎の領域に分割された８個の電極５
ａが設けられている。この電極５ａは銀、銀パラ
ジウム、ロジウムあるいはニツケルなどの導電材
料を用いて、第１圧電振動子５の表面に印刷、蒸
着あるいはメツキなどの方法により形成されてい
る。裏面に具備される電極（図示せず）は前記表
面電極と同様に分割されても、されていなくとも
良い。以上のように構成された第１圧電振動子５
の相隣合う電極毎に、板厚方向に分極方向が互い
に異なるようにして分極を行なう。この結果第４
図において示すように互い違いにプラス極性ある
いはマイナス極性を有する領域からなる８極、４
組の強制励振振動子が構成される。電極５ａは、
分極後は分割されている必要はなく、一括して電
圧を印加できるように接続される。円板形状の第
２圧電振動子６も第１圧電振動子５と同様の構造
であり、互い違いにプラス極性あるいはマイナス
極性を有する８極、４組の強制励振振動子が構成
されている。

前記第１圧電振動子５あるいは第２圧電振動子
６の最小振幅位置は、各々相隣合う電極どうしの
境界位置近傍となり、最大振幅位置は各々の電極
の中央近傍位置となる。そして、両圧電振動子
５，６は、第１圧電振動子５の最大振幅位置とな
る電極中央近傍に、第２圧電振動子６の最小振幅
位置となる相隣合う電極どうしの境界が位置する
よう重ね合わされている。

以上のように構成された第１圧電振動子５及び
第２圧電振動子６は、圧電振動子と同等ないし10
倍程度の厚みを有する固定子基体７に重ね合わせ
て取付けられる。この固定子基体７は、アルミニ
ウム、黄銅、鉄、ステンレス、焼入鋼、あるいは
ナイロン等の合成樹脂材料、セラミツク材料、ガ
ラス材料、あるいはそれらを複合化した複合材料
等からなる音響材料あるいは摩擦材料等を用いて
形成されている。また前記固定子基体７の表面に
は、例えば直径の約1/2程度となる位置近傍に振
動伝達部材である突起８、中心に軸９が形成され
ている。

以上のように構成したものを第５図において示
す固定子１０として用いる。第５図に示すよう
に、固定子１０により定まる強制励振駆動周波数
にて発振器１１により発振された出力信号を分岐
し、一方を直接増幅器１２に、他方を移相器１３
を介して増幅器１４に入力する。前記移相器１３
では後述するような正方向回転あるいは逆方向回
転に使用する±10°ないし±170°の範囲で位相シ
フトした信号が整形される。前記発振器１１の出
力信号を直接増幅器１２に入力して増幅した信号
をリード線１５及び１６により第１圧電振動子５
に印加する。それにより固定子１０には、第１圧
電振動子５の分極方向が高いに異なるプラス極性
あるいはマイナス極性を有する領域の一対を１波
長として８極、４組の強制励振振動子に対応する
４波長の強制励振波が発生される。第２圧電振動
子６も増幅器１４の出力をリード線１６，１７を
介して印加することにより同様に駆動される。

第６図に第１圧電振動子５及び第２圧電振動子
６に電気信号を印加したときの、たて方向の歪を
最大直径に対して70％程度の位置での周方向位置
に対する変化として測定した結果を示す。測定は
測定個所にHe−Neガスレーザ光を照射し、入射
光と反射光との干渉法を用いて測定した。第６図
ａにはリード線１５及び１６に信号を印加して第
１圧電振動子５を駆動したときの測定結果を示し
た。50V印加時±0.8μｍ程度の振幅を示した。最
小振幅位置は各々相隣合う電極と電極の境界位置
近傍となり、最大振幅位置は各々の電極の中央近
傍位置となつている。同様にして第２圧電振動子
６を駆動した場合に測定したたて方向歪の結果を
第６図ｂに示した。50V印加時±0.8μｍ程度の振
幅を示した。最小振幅位置は各々相隣合う電極と
電極の境界位置近傍となり、最大振幅位置は各々
の電極の中央近傍位置となつている。

次に第１圧電振動子５及び第２圧電振動子６を
第４図及び第５図に示した構成により同時に駆動
したときの測定結果を第６図ｃに示した。たて方
向の歪の分布において、ａとｂとの中間市に振幅
が最大を示す位置が移動している。またたて方向
歪の最大振幅は約1.3倍程度に大きくなつている。
ここで、前述のように第２圧電振動子６は第１圧
電振動子に対して±10°ないし±170°位相シフト
して駆動されるため、合成波Ｃの最大振幅位置
は、時間とともに一定方向に移動する。

固定子１０の上には、摺動子１８が当接してい
る。摺動子１８は、摩擦材料あるいは弾性材料等
からなる弾性体１９とそれに結合された音響材料
２０から構成される。

上述のように固定子１０を駆動すると、固定子
１０における摺動子１８に面する側の振動の頂点
が摺動子１８に接触し、しかもその頂点が時間と
ともに移動するため、摺動子１８には横方向成分
を有する力が加えられることになる。かくして摺
動子１８は、固定子１０により定まる駆動周波数
により横方向成分による位置移動を繰り返す結
果、ほぼ１分間に数回転ないし数千回転程度の範
囲での回転運動を得ることができる。発生トルク
は固定子を構成するところの音響材料及び固定子
等と面接触をなす摺動子の摩擦係数及び接触面積
あるいは受ける荷重の大きさ等により変化する
が、数拾ｇｆ・cmから数千ｇｆ・cmの範囲のトル
クを得ることができた。また回転の方向について
は、基準信号に対して＋10°ないし＋170°の範囲
で位相シフトした信号を第２圧電振動子に印加し
て駆動したときに得る回転を例えば正方向回転と
すると、基準信号に対して−10°ないし−170°の
範囲で位相シフトした信号を同時に印加して駆動
したときに得る回転方向は逆方向の回転となる。
また回転数は印加信号の大きさあるいは位相、あ
るいは接触部の受ける荷重等の大きさを選ぶこと
により任意に選定可能である。

さらに第４図及び第５図に示した構成による
と、従来方式のヤング率の大きい金属を歪ませる
という重負荷が解消されている。従来方式では、
楕円状奇跡の短軸２ｕを増すには、貼合わせる金
属の厚みをさらに上積して厚みを加えることによ
り可能と考えられる。共振特性のダイナミツクレ
ンジの大きさは、強性な励振のレベルを表わす
が、前記金属厚みを１mm増すごとに共振特性は
15dB程度減衰するので、実際には推力となる短
軸２ｕを増すには、大電力による駆動を必要とす
る。この場合きわめてリニアリテイの悪い構造の
ため高い発熱をともなうが、推力の増加は極めて
僅かである。

第７図に本発明による固定子１０に電気信号を
印加した駆動時のたて方向の歪を、仮想線にて示
す固定子１０′の断面方向に対する変化として測
定した結果を示す。測定は周方向の測定と同様
に、レーザ光による干渉法を用いて測定した。
50V印加時、第４図において示した振動伝達部材
である突起８近傍において1.8μｍ程度の最大振幅
を示した。振幅の移相下り返し点いわゆる振動の
節は、直径を100％とすると、80〜50％の位置と
なりほぼ直線的に変化しており終端は2.5μｍ程度
の振幅となつた。また前記振動の節近傍から電気
信号印加用リード線１５，１６，１７をとりだす
と振動疲労による断線が皆無となつた。また、後
述の第１５図において示したように、実用的な構
造としては、固定子１０の下部に、緩衝体３９が
設けられる。その場合、前記固定子１０は前記緩
衝体３９を基体として第７図に示すように湾曲す
るので、みかけ上振幅が拡大される効果を得る。
また支持位置を振動の節近傍とすると、より損失
の少ないドライブが実現できる。この結果突起８
において摺動子１８の推力となる横方向成分が増
して、前記摺動子１８がきわめて能率よく一定方
向に移動する。

第８図に、本発明によつて成る厚電モータの駆
動電圧と回転数の関係を示した。ａに比較のた
め、従来の表面波形圧電モータの特性を示した。
ｂは、本発明によつて成る圧電モータの突起無し
における特性、ｃは、本発明によつて成る圧電モ
ータの突起の上下方向長さが４mmの場合の特性、
ｄは、本発明によつて成る圧電モータの突起の上
下方向の長さが８mmの場合の特性をそれぞれ示し
ている。このように固定子の部材の突起８の上下
方向長さを変化させることにより、所望の走行ス
ピードを得ることができた。これらのことから本
発明によつて成る圧電モータがきわめて能率のよ
いことがわかる。第８図において、最大スピード
が360rpmとなつているが、直径を大きくした試
作機あるいは前記リブ３６の直径を小さくしたモ
デルなどでは、1000rpm程度のスピードが測定で
きた。またこのときの消費電力は、従来の圧電モ
ータに比べて1/10〜1/100程度となつた。さらに
電力効率もDCマイクロモータ等よりも比較的良
い値となつた。

第９図に、固定子の一部を成す突起８の構成の
一例を示した。突起８の摺動子１８との当接面に
は、前記摺動子１８の移動方向と直交する方向と
なる径方向に、深さ数μｍ〜数10mm程度の複数個
以上から成る、例えば1°あるいは数10度おきにエ
ツチングあるいは機械加工されたナイフエツチの
溝２１が設けられている。それにより、突起８及
び摺動子１８等の回転摩耗による析出粉を溝２１
によりクリーニングする効果が得られる。析出粉
は前記溝２１の内を案内されて外部に運ばれる。
この結果前記突起８及び摺動子１８の両接触面
は、摩擦係数は初期の摩擦係数及び接触面積を維
持することができ、発生するトルクは常に一定と
なつた。

第１０図に突起８と、摺動子１８の弾性体１９
の材質を変えた時の動作時間の変化を示す。ａ
は、石綿等をゴム系バインダーにより複合化した
材料により弾性体１９を構成した場合の動作時間
を示している。ｂは、突起８の材料として焼入鋼
等の構造用材料を用いたときの動作時間を示して
いる。ｃは、パルプやシリカ等を複合成樹脂系バ
インダーにより複合化した材料により弾性体１９
を構成した場合の動作時間を示している。ｄは、
第９図に示したように、突起８に回転摩耗による
析出粉をクリーニングするナイフエツチの溝を設
けたときの動作時間を示したものであり、約1000
時間以上の回転実績においても初期特性を保証で
きている。

従来の圧電モータの回転数は数回転から30rpm
程度と限られている。これはサブミクロンという
微小な振幅を用いる表面波形の駆動原理によつて
おり、従来の圧電モータは低速を特長として、カ
メラレンズ等の駆動を目的としたものである。

本発明による強精な振動となる空間波あるいは
バルク波を直接に用いた圧電モータは、第４図に
おいて示した突起８が例えば８mm程度の高さのと
きに、50Vの駆動電圧では220rpm程度の回転数
を得ている。前記突起８の直径を変化したとき
の、前記直径と回転数の関係を第１１図に示し
た。本発明による圧電モータは、第１１図から明
らかなように１分間に数回転から千回転程度ま
で、突起８の直径あるいは高さを選定することに
より任意に希望とする回転数を得ることができ
る。さらに駆動電圧200V程度までリニアな特性
となつているので電圧のアツプによつても回転数
を増すことができる。また構成原理あるいは構成
部品に磁石やコイル等という一切の磁気的手段を
有していないので、例えば400rpmあるいは
700rpm程度の圧電モータでは、フロツピーデイ
スクあるいはビデオテープレコーダ等の磁気記
録・再生機器モータとしては、磁気的影響が皆無
であるという理想的なモータを得ることができ
る。

第１２図に別の構成から成る固定子を示した。
この構成においては、第１圧電振動子２５，２
５′及び第２圧電振動子２６のあいだに前記圧電
振動子と同等ないし10倍程度の厚みからなる固定
子基体２７を装着したことを基本構成としてい
る。また前記固定子基体２７の表面には、直径の
約1/2程度となる位置近傍に突起２８、中心に軸
２９が形成されている。各々の部材の材料・構造
は第４図の実施例と同様である。第１圧電振動子
２５，２５′及び第２圧電振動子２６の分極の相
対配置は、第４図及び第５図に示す構成の固定子
１０と全く同様である。第１圧電振動子２５，２
５′が２枚に分かれ、かつ小孔を有するのは突起
２８及び軸２９貫通のためである。またこの固定
子の駆動回路としては、第５図において示した回
路と全く同じ構成を用いることができるので詳細
な説明は省略する。

第１３図に更に他の実施例における固定子を示
した。この実施例においては、第１圧電振動子電
極３１及び第２圧電振動子電極３２を有する圧電
振動子３０と前記圧電振動子と同等ないし10倍程
度近傍の厚みからなる固定子基体３３を装着した
ことを基本構成としている。また前記固定子基体
３３の表面には、直径の約1/2程度となる位置近
傍にリング状の突起（図示せず）及び軸３４が形
成されている。各々の部材の材料・構造は第４図
の実施例と同様である。第１圧電振動子電極３１
及び第２圧電振動子電極３２等の分極の相対配置
は、第４図及び第５図に示す構成の固定子１０と
全く同様である。またこの固定子の駆動回路とし
ては、第５図において示した回路と全く同じ構成
を用いることができるので詳細な説明は省略す
る。

第１４図に更に他の実施例における固定子を示
した。この実施例においては、円環形の第１圧電
振動子３５及び円環形の第２圧電振動子３６の上
部に前記圧電振動子と同等ないし10倍程度近傍の
厚みからなる円環形の固定子基体３７を装着した
ことを基本構成としている。また前記固定子基体
３５の表面の縦方向振幅最大近傍に突起３８が形
成されている。各々の部材の材料・構造は第４図
の実施例と同様である。第１圧電振動子３５及び
第２圧電振動子３６の分極の相対配置は、第４図
及び第５図に示す構成の固定子１０と全く同様で
ある。またこの固定子の駆動回路としては、第５
図において示した回路と全く同じ構成を用いるこ
とができるので詳細な説明は省略する。

第５図の駆動回路を用いて第１２図〜第１３図
の固定子に、各々固定子により定まる強制励振周
波数にて50V印加した時のたて方向の歪を測定し
たところ、たて方向歪は第６図にて示したものと
全く同じ結果が得られた。後述する第１５図に示
す本発明による圧電モータの構成とほぼ同様の構
成によりそれらの固定子を装着して駆動したとこ
ろ、ほぼ１分間に数回転ないし数千回転程度の範
囲での回転運動を得ることができた。発生トルク
は固定子を構成するところの前記音響材料及び前
記固定子等と面接触をなす摺動子等の摩擦係数及
び接触面積あるいは受ける荷重の大きさにより変
化するが、数十ｇｆ・cmから数千ｇｆ・cmの範囲
のトルクを得ることができた。

第１５図に、本発明の一実施例における圧電モ
ータのより具体的な構造を示す。第５図と同様の
部分については同一番号を付した。リード線１
５，１６，１７を付与された固定子１０は、緩衝
体３９を介してフレーム（図示せず）に振動自由
に装着されている。固定子１０の上には軸９に挿
入された軸受４０を介して摺動子１８が当接して
いる。押圧力調整ネジ４１は軸９の上端部に装着
され、こえを締め付けると、菊形板バネ４２が撓
み、任意の押圧力で前記固定子１０と前記摺動子
１８を当接させることができる。この結果数拾ｇ
ｆ・cmから数千ｇｆ・cmの範囲のトルクを得るこ
とができた。また摺動子１８の上には、固定リン
グ４３が固着されており、仮想線で示したガイド
リング４４との間に被回転体を挾み込むことによ
り、被回転体に回転が伝達される。

以上の構成からる圧電モータは見掛けの収納面
積を感じさせないばかりか駆動信号の位相を変化
させるだけで正転・逆転駆動が任意に可能とな
り、かつ約1000rpm以内の低・中速回転において
数千ｇｆ・cm程度内のトルクが発生できる。また
回転数は印加信号の大きさあるいは位相、あるい
は接触部の受ける荷重等の大きさあるいは突起の
長さ直径等を選ぶことにより約数千回転程度迄任
意に選定可能である。したがつて減速機等が全く
不要である。かつ常に接触摩擦対偶をなすので慣
性モーメントが無く、微小なパルス動作性に富む
うえにコンパクト性に優れている。また構造が至
つて簡単であるので低価格である。

発明の効果 以上のように本発明による圧電モータは、固定
子に２個の圧電振動子を備え、その両圧電振動子
は摺動子移動方向において交互に分極の向きの逆
転した少くとも一対の領域に分割されるととも
に、互いにほぼ半領域ずらして配置され、その固
定子には振動伝達部材を介して摺動子が当接させ
られた構成であり、両圧電振動子に互いに位相の
ずれた所定周波数の電圧を印加することにより、
一定方向に移動する振動波が固定子中に発生し、
摺動子が駆動されるものである。したがつて極め
て簡単な構造でモータを構成することができ、小
型で応答の良いモータを実現することができる。

しかも、円板形状のバルク波を直接な手段で励
振する構造により、推力となる横方向成分を得る
構造となつているので、一定電圧では機械的変位
が数倍となり、かつ断面方向の撓みの全域を出力
しているので、スピードが平均化されずにピーク
速度を取り出すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は各々従来例の圧電モータの
構成を示す断面図及び平面図、第３図はその動作
を示す斜視図、第４図は本発明の一実施例におけ
る圧電モータの固定子の分解斜視図、第５図は、
同固定子を用いた圧電モータの概要とその駆動回
路を示す断面図、第６図及び第７図は第５図の圧
電モータ固定子の駆動時における歪分布を示す
図、第８図は本発明による圧電モータの駆動電圧
に対する回転数の特性を示すグラフ、第９図は同
モータ固定子要部の斜視図、第１０図は同モータ
の動作時間特性を示すグラフ、第１１図は本発明
よる圧電モータの固定子要部の直径に対する回転
数の特性を示すグラフ、第１２図、第１３図及び
第１４図はそれぞれ本発明による他の実施例にお
ける圧電モータの固定子の分解斜視図、第１５図
は本発明の一実施例における圧電モータのより具
体的な構造を示す一部断面で示した正面図であ
る。 ５，６，２５，２５′，２６，３０，３５，３
６……圧電振動子、５ａ，３１，３２……電極、
１０……固定子、１８……摺動子、１１……発振
器、１２，１４……増幅器、１３……移相器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも１対の領域に分割されその各領域
   の分極方向が交互に逆転しているよう構成された
   ２つの板状圧電振動子を、その一方における前記
   各領域の中央部近傍に他方の板状圧電振動子の前
   記各領域の境界が位置するように配置するととも
   に、音響材料等からなる基体を、前記両圧電振動
   子とともに多層に重ねて構成した固定子と、その
   固定氏と面対向する摺動子とを具備し、前記固定
   子表面に前記摺動子と接触する振動伝達部材を有
   することを特徴とする圧電モータ。 ２ 振動伝達部材が、固定子の変位最大位置近傍
   に設けられたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の圧電モータ。 ３ 振動伝達部材の直径が、数mmないし数10mm程
   度であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の圧電モータ。 ４ 振動伝達部材の厚みが圧電振動子と同等ない
   し100倍程度であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の圧電モータ。 ５ 振動伝達部材の摺動子当接面に、複数個の深
   さ数μｍないし数10mm程度の溝を有する特許請求
   の範囲第１項記載の圧電モータ。 ６ 両圧電振動子が円板形状から成ることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 ７ 両圧電振動子の分割が等分であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 ８ ２つの圧電振動子が、所定の周波数の電圧を
   互いに位相をずらして印加されることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 ９ 固定子の中心に軸を有することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 １０ 摺動子が、固定子側に位置する弾性体とそ
   れに結合された音響材料とからなることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の圧電モータ。 １１ 電気信号印加用リード線が、振動の節近傍
   に固着されたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の圧電モータ。