JPS60184785A - 圧空式バルブ - Google Patents
圧空式バルブInfo
- Publication number
- JPS60184785A JPS60184785A JP3900784A JP3900784A JPS60184785A JP S60184785 A JPS60184785 A JP S60184785A JP 3900784 A JP3900784 A JP 3900784A JP 3900784 A JP3900784 A JP 3900784A JP S60184785 A JPS60184785 A JP S60184785A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compressed air
- valve
- tank
- closing device
- valve opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/42—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid by means of electrically-actuated members in the supply or discharge conduits of the fluid motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は圧空式バルブに関するものである。
圧空式バルブは圧縮空気を利用してその開閉弁を開閉す
るもので、例えば核融合装置、半導体製造装置等の真空
容器の排気装置に使用される。すなわちこの圧空式バル
ブおよびポンプを使用して真空器内を高真空にするが、
高真空にするためポンプは例えば油回転ポンプ、メカニ
カルブースタポンプ、ターボ分子ポンプ等が例えば油回
転ポンフト、油回転ポンプ、メカニカルブースタポンプ
およびターボ分子ポンプの直列接続体との並列回路を構
成して使用され、真空容器内の真空度を順に上げてゆき
高真空にするようにしている。このためこれらポンプ間
およびポンプと真空容器との間を開閉する圧空式バルブ
が数多く必要であり、圧空式バルブがひとつの排気装置
内に数多く使用されている。
るもので、例えば核融合装置、半導体製造装置等の真空
容器の排気装置に使用される。すなわちこの圧空式バル
ブおよびポンプを使用して真空器内を高真空にするが、
高真空にするためポンプは例えば油回転ポンプ、メカニ
カルブースタポンプ、ターボ分子ポンプ等が例えば油回
転ポンフト、油回転ポンプ、メカニカルブースタポンプ
およびターボ分子ポンプの直列接続体との並列回路を構
成して使用され、真空容器内の真空度を順に上げてゆき
高真空にするようにしている。このためこれらポンプ間
およびポンプと真空容器との間を開閉する圧空式バルブ
が数多く必要であり、圧空式バルブがひとつの排気装置
内に数多く使用されている。
この圧空式バルブは第１図に示されているようにバルブ
本体１と、このバルブ本体１の開閉弁（図示せず）を開
閉するバルブ開閉装置２とを有しており、このバルブ開
閉装置２は圧縮空気で駆動するように構成され、シリン
ダ３とこのシリンダ３に配管４を介して連結され、かつ
電磁弁操作用ケーブル５を有する電磁弁６とよ多構成さ
れている。そしてバルブ開閉装置２への圧縮空気は圧空
源であるコンプレッサ７から圧空配管８を介して供給さ
れる。
本体１と、このバルブ本体１の開閉弁（図示せず）を開
閉するバルブ開閉装置２とを有しており、このバルブ開
閉装置２は圧縮空気で駆動するように構成され、シリン
ダ３とこのシリンダ３に配管４を介して連結され、かつ
電磁弁操作用ケーブル５を有する電磁弁６とよ多構成さ
れている。そしてバルブ開閉装置２への圧縮空気は圧空
源であるコンプレッサ７から圧空配管８を介して供給さ
れる。
ところでこのように構成された圧空式バルブは上述のよ
うに数多く使用されるので、コンプレッサ７からバルブ
開閉装置２に圧縮空気を供給するための圧空配管８が多
くなり、排気装置が複雑化していた。これを改良するに
は圧空式バルブとコンプレッサ７とを一体化すればよい
が、それにはコンプレッサ７が多数必要であり、不経済
であった。
うに数多く使用されるので、コンプレッサ７からバルブ
開閉装置２に圧縮空気を供給するための圧空配管８が多
くなり、排気装置が複雑化していた。これを改良するに
は圧空式バルブとコンプレッサ７とを一体化すればよい
が、それにはコンプレッサ７が多数必要であり、不経済
であった。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、圧空配管
の低減を可能とした圧仝式バルブを提供することを目的
とするものである。
の低減を可能とした圧仝式バルブを提供することを目的
とするものである。
すなわち本発明はバルブ本体と、このバルブ本体の開閉
弁を開閉するバルブ開閉装置とを有し、このバルブ開閉
装置を圧縮空気で駆動するようになした圧空式バルブに
おいて、前記バルブ開閉装置Ｗ、Ｉｌｃ前記圧縮空気が
吸入可能な吸入口を有するタンクを設けると共に、この
タンクに前記圧縮空気を常時詰めておくようにしたこと
を特徴とするものであり、これによってタンクには圧縮
空気が常時詰めておかれるようになる。
弁を開閉するバルブ開閉装置とを有し、このバルブ開閉
装置を圧縮空気で駆動するようになした圧空式バルブに
おいて、前記バルブ開閉装置Ｗ、Ｉｌｃ前記圧縮空気が
吸入可能な吸入口を有するタンクを設けると共に、この
タンクに前記圧縮空気を常時詰めておくようにしたこと
を特徴とするものであり、これによってタンクには圧縮
空気が常時詰めておかれるようになる。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
２図には本発明の一実施例が示されている。なお従来と
同じ部品には同じ符号を付したので説明を省略する。本
実施例ではバルブ開閉装置２に圧縮空気が吸入可能な吸
入口９を有するタンク１０を設けると共に、このタンク
１０に圧縮空気を常時詰めておくようにした。このよう
にすることによシタンクＩＯＫは圧縮空気が常時詰めて
おかれるようになって、圧空配管の低減を可能とした圧
空式バルブを得ることができる。
２図には本発明の一実施例が示されている。なお従来と
同じ部品には同じ符号を付したので説明を省略する。本
実施例ではバルブ開閉装置２に圧縮空気が吸入可能な吸
入口９を有するタンク１０を設けると共に、このタンク
１０に圧縮空気を常時詰めておくようにした。このよう
にすることによシタンクＩＯＫは圧縮空気が常時詰めて
おかれるようになって、圧空配管の低減を可能とした圧
空式バルブを得ることができる。
すなわちバルブ開閉装置２にタンク１０を設け、このタ
ンク１０とバルブ開閉装置２とは、バルブ開閉装置２の
電磁弁６とタンク１０との間に減圧弁１１を設けて連結
するようにした。そしてバルブ開閉装置２には圧縮空気
が吸入できる吸入口９を有するタンク１０を設け、この
吸入口９からタンク１０に圧縮空気を吸入し、タンク１
０内に常時圧縮空気を詰めておくようにした。このよう
にすることによシタンク１０内には常時圧縮空気が詰め
ておかれるようになって、このタンク１０内の圧縮空気
を使用してバルブ開閉装置２が駆動されるようになシ、
従来のようにコンプレッサから圧空配管を介してバルブ
開閉装置２に圧縮空気を供給する必要がなく、圧空配管
が低減でき、排気装置が簡略化できる。
ンク１０とバルブ開閉装置２とは、バルブ開閉装置２の
電磁弁６とタンク１０との間に減圧弁１１を設けて連結
するようにした。そしてバルブ開閉装置２には圧縮空気
が吸入できる吸入口９を有するタンク１０を設け、この
吸入口９からタンク１０に圧縮空気を吸入し、タンク１
０内に常時圧縮空気を詰めておくようにした。このよう
にすることによシタンク１０内には常時圧縮空気が詰め
ておかれるようになって、このタンク１０内の圧縮空気
を使用してバルブ開閉装置２が駆動されるようになシ、
従来のようにコンプレッサから圧空配管を介してバルブ
開閉装置２に圧縮空気を供給する必要がなく、圧空配管
が低減でき、排気装置が簡略化できる。
上述のように本発明はバルブ開閉装置に設けたタンク内
の圧縮空気が使用できるようになって、圧空配管が不要
となり、圧空配管の低減を可能とした圧望式バルブを得
ることができる。
の圧縮空気が使用できるようになって、圧空配管が不要
となり、圧空配管の低減を可能とした圧望式バルブを得
ることができる。
第１図は従来の圧空式バルブの構成を示す構成図、第２
図は本発明の圧窒式バルブの一実施例の構成図である。 １・・・バルブ本体、２・・・バルブ開閉装置、３・・
・シリンダ、４・・・配管、５・・・電磁弁操作用ケー
ブル、６・・・電磁弁、９・・・吸入口、１０・・・タ
ンク、１１川減躬１０ ｆ１２図
図は本発明の圧窒式バルブの一実施例の構成図である。 １・・・バルブ本体、２・・・バルブ開閉装置、３・・
・シリンダ、４・・・配管、５・・・電磁弁操作用ケー
ブル、６・・・電磁弁、９・・・吸入口、１０・・・タ
ンク、１１川減躬１０ ｆ１２図
Claims (1)
- ■、バルブ本体と、このバルブ本体の開閉弁を開閉する
バルブ開閉装置とを有し、このバルブ開閉装置を圧縮空
気で駆動するようになした圧空式バルブにおいて、前記
バルブ開閉装置に前記圧縮空気が吸入可能な吸入口を有
するタンクを設けると共に、このタンクに前記圧縮空気
を常時詰めておくようにしたことを特徴とする圧空式バ
ルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3900784A JPS60184785A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧空式バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3900784A JPS60184785A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧空式バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60184785A true JPS60184785A (ja) | 1985-09-20 |
Family
ID=12541046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3900784A Pending JPS60184785A (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 圧空式バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60184785A (ja) |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP3900784A patent/JPS60184785A/ja active Pending
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