JPS6325340Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡等に使用されるターボ分子
ポンプを用いた排気系の改良に関する。

ターボ分子ポンプ（以下TMPと略す）は排気
速度が大きく超高真空が能率良く得られるため電
子顕微鏡等の真空系に広く使用されている。第１
図はTMPを用いた従来の排気系の構成図である。
第中１は電子顕微鏡の鏡筒に代表される真空容器
であり、該真空容器１には主弁２を介してTMP
３が接続されている。４はTMP３に接続された
リザーバタンク（以下RTと略す）であり、該
RT４には油回転ポンプ（以下RPと略す）５が
接続されている。６はTMP３に設けられたリー
ク弁である。このような従来の排気系において
は、TMPの停止時にはTMPに使用されている軸
受油の真空容器内への流出を防止するためTMP
内を略大気圧に保つ必要がある。そのため、
TMP３にリーク弁６が設けられているが、該リ
ーク弁６によりTMP３だけでなくRT４及びRP
５も大気圧にリークされる構造になつていた。そ
のため、真空容器１内を再び排気する前段階とし
て、主弁２及びリーク弁６を閉状態としてTMP
３及びRP５を駆動してRT４を排気する際に、
RT４の容積がTMP３の容量よりも一般に大き
いため、RT４の排気に時間を要するという欠点
があつた。

第２図は第１図の排気系の欠点を解消するため
の改良した排気系で、第１図と同じ部分には同一
番号が付されている。第２図の排気系が第１図の
排気系と異る点は、TMP３とRT４の間に第１
調整弁７を配置し、又RT４とRP５の間には第
２調整弁８を配置し、更にRP５にはリーク弁９
を設けた点にある。この様に構成された排気系で
は、排気系を停止する場合は、第１調整弁７及び
２調整弁８を閉状態とし、RT４を高真空に保持
してリーク弁６及び９を開状態とすることにより
TMP３及びRP５を大気圧にリークすれば良い。
この場合、RT４が高真空に保されているため、
TMP３を再び起動させる場合は第１図の排気系
のようにRT４を排気するのに時間を要するとい
うことはない。しかし乍ら、第２図に示す排気系
の場合にはTMP３のリーク弁６のほかにRP５専
用のリーク弁９が必要になり装置が高価になる欠
点があつた。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、真空
容器に主弁を介して接続されたターボ分子ポンプ
と、該ターボ分子ポンプの背圧側に接続された油
回転ポンプ及びリザーバタンクと、該ターボ分子
ポンプをリークするリーク弁を備えた排気系にお
いて、前記リザーバタンクとターボ分子ポンプ又
は油回転ポンプとの間に開閉弁を設け、該リザー
バタンク内の圧力が前記ターボ分子ポンプ内の圧
力より高い場合には前記開閉弁を開状態にするよ
うに構成したことを特徴としている。

以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第３図は本考案の一実施例装置を示す構成図で
ある。第３図において、第１図及び第２図と同一
構成要素には同一番号を付してその説明を省略す
る。第３図の排気系が第２図の排気系と異るとこ
ろは、リーク弁９を削除し、第１調整弁７及び第
２調整弁１１を迂回するバイパス排気管１０を設
け、第２調整弁を第４図に示すような調整弁に変
えたことにある。この様に構成された排気系で
は、TMP３及びRP５をリークする場合は、第１
調整弁と第２調整弁を閉じてからリーク弁６を開
状態にすることにより行われるので、第２図の排
気系のようにリーク弁を２つ設ける必要はない。
又、TMP３を再起動する場合は、リーク弁６を
閉じてからバイパス排気管１０によりTMP３内
をRP５により排気した後、一定時間（又は一定
圧力まで）後に第１調整弁７及び第２調整弁１１
を開状態とすればよい。このように、RT４内は
第１調整弁７及び第２調整弁１１を閉状態とする
ことにより常に高真空に保つことができるため、
TMP３を再起動する場合でも、第１図の排気系
のようにRT４を排気するのに時間を要すること
はない。

ところで、第３図の排気系で問題となるのは、
TMP３が停止時にRT４が大気圧もしくは比較
的高い圧力状態になつている場合である。このよ
うな状態でTMP３を再起動すると、TMP３の方
がRT４よりも低い圧力（高真空）となり、その
圧力差も大きくなるため、第１調整弁７及び第２
調整弁１１を開状態にすると、TMP３の背圧が
急上昇してTMP３のロータに衝撃を与えること
となる。そのため、本考案においては、RT４と
RP５の間に配置される第２調整弁１１を例えば
第４図に示す如く構成する。第４図に示した第２
調整弁１１の弁体２０は、弁体２０と一体となつ
たピストン２１に設けられたスプリング２２によ
つて常に押圧され上流側の真空側ポートａと下流
側の大気側ポートｂを遮断する様構成され（ノー
マルクローズの状態）、コイル２３が図示しない
電源により励磁された場合、ピストン２１がスプ
リング２２の押圧力に抗して矢印Ａの方向に移動
し、真空側ポートａと大気側ポートｂは連通す
る。又、真空側ポートａ（上流側）が大気圧側ポ
ートｂ（下流側）よりも圧力が高い場合にも、そ
の圧力差によつてピストン２１はスプリング２２
の押圧力に抗して矢印Ａ方向に自動的に移動する
ようスプリング２２の押圧力が調整されている。
そのため、第４図において真空側ポートａに接続
されたRT４の圧力が高く、大気圧側ｂに接続さ
れたTMP３の圧力がRT４の圧力より低い（高
真空）場合は、その圧力差によりピストン２１は
スプリング２２の押圧力に抗して矢印Ａ方向に自
動的に移動し、真空側ポートａと大気側ポートｂ
が連通する。従つて、RT４も同時に排気される
ためTMP３とRT４の圧力差が大きくなること
が防止できる。従つて、TMP３を再起動させる
ときにTMP３の背圧が急上昇することはない。
又、RT４が高真空に排気されRP５が大気圧の
場合は、スプリング２２の押圧力と圧力差が加わ
り弁体２０を矢印Ａ方向とは逆の方向に押圧する
ため真空側ポートａと大気側ポートｂは遮断され
RT４は高真空に保たれる。

第５図は本考案の変形であり、第５図の排気系
ではTMP３とRT４の間に第２調整弁１１を使
用し、RP５をTMP３の背圧側と第２調整弁１１
の間に接続してある。この様な排気系において
も、RT４の圧力がTMP３の圧力より高い場合
は第２調整弁１１は開状態となりRT４はRP５
により排気され、RT４の圧力がTMP３の圧力
より低い場合は、第２調整弁１１は閉状態となり
RT４は高真空に保たれる。そのため、この状態
でTMP３及びRP５を起動して、真空容器１を本
引するために主弁２を開状態としてもTMP３の
背圧が急上昇することはない。

以上の様に本考案は、TMPの背圧側にRTが
設けられた排気系において、予備排気時間を短縮
させると共に廉価な排気系を提供する。

【図面の簡単な説明】

第１図及第２図は従来の排気系を説明するため
の構成図、第３図は本考案の一実施例の構成図、
第４図は一実施例に使用される調整弁の一実施例
の概略図、第５図は他の実施例の構成図である。 １：真空容器、２：主弁、３：ターボ分子ポン
プ、４：リザーバタンク、５：油回転ポンプ、
６：リーク弁、７：第１調整弁、８，１１：第２
調整弁、９：リーク弁、１０：バイパス排気管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空容器に主弁を介して接続されたターボ分子
   ポンプと、該ターボ分子ポンプの背圧側に接続さ
   れた油回転ポンプ及びリザーバタンクと、該ター
   ボ分子ポンプをリークするリーク弁を備えた排気
   系において、前記リザーバタンクとターボ分子ポ
   ンプ又は油回転ポンプとの間に開閉弁を設け、該
   リザーバタンク内の圧力が前記ターボ分子ポンプ
   内の圧力より高い場合には前記開閉弁を開状態に
   するように構成したことを特徴とするターボ分子
   ポンプを用いた排気系。