JPS60189860A - マイクロ波により発生される無電極光源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ／１＼兄明はランフ０パルプに対する改良された結合を
イ〕しているマイクロ波により発生される＊Ｉｌｊ　′
ｔｉ、極ツＣ諒に関する。

マイクロ（ｔ＞　ＶこよりうＧ生される無電極光源は公
知であり　、、、ｉ：、ｌζ的に反射要素とメツシュか
ら作られたマイクロ、皮チャンバーと、チャンバー内に
配置白。

されているプラズマ形成媒体収容パルプとを台んでいる
。

このようなンースの作ｎ山においては、マイクロ１皮エ
ネルギーはチャンバーに結合されて、ランプパルプ内に
プラズマを励起し、これが紫外へを放出する。しかし乍
ら、パルプに結合されるマイクロ波エネルギーの用はチ
ャンバー内のパルプの位１４赦二よりｕ右され、そして
マイクロ仮チャンバー内のその特許の位置に関係なく最
大のパワーがパルプ（ｆこｉ≧１５合されるのが望まし
い。

従って、／’、、’　発明の目的は、パルプ（・ζ対し
マイクロ波の結合を最適化する光源を提もしすることで
・：）る。

更に他の目的は光源の光出力に悪影響を与えることなく
結合されたマイクロ波ノぐワー’Ｌ最適化することであ
る。

なお更に他の目的はランプパルプを冷却する新規な方法
を提供することである。

本発明によれば、上記の目的は、光♀的な零である領域
をその中にイ〕しているマイクロ波チャンバー全設け、
且つ前記領域内に公属のフィールド集中領域手段を配置
することによつ”Ｃ達成される。

従って、光出力に悪影酬゛を与えることなくパルプへの
改良された結合が達成され、更に、フィールド集中手段
内の穴が冷却ガスのノこめの人口として使用することが
できる。

本発明は添付図面を参照することによってよりよ’：　
３ＡｌｌＷされるでちろう。

図面をダ８．．＋　ｌｉ＋、覧して１：元明すると、２
は、マイクロ１７ズチヤンパー４を含むマイクロ波によ
シ発生される無’ｉｗ　４１’、、’：’　−）°Ｌ：
　Ｕ’ｒｒでおり、この中にプラズマ形成媒体収容ラン
プパルプ６がステム８に保持されでいる。

チャンバー４４ｔｊ、光反射部材１０及びメツシュ１２
を含んでお）ノ、−これバー、゛イクロ阪エネルギー１
（Ｃ刻してｔよ不透明でｉｔ）るがランフ”パルプ６に
よって放出される〜５゛外線に苅し２ては透明である。

光υＩにの作！ｉジノについて説明すると、マイクロ波
エネルギーは、リフレクタ−内のカップリングスロツ）
１５１’ｊ洪粕する導θｉ’Ｈｊ−ｔ４によつ又チャン
バーに糺呂される。ランプパルプ６内にプラズマが励起
され、このランプパルプが、メツシュラ通シ直Ｊ２ｆ放
出され、珪つまたメツシュを辿シリフレクターｌｏ　ニ
アｃよって反射される紫外患を放出するっハ′１１し：
ｊ　（Ｃ，＋’、’さｆ＋−（’　Ｖ、　Ａ生、♂ニー
・のりフレククーは、球形部分１６を有し一〇いる部分
に分れた（　ｓｅｇ−ｍｅｎｔｅｄ）　リフレクタ−で
あシ、これは珠状のパルプにより放出される放射線が球
面状のりフレフタ一部分によってパルプ上に再反射され
るので光学的な零であるのが効果的であり、この部分は
光吸収物質をコーティングすることができる。同時係絹
中の米国特許出願第　号に記載さ れている如く、部分に分れたりフレフタ−の残部は、平
らな又は断面矩形状である複数の環状バンドを含んでお
シ、これ等は８１Ｊ、１図においてセグメン）１７とし
て示されている。同時係属中の米国特許出願に記載され
ている如く、部分Ｖこ分れたりフレフタ−は、ターケ゛
ット面上に比較的小さな局部的散開を有している比較的
均一な放射線を提供する。

本発明によれば、ランプパルプに対するマイクロ波結合
は任急の与えられたランプパルプ位置に対して光学的な
零・項域内にフィールド集中手段１８を配ＩＩ′１”す
ることＶこよって改良される。図示の実施彰様でｒｌｌ
、フィールド集中手段は円筒状のチューニングスタブで
あシ、その長さはパルプの位置によって沙史沁れて、最
適の結合を与える。フィールド′集中手段は、それとス
クリーンとの間の領域の電界を増加し、これがパルプが
配置され、且つパルプ−＼の結合が改良される領域であ
シ、これがランプのより急速なスタートを生ずる。フィ
ールド集中手段がりフレフタ−の光学的な零領域に配置
パ、されるので、光源の光学的ｑ！ｆ性に悪影響をＪｊ
えガい。

更に、冷却ノノスを直接パルプ上に導くだめの手段を設
けるため穴２０がチューニングスタブ内に配置できるの
で、改良された冷却システムが提供される。

ｌト・発明は’ｌ’４定の形式の部分に分れたりフレフ
タ−に関連してゼＩＪ／］＜されたけれども、それは光
学的な零句〔域を・口しているいかなるマイクロず反ナ
ヤンパーにも１史用でき勾と理解さｇるべきである。秒
１」えは、平らな又ｅま他の形状のりフレフタ−を設け
ることができ、月つ光学的な岑領域を設けるため光吸収
物質をコートすることができる。史に上＾已に本飴明の
特電の実施（１１様が口山西されたが、当技術に対して
変更が行なわれ、且つ本発明の範囲（パよ本願に添伺さ
れた特許請求の範囲及びこれと同等のものＶこよっての
み限定されると理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は４−発明による光源の実施な、様の断面図でお
る。 第２図は第１図の光源の平面図である。。 ２・・・・・・無電極゛電源 ４・・・・・・チャンバー ６・・・・・・ランプパルプ １０・・・・・・リフレクタ− １７・・・・・・セグノノト ２０・・・・・・穴 ２３・・・・・・マイクロ波キャビティ２４・・・・・
・マイクロ波ジェネレータへ特ｓ′［出龜゛ミ人　フュ
ージョン・システムズ・ツー４？レー　ジョン 代理人　升堆士　小Ｂ」島　平　吉

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、バルブに対しマイクロ阪エネルギーの改良された結
   合を南しているマイクロ波によシ発生される無電極光源
   において、 マイクロイツタエネルギーを発生する手段と、プラズマ
   形成媒体収容バルブが配置されているマイクロ１）久チ
   ャンバーと、 該発生手段によって発生されたマイクロ波エネルギーを
   該チャンバーに結合するだめの手段とを具備してい゛て
   、 該チャンバーが光学的な零である部分を含んでおシ、 そして更に、電界を該バルブの領域内に集中し、く結合
   するだめ、該チャンバーの該光学的な塔部分に配置醒さ
   れた金属のフィールド集中手段を具（１ｉ＋ｉしている
   ことを特徴とする光源。 ２、該バルブ及び光学的な零である該チャンバーの部分
   の双方が球形である特Ｊ二１請求の範囲第１項記載の光
   源。 ３、該球形チャンバ一部分が部分に分れたりフレフタ−
   の部分である特許請求の範囲第２項記載の光臨。 ４、　核金机のフィールド集中手段が金属スタフ゛であ
   る特許請求の範囲第２項記載の光源。 ５　該フィールド集中手段が冷却ガスを収容１２、且つ
   該ガスを該バルブへ導くだめその中に穴を有している特
   許請求の範囲第２項記載の光線、１６、該光学的な零が
   該リフレクタ−の部分を光吸収物質でコーティングする
   ことによって作られ＋１１１−シー二ｒｒ−＝−１１＝
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   ｌｒ１鴫−１＋＋−−＋＋