JPS60190812A - 位置検出器 - Google Patents
位置検出器Info
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- JPS60190812A JPS60190812A JP22391684A JP22391684A JPS60190812A JP S60190812 A JPS60190812 A JP S60190812A JP 22391684 A JP22391684 A JP 22391684A JP 22391684 A JP22391684 A JP 22391684A JP S60190812 A JPS60190812 A JP S60190812A
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- Japan
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- grating
- diffraction grating
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、回折格子を用いた位置検出器に関する。
従来、ミクロン・メートル（μｍ）単位の直線変位量を
計測する手段として、２枚の透過型回折格子を重ね合わ
ぜたいわゆるモアレ・スケールが広く用いられている（
例えば、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈ −ｙｓｉｃｓ
Ｅ：５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ ｌ
９７２ＶＯＬ５ｐ−１９３−）。その−例を第１図に
示す。
計測する手段として、２枚の透過型回折格子を重ね合わ
ぜたいわゆるモアレ・スケールが広く用いられている（
例えば、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈ −ｙｓｉｃｓ
Ｅ：５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ ｌ
９７２ＶＯＬ５ｐ−１９３−）。その−例を第１図に
示す。
光源Ｉからの光はコリメータレンズ２によって平行光と
され、周期８μｍ程度の格子溝が形成されている主スケ
ール３を照射する。この主スケール３と同一周期の格子
溝を有するインテックス・スケール４が主スケール３に
向い合うように配置されていて、両スケール格子溝の幾
何的関係に応じて前記照射光は通過したり、遮蔽された
りする。
され、周期８μｍ程度の格子溝が形成されている主スケ
ール３を照射する。この主スケール３と同一周期の格子
溝を有するインテックス・スケール４が主スケール３に
向い合うように配置されていて、両スケール格子溝の幾
何的関係に応じて前記照射光は通過したり、遮蔽された
りする。
通過した光は集光レンズ５により集光され、光電変換素
子６に入射してその光強度に応じた電気信号に変換され
る。格子溝周期か８μｍ程度のスケールを用いた場合、
主スケール３の移動に伴なって８μｍを一周期とした正
弦状の信号となり、この信号の山数を計数することによ
り王スケールの移ｗＪ量を計測することかできる。
子６に入射してその光強度に応じた電気信号に変換され
る。格子溝周期か８μｍ程度のスケールを用いた場合、
主スケール３の移動に伴なって８μｍを一周期とした正
弦状の信号となり、この信号の山数を計数することによ
り王スケールの移ｗＪ量を計測することかできる。
＠２図は前記透過型スケール３の代わりに反射型回折格
子を用いる場合の一例である。光源１からの光はコリメ
ータレンズ２によって平行光とされ、反射型スケール７
に対し斜めに入射する。その結果、反射型スケール７の
格子溝の反射部分にあたった光は反射されるが、透過部
にあたった光は透過する゛か、または吸収されてしまう
ため、反射光束の断面は明暗の縞状となっている。そし
て、この縞は反射スケール７の移動と共に移動する。
子を用いる場合の一例である。光源１からの光はコリメ
ータレンズ２によって平行光とされ、反射型スケール７
に対し斜めに入射する。その結果、反射型スケール７の
格子溝の反射部分にあたった光は反射されるが、透過部
にあたった光は透過する゛か、または吸収されてしまう
ため、反射光束の断面は明暗の縞状となっている。そし
て、この縞は反射スケール７の移動と共に移動する。
この縞状反射光は集光レンズ５と反射鏡８の組６合わせ
により再び来た光路を逆もどりする。この逆もどりした
縞状反射光は反射スケール７の移動と共に移動するが、
反射鏡８によりその移動方向は反転している。この光は
再度反射スケール７の反射溝部分で反射され、レンズ２
、ハーフミラ−９を介して光電素子６に入射する。光電
素子６に入射する光強度は反射スケール７の移動と共に
正弦状の明暗となるが、上記したように反射鏡８で反射
されて逆もどりする光は反射スケール７と反対方向に移
動するため、その周期は格子前ピッチ（７） ｌ ／
２となる。すなわち、変位感度は第１図のものに比べ２
倍になる。
により再び来た光路を逆もどりする。この逆もどりした
縞状反射光は反射スケール７の移動と共に移動するが、
反射鏡８によりその移動方向は反転している。この光は
再度反射スケール７の反射溝部分で反射され、レンズ２
、ハーフミラ−９を介して光電素子６に入射する。光電
素子６に入射する光強度は反射スケール７の移動と共に
正弦状の明暗となるが、上記したように反射鏡８で反射
されて逆もどりする光は反射スケール７と反対方向に移
動するため、その周期は格子前ピッチ（７） ｌ ／
２となる。すなわち、変位感度は第１図のものに比べ２
倍になる。
上記した２棟類のモアレ・スケールでは、格子溝スケー
ルを単に明暗のスリット列としてしか用いておらず、格
子の回折現象を利用しているわけではない。そのため光
源ｌとして１ｍ便な白色光を用いることができる反面、
変位感度を向上すべくスケールの格子ピッチを小さくす
ると逆に光の回折現象が無視できなくなり、たかだか５
μＩｎ程度までしか格子ピッチを小さくできない欠点が
ある。
ルを単に明暗のスリット列としてしか用いておらず、格
子の回折現象を利用しているわけではない。そのため光
源ｌとして１ｍ便な白色光を用いることができる反面、
変位感度を向上すべくスケールの格子ピッチを小さくす
ると逆に光の回折現象が無視できなくなり、たかだか５
μＩｎ程度までしか格子ピッチを小さくできない欠点が
ある。
上記の型式のモアレ・スケールと異なり、格子溝スケー
ルの回折光の干渉を利用したものが考えられている（
０ｐｔｉｃｓ ＆； ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｖｏ
Ｌ。
ルの回折光の干渉を利用したものが考えられている（
０ｐｔｉｃｓ ＆； ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｖｏ
Ｌ。
Ｌ３ｐ−２９５−）。第３図は、その例を示すものであ
る。単色の点光源１からの光はコリメータ・レンズ２に
より平行光とされた後にビームスプリッタ１１に斜めに
入射し、その分割面において透過する光ａと反射する光
すの２つに分割される。
る。単色の点光源１からの光はコリメータ・レンズ２に
より平行光とされた後にビームスプリッタ１１に斜めに
入射し、その分割面において透過する光ａと反射する光
すの２つに分割される。
それぞれの光は反射型回折格子１０に斜めに入射し、回
折される。反射回折光の方向は、回折格子１０の格子定
数４１入射角および入射波長λによって決定され、それ
らを適当に選ぶと入射した方向へ回折させることが可能
である。この場合回折光は負の次数を持つものとなる。
折される。反射回折光の方向は、回折格子１０の格子定
数４１入射角および入射波長λによって決定され、それ
らを適当に選ぶと入射した方向へ回折させることが可能
である。この場合回折光は負の次数を持つものとなる。
さて回折して入射光の光路を逆にたどった２つの光ａ’
、ｂ’はそれぞれ再びビームスプリッタ１■により２
分割される。ビームスプリッタ１１を透過したａ′とｂ
′の光はレンズ２、ハーフミラ−９を介して光電素子６
に入射する。この２つの光は可干渉であるため干渉し、
光強度に明暗を生じる。回折格子１０の格子溝１／２本
分の距離ｄ／２だけ変位すると電気信号は一周期の正弦
波を生ずる。この型式のものでは回折現象を利用してい
るため、光源としては可干渉なものであるこ仔 とが必要であるが、株子定数を小さくすることができ、
高感度な位１ａ検出器を得ることが可能である。
、ｂ’はそれぞれ再びビームスプリッタ１■により２
分割される。ビームスプリッタ１１を透過したａ′とｂ
′の光はレンズ２、ハーフミラ−９を介して光電素子６
に入射する。この２つの光は可干渉であるため干渉し、
光強度に明暗を生じる。回折格子１０の格子溝１／２本
分の距離ｄ／２だけ変位すると電気信号は一周期の正弦
波を生ずる。この型式のものでは回折現象を利用してい
るため、光源としては可干渉なものであるこ仔 とが必要であるが、株子定数を小さくすることができ、
高感度な位１ａ検出器を得ることが可能である。
しかし、第３図の形式のものを実施する上で次のような
欠点がある。すなわち、■）作動距離（物がぶつからな
い空間のきよりで、回折格子１０とビームスプリッタ１
１間の距離をいう）を比較的大きくとりたい場合（例え
ば、１０ｍｍ程度）には必然的に回折格子上に照射され
る２光束間の距離りが大きくなり、一定の移動距離を検
出するにはそれだけ長い回折格子が必要となること。
欠点がある。すなわち、■）作動距離（物がぶつからな
い空間のきよりで、回折格子１０とビームスプリッタ１
１間の距離をいう）を比較的大きくとりたい場合（例え
ば、１０ｍｍ程度）には必然的に回折格子上に照射され
る２光束間の距離りが大きくなり、一定の移動距離を検
出するにはそれだけ長い回折格子が必要となること。
２）光源からの入射光をビームスプリッタにより分割し
ており、その透過光はビームスプリッタの傾き角に影響
されないが、反射光はその傾き角に依存するため、回折
格子ｌＯからの２つの反射回折光が良く干渉するようビ
ームスプリッタ１１と光源ｌルンズ２等の光学軸を厳密
にアライメントする必要があり、逆にこの回折格子ｌＯ
が移動した場合には光学系が狂いやすいこと。そして、
３）お互いに干渉させる光が回折格子１０の異なった２
つの部分によって回折された光どうしであるため、良好
な干渉性を得るためには特に均一な格子溝性能を有する
回折格子が必要となり、また格子上のゴミやキズの影響
を受けやすいこと、等。
ており、その透過光はビームスプリッタの傾き角に影響
されないが、反射光はその傾き角に依存するため、回折
格子ｌＯからの２つの反射回折光が良く干渉するようビ
ームスプリッタ１１と光源ｌルンズ２等の光学軸を厳密
にアライメントする必要があり、逆にこの回折格子ｌＯ
が移動した場合には光学系が狂いやすいこと。そして、
３）お互いに干渉させる光が回折格子１０の異なった２
つの部分によって回折された光どうしであるため、良好
な干渉性を得るためには特に均一な格子溝性能を有する
回折格子が必要となり、また格子上のゴミやキズの影響
を受けやすいこと、等。
本発明は、上述した従来の欠点を解消した位置検出器を
提供するものである。
提供するものである。
説明する。
単色の黒光′ｍ、１からの光はコリメート・レンズ２に
より平行光とされ、反射型回折格子１０の格子溝平面に
゛垂直に入射させる。そうすると、入射波長さ格子定数
ｄから定まる方向にＲ１，Ｒ２のそれぞれ正負次数の回
折光が反射される。この場合、多数の次数の回折光が存
在するが、ここではただ−組の同一次数の光に注目する
。さて、回折光ｉｌｌ、Ｒ２はお互いに平行な反射面Ｍ
、Ｌ、Ｍ２によって反射された後にビームスプリッタ１
ｊに入射し、透過する回折光几ｌと反射される回折光Ｒ
２は同一方向に憩行して干渉し合い、光重素子６に入射
する。その干渉は回折格子１０上の折点とビームスプリ
ッタ１１によって再び合成されるで正弦状の信号が得ら
れる。
より平行光とされ、反射型回折格子１０の格子溝平面に
゛垂直に入射させる。そうすると、入射波長さ格子定数
ｄから定まる方向にＲ１，Ｒ２のそれぞれ正負次数の回
折光が反射される。この場合、多数の次数の回折光が存
在するが、ここではただ−組の同一次数の光に注目する
。さて、回折光ｉｌｌ、Ｒ２はお互いに平行な反射面Ｍ
、Ｌ、Ｍ２によって反射された後にビームスプリッタ１
ｊに入射し、透過する回折光几ｌと反射される回折光Ｒ
２は同一方向に憩行して干渉し合い、光重素子６に入射
する。その干渉は回折格子１０上の折点とビームスプリ
ッタ１１によって再び合成されるで正弦状の信号が得ら
れる。
以上説明したように、本発明では回折格子に垂直入射し
た光のそれぞれ正貝同仄数の光どうしを干渉させること
に特徴かあり、その結果、上述した従来の欠点を解消す
ることが可能となる。ずなわぢ、回折現象を利用してい
るため格子定数ｄを極めて小さく、たとえばｄ ＝ ０
．８μｍ位のものも用いることができ、それだけ高感度
な位置検出が可能である。また回折格子に垂直入射させ
ることから光学系のアライメントが容易であり、さらに
直交格子溝を形成しである回折格子を用いることにより
、ＸＹ二次元の位置検出が可能となる。これについては
詳しく後述する。第４図では本発明の原理的構成を反射
型回折格子の例で説明しているが、これを透過型回折格
子とすることも当然可能である。
た光のそれぞれ正貝同仄数の光どうしを干渉させること
に特徴かあり、その結果、上述した従来の欠点を解消す
ることが可能となる。ずなわぢ、回折現象を利用してい
るため格子定数ｄを極めて小さく、たとえばｄ ＝ ０
．８μｍ位のものも用いることができ、それだけ高感度
な位置検出が可能である。また回折格子に垂直入射させ
ることから光学系のアライメントが容易であり、さらに
直交格子溝を形成しである回折格子を用いることにより
、ＸＹ二次元の位置検出が可能となる。これについては
詳しく後述する。第４図では本発明の原理的構成を反射
型回折格子の例で説明しているが、これを透過型回折格
子とすることも当然可能である。
第５図は、本発明の一実施例を説明する図である。光源
１３は波長８３０ｎｍのレーザ・タイオードを用い、そ
の光はコリメータレンズ２によって平行ビームとされて
反射型回折格子１０に垂直に入射する。格子定数ｄを１
．６μｒ７１（ｄ場合、正負それぞれの一次回折光は約
４０°の角度で反射回折し、ポロプリズムｌもり、１％
２に入射する。両回折光はそれぞれのポロプリズムによ
りもと米だ方向に対射され、再び回折格子上の１点Ｘ２
に入射して再び回折される。ここでそれぞれの光路内に
はお互いに直交した偏光１１（１＋をもつ偏光＆Ｐ１゜
Ｐ２が設けられているため、前記Ｘ２点での０次回折光
はさえきられる一方、回折格子１０に垂直な方向に回折
する両回折光はお互いに直交した偏光而を有したままビ
ームスプリッタ１１に入射する。このビームスプリッタ
を透過した両直線偏光は、それぞれの偏光面古さらに４
５０の角度の偏光而を有する偏光板Ｐ３を通過してお互
いに可干渉な光となり、受光素子１〕１に入射する。他
方、ビームスプリッタ１工を反射した両直線偏光は偏光
板Ｐ３からさらに９０°回転した偏光面を有する偏光板
Ｐ４を通過して受光素子Ｄ２に入射する。
１３は波長８３０ｎｍのレーザ・タイオードを用い、そ
の光はコリメータレンズ２によって平行ビームとされて
反射型回折格子１０に垂直に入射する。格子定数ｄを１
．６μｒ７１（ｄ場合、正負それぞれの一次回折光は約
４０°の角度で反射回折し、ポロプリズムｌもり、１％
２に入射する。両回折光はそれぞれのポロプリズムによ
りもと米だ方向に対射され、再び回折格子上の１点Ｘ２
に入射して再び回折される。ここでそれぞれの光路内に
はお互いに直交した偏光１１（１＋をもつ偏光＆Ｐ１゜
Ｐ２が設けられているため、前記Ｘ２点での０次回折光
はさえきられる一方、回折格子１０に垂直な方向に回折
する両回折光はお互いに直交した偏光而を有したままビ
ームスプリッタ１１に入射する。このビームスプリッタ
を透過した両直線偏光は、それぞれの偏光面古さらに４
５０の角度の偏光而を有する偏光板Ｐ３を通過してお互
いに可干渉な光となり、受光素子１〕１に入射する。他
方、ビームスプリッタ１工を反射した両直線偏光は偏光
板Ｐ３からさらに９０°回転した偏光面を有する偏光板
Ｐ４を通過して受光素子Ｄ２に入射する。
それぞれの受光素子１）ｌ、Ｄ２から得られる信号ＳＬ
、８２は、たとえは第６図（ａ）に示すように、回折格
子の移動量ｄ／４（二０．４μｍ）を周期とし、位相が
お互いに９０°ずれている正弦状の信号である。この正
弦信号の振１１￥計１１心のレヘル■１に対する１百号
の大小を比奴し、第６図（１））に示すごとく信号をテ
ジクル化した後、その信号の立上がりおよび立下がりで
第６図（Ｃ）のｙ口きパルス信号を発生させる。これら
の信号処理は既知の方法で行うことができる。
、８２は、たとえは第６図（ａ）に示すように、回折格
子の移動量ｄ／４（二０．４μｍ）を周期とし、位相が
お互いに９０°ずれている正弦状の信号である。この正
弦信号の振１１￥計１１心のレヘル■１に対する１百号
の大小を比奴し、第６図（１））に示すごとく信号をテ
ジクル化した後、その信号の立上がりおよび立下がりで
第６図（Ｃ）のｙ口きパルス信号を発生させる。これら
の信号処理は既知の方法で行うことができる。
以上の処理によりパルスは回折格子の移動量ｄ／１６（
二〇、１μｍ ）ごとに発生ずることになり、これを計
数することにより移動量を知ることができる。本実施例
ではポロプリズムを用いて２度回折させているが、これ
は回折格子１０の移動により回折格子にわずかな傾き等
を生じても、２つの回折光の進行方向を常に一致さぜ、
艮好な干渉を得るためである。また２度回折させるため
感度は、第４図のものに比べ２倍となっている。この感
度に対しては回折光としてさらに多数次どうしを干渉さ
せることにより、高感度とすることが可能である。また
ポロプリズムの代わりにキ−プ・コーナ等を用いても同
じ効果が得られるのは明らかである。
二〇、１μｍ ）ごとに発生ずることになり、これを計
数することにより移動量を知ることができる。本実施例
ではポロプリズムを用いて２度回折させているが、これ
は回折格子１０の移動により回折格子にわずかな傾き等
を生じても、２つの回折光の進行方向を常に一致さぜ、
艮好な干渉を得るためである。また２度回折させるため
感度は、第４図のものに比べ２倍となっている。この感
度に対しては回折光としてさらに多数次どうしを干渉さ
せることにより、高感度とすることが可能である。また
ポロプリズムの代わりにキ−プ・コーナ等を用いても同
じ効果が得られるのは明らかである。
第７図は、本発明により二次元の位１ｄ検出を行う場合
の実施例を示す図である。回折格子１０′としてはＸ、
Ｙ方向に直角に溝が形成されているもの（直角格子）を
用い、第５図と同様、回折格子１０’に垂直にレーザビ
ームを入射する。その結果、それ゛ぞれ格子溝と直角な
４つの方向に光は反射回折され、ポロプリズムＲλ＋、
Ｒｘ−、几ｙ＋。
の実施例を示す図である。回折格子１０′としてはＸ、
Ｙ方向に直角に溝が形成されているもの（直角格子）を
用い、第５図と同様、回折格子１０’に垂直にレーザビ
ームを入射する。その結果、それ゛ぞれ格子溝と直角な
４つの方向に光は反射回折され、ポロプリズムＲλ＋、
Ｒｘ−、几ｙ＋。
Ｒｙ−に入射、反射される。ポロプリズムＲｘ＋とＲＸ
−で反射された光は回折格子上の１点Ｘ２に集まり、再
び垂直に回折される。他方Ｙ軸方向の光は点Ｙ２で一致
する。
−で反射された光は回折格子上の１点Ｘ２に集まり、再
び垂直に回折される。他方Ｙ軸方向の光は点Ｙ２で一致
する。
このような光字系により、それぞれＸ軸、Ｙ軸方向の回
折格子の移動をそれぞれ独立した回折光の干渉として得
ることができ、二次元の位置検出をすることができる。
折格子の移動をそれぞれ独立した回折光の干渉として得
ることができ、二次元の位置検出をすることができる。
なお、図中、２’ 、１１’。
１３’ 、Ｓ、’、Ｄ、’ 、Ｓ２’ 、Ｄ２’ 、
Ｐ３’、Ｐ４’はそれぞれ第５図に示した２ 、１１，
１３．Ｓ、、Ｄｌ。
Ｐ３’、Ｐ４’はそれぞれ第５図に示した２ 、１１，
１３．Ｓ、、Ｄｌ。
Ｓ２ ＋ Ｄ２ ＋ ”３ ＋ ”４と同様のものを示
し、またＰｘ＋、Ｐχ−はＸ方向に配置した偏光板、ｐ
ｙ＋ 。
し、またＰｘ＋、Ｐχ−はＸ方向に配置した偏光板、ｐ
ｙ＋ 。
ＰＹ−はＹ方向に配置した偏光板を示す。
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、移動
格子からｌ Ｏｍ ｍ程度離れていながら０４１μｍ単
位の位置検出が可能であり、焦点合わせの心安もない。
格子からｌ Ｏｍ ｍ程度離れていながら０４１μｍ単
位の位置検出が可能であり、焦点合わせの心安もない。
また二次元の位置検出も容易であるので、ＸＹ移動台等
と組合わせ、座標検出を行う測定器や、精密位置決めが
必要な／？！ｒ槙製造機械に応用できるなど、種々なる
利点を有し、実用に供してその効果は太きい。なお、本
発明は上記実施例で用いた具体的数値等に限定されるも
のではなく、適宜設定可能であることはいうまでもない
。
と組合わせ、座標検出を行う測定器や、精密位置決めが
必要な／？！ｒ槙製造機械に応用できるなど、種々なる
利点を有し、実用に供してその効果は太きい。なお、本
発明は上記実施例で用いた具体的数値等に限定されるも
のではなく、適宜設定可能であることはいうまでもない
。
第１図乃至第３図は、それぞれ従来の位置検出器を示す
図、第４図は、本発明の基本的原理を説明する図、第５
図は、本発明の一実施例を示す図、第６図は、その信号
処理の一例を示す信号波形図、および第７図は、本発明
により二次元の位置検出を行う実施例を示す図である。 図中、■・・・点光源、２・・・コリメート・レンズ、
６・・・光電素子、ｌＯ・・・回折格子、１１・・・ビ
ームス■１図 ′Ｆ３２ 図 嘉 ５ 図 第 ４ 図 手 ４゛ε 捕 止 １１：（方式） ６０４１７ ％式％ （３ 発明の名称 位 １１“１′ 倹 出 ど；４補止をす
る考 ′１ｆ件との関係 特許出願人 名 ｆホ （５１０）イス、式会礼 ［−１きＺｉｆヴ
作 所代 理 人 ）１１：）ヅ［刊ｏｏ東京都千代１１」区丸の内−・」
川」５’（！′ｊ１号株式会社１」立製作所内 電 話 東京２１２−１１１１（大代表）補正命令の１
コ１イ□Ｉ’ Ｉｔ！ｆ ４’ｌｌ ６０年３ＪＪ２６
１」補止の対象 明５ｉｌｌ ；！ｌの「発明の詳３１
１１な説明」の欄／−７〉＼ 補正の内容 （１）明＃ｍ ｉ！ｘ、の第１頁第２０行＋４１から第
２頁第２行目の記載を下記の通り訂正する。 記 ［広く用いられている。このような技術を開示する公ｊ
ｌ１例としては、例えはジャーナルオフ フイジソグス
イー：サイエンティフインク インスツルメンｈ１９７
２第５巻第］９３頁（，１ｏｕｒｎａｌ ｏｆＰｈｙｓ
ｊ、ｃｓ ｔＥ ： ５ｃｉｅｎｔｉｆｊ、ｃ Ｉｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔ １ ９７２ Ｖｏｌ、５． ｐｉ ９
３ ）がある。その−例を第１図に示す。」 （２）明細専の第４頁第９行Ｌ１および第１−０行］」
の記１代を次の通り訂正する。 ［られている。例えば、オプティソタスアンドスペク１
−ロスコピ第１３巻第２９５頁（０ｐｔｉｃｓ＆ ５ｐ
ｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｖｏｌ、 １．３ 、 ｐ２９
５ ）に記載されている。第３図は、その例を示すも」
図、第４図は、本発明の基本的原理を説明する図、第５
図は、本発明の一実施例を示す図、第６図は、その信号
処理の一例を示す信号波形図、および第７図は、本発明
により二次元の位置検出を行う実施例を示す図である。 図中、■・・・点光源、２・・・コリメート・レンズ、
６・・・光電素子、ｌＯ・・・回折格子、１１・・・ビ
ームス■１図 ′Ｆ３２ 図 嘉 ５ 図 第 ４ 図 手 ４゛ε 捕 止 １１：（方式） ６０４１７ ％式％ （３ 発明の名称 位 １１“１′ 倹 出 ど；４補止をす
る考 ′１ｆ件との関係 特許出願人 名 ｆホ （５１０）イス、式会礼 ［−１きＺｉｆヴ
作 所代 理 人 ）１１：）ヅ［刊ｏｏ東京都千代１１」区丸の内−・」
川」５’（！′ｊ１号株式会社１」立製作所内 電 話 東京２１２−１１１１（大代表）補正命令の１
コ１イ□Ｉ’ Ｉｔ！ｆ ４’ｌｌ ６０年３ＪＪ２６
１」補止の対象 明５ｉｌｌ ；！ｌの「発明の詳３１
１１な説明」の欄／−７〉＼ 補正の内容 （１）明＃ｍ ｉ！ｘ、の第１頁第２０行＋４１から第
２頁第２行目の記載を下記の通り訂正する。 記 ［広く用いられている。このような技術を開示する公ｊ
ｌ１例としては、例えはジャーナルオフ フイジソグス
イー：サイエンティフインク インスツルメンｈ１９７
２第５巻第］９３頁（，１ｏｕｒｎａｌ ｏｆＰｈｙｓ
ｊ、ｃｓ ｔＥ ： ５ｃｉｅｎｔｉｆｊ、ｃ Ｉｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔ １ ９７２ Ｖｏｌ、５． ｐｉ ９
３ ）がある。その−例を第１図に示す。」 （２）明細専の第４頁第９行Ｌ１および第１−０行］」
の記１代を次の通り訂正する。 ［られている。例えば、オプティソタスアンドスペク１
−ロスコピ第１３巻第２９５頁（０ｐｔｉｃｓ＆ ５ｐ
ｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ Ｖｏｌ、 １．３ 、 ｐ２９
５ ）に記載されている。第３図は、その例を示すも」
Claims (1)
- ン動方向に対して垂直な格子溝を有する回折格子と、該
回折格子に単色平行光を垂直に入射せしめる手段と、該
回折格子により生起される回折光のうち一組の同一次数
の回折光をとり出して、これらを干渉せしめる手段と、
該干渉光を光電変換せしめて得られる電気信号をもとに
、該回折格子の移動位置を検出する手段を具備してなる
ことを特徴とする位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22391684A JPS60190812A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22391684A JPS60190812A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 位置検出器 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10295690A Division JPH032520A (ja) | 1990-04-20 | 1990-04-20 | 位置検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60190812A true JPS60190812A (ja) | 1985-09-28 |
| JPH0126005B2 JPH0126005B2 (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=16805720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22391684A Granted JPS60190812A (ja) | 1984-10-26 | 1984-10-26 | 位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60190812A (ja) |
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| JPS62163926A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-20 | Canon Inc | リニアエンコ−ダ− |
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| JP2013160760A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 位置測定装置及び複数の位置測定装置を備えた装置 |
| WO2013161428A1 (ja) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | 株式会社ニコン | 計測方法及びエンコーダ装置、並びに露光方法及び装置 |
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1984
- 1984-10-26 JP JP22391684A patent/JPS60190812A/ja active Granted
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| JPWO2013161428A1 (ja) * | 2012-04-26 | 2015-12-24 | 株式会社ニコン | 計測方法及びエンコーダ装置、並びに露光方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0126005B2 (ja) | 1989-05-22 |
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