JPS6020016Y2 - 質量流量計 - Google Patents

質量流量計

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JPS6020016Y2
JPS6020016Y2 JP5914484U JP5914484U JPS6020016Y2 JP S6020016 Y2 JPS6020016 Y2 JP S6020016Y2 JP 5914484 U JP5914484 U JP 5914484U JP 5914484 U JP5914484 U JP 5914484U JP S6020016 Y2 JPS6020016 Y2 JP S6020016Y2
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JP
Japan
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detection tube
heater
mass flow
main body
internal thread
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Expired
Application number
JP5914484U
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English (en)
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JPS59176925U (ja
Inventor
岳志 紀本
Original Assignee
株式会社 環境理化学研究所
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Publication date
Application filed by 株式会社 環境理化学研究所 filed Critical 株式会社 環境理化学研究所
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、気体や液体などの流体の質量流量を測定する
質量流量計に関するものであり、製作の容易な質量流量
計を提供することを目的とする新規な構造に関する。
本考案は、本体1に入口3、内ねじ20、小径流路2、
円錐台部21、大径流路22および出口4がこの順序で
一直線状に形成されて連通しており、内ねじ20にはオ
リフィス孔5aを有するオリフィス部材5が螺合して前
記−直線に沿って変位調整可能であり、本体における内
ねじ20のオリフィス部材5よりも入口3側と、大径流
路22の出口4側とには、前記−直線に垂直な接続孔2
3.24がそれぞれ連通し、導電性材料から成る検出管
6は、半円弧部分6aと、その半円弧部分6aの両端に
接線方向に連なって相互に平行な直管状の接続部6b、
6cとを有し、接続部6b。
6Cは接続孔23.24にそれぞれ嵌合して固着され、
検出管6の途中にはコイル状ヒータ7が巻回され、検出
管6においてヒータ7に関して上手と下手とに熱電対1
1を構成する一対の線材9゜10の各一端をそれぞれ溶
接し、検出管6の質量流量に対応した前記各線材9,1
0の他端間の電位差を測定する手段12.13を設け、
検出管6の半円弧部分6aと、ヒータ7と、熱電対11
を構成する一対の線材9,10とは、本体1に連なる断
熱材14によって覆われていることを特徴とする質量流
量計である。
第1図は本考案の一実施例の縦断面図である。
金属性の本体1には、入口3、内ねじ20、小径流路2
、円錐台部21.大径流路22および出口4がこの順序
で一直線状に形成されて連通ずる。
内ねじ20には、オリフィス孔5aを有するオリフィス
部材5が螺合して前記−直線に沿って第1図の左右に変
位調整可能である。
本体1では、内ねじ20のオリフィス部材5よりも入口
3側と、大径流路22の出口4側とには、前記−直線に
垂直な接続孔23.24がそれぞれ連通している。
検出管6は、半円弧部分6aと、その半円弧部分6aの
両端に接線方向に連なって相互に平行な直管状の接続部
6b、6cとを有する。
接続部6b、6cは、接続孔23.24にそれぞれ嵌合
する。
オリフィス5を流過する気体の流過方向上手と下手とは
、ステンレス鋼、銅およびアルミニウムなどの導電性金
属から成る検出管6によって、連通される。
検出管6の外壁の上手位置15には、熱電対11を構成
する一方の金属線材9の一端が溶接によって固着される
。
また検出管6の外壁の下手位置16には、熱電対11を
構成する他方の金属線材10の一端が溶接によって固着
される。
熱電対11を構成する金属線材9,10は、たとえハ鉄
およびコンスタンタンの対、またはクロメルおよびアル
メルの対などで形成される。
熱電対11の金属線材9,10の他端は増幅器12に接
続される。
この増幅器12により熱電対11の出力電圧は増幅され
て、ディジタル表示装置13に表示される。
検出管6において、熱電対11を構成する金属線材9,
10が固着された位置15゜16の間には、ヒータ7が
コイル状に巻回される。
ヒータ7は電源8によって電力付勢される。検出管6と
、検出管6に巻回されたヒータ7と、検出管6に固着さ
れた金属線材9,10とは、アスベストなどの断熱材1
4によって覆われて、外気の温度による測定精度の低下
が防がれる。
本体1の入口3から気体を圧送すると、オリフィス5の
抵抗によってその気体の一部は、検出管6にバイパスし
て流れる。
このとき検出管6はヒータ7によって一定の熱負荷を受
けている。
そのために検出管6に流れた気体は加熱されて出口4に
至る。
残余の大部分の気体はオリフィス5を通過して出口4に
流れる。
入口3に圧送される気体の質量流量が大きくなると、検
出管6に流れる気体の質量流量が大きくなって、検出管
6から気体への伝熱量が大きくなる。
したがって検出管6において、熱電対11を構成する2
つの金属線材9.10の一端が固着された位置15.1
6間の温度差が相対的に大きくなり、熱電対11の出力
電圧が大きくなる。
またこれとは逆に、検出管6を流れる気体の質量流量が
小さくなると、前記温度差は小さくなって、熱電対11
の出力電圧が小さくなる。
このように検出管6を流れる気体の質量流量と熱電対1
1の出力電圧とは相関関係を有する。
また検出管6を流れる気体の質量流量は、その検出管6
を流れる気体の質量流量と、オリフィス5を通って流路
2を流れる気体の質量流量との和、すなわち入口3から
出口4に流れる気体の全質量流量に対応している。
したがって熱電対11の出力電圧を測定することによっ
て、入口3から出口4に流れる気体の全質量流量を測定
することができる。
しかして熱電対11の出力電圧は増幅器12で増幅され
て、ディジタル表示装置13に質量流量が表示される。
それによって入口3から出口4に流れる気体の全質量流
量を知ることができる。
第2図は第1図示の実施例の実験結果である。
横軸は入口3に流入する空気の質量流量を示し、縦軸は
熱電対11の出力電圧を示す。
この実験では、ヒータ7の負荷は0.7Wであり、流過
する空気の温度は25°C1圧力は1atrnであった
。
以上のように本考案によれば、オリフィスなどの流れ抵
抗体を設けた流路の途中に導電性を有する材料から戒る
検出管を抵抗体の上手と下手とにわたって形成腰検出管
の途中に電力付勢されるヒータを設け、熱電体を構成す
る線材の一端を検出管の上手と下手とにそれぞれ接続し
、前記線材の他端の電位差を検出するように構成される
。
検出管を流れる流体の質量流量と前記電位差は相関関係
を有するので、電位差を検出することによって、検出管
したがって入口3から出口4へ流れる流体の質量流量を
既存のものに比べて高精度に測定することができる。
また構造が簡単であるので製作が容易である。
また本考案では、検出管6は、半円弧部分6aとその両
端の直管状接続部6b、6cとから成るので、検出管6
を高精度で製作することが容易であり、したがって測定
精度を向上することができる。
オリフィス部材5は、本体1の内ねじ20に螺合してい
るので、オリフィス部材5を変換してオリフィス孔5a
を適宜変えることが可能となり、用途が広範囲となる。
断熱材14は、その断熱作用によって測定精度を向上す
るのに役立つだけでなく、検出管6および線材9,10
が錆を生じたりするのを防ぎ、また線材9,10および
ヒータ7を保護する働きをし、このことによって長期間
にわたる高精度の使用が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の縦断面図、第2図は第1図
示の実施例の実験結果における空気流量と熱電対11の
出力電圧との関係を示すグラフである。 1・・・・・・本体、2・・・・・・流路、3・・・・
・・入口、4・・・・・・出口、5・・・・・・オリフ
ィス、6・・・・・・検出管、7・・・・・・ヒータ、
訃・・・・・電源、9,10・・・・・・金属線材、1
1・・・・・・熱電体、12・・・・・・増幅器、13
・・・・・・ディジタル表示装置、14・・・・・・断
熱材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 本体1に入口3、内ねじ20、小径流路2、円錐台部2
    1、大径流路22および出口4がこの順序で一直線状に
    形成されて連通しており、内ねじ20にはオリフィス孔
    5aを有するオリフィス部材5が螺合して前記−直線に
    沿って変位調整可能であり、本体における内ねじ20の
    オリフィス部材5よりも入口3側と、大径流路22の出
    口4側とには、前記−直線に垂直な接続孔23,24が
    それぞれ連通し、導電性材料から成る検出管6は、半円
    弧部分6aと、その半円弧部分6aの両端に接線方向に
    連なって相互に平行な直管状の接続部6b、6cとを有
    し、接続部6bt6cは接続孔23.24にそれぞれ嵌
    合して固着され、検出管6の途中にはコル状ヒータ7が
    巻回され、検出管6においてヒータ7に関して上手と下
    手とに熱電対11を構成する一対の線材9,10の各一
    端をそれぞれ溶接し、検出管6の質量流量に対応した前
    記各線材9,10の他端間の電位差を測定する手段12
    .13を設け、検出管6の半円弧部分6aと、ヒータ7
    と、熱電体11を構成する一対の線材9,10とは、本
    体1に連なる断熱材14によって覆われていることを特
    徴とする質量流量計。
JP5914484U 1984-04-21 1984-04-21 質量流量計 Expired JPS6020016Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5914484U JPS6020016Y2 (ja) 1984-04-21 1984-04-21 質量流量計

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JP5914484U JPS6020016Y2 (ja) 1984-04-21 1984-04-21 質量流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59176925U JPS59176925U (ja) 1984-11-27
JPS6020016Y2 true JPS6020016Y2 (ja) 1985-06-15

Family

ID=30189406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5914484U Expired JPS6020016Y2 (ja) 1984-04-21 1984-04-21 質量流量計

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JPS59176925U (ja) 1984-11-27

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