JPH0219715A - 流体の流れを測定する装置 - Google Patents
流体の流れを測定する装置Info
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 32
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 3
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、測定すべき流体を導くことができる管、骸骨
の選択した位置における温度を変える装置、該選択位置
の上流および下流の流れの中のある位置における温度を
測定する検出器、測定温度の値から媒体の流量を決定す
る装置、または測定温度の値を別個の決定装置へ供給す
る装置を含む、流体の流れを測定する装置に関する。
の選択した位置における温度を変える装置、該選択位置
の上流および下流の流れの中のある位置における温度を
測定する検出器、測定温度の値から媒体の流量を決定す
る装置、または測定温度の値を別個の決定装置へ供給す
る装置を含む、流体の流れを測定する装置に関する。
特に気体の流量を測定するため構成された、前記型式の
流量計は、米国特許第３．６５０，１５１号に開示され
ている０周知の流量計の作動は、流れがないとき、選択
位置における温度の変動が前記位置に関して対称に位置
する２つの部分に沿って管に沿う一定で等しいが、逆の
温度勾配を原理的に生じさせる事実、および管の前記温
度プロフィールが気体の貫流の影響を受けて移行すると
いう現象に基づいている。移行の程度は流量を指示する
。
流量計は、米国特許第３．６５０，１５１号に開示され
ている０周知の流量計の作動は、流れがないとき、選択
位置における温度の変動が前記位置に関して対称に位置
する２つの部分に沿って管に沿う一定で等しいが、逆の
温度勾配を原理的に生じさせる事実、および管の前記温
度プロフィールが気体の貫流の影響を受けて移行すると
いう現象に基づいている。移行の程度は流量を指示する
。
従来の流量計は、液体の流量を測定するのに適していな
く、殆ど適していない、気体または蒸気の熱容量に比較
して液体の熱容量が大きいことを考慮すると、周知の流
量計は、流量が大きすぎない場合のみ機能することがで
き、またそのような場合でさえ不十分にしか機能しない
、流量は、内部の流量を測定すべき大きい導管に断面積
の小さいバイパスとして流量計自体を設けることにより
時には制限される。かかるバイパスにおいては、流量は
、計算可能な程度まで主導管におけるよりは少ない、し
かしながら、問題は、液体中の空気または蒸気の泡の存
在、およびバイパスおよび主導管などにおける粘度の相
違により失敗がしばしば起こることである。
く、殆ど適していない、気体または蒸気の熱容量に比較
して液体の熱容量が大きいことを考慮すると、周知の流
量計は、流量が大きすぎない場合のみ機能することがで
き、またそのような場合でさえ不十分にしか機能しない
、流量は、内部の流量を測定すべき大きい導管に断面積
の小さいバイパスとして流量計自体を設けることにより
時には制限される。かかるバイパスにおいては、流量は
、計算可能な程度まで主導管におけるよりは少ない、し
かしながら、問題は、液体中の空気または蒸気の泡の存
在、およびバイパスおよび主導管などにおける粘度の相
違により失敗がしばしば起こることである。
液体または蒸気の流量が最小、例えば１時間当たり数立
方センチの程度の流量のときに、周知の流量計は、適正
に機能することができない。
方センチの程度の流量のときに、周知の流量計は、適正
に機能することができない。
本発明の目的は、上記の不利益を生じることなく、液体
および気体の双方の流量を測定するのに適当な流量計を
提供することである。
および気体の双方の流量を測定するのに適当な流量計を
提供することである。
〔課題を解決するための手段、作用及び効果〕上記目的
は、管がそれに対して概ね直交した方向に骸骨の一部分
から他の部分または骸骨から離れた熱導体へ熱を伝達す
るようにした材料の層に固定されているか、または埋め
込まれている前記型式の流量計により達成される。
は、管がそれに対して概ね直交した方向に骸骨の一部分
から他の部分または骸骨から離れた熱導体へ熱を伝達す
るようにした材料の層に固定されているか、または埋め
込まれている前記型式の流量計により達成される。
本発明の詳細な説明において、管の選択位置において、
温度が管を前記位置において適当な手段により加熱する
結果として上昇することを便宜上、仮定する。しかしな
がら、本発明の教示は、選択位置において冷却される管
を有する装置にも適用可能である。唯一の関連の特徴は
、一方で管の初めと終りの端と他方で前記選択位置との
間に温度差がある必要があることである。
温度が管を前記位置において適当な手段により加熱する
結果として上昇することを便宜上、仮定する。しかしな
がら、本発明の教示は、選択位置において冷却される管
を有する装置にも適用可能である。唯一の関連の特徴は
、一方で管の初めと終りの端と他方で前記選択位置との
間に温度差がある必要があることである。
従来の装置と異なり、本発明による装置は、骸骨に対し
て直交した等しく、かつ逆の熱の流れであって、骸骨の
中の媒体の流量に比例する熱の流れを温度変動の箇所に
対して対称に位置した前記部分に生じさせる手段を備え
ている。
て直交した等しく、かつ逆の熱の流れであって、骸骨の
中の媒体の流量に比例する熱の流れを温度変動の箇所に
対して対称に位置した前記部分に生じさせる手段を備え
ている。
本発明による装置において、管を据え付ける熱伝達材料
は、熱が選択位置の下流の管の部分から上流の管の部分
へ伝達されるのを確実にする。したがって、静止した流
体では、理想的な場合、管の初めのところから最も熱い
箇所（選択位置）まで概ね直線状の線に沿って延び、こ
こから同様な直線に沿って終りのところまで減少する温
度プロフィールが作られる。流体が管を通って流れると
き、該温度プロフィールは理想的な場合の直線に対して
僅かに移るが、熱の流れが熱伝達材料の層を通って管に
対して概ね直交して流れるために、温度プロフィールは
概ね直線状である。移行の程度は流量を指示する。
は、熱が選択位置の下流の管の部分から上流の管の部分
へ伝達されるのを確実にする。したがって、静止した流
体では、理想的な場合、管の初めのところから最も熱い
箇所（選択位置）まで概ね直線状の線に沿って延び、こ
こから同様な直線に沿って終りのところまで減少する温
度プロフィールが作られる。流体が管を通って流れると
き、該温度プロフィールは理想的な場合の直線に対して
僅かに移るが、熱の流れが熱伝達材料の層を通って管に
対して概ね直交して流れるために、温度プロフィールは
概ね直線状である。移行の程度は流量を指示する。
本発明による装置の好適実施例において、管はＵ字形の
形状を有し、熱伝達材料はＵ字形の脚の間に設けられ、
Ｕ字形の基部は温度を変える前記選択位置として選択さ
れている。
形状を有し、熱伝達材料はＵ字形の脚の間に設けられ、
Ｕ字形の基部は温度を変える前記選択位置として選択さ
れている。
流体が管を通って流れるとき、常に温度差が生じるから
、状況は理想的な場合と同じではない。
、状況は理想的な場合と同じではない。
これは、第一に基本的に直線状の温度プロフィールの端
において表わされる。管自体における流れのため、これ
らの端において吸収される熱はもはや放出される熱と完
全には等しくない。したがって、温度プロフィールの線
形性は端において影響を受ける。この問題は、高い熱伝
達率の材料の導管が鎖管に対して、または鎖管の大部分
に対して離隔し平行な関係に配設され、また前記材料の
層に接続されていることを特徴とする本発明による装置
の好適実施例においては回避される。
において表わされる。管自体における流れのため、これ
らの端において吸収される熱はもはや放出される熱と完
全には等しくない。したがって、温度プロフィールの線
形性は端において影響を受ける。この問題は、高い熱伝
達率の材料の導管が鎖管に対して、または鎖管の大部分
に対して離隔し平行な関係に配設され、また前記材料の
層に接続されていることを特徴とする本発明による装置
の好適実施例においては回避される。
かかる熱伝達性の導管または案内線状体の作動は容易に
理解される。管が加熱される箇所から前記案内線状体を
介して端まで連続した熱の流れがある。この流れは、熱
伝達材料の層および管自体を通る管に平行な流れよりも
ずっと大きい、吸収される熱が長さｄｘ（管に平行なＸ
方向、管に直交するｙ方向）において放出される熱に等
しくないとき、このことは、案内線状体により概ね供給
される熱移動かＸ方向に生じることを意味する。
理解される。管が加熱される箇所から前記案内線状体を
介して端まで連続した熱の流れがある。この流れは、熱
伝達材料の層および管自体を通る管に平行な流れよりも
ずっと大きい、吸収される熱が長さｄｘ（管に平行なＸ
方向、管に直交するｙ方向）において放出される熱に等
しくないとき、このことは、案内線状体により概ね供給
される熱移動かＸ方向に生じることを意味する。
案内線状体の良好な伝導により、熱伝達材料の層の中心
における温度プロフィールの変形は流れる流体の場合に
はずっと少ない、ｙ方向において、熱伝導は案内線状体
の付加によって変化せず、このことは測定される温度差
に影響しない。
における温度プロフィールの変形は流れる流体の場合に
はずっと少ない、ｙ方向において、熱伝導は案内線状体
の付加によって変化せず、このことは測定される温度差
に影響しない。
本発明による装置において、熱伝達材料の層は金属箔の
形態を有するのが適当である。
形態を有するのが適当である。
本装置の一実施例は、例えばＵ字形に曲げられた金属（
例えばステンレス＃４）の管であり、金属箔（例えば銅
箔）がＵ字形の脚の間に延在し、かつ該脚を固定（例え
ば半田付けにより）しており、良好な熱伝導体の金属ワ
イヤまたは金属ストリップ（例えば銅ワイヤまたは銅ス
トリップ）が前記金属箔に固定されてＵ字形の脚の間の
中央で前記脚に平行に延びている。さらに、Ｕ字形に曲
げられた管を備えた実施例においては、Ｕ字形の曲げら
れた基部が金属（例えば＃ｌ）のブロックに固定され、
トランジスタが加熱要素として前記ブロックに設けられ
ているのが適当である１本発明のいくつかの実施例を添
付図面を参照して説明する。
例えばステンレス＃４）の管であり、金属箔（例えば銅
箔）がＵ字形の脚の間に延在し、かつ該脚を固定（例え
ば半田付けにより）しており、良好な熱伝導体の金属ワ
イヤまたは金属ストリップ（例えば銅ワイヤまたは銅ス
トリップ）が前記金属箔に固定されてＵ字形の脚の間の
中央で前記脚に平行に延びている。さらに、Ｕ字形に曲
げられた管を備えた実施例においては、Ｕ字形の曲げら
れた基部が金属（例えば＃ｌ）のブロックに固定され、
トランジスタが加熱要素として前記ブロックに設けられ
ているのが適当である１本発明のいくつかの実施例を添
付図面を参照して説明する。
第１図に概略的に示す装置は、例えば液体または気体の
ような流体の輸送管の一部を構成し、Ｕ字形に曲げられ
た管１を含む、Ｕ字形の管１の端部２．３は、ブロック
４に嵌め込まれ、管１を組み込んだ搬送装置に接続され
ている。作動においいて、ブロック４は隣接の装置の温
度ＴＯを有すると仮定される。
ような流体の輸送管の一部を構成し、Ｕ字形に曲げられ
た管１を含む、Ｕ字形の管１の端部２．３は、ブロック
４に嵌め込まれ、管１を組み込んだ搬送装置に接続され
ている。作動においいて、ブロック４は隣接の装置の温
度ＴＯを有すると仮定される。
Ｕ字形に曲げられた管１は、Ｕ字形の基部と共にブロッ
ク５に据え付けられ、このブロック５は更に前記ブロッ
ク５、したがってＵ字形の管１の基部の温度をＴ１まで
上昇させる適当な手段を備えている。
ク５に据え付けられ、このブロック５は更に前記ブロッ
ク５、したがってＵ字形の管１の基部の温度をＴ１まで
上昇させる適当な手段を備えている。
Ｕ字形の基部の両側で、鎖管から対称に離れた２つの位
置で、温度検出器７．８が鎖管１に装着され、これによ
りこれらの位置における管１の温度が測定され、適当な
導線により、図示しない処理装置へ伝達可能である。
置で、温度検出器７．８が鎖管１に装着され、これによ
りこれらの位置における管１の温度が測定され、適当な
導線により、図示しない処理装置へ伝達可能である。
管１はブロック４．５の間の空間の全長に沿って金属箔
９に取り付けられている。
９に取り付けられている。
第４図は本発明による装置の別な実施例を示し、管１の
Ｕ字形の脚の間の中央で、かつ前記脚に平行に、金属ワ
イヤまたは金属ストリップ１０が金属箔９に取り付けら
れている点においてのみ第１図の実施例と異なる。この
金属ワイヤは、案内線状体の前記機能を有する。
Ｕ字形の脚の間の中央で、かつ前記脚に平行に、金属ワ
イヤまたは金属ストリップ１０が金属箔９に取り付けら
れている点においてのみ第１図の実施例と異なる。この
金属ワイヤは、案内線状体の前記機能を有する。
第５ａ図と第５ｂ図は第４図に示す装置の線■−Ｖによ
る可能な断面の変形を示す、第５ａ図に示す変形におい
て、管１は金属箔９に固定され、金属ストリップ１０は
管の２つの部分の中央に延びている。第５ｂ図に示す変
形において、金属箔９は弓形に曲げられ、金属ワイヤま
たは金属ストリップ１０は弓形の頂部に固定されている
。金属ストリップ１０から両側のＵ字形の脚までの距離
は等しい。
る可能な断面の変形を示す、第５ａ図に示す変形におい
て、管１は金属箔９に固定され、金属ストリップ１０は
管の２つの部分の中央に延びている。第５ｂ図に示す変
形において、金属箔９は弓形に曲げられ、金属ワイヤま
たは金属ストリップ１０は弓形の頂部に固定されている
。金属ストリップ１０から両側のＵ字形の脚までの距離
は等しい。
第１図または第４図に示す適当な実施例は、例えばブロ
ック４からＵ字形の基部までの、約６ｃｍの長さを有す
るステンレス鋼の管を含む、管の径は約１ｍｍであり、
肉厚は０．１ｍｍである。
ック４からＵ字形の基部までの、約６ｃｍの長さを有す
るステンレス鋼の管を含む、管の径は約１ｍｍであり、
肉厚は０．１ｍｍである。
金属箔として、例えば０．１ｍｍの銅箔を採用すること
ができ、第４図に示す案内線状体を用いるとき、約３ｍ
ｍの銅ワイヤが適当である。ブロック５は銅のブロック
が適当であり、金属箔への管および案内線状体の収り付
け、またブロックへの管の取り付けは、半田付けにより
行われる。
ができ、第４図に示す案内線状体を用いるとき、約３ｍ
ｍの銅ワイヤが適当である。ブロック５は銅のブロック
が適当であり、金属箔への管および案内線状体の収り付
け、またブロックへの管の取り付けは、半田付けにより
行われる。
適当な検出器７．８は、プラチナをサファイア上に置い
たプラチナ要素である。熱カラムまたは半導体装置も検
出器として用いることができる。
たプラチナ要素である。熱カラムまたは半導体装置も検
出器として用いることができる。
ブロック４と５の間の温度差は、例えば抵抗素子または
パワートランジスタのような適当な手段６によりブロッ
ク５を加熱することにより生じさせることができる。ブ
ロック５は、例えばペルチェ素子により冷却することも
できる６手段６の作動を制御する、図示しない温度検出
器をブロック４と５に設けてもよい。
パワートランジスタのような適当な手段６によりブロッ
ク５を加熱することにより生じさせることができる。ブ
ロック５は、例えばペルチェ素子により冷却することも
できる６手段６の作動を制御する、図示しない温度検出
器をブロック４と５に設けてもよい。
第２図は管１を通る流れのない場合の、第１図と第４図
に示す装置にわたる温度プロフィールを示す、この温度
プロフィールは値Ｔｏ（ブロック４の温度）から値ＴＩ
（ブロック５の温度）まで延びる直線である。Ｘｓ
においては検出器７．８が設けられている。
に示す装置にわたる温度プロフィールを示す、この温度
プロフィールは値Ｔｏ（ブロック４の温度）から値ＴＩ
（ブロック５の温度）まで延びる直線である。Ｘｓ
においては検出器７．８が設けられている。
第３図は管１を通る媒体の流れのあるときの温度プロフ
ィールを示す０間隔の開いた２つの線は、Ｕ字形の管１
の、流れの入る方の脚（線１１）および流れの出る方の
脚（線１２）に沿った変動を示す、金属箔９のなめ、線
１１と１２は、その長さの大部分に沿って概ね直線状で
ある。この線形性は、案内線状体１０を用いることによ
り増す。
ィールを示す０間隔の開いた２つの線は、Ｕ字形の管１
の、流れの入る方の脚（線１１）および流れの出る方の
脚（線１２）に沿った変動を示す、金属箔９のなめ、線
１１と１２は、その長さの大部分に沿って概ね直線状で
ある。この線形性は、案内線状体１０を用いることによ
り増す。
検出器７．８により測定されるｘｏにおける温度は、貫
流の場合、流量に比例する温度差ΔＴｙを示す。
流の場合、流量に比例する温度差ΔＴｙを示す。
第６図は本発明による装置の別な実施例を示し、この装
置は図示しない搬送装置に組み込まれた直線状の管１３
を含む、接続部１４．１５の間の管１３は、装置１６か
ら離れている。接続部１４゜１５において、管１３は、
周囲の装置１６の温度ＴＯを有する。接続部１４．１５
の間の中央において、管１３は、第１図と第４図に示す
装置のブロック５に匹敵するブロック１７に取り付けら
れている。該ブロックと骸骨に温度Ｔ１を与える、図示
しない適当な加熱または冷却手段かブロック１７に設け
られている。
置は図示しない搬送装置に組み込まれた直線状の管１３
を含む、接続部１４．１５の間の管１３は、装置１６か
ら離れている。接続部１４゜１５において、管１３は、
周囲の装置１６の温度ＴＯを有する。接続部１４．１５
の間の中央において、管１３は、第１図と第４図に示す
装置のブロック５に匹敵するブロック１７に取り付けら
れている。該ブロックと骸骨に温度Ｔ１を与える、図示
しない適当な加熱または冷却手段かブロック１７に設け
られている。
管１３は、その接続部１４．１５までブロック１７の両
側に延びている金属箔１８に取り付けられている。案内
線状体１９は、管１３から平行に離隔して金属箔１８に
取り付けられている。温度検出器２０．２１は、ブロッ
ク１７の両側の対称な位置で管１３に取り付けられてい
る。
側に延びている金属箔１８に取り付けられている。案内
線状体１９は、管１３から平行に離隔して金属箔１８に
取り付けられている。温度検出器２０．２１は、ブロッ
ク１７の両側の対称な位置で管１３に取り付けられてい
る。
この実施例において、ブロック１７の上流と下流の管１
３の２つの部分にわたる温度変動は、金属箔１８と案内
線状体１９のため概ね線形であり、また流体の通過する
際でさえ概ね線形のままである。しかしながら、流体が
通過する際のブロック１７の上流と下流の温度線は、相
互に対して移行している。移行の程度は、流量を指示し
ている。
３の２つの部分にわたる温度変動は、金属箔１８と案内
線状体１９のため概ね線形であり、また流体の通過する
際でさえ概ね線形のままである。しかしながら、流体が
通過する際のブロック１７の上流と下流の温度線は、相
互に対して移行している。移行の程度は、流量を指示し
ている。
本発明による装置の上記実施例は、特に液体用の流量計
として使用するのに適している。特に気体に用いる時に
、熱的遅れの現象が生じることがある。流量が大きいと
き、流体の熱伝導は有限であるから、明らかな熱的遅れ
が生じる。骸骨の中心から管壁まで、またその逆に熱を
伝達するには時間がかかる。この熱的遅れの問題を解決
するため、本発明による装置の管を螺旋状にすることが
できる。かかる実施例は、第７図と第８図に示される６ 図示の実施例は、Ｕ字形の形状を有するコイル状の管２
２を含み、このＵ字形のコイル状の管２２はＵ字形の基
部をブロック５上に、Ｕ字形の脚をブロック４の頂部に
取り付けている。Ｕ字形の脚は導管２５．２６に接続さ
れ、管２２は導管２５．２６と共に搬送導管装置に組み
込まれている。
として使用するのに適している。特に気体に用いる時に
、熱的遅れの現象が生じることがある。流量が大きいと
き、流体の熱伝導は有限であるから、明らかな熱的遅れ
が生じる。骸骨の中心から管壁まで、またその逆に熱を
伝達するには時間がかかる。この熱的遅れの問題を解決
するため、本発明による装置の管を螺旋状にすることが
できる。かかる実施例は、第７図と第８図に示される６ 図示の実施例は、Ｕ字形の形状を有するコイル状の管２
２を含み、このＵ字形のコイル状の管２２はＵ字形の基
部をブロック５上に、Ｕ字形の脚をブロック４の頂部に
取り付けている。Ｕ字形の脚は導管２５．２６に接続さ
れ、管２２は導管２５．２６と共に搬送導管装置に組み
込まれている。
例えば、パワートランジスタのような加熱素子６はブロ
ック５に取り付けられている。
ック５に取り付けられている。
コイル状の管２２の脚は、波形の金属箔２４に固定され
ている。案内線状体２３はＵ字形の脚の間の中央で金属
箔２４に収り付けられ、かつ平行な関係で螺旋状にされ
ている。管２２と案内線状体２３の間の距離は、したが
って任意の箇所で同一である。
ている。案内線状体２３はＵ字形の脚の間の中央で金属
箔２４に収り付けられ、かつ平行な関係で螺旋状にされ
ている。管２２と案内線状体２３の間の距離は、したが
って任意の箇所で同一である。
この実施例の作動は、第２図と第３図に間して述べたよ
うに、第４図に示す実施例のものと同じである。
うに、第４図に示す実施例のものと同じである。
【図面の簡単な説明】
第１ｉ２Ｉは本発明による装置の実施例の概略の頂面図
、第２図は流れのないときの理想的な場合の温度プロフ
ィールを示す図、第３図は流れのあるときの概ね理想的
な場合の温度プロフィールを示す図、第４図は本発明に
よる装置の別な実施例の、第１図に類似の図、第５ａ図
と第５ｂ図は第４図の線Ｖ−Ｖによる可能な断面の変形
を示す図、第６図は更に別な実施例を示す概略の図、お
よび第７図と第８図は更に別な実施例の概略の頂面図お
よび州立面図である。 符号の説明、 １・・・Ｕ字形の管 ２．３・・・Ｕ字形の管の端部 ４．５．１７・・・ブロック ６・・・パワートランジスタ ７．８．２０．２１・・・温度検出器 ９．１８．２４・・・金属箔 １０・・・金属ストリップ １３・・・直線状の管 １４．１５・・・接続部 １９．２３・・・案内線状体 ２２・・・コイル状の管 ２５２６・・・導管
、第２図は流れのないときの理想的な場合の温度プロフ
ィールを示す図、第３図は流れのあるときの概ね理想的
な場合の温度プロフィールを示す図、第４図は本発明に
よる装置の別な実施例の、第１図に類似の図、第５ａ図
と第５ｂ図は第４図の線Ｖ−Ｖによる可能な断面の変形
を示す図、第６図は更に別な実施例を示す概略の図、お
よび第７図と第８図は更に別な実施例の概略の頂面図お
よび州立面図である。 符号の説明、 １・・・Ｕ字形の管 ２．３・・・Ｕ字形の管の端部 ４．５．１７・・・ブロック ６・・・パワートランジスタ ７．８．２０．２１・・・温度検出器 ９．１８．２４・・・金属箔 １０・・・金属ストリップ １３・・・直線状の管 １４．１５・・・接続部 １９．２３・・・案内線状体 ２２・・・コイル状の管 ２５２６・・・導管
Claims (6)
- （１）測定すべき流体を導くことができる管、該管の選
択した位置における温度を変える装置、該選択位置の上
流および下流の流れの中のある位置における温度を測定
する検出器、および測定温度の値から流体の流量を決定
する装置を含む、流体の流れを測定する装置において、
該管がそれに対して概ね直交した方向に該管の一部分か
ら他の部分または該管から離れた熱導体へ熱を伝達する
ようにした材料の層に固定されているか、または埋め込
まれていることを特徴とする流体の流れを測定する装置
。 - （２）該管がＵ字形の形状を有し、該熱を伝達する材料
がＵ字形の脚の間に設けられ、Ｕ字形の基部が温度を変
えるための前記選択位置として選択されていることを特
徴とする請求項１記載の流体の流れを測定する装置。 - （３）高い熱伝導率を有する材料の導管が該管に対して
、または該管の大部分に対して離隔し平行な関係に配設
され、また前記材料の層に接続されていることを特徴と
する請求項１または２記載の流体の流れを測定する装置
。 - （４）該熱を伝達する材料の層が金属箔の形態を有する
ことを特徴とする請求項１、２または３記載の流体の流
れを測定する装置。 - （５）該管がＵ字形に曲げられた金属の管であり、金属
箔がＵ字形の脚の間に延在し、かつ該脚を固定しており
、良好な熱伝導体である金属のワイヤまたはストリップ
がＵ字形の脚の間の中央で前記脚に平行に前記金属箔に
固定されていることを特徴とする請求項１記載の流体の
流れを測定する装置。 - （６）Ｕ字形の該管の曲げられた基部が金属のブロック
に固定され、加熱材料としてトランジスタが前記ブロッ
クに設けられていることを特徴とする請求項２記載の流
体の流れを測定する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8801277 | 1988-05-18 | ||
| NL8801277 | 1988-05-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0219715A true JPH0219715A (ja) | 1990-01-23 |
| JP2559848B2 JP2559848B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=19852311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1125489A Expired - Lifetime JP2559848B2 (ja) | 1988-05-18 | 1989-05-18 | 流体の流れを測定する装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4972707A (ja) |
| EP (1) | EP0342763B1 (ja) |
| JP (1) | JP2559848B2 (ja) |
| CN (1) | CN1019146B (ja) |
| AT (1) | ATE83072T1 (ja) |
| CA (1) | CA1320359C (ja) |
| DE (1) | DE68903678T2 (ja) |
| ES (1) | ES2037393T3 (ja) |
| GR (1) | GR3006629T3 (ja) |
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| JP2017173143A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 流量検出装置 |
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| BE622482A (ja) * | 1962-08-31 | |||
| US3650151A (en) * | 1970-11-18 | 1972-03-21 | Tylan Corp | Fluid flow measuring system |
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| US4484471A (en) * | 1981-09-26 | 1984-11-27 | Joshua Swithenbank | Flow meters |
| US4686856A (en) * | 1983-02-28 | 1987-08-18 | Vavra Randall J | Mass flow meter |
-
1989
- 1989-05-15 US US07/351,600 patent/US4972707A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-17 DE DE8989201249T patent/DE68903678T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-17 AT AT89201249T patent/ATE83072T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-05-17 EP EP89201249A patent/EP0342763B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-17 ES ES198989201249T patent/ES2037393T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-17 CA CA000599939A patent/CA1320359C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-18 JP JP1125489A patent/JP2559848B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-18 CN CN89104403A patent/CN1019146B/zh not_active Expired
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- 1992-12-22 GR GR920402146T patent/GR3006629T3/el unknown
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68903678D1 (de) | 1993-01-14 |
| CN1038160A (zh) | 1989-12-20 |
| JP2559848B2 (ja) | 1996-12-04 |
| US4972707A (en) | 1990-11-27 |
| ES2037393T3 (es) | 1993-06-16 |
| GR3006629T3 (ja) | 1993-06-30 |
| DE68903678T2 (de) | 1993-04-22 |
| CA1320359C (en) | 1993-07-20 |
| EP0342763B1 (en) | 1992-12-02 |
| EP0342763A1 (en) | 1989-11-23 |
| ATE83072T1 (de) | 1992-12-15 |
| CN1019146B (zh) | 1992-11-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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