JPS60200218A - 照明方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　発明の技術分野 本発明はプリント基板やプリント基板用フォトマスクな
どのパターンを光学的に読み取るための照明方法に関す
るものである。

伽）　従来技術の問題点 近年、プリント基板の電気回路は集積回路部品や小型電
気部品が多く使用され、電気性能の向上とともに小型化
が行なわれている。それがため、電気回路を形成するプ
リント基板のパターンは高密度化されるとともに高精度
が要求される。

従来、このようなプリント基板やプリント基板用フォト
マスクのパターンの試験は、第１図および第２図の試験
方法を説明するための要部斜視図に示すような方法で行
っていた。

すなわち、パターン試験の一方法として第１図の要部斜
視図に示すように、ランプ２を発光させる。その発光し
た光はランプ２の背面および前面に設けられた反射ミラ
ー３および集光レンズ４により高照度となり、平面板の
プリント板やプリント板用フォトマスクの被試験体１の
一方の平面の所定の位置を照射する。一方、被試験体１
の他の平面の上部にレンズ５１と光検知器５２とより構
成された光検知部５が設けられ、被試験体１の他の平面
に投映されたパターン光を集光、検知し、この検知信号
を処理してパターンを認識し、その良。

否を試験している。この方法ではランプ２を順次機械的
に移動して被写体ｌを照射するとともにランプ２の移動
に同期して光検知部５を同じく機械的に移動することと
なる。この移動機構は被試験体１の両面の対応位置を常
に同期して移動する必要がある。そのため機構が複雑と
なり同期、追従精度が悪くなることがあり、検知能力が
低下して試験の信頼性が得られないことがある。

また、パターン試験の他の一方法として第２図の要部斜
視図に示すように、発光源に長いランプ８を使用し、被
写体ｌの全面を照射するようにしている。この方法は前
記第１図で述べた移動機構を必要としないが、被写体１
の全面を高照度で照射する必要があり、ランプに大電力
を必要とするとともに、ランプの発熱による熱伝導によ
り被写体１を損傷することがある。

（０）　発明の目的 本発明は上述した従来の欠点に鑑み創案された。

ものでその目的は、発光源の発熱が被試験体に影響する
ことなくかつ、高照度で容易に試験体の所定位置を照明
することができる照明方法を提供することにある。

（ｃＯ発明の構成 そしてこの目的は本発明によれば、平面物体に形成され
たパターンに光を照射し、前記パターンを光学的に読み
取るための照明方法であって、複数の光ファイバのそれ
ぞれの一端を照明光源の周囲に配設し、他の一端を前記
配設順序に従って一列に配列するとともに、前記照明光
源と前記光ファイバの一端との間に前記照明光源の周囲
を回動する弧形状からなる反射鏡を備え、前記回動反射
鏡によって前記光源の照度を前記光ファイバを介して順
次高照度で前記パターンに照射することを特徴とする照
明方法により達せられる。

（ｅ）　発明の実施例 以下、本発明による一実施例により詳細に説明する。第
３図は実施例の光照射系を説明するための光照射系構成
図、第４図は第３図の照射系の側面図、第５図は実施例
の発光源の照射系を説明するための発光源構成図を示し
、第１図および第２図と同一符号は同一部位を示してい
る。

ｉなわち、第３図の照射系構成図に示すように、複数の
光ファイバ９１〜９ｎは、それぞれの一端をランプ２の
周囲に等間隔に配設し、他の一端を前記配設順序に従っ
て一列に配列している。この−列に配列された他の一端
は被試験体１の一方の面を照射するよう固定設置されて
いる。また前記配設された光ファイバ９１〜９ｎの一端
と、ランプ２との間に弧形状の反射鏡１０が設けられて
いる。また、この反射鏡１０はランプ２の周囲を゛回動
できる構造となっている。

第５図の発光源構成図により照射光の光学系を説明する
。すなわち、図に示すように弧形状の反射鏡１０はラン
プ２より発光された光を受光し、弧形状に対応して所定
の幅を持った平行光線Ｗとしてランプ２の周囲に配設さ
れた光ファイバの一端に反射する。また、反射鏡１０は
ランプ２のフィラメント２１と等間隔を保ちながら回動
する構造をなしており、この反射鏡１０をモータで一定
方向に回転することにより、その回転に同期して平行光
線Ｗは移動し、光ファイバの一端を順次照射する。

次に、光ファイバ９１〜９ｎはその一端に順次照射され
た前記反射光をそれぞれ他の一端に伝送する。

第３図のＡに示すように、この伝送光は一列に配列され
た光ファイバ９１〜９ｎの他の一端より直線的に順次出
射され、被試験体１の一方の面を直線的に順次照射する
。

そこで、第４図に示すように、この直線的に照射される
照射光Ｂと直角方向（Ｘ−Ｙ方向）に被試験体１を移動
することにより、被試験体ｌの一方の面の全面順次照射
と必要部分への選別照射をすることができる。この照射
により、被試験体１を挟んで光ファイバ９１〜９ｎに対
応して固定設置された光検知部５によりパターンが認識
され、被試験体１のパターン試験が行われる。

なお、照明範囲は回転反射鏡の寸法、形状、取付は位置
により変化するので、これらを変化して最適な照明が選
択できる。

（ｆｌ　発明の効果 以上の説明から明らかなように要するに、回動する反射
鏡により順次反射された発光源よりの光を光ファイバに
て伝送し、被試験体に直線的に順次光を照射することに
より、発光源と被試験体との距離がとれるため被試験体
への発光源の熱の影響が除かれ、また簡単な被試験体の
移動機構で必要部分を高輝度に照明ができ、パターン試
験の信頼性が向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来のパターン試験方法を説明す
るための要部斜視図、第３図は実施例の光照射系を説明
するための光照射系構成図、第４図は第３図の照射系の
側面図、第５図は実施例の発光源の照射系を説明するた
めの発光源構成図を示している。 図において、ｌは被試験体、２．８はランプ、３は反射
鏡、４は集光レンズ、５は光検知部、５１はレンズ、５
２は光検知器、７は信号処理回路、９１〜９ｎは光ファ
イバ、１０は反射鏡、２１はフィラメントをそれぞれ示
している。 第１図 第３図　第４図 第５

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 平面物体に形成されたパターンに光を照射し、前記パタ
   ーンを光学的に読み取るための照明方法であって、複数
   の光ファイバのそれぞれの一端を照明光源の周囲に配設
   し、他の一端を前記配設順序に従って一列に配列すると
   ともに、前記照明光源と前記光ファイバの一端との間に
   前記照明光源の周囲を回動する弧形状からなる反射鏡を
   備え、前記回動反射鏡によって前記光源の照度を前記光
   ファイバを介して順次高照度で前記パターンに照射する
   °ことを特徴とする照明方法。