JPS6020082A - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
- Publication number
- JPS6020082A JPS6020082A JP12616483A JP12616483A JPS6020082A JP S6020082 A JPS6020082 A JP S6020082A JP 12616483 A JP12616483 A JP 12616483A JP 12616483 A JP12616483 A JP 12616483A JP S6020082 A JPS6020082 A JP S6020082A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling gas
- furnace
- workpiece
- cooling
- heat
- Prior art date
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- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空炉に係り、特に加熱室内の加熱処理された
被処理物を冷却するための冷却ガスを冷却ガス導入手段
で被処理物まで導き、被処理物に臨まぜて配設されたそ
の噴射口より噴射して冷却するように構成したことによ
り、効果的な冷却を達成でき、冷却ガス最の大幅な削減
および冷却ガス供給装置の小型化が図れると共に、冷却
時間を短縮でき炉の操業疫を向上し得る真空炉に関する
。
被処理物を冷却するための冷却ガスを冷却ガス導入手段
で被処理物まで導き、被処理物に臨まぜて配設されたそ
の噴射口より噴射して冷却するように構成したことによ
り、効果的な冷却を達成でき、冷却ガス最の大幅な削減
および冷却ガス供給装置の小型化が図れると共に、冷却
時間を短縮でき炉の操業疫を向上し得る真空炉に関する
。
アルミニウム製熱交換器等の被処理物を高真空下で加熱
処理し、処理後、炉内にて被処理物に冷却ガスを供給し
て冷却するようにした真空炉が知 ′られている。第１
図には、従来のこの種真空炉を示す。図示する如く、炉
体１内には、加熱室ケース２．移送台車３．熱遮蔽板４
．電熱ヒータ５によって包囲された加熱室６がある。被
処理物ｍは移送台車３に積載されて炉内に搬入され、そ
の後、炉体１内の空気は真空排気管７に連設された図示
省略の真空ポンプにより炉外に排出され、炉内は真空状
態にされる。この状態で被処理物ｍは電熱ヒータ５によ
り加熱され熱的処理を受ける。
処理し、処理後、炉内にて被処理物に冷却ガスを供給し
て冷却するようにした真空炉が知 ′られている。第１
図には、従来のこの種真空炉を示す。図示する如く、炉
体１内には、加熱室ケース２．移送台車３．熱遮蔽板４
．電熱ヒータ５によって包囲された加熱室６がある。被
処理物ｍは移送台車３に積載されて炉内に搬入され、そ
の後、炉体１内の空気は真空排気管７に連設された図示
省略の真空ポンプにより炉外に排出され、炉内は真空状
態にされる。この状態で被処理物ｍは電熱ヒータ５によ
り加熱され熱的処理を受ける。
熱処理が終了した後、炉内には被処理物ｍを冷却するた
めに、大気または不活性カス等の冷媒となる冷却ガスが
導入される。炉体１には、その上部に冷却ガス容入管８
．下部には冷却ガス導出管９が接続され、炉外には冷却
ガス導入管８と冷却ガス導出管９とを連通ずる冷却ガス
循環用の配管１０が設けられている。配管１０には、循
環ファン１１．冷却ガスを冷却する熱交換器１２及び遮
断弁１３．１４が設けられている。冷却ガス−循環時に
は、遮断弁１３．１４と加熱室ケース２上部のスライド
式のゲート１５は開かれ、循環ファン１１の駆動により
冷却ガスは炉内に循環供給される。ゲート１５を通って
加熱室６内に導入された冷却ガスは、図示する如く被処
理物ｍに沿って流下し、被処理物■より熱を奪い、移送
台車３中央の開口部３ａを通り冷却ガス導出管９より配
管１０に戻される。しかしながら、このような炉内員流
式の冷却方法には、次のような欠点がある。
めに、大気または不活性カス等の冷媒となる冷却ガスが
導入される。炉体１には、その上部に冷却ガス容入管８
．下部には冷却ガス導出管９が接続され、炉外には冷却
ガス導入管８と冷却ガス導出管９とを連通ずる冷却ガス
循環用の配管１０が設けられている。配管１０には、循
環ファン１１．冷却ガスを冷却する熱交換器１２及び遮
断弁１３．１４が設けられている。冷却ガス−循環時に
は、遮断弁１３．１４と加熱室ケース２上部のスライド
式のゲート１５は開かれ、循環ファン１１の駆動により
冷却ガスは炉内に循環供給される。ゲート１５を通って
加熱室６内に導入された冷却ガスは、図示する如く被処
理物ｍに沿って流下し、被処理物■より熱を奪い、移送
台車３中央の開口部３ａを通り冷却ガス導出管９より配
管１０に戻される。しかしながら、このような炉内員流
式の冷却方法には、次のような欠点がある。
ａ、被処理物ｍと冷媒たる冷却ガスとの間の熱伝達率は
、被処理物ｍの表面に沿った冷却ガスの流速に支配され
る。ところが、被処理物ｍと熱遮蔽板４との間は、被処
理物ｍの均一加熱のため、ある程度の間隔を持たせる必
要がある。このため、冷却ガスの循環ｓｕｍを多くしな
いと、充分な冷）Ｊｌ能ノコを発揮できない。
、被処理物ｍの表面に沿った冷却ガスの流速に支配され
る。ところが、被処理物ｍと熱遮蔽板４との間は、被処
理物ｍの均一加熱のため、ある程度の間隔を持たせる必
要がある。このため、冷却ガスの循環ｓｕｍを多くしな
いと、充分な冷）Ｊｌ能ノコを発揮できない。
ｂ、被処理物ｍの外形寸法は一定しておらず大小さまざ
まであるから、寸法の小さな被処理物ｍのときには、被
処理物…と熱遮蔽板４との間隙゛が増大し、炉内を流れ
る冷却ガス流速が遅くなり、冷却能力も低下する。
まであるから、寸法の小さな被処理物ｍのときには、被
処理物…と熱遮蔽板４との間隙゛が増大し、炉内を流れ
る冷却ガス流速が遅くなり、冷却能力も低下する。
Ｃ１加熱室６の電熱ヒータ５．熱遮蔽板４は構造的に充
分な強度を有しないため、冷却能力を高めるべく冷却ガ
ス速瓜を約５ｍ、／ｓｅａ以上にあげると、冷却ガス流
によって振動を起し、電熱ヒータ５等の寿命を縮める結
果となる。
分な強度を有しないため、冷却能力を高めるべく冷却ガ
ス速瓜を約５ｍ、／ｓｅａ以上にあげると、冷却ガス流
によって振動を起し、電熱ヒータ５等の寿命を縮める結
果となる。
ｄ、炉内の冷却ガス流速がξいため、熱伝達効率が悪く
、冷却ガスの温度もあまり上Ａせず、熱交換器１２に流
入するガス温度も低い。従って、熱交換器１２の効率が
悪く多大の伝熱面積を必要とし、熱交換器１２が大型化
し設備費が高くなっていた。
、冷却ガスの温度もあまり上Ａせず、熱交換器１２に流
入するガス温度も低い。従って、熱交換器１２の効率が
悪く多大の伝熱面積を必要とし、熱交換器１２が大型化
し設備費が高くなっていた。
本発明は以上の従来の問題点を有効に解決すべく創案さ
れたものであり、本発明の目的は、冷却ガス量の大幅な
低減及び冷却ガス供給装置の小型化が図れると共に、冷
却時間の短縮により炉の操業廊を向上し得る真空炉を提
供するにある。
れたものであり、本発明の目的は、冷却ガス量の大幅な
低減及び冷却ガス供給装置の小型化が図れると共に、冷
却時間の短縮により炉の操業廊を向上し得る真空炉を提
供するにある。
以下に本発明の好適一実施例を添付図面に従って詳述覆
る。
る。
第２図においで、１は横置ぎに設置された真空炉の筒体
状の炉体であり、炉体１内には、被処理物ｍを加熱する
加熱室６を区画すべく、下方の移送台中３側が開放した
断面略Ｕ字状の加熱室ケース２が吊り下げロンド１６に
より炉体１より吊り下げられＣいる。加熱室ケース２及
び移送台車３の加熱室６側の壁面には、熱遮蔽板４が張
設されると共に、電熱ヒータ５が移送台車３上に載置さ
れた被処理物ｍを包囲するように配設されている。
状の炉体であり、炉体１内には、被処理物ｍを加熱する
加熱室６を区画すべく、下方の移送台中３側が開放した
断面略Ｕ字状の加熱室ケース２が吊り下げロンド１６に
より炉体１より吊り下げられＣいる。加熱室ケース２及
び移送台車３の加熱室６側の壁面には、熱遮蔽板４が張
設されると共に、電熱ヒータ５が移送台車３上に載置さ
れた被処理物ｍを包囲するように配設されている。
炉体１側方には、炉内を真空引ぎづるだめの真空１ノ１
気管７が接続され、真空排気管７は真空ポンプ（図示Ｕ
ず）に連結されている。更に、炉体１底部には、加熱処
理後の被処理物ｍを冷却すべく炉内に導入した冷却ガス
を炉外に排出するだめの冷却カス排出管１７が連結され
ている。また、炉体１底部には、炉体１軸方向に沿って
移送台車３を走行移動させるためのレール１８が敷設さ
れると共に移送台車３下部には走行用の車輪１９が設け
られている。
気管７が接続され、真空排気管７は真空ポンプ（図示Ｕ
ず）に連結されている。更に、炉体１底部には、加熱処
理後の被処理物ｍを冷却すべく炉内に導入した冷却ガス
を炉外に排出するだめの冷却カス排出管１７が連結され
ている。また、炉体１底部には、炉体１軸方向に沿って
移送台車３を走行移動させるためのレール１８が敷設さ
れると共に移送台車３下部には走行用の車輪１９が設け
られている。
移送台車３側部全周には、ダクト２０が配設され、ダク
ト２０には、これに沿って適宜間隔にダクト２０内に導
入された冷却ガスを分配供給するための分岐管２１がダ
クト２０より立ち上がらせて設けられている。そして、
各分岐管２１には、中空構造体２２の下端が＠１１５２
自在に嵌挿され、中空構造体２２は移送台車３上の被処
理物ｍを囲むように立設される。中空構造体２２は管状
をなし、その−側には上下に多段に冷却ガスを噴射する
噴射ノズル２３が形成されている。中空構造体２２は分
岐管２１に対して回転自由に取り付けられており、噴射
ノズル２３を被処理物■に所望の角度で臨ませることが
できる。一方、ダク１〜２０と冷却ガス排出管１７とを
連通接続するために、これらの間には配管２１１が介設
され、配管２４には、循環ファン１１．配管２４を移送
させる冷却ガスを冷却する７ｊめの熱交換器１２及び遮
蔽弁１３゜１４がそれぞれ設けられている。
ト２０には、これに沿って適宜間隔にダクト２０内に導
入された冷却ガスを分配供給するための分岐管２１がダ
クト２０より立ち上がらせて設けられている。そして、
各分岐管２１には、中空構造体２２の下端が＠１１５２
自在に嵌挿され、中空構造体２２は移送台車３上の被処
理物ｍを囲むように立設される。中空構造体２２は管状
をなし、その−側には上下に多段に冷却ガスを噴射する
噴射ノズル２３が形成されている。中空構造体２２は分
岐管２１に対して回転自由に取り付けられており、噴射
ノズル２３を被処理物■に所望の角度で臨ませることが
できる。一方、ダク１〜２０と冷却ガス排出管１７とを
連通接続するために、これらの間には配管２１１が介設
され、配管２４には、循環ファン１１．配管２４を移送
させる冷却ガスを冷却する７ｊめの熱交換器１２及び遮
蔽弁１３゜１４がそれぞれ設けられている。
次に本実施″゛例の作用について述べる。
被処理物ｍは移送台車３に積載され移送台車３と共に炉
内に搬入されて後、真空排気管７に連設された真空ポン
プの作動により炉体１内の空気は１ノ１出され、炉内は
高真空状態に維持される。そして、被処理物ｍは高真空
下で電熱ヒータ５により加熱される。
内に搬入されて後、真空排気管７に連設された真空ポン
プの作動により炉体１内の空気は１ノ１出され、炉内は
高真空状態に維持される。そして、被処理物ｍは高真空
下で電熱ヒータ５により加熱される。
被処理物ｍの熱処理が終了した後、次いで加熱された被
処理物ｍを冷却する冷却過程に移行する遮断弁１３．１
４が開かれ、循環ファン１１が駆動されると、Ｎ２ガス
等の冷却ガスは配管２４よリダクト２０に供給され、ダ
クト２０から各分岐管２１に分配され、そして、被処理
物ｍに臨まぜ（これを包囲するように多数設けられた中
空構造体２２の各噴射ノズル２３より被処理物ｍに向け
て冷却ガスが高速で吹き付けられる。このように、本発
明では、被処理物ｍに臨ませた噴射ノズル２３から高速
で被処理物ｍ表面に冷却ガスを吹き付りて冷ＩＩ する
方法なので、被処理物ｍと冷却ガスとの間の熱伝達率を
著しく向上し得、有効な冷却が実施できる。このため、
従来の炉内貫流式冷却方法に比較して、冷却ガス循環量
を１／４〜１／８程度に大幅に削減でき、循環ファン１
１．熱交換率１２．配管２４．遮断弁１３．１４等の冷
却ガス供給装置の小型化を図れると共に運転コストを低
減できる。
処理物ｍを冷却する冷却過程に移行する遮断弁１３．１
４が開かれ、循環ファン１１が駆動されると、Ｎ２ガス
等の冷却ガスは配管２４よリダクト２０に供給され、ダ
クト２０から各分岐管２１に分配され、そして、被処理
物ｍに臨まぜ（これを包囲するように多数設けられた中
空構造体２２の各噴射ノズル２３より被処理物ｍに向け
て冷却ガスが高速で吹き付けられる。このように、本発
明では、被処理物ｍに臨ませた噴射ノズル２３から高速
で被処理物ｍ表面に冷却ガスを吹き付りて冷ＩＩ する
方法なので、被処理物ｍと冷却ガスとの間の熱伝達率を
著しく向上し得、有効な冷却が実施できる。このため、
従来の炉内貫流式冷却方法に比較して、冷却ガス循環量
を１／４〜１／８程度に大幅に削減でき、循環ファン１
１．熱交換率１２．配管２４．遮断弁１３．１４等の冷
却ガス供給装置の小型化を図れると共に運転コストを低
減できる。
更に、噴射ノズル２３から高速で被処理物ｍに吹ぎ付け
られた冷却ガスは、被処理物１表面より熱を奪い昇温さ
れた冷却ガスは、冷却ガス排出管１７より配管２４を通
って熱交換器１２に送られるが、冷却ガスと被処理物ｍ
との熱伝達が大であるため、熱交換器１２に流入する冷
却ガス温度が高く、熱交換器１２の効率がよくなる。従
って、熱交換器１２の伝熱面積を減少でき、熱交換器１
２の小型化、設備費の低減が図れる。
られた冷却ガスは、被処理物１表面より熱を奪い昇温さ
れた冷却ガスは、冷却ガス排出管１７より配管２４を通
って熱交換器１２に送られるが、冷却ガスと被処理物ｍ
との熱伝達が大であるため、熱交換器１２に流入する冷
却ガス温度が高く、熱交換器１２の効率がよくなる。従
って、熱交換器１２の伝熱面積を減少でき、熱交換器１
２の小型化、設備費の低減が図れる。
また、中空構造体２２は、ビンやねじ込み等の方法で分
岐管２１に取替え自由に設けられているので、被処理物
ｍの形状寸法に応じ−Ｃ数種類のものを準備しておけば
、被処理物ｍに見合った最適形状のものを選択して装着
できる。更に、中空構造体２２は、分岐管２１に対して
回転自由に設けられ、任意の位置に固定できる構造なの
で、噴射ノズル２３を被処理物ｍに対し任意の方向に向
けることかできる。このように、中空構造体′２２が取
替え自由、回転自由となっているので、被処理動用の形
状寸法にかかわらず、それに合けて常に理想的な状態で
噴射ノズル２３を配置し冷却ガスを吹き付けることがで
き、効果的な冷却が可能である。また、上述したように
、冷却ガスと被処理物■との熱伝達率を向上できるので
、冷却時間の大幅な短縮が可能であり、真空炉の操業炉
を著しく向上Ｊることができる。
岐管２１に取替え自由に設けられているので、被処理物
ｍの形状寸法に応じ−Ｃ数種類のものを準備しておけば
、被処理物ｍに見合った最適形状のものを選択して装着
できる。更に、中空構造体２２は、分岐管２１に対して
回転自由に設けられ、任意の位置に固定できる構造なの
で、噴射ノズル２３を被処理物ｍに対し任意の方向に向
けることかできる。このように、中空構造体′２２が取
替え自由、回転自由となっているので、被処理動用の形
状寸法にかかわらず、それに合けて常に理想的な状態で
噴射ノズル２３を配置し冷却ガスを吹き付けることがで
き、効果的な冷却が可能である。また、上述したように
、冷却ガスと被処理物■との熱伝達率を向上できるので
、冷却時間の大幅な短縮が可能であり、真空炉の操業炉
を著しく向上Ｊることができる。
なＪ５、上記実施例においては、被処理物Ｗに臨んでこ
れに冷却ガスを噴射する噴射口として噴射ノズル２３を
示したが、噴射口はスリン１〜状のものでもＪ、い。又
、中空構造体２２に適宜個所で屈曲できるようなフレキ
シビリティをもたせてもよい。さらに、上記実施例では
、冷却ガスを循環さけて炉に供給づる方式であったが、
冷却ガスとして人気を利用し、冷却処理し昇温された空
気を人気解放する方式の真空炉にも本発明を適用できる
のは勿論である。
れに冷却ガスを噴射する噴射口として噴射ノズル２３を
示したが、噴射口はスリン１〜状のものでもＪ、い。又
、中空構造体２２に適宜個所で屈曲できるようなフレキ
シビリティをもたせてもよい。さらに、上記実施例では
、冷却ガスを循環さけて炉に供給づる方式であったが、
冷却ガスとして人気を利用し、冷却処理し昇温された空
気を人気解放する方式の真空炉にも本発明を適用できる
のは勿論である。
以上要するに本発明によれば次のような優れた効果を発
揮することができる。
揮することができる。
〔１） 冷却ガス導入手段により冷却ガスを被処理物ま
で導き、それに臨ませて配設された冷却ガス導入手段の
噴射口から冷却ガスを吹き付【ノて冷却するようにした
ため、冷却ガスと被処理物との間の熱伝達率が著しく向
上し、効果的な冷却ができる。
で導き、それに臨ませて配設された冷却ガス導入手段の
噴射口から冷却ガスを吹き付【ノて冷却するようにした
ため、冷却ガスと被処理物との間の熱伝達率が著しく向
上し、効果的な冷却ができる。
（２） 従って、冷却ガスを炉内を貫流させて被処理物
を冷却する従来方法と比べ、冷却ガス風量を大幅に削減
づ゛ることができ、冷却ガス供給装置等を小型化でき、
炉の運転コストを低減できる。
を冷却する従来方法と比べ、冷却ガス風量を大幅に削減
づ゛ることができ、冷却ガス供給装置等を小型化でき、
炉の運転コストを低減できる。
（３） 効果的な冷却ができるので、被処理物を冷却す
る冷却時間を大幅に短縮でき、炉の操業匪を著しく向上
できる。
る冷却時間を大幅に短縮でき、炉の操業匪を著しく向上
できる。
（４） 更に、冷却ガスを循環供給する方式の真空炉に
あっては、炉外に排気される冷却ガスの排気温度が上昇
するので、冷却ガス循環系に設けられた熱交換器の効率
も高くなり、熱交換器等の小型化、設備費の低減が図れ
る。
あっては、炉外に排気される冷却ガスの排気温度が上昇
するので、冷却ガス循環系に設けられた熱交換器の効率
も高くなり、熱交換器等の小型化、設備費の低減が図れ
る。
第１図は、従来の真空炉の横断面図、第２図は本発明に
係る真空炉の一実施例を示す横断面Ｉ５７＋ ’？：”
ある。 図中、１は炉体、２は加熱室ケース、３は移送台車、４
は熱遮蔽板、５は電熱ヒータ、６は加熱室、１１は循環
ファン、１２は熱交換器、１７は冷却ガス排出管、２０
はダクト、２１は分岐管、２２は中空構造体、２３は噴
射ノズル、２４は配管、ｍは被処理物である。 特許出願人 石川島播磨重工業株式会社外１名 代理人弁理士 絹 谷 信 雄
係る真空炉の一実施例を示す横断面Ｉ５７＋ ’？：”
ある。 図中、１は炉体、２は加熱室ケース、３は移送台車、４
は熱遮蔽板、５は電熱ヒータ、６は加熱室、１１は循環
ファン、１２は熱交換器、１７は冷却ガス排出管、２０
はダクト、２１は分岐管、２２は中空構造体、２３は噴
射ノズル、２４は配管、ｍは被処理物である。 特許出願人 石川島播磨重工業株式会社外１名 代理人弁理士 絹 谷 信 雄
Claims (1)
- 被処理物を減圧Ｆで加熱処理する加熱室と該加熱室で加
熱処理された被処理物を冷却するために加熱室内に冷却
ガスを供給する冷却ガス供給装置とを有する真空炉にお
いて、上記加熱室内の加熱処理された被処理物に上記冷
却ガス供給装置からの冷却ガスを導入して噴射ずべく、
被処理物に臨ませてその噴射口が配設された冷ｆｉｌｌ
ガス導入手段を設りたことを特徴とする真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12616483A JPS6020082A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12616483A JPS6020082A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 真空炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020082A true JPS6020082A (ja) | 1985-02-01 |
| JPS6145152B2 JPS6145152B2 (ja) | 1986-10-06 |
Family
ID=14928259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12616483A Granted JPS6020082A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | 真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020082A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009192124A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Ngk Insulators Ltd | 熱処理炉 |
| JP2009264691A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 熱処理装置、インライン式熱処理装置及び被処理物の製造方法 |
| WO2010143640A1 (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 金属熱処理炉 |
| CN109114863A (zh) * | 2018-08-21 | 2019-01-01 | 深圳市鹰慧科技有限公司 | 一种循环冷却炉体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541399A (en) * | 1978-09-13 | 1980-03-24 | Degussa | Vacuum furnace with gas cooler |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP12616483A patent/JPS6020082A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5541399A (en) * | 1978-09-13 | 1980-03-24 | Degussa | Vacuum furnace with gas cooler |
Cited By (8)
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| JP2009264691A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 熱処理装置、インライン式熱処理装置及び被処理物の製造方法 |
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| JP2010281534A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | National Institute For Materials Science | 金属熱処理炉 |
| CN102460052A (zh) * | 2009-06-08 | 2012-05-16 | 独立行政法人物质·材料研究机构 | 金属热处理炉 |
| EP2442057A4 (en) * | 2009-06-08 | 2014-03-12 | Nat Inst For Materials Science | OVEN FOR HEAT TREATMENT OF METALS |
| US8845955B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-09-30 | National Institute For Materials Science | Heat treatment furnace |
| CN109114863A (zh) * | 2018-08-21 | 2019-01-01 | 深圳市鹰慧科技有限公司 | 一种循环冷却炉体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6145152B2 (ja) | 1986-10-06 |
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