JPS60200870A - セラミツクス−金属接合体 - Google Patents
セラミツクス−金属接合体Info
- Publication number
- JPS60200870A JPS60200870A JP5590184A JP5590184A JPS60200870A JP S60200870 A JPS60200870 A JP S60200870A JP 5590184 A JP5590184 A JP 5590184A JP 5590184 A JP5590184 A JP 5590184A JP S60200870 A JPS60200870 A JP S60200870A
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- JP
- Japan
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- metal
- ceramic sintered
- sintered body
- ceramic
- bonded body
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明はひび割れや剥離等の欠陥のないセラミックス−
金属接合体に関する。
金属接合体に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
セラミックス焼結体と金属部材との接合技術は電子管を
中心に発展し、現在では各種の電子部品に適用されてい
る。
中心に発展し、現在では各種の電子部品に適用されてい
る。
このような機能部品においては、気密性が重要な問題と
なっているが、この問題は金属部材として熱膨張係数が
セラミックス焼結体のそれと近似しているものを使用す
ることによりほぼ解決されている。
なっているが、この問題は金属部材として熱膨張係数が
セラミックス焼結体のそれと近似しているものを使用す
ることによりほぼ解決されている。
しかしながら、構造用部品にこの接合技14・jを適用
させることは使用する金属部材がほとんどtlil +
J等に限定されていることから困難であり、従来は接着
剤や機械的に嵌合させることによりセラミックス焼結体
と金属部材とを接合させることか行なわれていた。
させることは使用する金属部材がほとんどtlil +
J等に限定されていることから困難であり、従来は接着
剤や機械的に嵌合させることによりセラミックス焼結体
と金属部材とを接合させることか行なわれていた。
しかしながら、このような方法では接合強度の小さいも
のしか得られず、また熱膨張係数の差によりひび割れや
剥離等の欠陥が発生し易いという問題があった。
のしか得られず、また熱膨張係数の差によりひび割れや
剥離等の欠陥が発生し易いという問題があった。
[発明の目的]
本発明はこのような問題を解決づるためなされたもので
、接合時の集中応力を緩和しでひび割れや剥離等の欠陥
の発生し難いセラミックス−金属接合体を提供すること
を目的とする。
、接合時の集中応力を緩和しでひび割れや剥離等の欠陥
の発生し難いセラミックス−金属接合体を提供すること
を目的とする。
[発明の概要]
すなわち本発明のセラミックス−金属接合体は、金属部
材のセラミックス焼結体に接合づる面に不連続部が形成
されていることを特徴としている。
材のセラミックス焼結体に接合づる面に不連続部が形成
されていることを特徴としている。
本発明におけるセラミックス焼結体としCは、例えばア
ルミナ等の酸化物系セラミックス焼結体、窒化ケイ素、
炭化ケイ素等の非酸化物系セラミックス焼結体等があげ
られる。
ルミナ等の酸化物系セラミックス焼結体、窒化ケイ素、
炭化ケイ素等の非酸化物系セラミックス焼結体等があげ
られる。
本発明における金属部材としては、例えば調料があげら
れるが、これに限定されるものではない。
れるが、これに限定されるものではない。
本発明においては、接合に際しC金属部材側のセラミッ
クス焼結体に接合する面に多数のスリット等の切欠を入
れて接合面に不連続部を形成さ已でおく。
クス焼結体に接合する面に多数のスリット等の切欠を入
れて接合面に不連続部を形成さ已でおく。
これらのスリットは、金属部材の大きさにもにるが、幅
0.1〜3旺、ピッチ0.5〜20川和、深さ0.3〜
5.Onが打法しい。
0.1〜3旺、ピッチ0.5〜20川和、深さ0.3〜
5.Onが打法しい。
セラミックス焼結体を金属部材、特に鋼材に接合させる
には、例えば次のように行なう。
には、例えば次のように行なう。
セラミックス焼結体が酸化物系の場合はそのまま、非酸
化物系の場合はできれば酸化して表面に酸化層を形成さ
せた後、この酸化層上にタフピッチ電界銅等の含酸素鋼
を接触させた状態で不活性雰囲気中において1065〜
1083℃に加熱して銅層を形成し、ろう材を介しC金
属部材の不連続な面に接合させる。ま7j他の方法とし
て酸素鋼の代りに活性金属の化合物を添加したモリブデ
ン酸リチウム溶液をセラミックス焼結体の接合面上に塗
布し、加熱して導電層を形成した後、この導電層上にニ
ッケルめっきを施し、ろう材を介して金属部材と接合さ
ぜlζす、活性金属粉末または箔を介してセラミックス
焼結体と金属部材とを接合ざぜるようにしてもよい。こ
の場合、銅あるいは銅合金のような延性金属の薄板を接
合面に挾み、中間緩衝層を設けた方がより高い強度が得
られる。
化物系の場合はできれば酸化して表面に酸化層を形成さ
せた後、この酸化層上にタフピッチ電界銅等の含酸素鋼
を接触させた状態で不活性雰囲気中において1065〜
1083℃に加熱して銅層を形成し、ろう材を介しC金
属部材の不連続な面に接合させる。ま7j他の方法とし
て酸素鋼の代りに活性金属の化合物を添加したモリブデ
ン酸リチウム溶液をセラミックス焼結体の接合面上に塗
布し、加熱して導電層を形成した後、この導電層上にニ
ッケルめっきを施し、ろう材を介して金属部材と接合さ
ぜlζす、活性金属粉末または箔を介してセラミックス
焼結体と金属部材とを接合ざぜるようにしてもよい。こ
の場合、銅あるいは銅合金のような延性金属の薄板を接
合面に挾み、中間緩衝層を設けた方がより高い強度が得
られる。
[発明の実施例]
次に本発明の実施例について説明J−る。
実施例1
常圧焼結法により第1図に示すような、白り棒状の窒化
ケイ素系セラミックス焼結体1をm )aL/I〔。こ
のセラミックス焼結体1の金属部材2に接合する面に二
酸化チタンを添加したモリブデン酸溶液を塗布焼付けし
て導電層を形成した後、この上にニッケルめっきを施し
た。
ケイ素系セラミックス焼結体1をm )aL/I〔。こ
のセラミックス焼結体1の金属部材2に接合する面に二
酸化チタンを添加したモリブデン酸溶液を塗布焼付けし
て導電層を形成した後、この上にニッケルめっきを施し
た。
次に鋼製の直方体状の金属部材2のけラミックス焼結体
に接合する面に幅0.5+n+i、ピッチ1゜0mm、
深さ2.0mmの平行する多数のスリブ1〜3を入れ、
これを銀−銅ろう祠4を介しCセラミックス焼結体1の
ニッケルめっきの面に接触さけて加熱することによりセ
ラミックス−金属接合体を製 造 し )こ 。
に接合する面に幅0.5+n+i、ピッチ1゜0mm、
深さ2.0mmの平行する多数のスリブ1〜3を入れ、
これを銀−銅ろう祠4を介しCセラミックス焼結体1の
ニッケルめっきの面に接触さけて加熱することによりセ
ラミックス−金属接合体を製 造 し )こ 。
このようにして得られた10個の接合体にはひび割れや
剥離等の欠陥は発見されなかった。
剥離等の欠陥は発見されなかった。
一方、金属部材としてスリットを入れないものを使用し
て同様にセラミックス焼結体に接合させたものはすべて
にひび割れが発生した。
て同様にセラミックス焼結体に接合させたものはすべて
にひび割れが発生した。
実施例2
常圧焼結法により第2図に示すような形状の窒化ケイ素
性セラミックス焼結体5.5′を製造した。
性セラミックス焼結体5.5′を製造した。
このセラミックス焼結体5.5′の金属部材6に接合す
る面にチタンおよび銅の混合粉末を介して厚さ0.03
mmの銅板を載せ、窯化雰囲気中で加熱して銅層6を形
成した。
る面にチタンおよび銅の混合粉末を介して厚さ0.03
mmの銅板を載せ、窯化雰囲気中で加熱して銅層6を形
成した。
次にm製の金属部材7のセラミックス焼結体5.5′に
接合する面に幅0.5籠、ピッチ1.0m+11、深さ
3.0mmのスリット8を入れ、これを銀−銅ろう材8
を介してセラミックス焼結体5.5′の!i層6に接触
させて加熱することにより、木材加工用を工具を製造し
た。
接合する面に幅0.5籠、ピッチ1.0m+11、深さ
3.0mmのスリット8を入れ、これを銀−銅ろう材8
を介してセラミックス焼結体5.5′の!i層6に接触
させて加熱することにより、木材加工用を工具を製造し
た。
この接合体を10個製造したが、これらにはいずれもひ
び割れや剥離等の欠陥は発生しなかった。
び割れや剥離等の欠陥は発生しなかった。
一方、金属部材としてスリットを入れないものを使用し
た場合はすべてのセラミックス焼結体にひび割れが生じ
た。
た場合はすべてのセラミックス焼結体にひび割れが生じ
た。
[発明の効果〕
以上説明したように本発明のセラミックス−金属接合体
は、接合時に生じる応力が予め金属部材に形成された不
連続部により緩和されるので、ひび割れや剥離等の欠陥
が1しることがない。
は、接合時に生じる応力が予め金属部材に形成された不
連続部により緩和されるので、ひび割れや剥離等の欠陥
が1しることがない。
第1図は本発明のセラミックス−金属接合体の一実施例
を模式的に示す断面図、第2図は別の実施例を示す斜視
図である。 1.5.5′・・・セラミックス焼結体2.6・・・・
・・・・・金属部材 3.7・・・・・・・・・スリット 4.8・・・・・・・・・銀−銅ろう月代理人弁理士
須 山 仏 − 第1図 第2図
を模式的に示す断面図、第2図は別の実施例を示す斜視
図である。 1.5.5′・・・セラミックス焼結体2.6・・・・
・・・・・金属部材 3.7・・・・・・・・・スリット 4.8・・・・・・・・・銀−銅ろう月代理人弁理士
須 山 仏 − 第1図 第2図
Claims (4)
- (1)金属部材のセラミックス焼結体に接合する面に不
連続部が形成されていることを特徴どするセラミックス
−金属接合体。 - (2)不連続部が複数条の平行するスソッ1−により形
成されている特許請求の範囲第1項記載のヒラミックス
−金属接合体。 - (3)複数条の平行するスリットの幅が0.1〜3.0
mm、ピッチが0.5〜20龍、深さか0゜3〜5.0
■である特許請求の範囲第2項記載のセラミックス−金
属接合体。 - (4)金属部材は鋼材である特許請求の範囲第1項ない
し第3項のいずれか1項記載のセラミックス−金属接合
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5590184A JPS60200870A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | セラミツクス−金属接合体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5590184A JPS60200870A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | セラミツクス−金属接合体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200870A true JPS60200870A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0328392B2 JPH0328392B2 (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=13012014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5590184A Granted JPS60200870A (ja) | 1984-03-23 | 1984-03-23 | セラミツクス−金属接合体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200870A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4981761A (en) * | 1988-06-03 | 1991-01-01 | Hitachi, Ltd. | Ceramic and metal bonded composite |
| US20090123696A1 (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Ibiden Co., Ltd. | Carbon-based composite material and producing method thereof |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59137378A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-07 | 三菱重工業株式会社 | セラミツク又はサ−メツトと金属の接合方法 |
-
1984
- 1984-03-23 JP JP5590184A patent/JPS60200870A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59137378A (ja) * | 1983-01-24 | 1984-08-07 | 三菱重工業株式会社 | セラミツク又はサ−メツトと金属の接合方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4981761A (en) * | 1988-06-03 | 1991-01-01 | Hitachi, Ltd. | Ceramic and metal bonded composite |
| US20090123696A1 (en) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Ibiden Co., Ltd. | Carbon-based composite material and producing method thereof |
| US8329283B2 (en) * | 2007-11-09 | 2012-12-11 | Ibiden Co., Ltd. | Carbon-based composite material and producing method thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0328392B2 (ja) | 1991-04-18 |
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