JPS6020134A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、表面波発振器を用いて外気圧などを検知する
だめの圧力センサに関する。

圧力レン蕾すとしては、ベローズやタイヤフラムの動き
を利用したものが多く提案されているが、いずれもベロ
ーズやダイヤフラムの動さに応じてスイッチを動作さぜ
る成域的な圧力スイッチというべきものであり、使用用
途が限られている。

本発明は、表面波発振器を用いることにより、構造が簡
単でかつ安価で、しがもアナログ的出力が得られ、高度
計など広範囲な、用途に利用できるようにした圧力セン
サを提供することを目的とづる。

すなわち本発明は、表面波発振器を構成−りる表面波基
板または表面波基板を載置したタイヤフラムによってケ
ース内に一定圧の密閉空間を形成し、その空間内部と外
部との圧力差で生ずる表面波基板のそりによって表面波
発振器の発振周波数を変化させ、この周波数変化に基い
て外部圧力を検知するようにしたものである。

以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ訂）ボＪ　
る　。

第１図において、１は一端開口状のケースで、そのケー
ス内側面に段差２が設けられ、まＩこケース内側面の段
差２より底部側に貫通孔３が設りられている。４は表面
波基板で、ＰＺｌ−などの圧電セラミックス、１−ｉＮ
ｂ０３などの単結晶、あるいはＺｎＯなとの圧電薄膜を
形成したカラスＦ’＝　＋ｔｉなどで構成されている。

この表面波基板４上には、第２図に示すように、一対の
インターディジタル電極５．６が適当距離隔てて形成さ
れ、表面波遅延線が構成されている。この表面波ｉ１Ｚ
延線におＣプる各インターディジタル電極５．６の一方
側のくしｆ＋Ｆ＋電４４ｉ間に増幅器７が挿入され、各
電極５．６の他方側のくし歯電極がアースされ、増幅器
７の出力側には表面波発振器の出力端が設けられている
。このような表面波基板４はケース１内の段差２１−に
固定され、ケース１どの間で密閉空間８が４１４成され
、貫通孔３を通して密閉空間８内の圧力が一定値に設定
されている。一定圧に設定後は貫通孔３にシール部月９
が取りイ」りられる。そして、／７−ス１の聞に１端に
は多数の孔を右りる器１ｏが取り伺（）られでいる。

本実施例において、外気圧が変化し、密閉空間Φ ８内の圧ツノと間に差が生ずると、その斤力差にＪ：っ
Ｃ表面波基板４にそりが起こり、そのそりに基いて、表
面波が一方の電極５から他方の電極６へ伝わる芹延＋ｔ
’ｒ間が変化して、発振周波数が変化する。この周波数
変化によって外気圧を検知することができる。したがっ
て、外気圧の微妙な変化をアナログ的にかつ正確に測定
することができる。

上記実施例は、表面波発振器として表面波遅延線を用い
たものを示したが、本発明によれば、表面波共振子を用
いて発振器を構成しても同様である。また、表面波基板
は別個のタイヤフラムに貼りイ」け、このタイヤフラム
をケース１内の段差２に取り付けるようにしてもにい。

本発明は、以上説明したように構成されているので、構
造が簡単でかつ安価に構成でき、しかしアナログ的出力
が得られ、高度計など広範囲な用途に利用することかで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による圧力セン１ノの〜実施例を示す断
面図、第２図は表面波発振器の概略図である。 １はケース、４は表面波発振器を（ｊ４成づる表面波基
板である。 特　許　出　願　人 株式愈着ｔ’ｖ’　ｔＩｌ製作所

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 表面波発振器を構成する表面波基板−または表面波基板
   を載置したダイヤフラムによってケース内に一定圧の密
   閉空間を形成し、その空間内部と外部との圧力差で生ず
   る表面波基板のそりによって表面波発振器の発振周波数
   を変化さけ、この周波数変化に基いて外部圧力を検知す
   るようにしたことを特徴とする圧力レンサ。