JPS6020214A - ロボツトのサ−ボ装置 - Google Patents
ロボツトのサ−ボ装置Info
- Publication number
- JPS6020214A JPS6020214A JP12761783A JP12761783A JPS6020214A JP S6020214 A JPS6020214 A JP S6020214A JP 12761783 A JP12761783 A JP 12761783A JP 12761783 A JP12761783 A JP 12761783A JP S6020214 A JPS6020214 A JP S6020214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- servo device
- servo motor
- robot
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
- G05B19/231—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37388—Acceleration or deceleration, inertial measurement
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/45—Nc applications
- G05B2219/45083—Manipulators, robot
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ロボットのサーボ装置に係り、特に剛性の低
い伝動装置を介してアームｔ−駆動する構成の機構部を
有する場合に好適なロボットのサーボ装置に係る。
い伝動装置を介してアームｔ−駆動する構成の機構部を
有する場合に好適なロボットのサーボ装置に係る。
一般に、電動式のロボットでは、アームを駆動するため
に必要なトルクを得るために、サーボモータから減速機
全弁してアームを駆動する構成がとられている。この減
速機の剛性が不充分であると、アームの持つ慣性と結び
ついて定まる固有振動数が低い値となる。減速機におい
て発生する加振力の振動数が、上記固有振動数と一致す
ると共振状態となるが、加振力の振動数はモータの回転
速度に比例し、したがってアームの速度に比例する。固
有振動数が低いときには、アームの動作速度が低くても
共振状態があられれてしまい、ロボットの動作中にアー
ムが振動するという間ｆｆ１ｔ生ずることがある。
に必要なトルクを得るために、サーボモータから減速機
全弁してアームを駆動する構成がとられている。この減
速機の剛性が不充分であると、アームの持つ慣性と結び
ついて定まる固有振動数が低い値となる。減速機におい
て発生する加振力の振動数が、上記固有振動数と一致す
ると共振状態となるが、加振力の振動数はモータの回転
速度に比例し、したがってアームの速度に比例する。固
有振動数が低いときには、アームの動作速度が低くても
共振状態があられれてしまい、ロボットの動作中にアー
ムが振動するという間ｆｆ１ｔ生ずることがある。
一般゛に、共振の振幅を抑制するには、振動系に対して
ダンピング作用を付加することが有効である。このため
の方策として、機械的なダンパを取り付ける方法もある
が、機構部が大きくなるという問題をもっている。これ
に対し、サーボ装置においては、サーボモータに対する
操作信号を調整し、等測的にダンピング効果を実現する
ことができる。例えば、特公昭５５−２１３６４には、
モータによりワイヤ又はベルトを介して移動体を駆動す
るサーボ装置の構成が示されている。この発明において
は、モータ！１Ｉｌｌ１％移動体の双方に回転側発電機
が取り付けられており、双方の出力信号がモータの回転
速度制御回路にフィードバックされている。このような
構成によって１．可動体の伸縮。
ダンピング作用を付加することが有効である。このため
の方策として、機械的なダンパを取り付ける方法もある
が、機構部が大きくなるという問題をもっている。これ
に対し、サーボ装置においては、サーボモータに対する
操作信号を調整し、等測的にダンピング効果を実現する
ことができる。例えば、特公昭５５−２１３６４には、
モータによりワイヤ又はベルトを介して移動体を駆動す
るサーボ装置の構成が示されている。この発明において
は、モータ！１Ｉｌｌ１％移動体の双方に回転側発電機
が取り付けられており、双方の出力信号がモータの回転
速度制御回路にフィードバックされている。このような
構成によって１．可動体の伸縮。
振動ヲ幹減するものである。しかし、産欝用ロボットの
サーボ装置にこのような構成を適用しようとすると、い
くつかの問題が生ずる。すなわち、アームの動作速度が
低いため、減速機の出力側に回転計発電機を取り付けて
も、充分なレベルの４４号が得られない。この問題ヶ避
けるため、増速機構を介して回転ｉｔ発電ＩｉＱを取り
付けると、増速機構のもつ非線形性により、得られる検
出１ｒ；号が劣化する。一方、電気的に増幅しても、リ
ップルノイズの影響が大きい。
サーボ装置にこのような構成を適用しようとすると、い
くつかの問題が生ずる。すなわち、アームの動作速度が
低いため、減速機の出力側に回転計発電機を取り付けて
も、充分なレベルの４４号が得られない。この問題ヶ避
けるため、増速機構を介して回転ｉｔ発電ＩｉＱを取り
付けると、増速機構のもつ非線形性により、得られる検
出１ｒ；号が劣化する。一方、電気的に増幅しても、リ
ップルノイズの影響が大きい。
また、特開昭５８−３００１にね１．モータにより、剛
性の低い減速機を介してアーム１８：駆動するけポット
において、Ｉ−ムの加速度を検出し、関数発生部におい
て出力される目標加速度に追従させるサーボ装置が明ら
かにされている。しかし、この方式ではオブザーバ管用
いているため、関節杉ロボットに見られる動特性パラメ
ータの変動に対しては、推定値の精度が保証さｉ７ない
という欠点がある。
性の低い減速機を介してアーム１８：駆動するけポット
において、Ｉ−ムの加速度を検出し、関数発生部におい
て出力される目標加速度に追従させるサーボ装置が明ら
かにされている。しかし、この方式ではオブザーバ管用
いているため、関節杉ロボットに見られる動特性パラメ
ータの変動に対しては、推定値の精度が保証さｉ７ない
という欠点がある。
本発明の目的は、共振点での振幅を抑制し、良好な運動
特性金持つロボットのサーボ装置を枦供することにある
。
特性金持つロボットのサーボ装置を枦供することにある
。
本発明の特徴とするところは、ロボットのアームの角速
度を検出し、これ全サーボ装置の制御部に帰還するルー
プを設けることによ０、アームの振動に対してダンピン
グ効果金持たせるようにしたものである。
度を検出し、これ全サーボ装置の制御部に帰還するルー
プを設けることによ０、アームの振動に対してダンピン
グ効果金持たせるようにしたものである。
以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。
第１図（は本発明の装置全適用した多関節形のロボット
金示すものである。この第１図において、旋回部ＩＶよ
内蔵されたモータにより回転する。上腕部２及び前腕部
３は、各々モータ４及びモータ５により駆動される。こ
れら旋回部Ｊ１上腕部２及び前腕部３には、加速度検出
器６、加速度検出器７％加速度検出器８が各々取り付け
られており、各部の角加速度はこれらによって検出され
る。この実施例では、これらの旋回部１、上腕部２、前
腕部３の３つのサーボ装置に本発明を適用しｔ場 −合
を示している。
金示すものである。この第１図において、旋回部ＩＶよ
内蔵されたモータにより回転する。上腕部２及び前腕部
３は、各々モータ４及びモータ５により駆動される。こ
れら旋回部Ｊ１上腕部２及び前腕部３には、加速度検出
器６、加速度検出器７％加速度検出器８が各々取り付け
られており、各部の角加速度はこれらによって検出され
る。この実施例では、これらの旋回部１、上腕部２、前
腕部３の３つのサーボ装置に本発明を適用しｔ場 −合
を示している。
第２図は第１図に示した実施例のなかで、上腕部２のサ
ーボ装置の構成を図示したブロック図である。目標値発
生器２２からの目標１１６信号は、比較演算部１７に入
力される。その出力ボートにはＤＡ変換器１６が接続さ
れていて、後段のアナログ演算回路１５に信号を供給す
る。アナログ（′Ｒ智回路１５の出力信号は、電力増幅
器１４で増幅されて、サーボモータ４を駆動する。サー
ボモータ４の軸は、減速機１１を介して上腕２の軸に結
合されている。サーボモータ４の後端には、エンコーダ
１２及びタコジェネレータ１３が取り付けられている。
ーボ装置の構成を図示したブロック図である。目標値発
生器２２からの目標１１６信号は、比較演算部１７に入
力される。その出力ボートにはＤＡ変換器１６が接続さ
れていて、後段のアナログ演算回路１５に信号を供給す
る。アナログ（′Ｒ智回路１５の出力信号は、電力増幅
器１４で増幅されて、サーボモータ４を駆動する。サー
ボモータ４の軸は、減速機１１を介して上腕２の軸に結
合されている。サーボモータ４の後端には、エンコーダ
１２及びタコジェネレータ１３が取り付けられている。
タコジェネレータ１３の出力信号は、前置増幅器２３を
経て、アナログ演算回路１５に入力され、サーボモータ
４０角速度のフイードバツクを実現する。また、エンコ
ーダ１２の出力パルスは、方向弁別回路２４を経て可逆
カウンタ１８で計数されて、比較演算部１７に入力され
、サーボモータ４の回転角のフィードバック全実現する
。
経て、アナログ演算回路１５に入力され、サーボモータ
４０角速度のフイードバツクを実現する。また、エンコ
ーダ１２の出力パルスは、方向弁別回路２４を経て可逆
カウンタ１８で計数されて、比較演算部１７に入力され
、サーボモータ４の回転角のフィードバック全実現する
。
上腕部２には、加速度検出器７が取り付けられている。
この検出器７の出力信号はチャージアンプ２１を経て加
速度信号となる。加速度信号は、バイパスフィルタ２０
金経て、重力加速度の影響、他の関節の運動の影響等を
除去され、振動加速度信号となる。この信号は、積分回
路１９において積分されて速度信号となった後、アナロ
グ演算回路１５に入力され、上腕部の振動に関する速度
帰還によるダンピング効果が実現される。
速度信号となる。加速度信号は、バイパスフィルタ２０
金経て、重力加速度の影響、他の関節の運動の影響等を
除去され、振動加速度信号となる。この信号は、積分回
路１９において積分されて速度信号となった後、アナロ
グ演算回路１５に入力され、上腕部の振動に関する速度
帰還によるダンピング効果が実現される。
なお、この実施例では、さらに振動加速度信号全直接ア
ナログ演算回路１５に入力するフィードバック回路も付
加されている。
ナログ演算回路１５に入力するフィードバック回路も付
加されている。
ここで、比較演算部１７について１図を用いて構成及び
動作の説明を行う。
動作の説明を行う。
第３図は本発明を構成する比較演算部１７の構成の一例
を示すブロック図である。第３図において、中央処理装
置１０１は、制御信号バス１０８に接続されるとともに
、アドレスラッチ１０２を介してアドレスバス１０６、
データバス１０７に接続されている。アドレスバス１０
６、データバス１０７、制御信号バス１０８により構成
されるパスラインには、データが格納されるＲＡＭ １
０３、中央処理装置１０１において実行される命令群及
び初期値を格納しているＲＯＭ１０４、クロツクパルス
を発生するクロック１０５が接続されているｔｌか、目
標値信号全入力する入力ポートの機能を実現する入力イ
ンターフェース１１３、可逆カウンタ１８の内容を入力
する入力ポートの機能全実現する入力インターフェース
１１５．ＤＡ変換器４にデータを出力する出力ボートの
機ｆ１ヒケ実現する出力インターフェース１２２が接続
されている。
を示すブロック図である。第３図において、中央処理装
置１０１は、制御信号バス１０８に接続されるとともに
、アドレスラッチ１０２を介してアドレスバス１０６、
データバス１０７に接続されている。アドレスバス１０
６、データバス１０７、制御信号バス１０８により構成
されるパスラインには、データが格納されるＲＡＭ １
０３、中央処理装置１０１において実行される命令群及
び初期値を格納しているＲＯＭ１０４、クロツクパルス
を発生するクロック１０５が接続されているｔｌか、目
標値信号全入力する入力ポートの機能を実現する入力イ
ンターフェース１１３、可逆カウンタ１８の内容を入力
する入力ポートの機能全実現する入力インターフェース
１１５．ＤＡ変換器４にデータを出力する出力ボートの
機ｆ１ヒケ実現する出力インターフェース１２２が接続
されている。
第４図は、本発明と構成する比較演算部１７における処
理内容を示すフローチャートである。第４図において、
一連の処理の開始２０１は、一定周期をもって発生する
クロックパルスによる割込みによる。第１図の処理内容
２０２は、目標信号発生器２２からの目標値データを入
力することを示す。第２の処理内容２０３は、直流サー
ボモータ７の回転角データを入力し、前記目標値データ
から上記回転角データを減算し、偏差データを算出する
ことを示す。第３の処理内容２０４は、偏差データ’に
、ＤＡ変換器１６の入力ビット数以内の値に飽和させ、
出力データを算出することを示す。第４の処理内容２０
５は、上記出力データを出力し、ＤＡ変換器１６に入力
することを示す。
理内容を示すフローチャートである。第４図において、
一連の処理の開始２０１は、一定周期をもって発生する
クロックパルスによる割込みによる。第１図の処理内容
２０２は、目標信号発生器２２からの目標値データを入
力することを示す。第２の処理内容２０３は、直流サー
ボモータ７の回転角データを入力し、前記目標値データ
から上記回転角データを減算し、偏差データを算出する
ことを示す。第３の処理内容２０４は、偏差データ’に
、ＤＡ変換器１６の入力ビット数以内の値に飽和させ、
出力データを算出することを示す。第４の処理内容２０
５は、上記出力データを出力し、ＤＡ変換器１６に入力
することを示す。
以上で、一連の処理を終了２０６する。
第５図は、本発明の装置の他の実施例を示すもので、こ
の図において、第２図と同符号のものは同一部分である
。この実施例は、第２図に示す実施例に対して、振動加
速度信号及び速度信号の帰還ゲインを、モータの回転速
度に応じて変化させる回路全付加したものである。すな
わち、関数発生要素３１及び３３は、サーボモータ４の
角速度信号全入力として、各々速度信号及び加速度信号
の帰還利得を出力する。これらの帰還利得は乗算器３２
及び３４の一方の入力端子に入力され、他方の入力端子
に各々入力される速度信号及び加速度信号と乗算される
。この演算結果はいずれもアナログ演算回路１５に入力
される。この実施例では、モータの回転速度に応じて補
償信号の利得を変化させられるため、共振現象のあられ
１１ない領域では補償信号を押さえることができる。
の図において、第２図と同符号のものは同一部分である
。この実施例は、第２図に示す実施例に対して、振動加
速度信号及び速度信号の帰還ゲインを、モータの回転速
度に応じて変化させる回路全付加したものである。すな
わち、関数発生要素３１及び３３は、サーボモータ４の
角速度信号全入力として、各々速度信号及び加速度信号
の帰還利得を出力する。これらの帰還利得は乗算器３２
及び３４の一方の入力端子に入力され、他方の入力端子
に各々入力される速度信号及び加速度信号と乗算される
。この演算結果はいずれもアナログ演算回路１５に入力
される。この実施例では、モータの回転速度に応じて補
償信号の利得を変化させられるため、共振現象のあられ
１１ない領域では補償信号を押さえることができる。
以上詳述したように、本発明によれば、割注の低い動力
伝達部を介してアームを駆動するロボットのサーボ装置
において、アームの振動に対してダンピング効果を持た
せることができる。これによって共振点での振幅や残留
振動の振幅を小さくすることができるので、ロボットの
運動特性を良好にすることができる。
伝達部を介してアームを駆動するロボットのサーボ装置
において、アームの振動に対してダンピング効果を持た
せることができる。これによって共振点での振幅や残留
振動の振幅を小さくすることができるので、ロボットの
運動特性を良好にすることができる。
第１図は本発明の装置全実施するロボットの一例の外観
を示す斜視図、第２図は本発明の装置の一実施例を示す
ブロック図、第３図は本発明に用いられる比較演算部の
構成を示すブロック図、第４図は比較演算部における処
理内容を示すフローチャート、第５図は本発明のサーボ
装買の他の実施例を示すブロック図である。 １・・・旋回部、２・・・上腕部、３・・・前腕部、４
・・・サーボモータ、５・・・サーボモータ、６・・・
加速度検出器、７・・・加速度検出器、８・・・加速度
検出器、１１・・・減速％、１２・・・エンコーダ、１
３・・・タコジェネレータ、１４・・・電力増幅器、１
５・・・アナログ演算回路、１６・・・ＤＡ変換器、１
７・・・比較演算部、１８・・・可逆カウンタ、１９・
・・積分回路、２０・・・バイパスフィルタ、２１・・
・チャージアンプ、２２・・・目標値信号発生器、２３
・・・前置増幅器、２４・・・方向弁別回路、３１・・
・関数発生要素、３２・・・乗算器、３３・・・関数発
生要素、３４・・・乗算器。 第 １ 図 ′ｆＪ Ｊ 図 Ｙ４図
を示す斜視図、第２図は本発明の装置の一実施例を示す
ブロック図、第３図は本発明に用いられる比較演算部の
構成を示すブロック図、第４図は比較演算部における処
理内容を示すフローチャート、第５図は本発明のサーボ
装買の他の実施例を示すブロック図である。 １・・・旋回部、２・・・上腕部、３・・・前腕部、４
・・・サーボモータ、５・・・サーボモータ、６・・・
加速度検出器、７・・・加速度検出器、８・・・加速度
検出器、１１・・・減速％、１２・・・エンコーダ、１
３・・・タコジェネレータ、１４・・・電力増幅器、１
５・・・アナログ演算回路、１６・・・ＤＡ変換器、１
７・・・比較演算部、１８・・・可逆カウンタ、１９・
・・積分回路、２０・・・バイパスフィルタ、２１・・
・チャージアンプ、２２・・・目標値信号発生器、２３
・・・前置増幅器、２４・・・方向弁別回路、３１・・
・関数発生要素、３２・・・乗算器、３３・・・関数発
生要素、３４・・・乗算器。 第 １ 図 ′ｆＪ Ｊ 図 Ｙ４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、サーボモータにより、減速機を介して運動部分を駆
動するロボットのサーボ装置において、減速機の出力軸
の角加速度信号を検出する手段と、この信号を積分して
角速度信号を得る手段と、この角速度信号をサーボ装置
の制御部に帰還する手段を備えたことを特徴とするロボ
ットのサーボ装ｆ＃ｔ、６ ２、特許請求の範囲第１項記載のロボットのサーボ装置
において、前記角加速度信号をサーボ装置の制御部に帰
還する手段を備えたことを特徴とする産業用ロボットの
サーボ装置。 ３、特許請求の範囲第１項または第２項記載のロボット
のサーボ装置において、前記角加速度信号を検出する手
段の後段に、信号処理手段としてバイパスフィルタを加
えたことを特徴とするロボットのサーボ装置。 ４、特許請求の範囲第１項または第２項記載のロボット
のサーボ装置において、信号音サーボ装置の制御部に帰
還する手段の前段に、帰還利得をサーボモータの角速度
に応じて変化させる手段を設けたことを特徴とするロボ
ットのサーボ装置。 ５、特許請求の範囲第３項記載のロボットのサーボ装置
において、信号をサーボ装置の制御部に帰還する手段の
前段に、帰還利得金サーボモータの角速度に応じて変化
させる手段を設けたこと′ｔ−特徴とするロボットのサ
ーボ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12761783A JPS6020214A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | ロボツトのサ−ボ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12761783A JPS6020214A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | ロボツトのサ−ボ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020214A true JPS6020214A (ja) | 1985-02-01 |
| JPH057727B2 JPH057727B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=14964514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12761783A Granted JPS6020214A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | ロボツトのサ−ボ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020214A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6257008A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-12 | Fanuc Ltd | 位置決め制御方式 |
| JPS6284309A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 機械剛性補償サ−ボ制御方式 |
| JPS62245305A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | San Esu Shoko Co Ltd | 数値制御方法 |
| JPS62249208A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | San Esu Shoko Co Ltd | 数値制御における制御出力指令値の生成方法 |
| JPH01234183A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | コンプライアンス制御方法 |
| EP0985989A3 (de) * | 1998-09-09 | 2000-12-27 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Einrichtung zum Verbessern des dynamischen Verhaltens eines Roboters |
| EP0974882A3 (en) * | 1998-07-22 | 2006-11-08 | Renishaw plc | Method of and apparatus for reducing vibrations on probes carried by coordinate measuring machines |
| JP2014046402A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット |
| JP2014046401A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット |
| JP2014046405A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014050935A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Seiko Epson Corp | ロボット制御装置、ロボットおよびロボットシステム |
| JP2014205199A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014205198A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014205197A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014233822A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2015085482A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、制御装置及びロボットシステム |
| JP2016083771A (ja) * | 2016-02-16 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
| JP2018001370A (ja) * | 2016-07-06 | 2018-01-11 | 株式会社ダイヘン | 振動低減制御装置、及びロボット |
| US9975240B2 (en) | 2013-11-01 | 2018-05-22 | Seiko Epson Corporation | Robot, controller, and robot system |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP12761783A patent/JPS6020214A/ja active Granted
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6257008A (ja) * | 1985-09-05 | 1987-03-12 | Fanuc Ltd | 位置決め制御方式 |
| JPS6284309A (ja) * | 1985-10-08 | 1987-04-17 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 機械剛性補償サ−ボ制御方式 |
| JPS62245305A (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | San Esu Shoko Co Ltd | 数値制御方法 |
| JPS62249208A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-30 | San Esu Shoko Co Ltd | 数値制御における制御出力指令値の生成方法 |
| JPH01234183A (ja) * | 1988-03-15 | 1989-09-19 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | コンプライアンス制御方法 |
| EP0974882A3 (en) * | 1998-07-22 | 2006-11-08 | Renishaw plc | Method of and apparatus for reducing vibrations on probes carried by coordinate measuring machines |
| EP0985989A3 (de) * | 1998-09-09 | 2000-12-27 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren und Einrichtung zum Verbessern des dynamischen Verhaltens eines Roboters |
| US9409293B2 (en) | 2012-08-31 | 2016-08-09 | Seiko Epson Corporation | Robot |
| JP2014046402A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット |
| JP2014046405A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| CN103659799A (zh) * | 2012-08-31 | 2014-03-26 | 精工爱普生株式会社 | 机器人 |
| JP2014046401A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | ロボット |
| US10688659B2 (en) | 2012-08-31 | 2020-06-23 | Seiko Epson Corporation | Robot |
| US9844875B2 (en) | 2012-08-31 | 2017-12-19 | Seiko Epson Corporation | Robot |
| CN103659799B (zh) * | 2012-08-31 | 2017-04-26 | 精工爱普生株式会社 | 机器人 |
| US9452529B2 (en) | 2012-08-31 | 2016-09-27 | Seiko Epson Corporation | Robot, robot control device, and robot system |
| JP2014050935A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Seiko Epson Corp | ロボット制御装置、ロボットおよびロボットシステム |
| JP2014205199A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014205197A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014205198A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| JP2014233822A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、ロボット制御装置およびロボットシステム |
| US9895800B2 (en) | 2013-06-05 | 2018-02-20 | Seiko Epson Corporation | Robot, robot control device, and robot system |
| JP2015085482A (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット、制御装置及びロボットシステム |
| US9975240B2 (en) | 2013-11-01 | 2018-05-22 | Seiko Epson Corporation | Robot, controller, and robot system |
| JP2016083771A (ja) * | 2016-02-16 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
| JP2018001370A (ja) * | 2016-07-06 | 2018-01-11 | 株式会社ダイヘン | 振動低減制御装置、及びロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057727B2 (ja) | 1993-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6020214A (ja) | ロボツトのサ−ボ装置 | |
| JP3442941B2 (ja) | ロボットの振動抑制制御装置およびその制御方法 | |
| JPH08118275A (ja) | マニピュレータの制御装置 | |
| JPH02213907A (ja) | 磁気軸受を自動平衡させるためのサーボ制御ループ装置 | |
| JPS6123212A (ja) | 多関節構造機械の制御装置 | |
| JPH0416803B2 (ja) | ||
| JPH10217173A (ja) | ロボットの非干渉化制御装置 | |
| KR101053205B1 (ko) | 백래쉬 보상 기능을 갖는 모터 제어 장치 | |
| JP2623535B2 (ja) | 電動機械の防振制御装置 | |
| JP3300144B2 (ja) | 多軸ロボットのウィービング制御方法 | |
| RU2115539C1 (ru) | Устройство для управления приводом робота | |
| JPH07104725B2 (ja) | マニピュレータの駆動方式 | |
| WO2002082194A1 (en) | Servo control device | |
| JPH0740268A (ja) | ロボットアームの制御装置 | |
| JPH0375906A (ja) | 多軸機構の制御方法及び装置 | |
| JPS59100903A (ja) | 産業用ロボツトのサ−ボ制御装置 | |
| SU1645938A1 (ru) | След ща система | |
| RU2148492C1 (ru) | Устройство для управления приводом робота | |
| JPH05150825A (ja) | ロボツトの制御装置 | |
| JP3117047B2 (ja) | 低剛性負荷の制振制御方式 | |
| JPS59206902A (ja) | 電気サ−ボ装置 | |
| JPH0234469A (ja) | 電動式パワーステアリング装置 | |
| JPH1131015A (ja) | 減速機構付きサーボ制御系の制振方法 | |
| JPH0673086B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
| JP2553847B2 (ja) | パラメ−タ推定装置に対する入力値生成装置 |