JPS60204607A - 立方晶窒化ホウ素の合成法 - Google Patents
立方晶窒化ホウ素の合成法Info
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- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 110
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 109
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title abstract description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 title description 6
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 title description 6
- BGECDVWSWDRFSP-UHFFFAOYSA-N borazine Chemical group B1NBNBN1 BGECDVWSWDRFSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 9
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 abstract 2
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001639 boron compounds Chemical group 0.000 description 3
- 150000001923 cyclic compounds Chemical class 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Zr gr rt Chemical class 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 102100040051 Aprataxin and PNK-like factor Human genes 0.000 description 1
- 101000890463 Homo sapiens Aprataxin and PNK-like factor Proteins 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- DQKRGOJBRLKONB-UHFFFAOYSA-N NB1NBNB(N1)N Chemical compound NB1NBNB(N1)N DQKRGOJBRLKONB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 1
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052730 francium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N lithium nitride Chemical compound [Li]N([Li])[Li] IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000634 powder X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、立方晶♀比ホウ素の合成法に関する。
高圧安定相の窒化ホウ素には、立方晶密化ホウ素とウル
シ鉱型窒化ホウ素が知られており、これらは共に天然に
は存在せず、一般には低圧安定相の六方晶窒化ホウ素を
高圧高温下で合成している。
シ鉱型窒化ホウ素が知られており、これらは共に天然に
は存在せず、一般には低圧安定相の六方晶窒化ホウ素を
高圧高温下で合成している。
この内、立方晶窒化ホウ素の合成法としては、静水圧下
で触媒を用いない直接法と特定の触媒物質を用いる触媒
法とがある。直接法によって得られる高圧安定相の窒化
ホウ素は、立方晶窒化ホウ素とウルツ鉱型窒化ホウ素の
混合物であシ、純粋な立方晶窒化ホウ素を直接法で合成
することができず、又立方晶窒化ホウ素とウルツ鉱型窒
化ホウ素とを分離するとともできないという欠点がある
。
で触媒を用いない直接法と特定の触媒物質を用いる触媒
法とがある。直接法によって得られる高圧安定相の窒化
ホウ素は、立方晶窒化ホウ素とウルツ鉱型窒化ホウ素の
混合物であシ、純粋な立方晶窒化ホウ素を直接法で合成
することができず、又立方晶窒化ホウ素とウルツ鉱型窒
化ホウ素とを分離するとともできないという欠点がある
。
更に直接法による合成条件は、例えば100Pa以上の
高圧力と2000℃前稜の高温度を必要とするため、特
殊な加圧方法を工夫したυ、ヒーターを含む加熱装置治
具並びにシリンダ及びピストンなどの加圧部品の消耗が
激しくなゐという問題がある。
高圧力と2000℃前稜の高温度を必要とするため、特
殊な加圧方法を工夫したυ、ヒーターを含む加熱装置治
具並びにシリンダ及びピストンなどの加圧部品の消耗が
激しくなゐという問題がある。
一方、触媒法は、中特公昭38−14に記載されている
アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉛、アンチモン、錫
、これらの合金及びこれらの窒化物からなる群より選択
した1種又はそれ以上を触媒とする方法及び(11)特
公昭52−17838に記載されている窒化アルミニウ
ムにlb、IIJ■a*Vaw■”p■a、■属元素及
びケイ素からなる群より選ばれた少なくとも1種以」二
を添加した系を触媒とする方法が主として知られている
。これら(1)及び(11)のような触媒法によって得
られる高圧安定相の窒化ホウ素は、直接法によって得ら
れる高圧安定相の窒化ホウ素と異なシ、ウルシ鉱型窒化
ホウ素を含まず、しかもその合成争件においても直接法
の合成条件よりも低い圧力、温度条件で立方晶窒化ホウ
素の合成が可能になっている。しかしこれらの触媒法に
卦ける合成法は、出発原料として大方晶窒化ホウ素を使
用しており、との六方晶窒化ホウ素に六方晶窒化ホウ素
の製造工程中に混入する、主として酸素などの不純物が
混在しているために窒化ホウ素への転換率が低くて大方
晶窒化ホウ素が残留したシ、又は転換率を上げるために
よシ高圧高温条件を要するという問題がある。
アルカリ金属、アルカリ土類金属、鉛、アンチモン、錫
、これらの合金及びこれらの窒化物からなる群より選択
した1種又はそれ以上を触媒とする方法及び(11)特
公昭52−17838に記載されている窒化アルミニウ
ムにlb、IIJ■a*Vaw■”p■a、■属元素及
びケイ素からなる群より選ばれた少なくとも1種以」二
を添加した系を触媒とする方法が主として知られている
。これら(1)及び(11)のような触媒法によって得
られる高圧安定相の窒化ホウ素は、直接法によって得ら
れる高圧安定相の窒化ホウ素と異なシ、ウルシ鉱型窒化
ホウ素を含まず、しかもその合成争件においても直接法
の合成条件よりも低い圧力、温度条件で立方晶窒化ホウ
素の合成が可能になっている。しかしこれらの触媒法に
卦ける合成法は、出発原料として大方晶窒化ホウ素を使
用しており、との六方晶窒化ホウ素に六方晶窒化ホウ素
の製造工程中に混入する、主として酸素などの不純物が
混在しているために窒化ホウ素への転換率が低くて大方
晶窒化ホウ素が残留したシ、又は転換率を上げるために
よシ高圧高温条件を要するという問題がある。
本発明は、上記のような従来の立方晶窒化ホウ素の合成
法における欠点及び問題点を解決したもので、具体的に
は、ボラジン及び/又はボラジン誘導体を熱分解して得
る窒化ホウ素(以下、ボラジンによる窒化ホウ素と略記
)を金属及び/又は金属化合物からなる触#′(以下、
触媒と略記)の作用によって立方晶窒化ホウ素に転換し
、この立方晶窒化ホウ素への転換率が極めて高く、しか
も酸素などの不純物の少ない立方晶窒化ホウ素の合成法
の提供を目的とする。
法における欠点及び問題点を解決したもので、具体的に
は、ボラジン及び/又はボラジン誘導体を熱分解して得
る窒化ホウ素(以下、ボラジンによる窒化ホウ素と略記
)を金属及び/又は金属化合物からなる触#′(以下、
触媒と略記)の作用によって立方晶窒化ホウ素に転換し
、この立方晶窒化ホウ素への転換率が極めて高く、しか
も酸素などの不純物の少ない立方晶窒化ホウ素の合成法
の提供を目的とする。
本発明の発明者らは、原料窒化ホウ素から立方晶窒化ホ
ウ素への転換率に最も大きな影響をもたらす因子が、原
料窒化ホウ素の結晶面と原料窒化ホウ素の酸素の含有量
であることをつきとめた。
ウ素への転換率に最も大きな影響をもたらす因子が、原
料窒化ホウ素の結晶面と原料窒化ホウ素の酸素の含有量
であることをつきとめた。
しかして原料費化ホウ素中の酸素含有量を必要な限度以
下に押え込む立方晶窒化ホウ素の製造方法を特公昭56
−37200にて提案している。すなわち、原料窒化ホ
ウ素としての六方晶窒化ホウ素とこの六方晶窒化ホウ素
の立方晶窒化ホウ素への転換反応に触媒作用として働く
窒化アルミニウムを混合し、この混合物を容器に充填し
、更に、トルエン、キシレン、エチルアルコールナトの
有機溶媒を容器に注入して混合物を覆う程度以上に添加
するか、もしくは容器内雰囲気を窒素、アルゴンなどの
不活性ガスで置換することによって容器内の酸系号が2
容量φ以下になるように調整し、その後、容器を高圧高
温下で処理して立方晶窒化7Jクウ素を得る方法でおる
。
下に押え込む立方晶窒化ホウ素の製造方法を特公昭56
−37200にて提案している。すなわち、原料窒化ホ
ウ素としての六方晶窒化ホウ素とこの六方晶窒化ホウ素
の立方晶窒化ホウ素への転換反応に触媒作用として働く
窒化アルミニウムを混合し、この混合物を容器に充填し
、更に、トルエン、キシレン、エチルアルコールナトの
有機溶媒を容器に注入して混合物を覆う程度以上に添加
するか、もしくは容器内雰囲気を窒素、アルゴンなどの
不活性ガスで置換することによって容器内の酸系号が2
容量φ以下になるように調整し、その後、容器を高圧高
温下で処理して立方晶窒化7Jクウ素を得る方法でおる
。
本発明では、立方晶窒化ホウ素への転換率を高めるため
のもう1つの課題である原料窒化ホウ素の結晶面に関し
、新規な発明を提供しようとするものである。すなわち
、本発明の発明者らによると立方晶窒化ホウ素への転換
率は、原料窒化ホウ素の結晶面が低い程高く、ボラジン
の加圧子熱分解によって得られる窒化ホウ素は、上記酸
素含有、殿について望ましい状態にあシ、特に結晶面が
低い点において正に理想的であることが知られたもので
ある。この点に関し、以下更に詳しく述べる。
のもう1つの課題である原料窒化ホウ素の結晶面に関し
、新規な発明を提供しようとするものである。すなわち
、本発明の発明者らによると立方晶窒化ホウ素への転換
率は、原料窒化ホウ素の結晶面が低い程高く、ボラジン
の加圧子熱分解によって得られる窒化ホウ素は、上記酸
素含有、殿について望ましい状態にあシ、特に結晶面が
低い点において正に理想的であることが知られたもので
ある。この点に関し、以下更に詳しく述べる。
先づボラジンをβ−トリクロロボラジンの還元によって
得た後、これを金のカプセル中に密封し、水熱合成装置
を用いて、100MPa、70’O℃までの加圧加熱下
で熱分解し、高純度窒化ホウ素を調製した。得られた上
記高純度窒化ホウ素を粉末X線回折法、赤外線吸収スペ
クトル分光法、透過電子顕微鏡によって結晶性と結合を
調査した。その結果、100MPa 、 700℃まで
の加熱によって生成した窒化ホウ素は第1図に示すよう
に非晶質であり、一方走査電子顕微鏡によって上記高純
度窒化ホウ素の形態を調べた所、球状又は繊維状を有す
る窒化ホウ素であった。これらの結果は、ボラジンの加
圧子熱分解が気相と液相の共存下でボラジン環の開裂反
応と縮合反応が併行していることを示している。
得た後、これを金のカプセル中に密封し、水熱合成装置
を用いて、100MPa、70’O℃までの加圧加熱下
で熱分解し、高純度窒化ホウ素を調製した。得られた上
記高純度窒化ホウ素を粉末X線回折法、赤外線吸収スペ
クトル分光法、透過電子顕微鏡によって結晶性と結合を
調査した。その結果、100MPa 、 700℃まで
の加熱によって生成した窒化ホウ素は第1図に示すよう
に非晶質であり、一方走査電子顕微鏡によって上記高純
度窒化ホウ素の形態を調べた所、球状又は繊維状を有す
る窒化ホウ素であった。これらの結果は、ボラジンの加
圧子熱分解が気相と液相の共存下でボラジン環の開裂反
応と縮合反応が併行していることを示している。
又、ボラジンの加圧子熱分解によって合成した非晶質窒
化ホウ素と20モルチ窒化アルミニウムの混合物の6.
5GPa下における転換率を第2図に示す。更に非晶質
窒化ホウ素は、結晶性窒化ホウ素に比べて容易に立方晶
窒化ホウ素に転換し、転換の活性化エネルギーは、結晶
性窒化ホウ素の60Kcal/motに対して20 K
cIIt/m o tと低い値である。以上の研究結果
が本発明の根幹をなしているものである。
化ホウ素と20モルチ窒化アルミニウムの混合物の6.
5GPa下における転換率を第2図に示す。更に非晶質
窒化ホウ素は、結晶性窒化ホウ素に比べて容易に立方晶
窒化ホウ素に転換し、転換の活性化エネルギーは、結晶
性窒化ホウ素の60Kcal/motに対して20 K
cIIt/m o tと低い値である。以上の研究結果
が本発明の根幹をなしているものである。
すなわち、本発明の立方晶窒化ホウ素の合成法は、ボラ
ジンによる窒化ホウ素と該窒化ホウ素を立方晶窒化ホウ
素へ転換促進させる作用をする触媒との混合物を圧力3
GPa以上、温度700℃以上で反応させ、しかる後得
られる生成物より触媒を除去するととによって立方晶窒
化ホウ素を得る方法である。
ジンによる窒化ホウ素と該窒化ホウ素を立方晶窒化ホウ
素へ転換促進させる作用をする触媒との混合物を圧力3
GPa以上、温度700℃以上で反応させ、しかる後得
られる生成物より触媒を除去するととによって立方晶窒
化ホウ素を得る方法である。
本発明による立方晶窒化ホウ素の合成法を更に詳細に説
明すると、ボラジンによる窒化ホウ素に触媒を適量添加
したものを所定量秤量し、V型ミキサーなどの混合機で
混合し、得られた混合物をZr g rtなどの金属、
或は六方晶窒化ホウ素、酸化アルミニウムなどの無機質
化合物で作られた容器内に充填し、この容器内の雰囲気
を窒素、アルゴンなどの不活性ガスで置換した後、ガー
ドル型、ベルト型などの高圧高温装置中に設置し、圧力
を30Pa以上好ましくは5.0〜8.0GPaに加圧
するとともに、温度を700℃以上好オしくけ1200
℃〜2000℃才で昇温し、1分曲以上好1しくけ5〜
30分間保持後、降温、降圧し、容器中より生成物を取
り出し、次いで生成物から触媒を除去することによって
立方晶窒化ホウ素を得る方法である。
明すると、ボラジンによる窒化ホウ素に触媒を適量添加
したものを所定量秤量し、V型ミキサーなどの混合機で
混合し、得られた混合物をZr g rtなどの金属、
或は六方晶窒化ホウ素、酸化アルミニウムなどの無機質
化合物で作られた容器内に充填し、この容器内の雰囲気
を窒素、アルゴンなどの不活性ガスで置換した後、ガー
ドル型、ベルト型などの高圧高温装置中に設置し、圧力
を30Pa以上好ましくは5.0〜8.0GPaに加圧
するとともに、温度を700℃以上好オしくけ1200
℃〜2000℃才で昇温し、1分曲以上好1しくけ5〜
30分間保持後、降温、降圧し、容器中より生成物を取
り出し、次いで生成物から触媒を除去することによって
立方晶窒化ホウ素を得る方法である。
この本発明に用いるボラジンは、化学式がBN3
H6で、ボラジン誘導体としては、化学式がBxNyH
z(x*’/+1は、それぞれ整数を表わす)で表示さ
れるホウ素と窒素と水素からなるホウ素化合物である。
z(x*’/+1は、それぞれ整数を表わす)で表示さ
れるホウ素と窒素と水素からなるホウ素化合物である。
ボラジン誘導体としてのホウ素化合物は、気体状、液体
状又は固体状のものがあるけれども取扱上から液体状又
は固体状のものが好ましく、例えばボラゾナフタレン(
B、N、H8) 、ボラゾビフェニル(B6N6H,。
状又は固体状のものがあるけれども取扱上から液体状又
は固体状のものが好ましく、例えばボラゾナフタレン(
B、N、H8) 、ボラゾビフェニル(B6N6H,。
)、2,4−ジアミノボラジン(88NI5H,)など
がある。このボラジン及び/又はボラジン誘導体は、無
機環状化合物からなるポウ素化合物、例えばボラジンの
ような六員環状化合物、ポ2シナ7タレンのような抜穴
員環状化合物が好ましい。
がある。このボラジン及び/又はボラジン誘導体は、無
機環状化合物からなるポウ素化合物、例えばボラジンの
ような六員環状化合物、ポ2シナ7タレンのような抜穴
員環状化合物が好ましい。
ボラジンによる窒化ホウ素に添加する触媒は、従来、立
方晶窒化ホウ素への転換に使用されている触媒、例えげ
Li 、 Na 、 K 、几b 、 Os 、 Fr
のアルカリ金属、Oa 、 Sr 、 Ra、 Ra
、 Be 、 Mgのアルカリ土類金蔵、At、旧、
Tl 、 Zr * Hf 、 V rNb 、 Ta
、 Or 、 Mo 、W 、 Sb 、 an 、
Ph ’lどの金属、これらの合金並びにLi3N
、 Li5FIN2. Na8N 、 Na、BN、。
方晶窒化ホウ素への転換に使用されている触媒、例えげ
Li 、 Na 、 K 、几b 、 Os 、 Fr
のアルカリ金属、Oa 、 Sr 、 Ra、 Ra
、 Be 、 Mgのアルカリ土類金蔵、At、旧、
Tl 、 Zr * Hf 、 V rNb 、 Ta
、 Or 、 Mo 、W 、 Sb 、 an 、
Ph ’lどの金属、これらの合金並びにLi3N
、 Li5FIN2. Na8N 、 Na、BN、。
、 0a8N、 、 Mr13N2. ktNなどの金
属化Fr物から選んで使用することができ、特に窒化ア
ルミニウムを触媒とすると、立方晶密化ホウ素への転換
を促進する作用が高いことから好ましい。この触媒とし
ての窒化アルミニウムの混合添加割合は、5モルチ未満
では介p媒作用が低く、50モル係を起えて多くたると
触媒作用が飽和に達してしすうために窒化アルミニウム
の添加祇は、5モル係〜50モル係好すしくけ10〜4
0モルチである。この出発原料と1.、て使用する触媒
は、立方晶窒化ホウ素の合成が完了した後、例えげ彎化
アルミニヮムの場合は、200℃〜400℃のNa O
H、KOHなどの苛性アルカリ溶液、又は煮沸したNr
+ONなどの強苛性アルカリ水溶液中に浸漬してアルカ
リ処理し、窒化アルミニウムを除去することができる。
属化Fr物から選んで使用することができ、特に窒化ア
ルミニウムを触媒とすると、立方晶密化ホウ素への転換
を促進する作用が高いことから好ましい。この触媒とし
ての窒化アルミニウムの混合添加割合は、5モルチ未満
では介p媒作用が低く、50モル係を起えて多くたると
触媒作用が飽和に達してしすうために窒化アルミニウム
の添加祇は、5モル係〜50モル係好すしくけ10〜4
0モルチである。この出発原料と1.、て使用する触媒
は、立方晶窒化ホウ素の合成が完了した後、例えげ彎化
アルミニヮムの場合は、200℃〜400℃のNa O
H、KOHなどの苛性アルカリ溶液、又は煮沸したNr
+ONなどの強苛性アルカリ水溶液中に浸漬してアルカ
リ処理し、窒化アルミニウムを除去することができる。
このようにして作製する本発明の立方晶窒化ホウ素の合
成法は、出発原料が高純度で、しかも結晶度の低い微細
な窒化ホウ素と触媒とからなるために低い圧力、温度条
件でもって立方晶窒化ホウ素に100q6転換したもの
が得られる。
成法は、出発原料が高純度で、しかも結晶度の低い微細
な窒化ホウ素と触媒とからなるために低い圧力、温度条
件でもって立方晶窒化ホウ素に100q6転換したもの
が得られる。
本発明′の合成法によって得る立方晶窒化ホウ素は、高
純度でしかも微細であるために焼結性にすぐれており、
例えば他の添加物との混合物にして高圧高温条件下で立
方晶窒化ホウ素焼結体を作製する場合、低い圧力温度条
件でもって緻密で高硬度な焼結体を得ることができる。
純度でしかも微細であるために焼結性にすぐれており、
例えば他の添加物との混合物にして高圧高温条件下で立
方晶窒化ホウ素焼結体を作製する場合、低い圧力温度条
件でもって緻密で高硬度な焼結体を得ることができる。
実施例1゜
ボラジンを100MPaのアルゴン雰囲気中、7oo℃
で分解して得た窒化ホウ素80モル係と窒化アルミニウ
ム2ロ 秤量し、アルゴンを満したグローブボックス内のメノウ
乳鉢で混合し、ジルコニウム製容器に充填した。次いで
この容器をデシケータ−中に移し、真空ボンダで脱気後
、デシケータ−内をアルゴンで満した。デシケータ−中
で容器に蓋をして口を刺止した後、容器をデシケータ−
より取シ出し、ガードル型高圧高温装置内に設置し、こ
の高圧高温装置の圧力を6.50Pa、温度1400℃
で10分間保持して本発明の合成法による試料1を作製
【7た。
で分解して得た窒化ホウ素80モル係と窒化アルミニウ
ム2ロ 秤量し、アルゴンを満したグローブボックス内のメノウ
乳鉢で混合し、ジルコニウム製容器に充填した。次いで
この容器をデシケータ−中に移し、真空ボンダで脱気後
、デシケータ−内をアルゴンで満した。デシケータ−中
で容器に蓋をして口を刺止した後、容器をデシケータ−
より取シ出し、ガードル型高圧高温装置内に設置し、こ
の高圧高温装置の圧力を6.50Pa、温度1400℃
で10分間保持して本発明の合成法による試料1を作製
【7た。
こうして得た試料1は、X線回折の結果、六方晶窒化ホ
ウ素の存在が萌められず、10014の立方晶窒化ホウ
素の回折線であった。又、この試料1は、緻密な焼結体
になっていたのでマイクロビッカースによって硬さを測
定した結果、6000Kf/諦12HVであった。
ウ素の存在が萌められず、10014の立方晶窒化ホウ
素の回折線であった。又、この試料1は、緻密な焼結体
になっていたのでマイクロビッカースによって硬さを測
定した結果、6000Kf/諦12HVであった。
比較の目的で市販の六方晶窒化ホウ170モルチと窒化
アルミニウム20千ルチを同様の高圧高温条件下で作製
した所、Xd回折の結果、立方晶窒化ホウ素と六万晶穿
化ホウ素の両方が認められ、その硬さは3000 Ky
/urn MYであった。
アルミニウム20千ルチを同様の高圧高温条件下で作製
した所、Xd回折の結果、立方晶窒化ホウ素と六万晶穿
化ホウ素の両方が認められ、その硬さは3000 Ky
/urn MYであった。
実施例2゜
実施例1.と同様にしてボラジンの熱分解により得た窒
化ホウ素60モルチと窒化アルミニウム40モル係を全
fi550mlFとなるように秤量し、実施例1と同様
にしてガードル型高圧高温装置内に設置t!し、この高
圧高温条件下の圧力を6.50Pa、温度1300℃で
15分間保持して本発明の合成法による試料2を作製し
た。こうして得た試イ)2は、xA9回折の結果、六方
晶窒化ホウ素の存在が11がめられす、100部の立方
晶窒化ホウ素の回4Jr Fi!であっft、又、試料
2の硬さを測定した結果、5500 Kf/rmF I
IVであった。
化ホウ素60モルチと窒化アルミニウム40モル係を全
fi550mlFとなるように秤量し、実施例1と同様
にしてガードル型高圧高温装置内に設置t!し、この高
圧高温条件下の圧力を6.50Pa、温度1300℃で
15分間保持して本発明の合成法による試料2を作製し
た。こうして得た試イ)2は、xA9回折の結果、六方
晶窒化ホウ素の存在が11がめられす、100部の立方
晶窒化ホウ素の回4Jr Fi!であっft、又、試料
2の硬さを測定した結果、5500 Kf/rmF I
IVであった。
比較の目的で市販の六万品窒化ホウ素60モルチと窒化
アルミニウム40モルφを同様の高圧高温条件下で作製
した所、XIP1回折の結果、立方晶窒化ホウ素と六方
晶窒化ホウ素の両方が聞められ、その硬さは2500
Ky/mm’ HVであった。
アルミニウム40モルφを同様の高圧高温条件下で作製
した所、XIP1回折の結果、立方晶窒化ホウ素と六方
晶窒化ホウ素の両方が聞められ、その硬さは2500
Ky/mm’ HVであった。
実施例3゜
実施例1.と同様にしてボラジンの凸分解により得た窒
化ホウ素90モル俤と錯化アルミニウム1゜モルチを全
量550mfとなるように秤量し、実施例1、と同機に
してガードル型高圧高温装置内に設置し、この高圧高温
装置の圧力を8.0 GPa s温度1800℃で5分
間保持し、て本発明の合成法による試料3を作製した。
化ホウ素90モル俤と錯化アルミニウム1゜モルチを全
量550mfとなるように秤量し、実施例1、と同機に
してガードル型高圧高温装置内に設置し、この高圧高温
装置の圧力を8.0 GPa s温度1800℃で5分
間保持し、て本発明の合成法による試料3を作製した。
こうして得た試料3#ま、X線回折の結果、六方晶密化
ホウ素の存在が認められず、100チの立方晶窒化ホウ
累の回折線であった。
ホウ素の存在が認められず、100チの立方晶窒化ホウ
累の回折線であった。
この試料3の硬さは、63o oKf/r+/ )IV
であった。
であった。
比較の目的で市販の六方晶窒化ホウ素90千ルチと窒化
アルミニ9轟10 温条件下で作製した所、X線回折の結果、立方晶窒化ホ
ウ素と六方晶窒化ホウ素の両方が認められ、その硬さは
、3 2 0 0Ky/lam HVであった。
アルミニ9轟10 温条件下で作製した所、X線回折の結果、立方晶窒化ホ
ウ素と六方晶窒化ホウ素の両方が認められ、その硬さは
、3 2 0 0Ky/lam HVであった。
実〃16例4。
実施例1.のボラジンの代υにポ2シナ7タレンを使用
して実Mli例1と同、様に熱分1了して得た窒化ホウ
素80モルチと窒化アルミニウム20千ルチの合計54
0mG’にアルミニウム10tnfを添加した混合粉末
を実、栴例1と同様にして圧力4.50P♂、温度17
00℃で15分間保持して本発明の合成法による試料4
を作製したこうして得た試料4は、X静回折の結果、六
方晶窒化ホウ素の存在が認められず、100%の立方晶
窒化ホウ素の回折線であった。仁の試料4の硬さは、5
800Ff/咽2■Vであった。
して実Mli例1と同、様に熱分1了して得た窒化ホウ
素80モルチと窒化アルミニウム20千ルチの合計54
0mG’にアルミニウム10tnfを添加した混合粉末
を実、栴例1と同様にして圧力4.50P♂、温度17
00℃で15分間保持して本発明の合成法による試料4
を作製したこうして得た試料4は、X静回折の結果、六
方晶窒化ホウ素の存在が認められず、100%の立方晶
窒化ホウ素の回折線であった。仁の試料4の硬さは、5
800Ff/咽2■Vであった。
比較の目的で市販の六方晶窒化ホウ170モル%とQ化
アルミニウム20モルチとアルミニfy /A10モル
チを同様にして作製した所、Xh寝回折の結果、立方晶
窒化ホウ素と六方晶窒化ホウ素の両方が認められ、その
硬さは、28001FF/+♂HVであった。
アルミニウム20モルチとアルミニfy /A10モル
チを同様にして作製した所、Xh寝回折の結果、立方晶
窒化ホウ素と六方晶窒化ホウ素の両方が認められ、その
硬さは、28001FF/+♂HVであった。
なお、実施例1へ4の合成法で得た立方晶窒化ホウ素は
、それぞれX線回折及び硬さ測定後、2Nの苛性ソーダ
−水溶液中で30分間煮沸して100チの立方晶窒化ホ
ウ)(にした。
、それぞれX線回折及び硬さ測定後、2Nの苛性ソーダ
−水溶液中で30分間煮沸して100チの立方晶窒化ホ
ウ)(にした。
以上の結果、本発明の立方晶窒化ホウ素の合成法は、従
来の大方晶窒化ホウ素を出発原料とするものよりも低い
圧力、温度争件で立方晶窒化ホウ素の合成が可能でろ力
、しかも立方晶窒化ホウ素への転換率が100−のもの
で、その立方静窒化ホウ素は、高純度で微に10なもの
が得られる。又、木発明の合成法によって得る立方晶窒
化ホウ素を利用した焼結体は、焼結性にすぐれておシ、
得られる焼結体が高硬度、緻密であることから旋削工具
及ヒリーマ、エンドミル、ドリルなどの穴あけ工具とし
ての回転工具を含めた切削用工具、又は機械部品治工具
及び切断工具を含めた耐摩耗用工具、更には研削工具な
どにも応用でき、その他立方晶窒化ホウ素が有して払る
高い熱伝導性と高い電気抵抗性から電子回路におけるヒ
ートシンクにも応用できるもので産業上の有用性が極め
て高いものでちる。
来の大方晶窒化ホウ素を出発原料とするものよりも低い
圧力、温度争件で立方晶窒化ホウ素の合成が可能でろ力
、しかも立方晶窒化ホウ素への転換率が100−のもの
で、その立方静窒化ホウ素は、高純度で微に10なもの
が得られる。又、木発明の合成法によって得る立方晶窒
化ホウ素を利用した焼結体は、焼結性にすぐれておシ、
得られる焼結体が高硬度、緻密であることから旋削工具
及ヒリーマ、エンドミル、ドリルなどの穴あけ工具とし
ての回転工具を含めた切削用工具、又は機械部品治工具
及び切断工具を含めた耐摩耗用工具、更には研削工具な
どにも応用でき、その他立方晶窒化ホウ素が有して払る
高い熱伝導性と高い電気抵抗性から電子回路におけるヒ
ートシンクにも応用できるもので産業上の有用性が極め
て高いものでちる。
第1図は、ボラジンと熱分解して得た密化ホウ素の結晶
性を示す赤外線吸収スペクトルによる回折図。 第2図は、圧力6.50Paにおける、ボラジンを熱分
解して得た窒化ホウ素の立方晶窒化ホウ素への転換率の
説明図。 特許出願人 東芝タンガロイ株式会社 同上 日本碍子株式会社 第1図 第2図 係持8を聞
性を示す赤外線吸収スペクトルによる回折図。 第2図は、圧力6.50Paにおける、ボラジンを熱分
解して得た窒化ホウ素の立方晶窒化ホウ素への転換率の
説明図。 特許出願人 東芝タンガロイ株式会社 同上 日本碍子株式会社 第1図 第2図 係持8を聞
Claims (2)
- (1) ボラジン及び/又はボラジン誘導体を熱分解し
7て得られる窒化ホウ素と金属及び/又は金属化合物か
らなる触媒との混合物を圧力3GPa以上温席700℃
以上で反応させ、しか石後得られた生成物より前記触媒
を除去することを特徴とする立方晶窒化ホウ素の合成法
。 - (2) 上記混合物がボラジン及び/又はボラジン誘導
体を熱分解して得られる窒化ホウ素50モル係〜95モ
ル% ト鍾化アルミニウム5モルチ〜50モル係からな
る仁とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の立方晶
窒化ホウ素の合成法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6347284A JPS60204607A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 立方晶窒化ホウ素の合成法 |
| US06/667,802 US4545968A (en) | 1984-03-30 | 1984-11-02 | Methods for preparing cubic boron nitride sintered body and cubic boron nitride, and method for preparing boron nitride for use in the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6347284A JPS60204607A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 立方晶窒化ホウ素の合成法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60204607A true JPS60204607A (ja) | 1985-10-16 |
| JPS6255896B2 JPS6255896B2 (ja) | 1987-11-21 |
Family
ID=13230203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6347284A Granted JPS60204607A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 立方晶窒化ホウ素の合成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60204607A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62108713A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108715A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108706A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108712A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108708A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108710A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108717A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108716A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108714A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108709A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108707A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108711A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6347284A patent/JPS60204607A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62108713A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108715A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
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| JPS62108712A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108708A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108710A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108717A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108716A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108714A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108709A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108707A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
| JPS62108711A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 立方晶窒化ほう素の製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6255896B2 (ja) | 1987-11-21 |
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