JPS60204612A - 高純度二酸化珪素の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ａ　産業上の利用分野 本発明は二酸化珪素の製造方法に関し、特に高純度な二
酸化珪素を製造するのに適した方法に関する。

ｂ　発鷹の背景 現在、次世代のエネルギー資＃に関し太陽エイ・ルキー
が注目され、太陽光発電に関する研究が進められている
。とりわけシリコン太陽電池は最も有望視されており品
質の向上および安価な製造方法の開発が急がれている。

シリコン太陽電池に使うシリ：１ンは高純度であること
が要求されているため、現在は半導体用に製造されたシ
リコンを用いている。したがってシリコン原料自体が非
常に高価であり、このことが太陽電池のコストを高くし
ている。

そこで高純度の二酸化珪素を高純度の炭素を用いて汚染
なく還元し太陽Ｎ池に使用出来るシリコンを製造する試
みがなされている。この方法に：　Ｊ：ねば金属シリコ
ンを一度トリクロルンランに換え精製後還元を行なう半
導体用シリコンの製造法に比へエイ、ルギー、コスト共
人きく削減できる利点珪素としては一部高級品として産
出される水晶があげられるたＧってあり、その資源量は
限られている。大計の太陽電池の製造に対し豊富に存在
するけい砂など純度の悪いけい酸塩原料を精製し、高純
度の二酸化珪素に変える技術が望まれている。

一方アルカリ珪酸塩（通称水ガラス）を酸と反応させて
シリカゲルを得るという方法が知られている。シリカゲ
ルは純度の高い５ｉ０２がら出来ており、この様なシリ
カゲルを上記直接還元に使用することも考えられるが、
これらシリカゲルは通常５ｉ０２純度が９９゜５ｗｔ％
程度、高純度といわれるものでも９９．９５ｗｔ％程度
であり、そのままの状態では上記直接還元による太陽電
池用シリコンの製造に使用出来なかった。

これは通常のシリカゲルではシリカゲル中に含まれる５
１０２以外の不純物（Ｎａ＋、Ｃａ２＋、Ｍｇ２＋　な
ど）がシリカゲルの外部洗浄液中にぬけにくく、高純度
化が難かしいことに起因していた。

Ｃ発明の目的 本発明の目的は、太陽電池用シリコン製造などに使用す
ることの出来る高純度の二酸化珪素の製造方法を提供す
ることにある。

ｄ　発明の構成 本発明は、含水珪酸塩原料を最小寸法ＳＯμｍ〜１０ｍ
ｍを有する形状に保ちなから鉱酸と接触させて該倉水珪
酸塩原第１表面からシラノール基の縮合反応を起こさせ
、それにより該含水珪酸塩片ｒ１を多孔質状の二酸化珪
素に変えることを特徴とする高純度三酸化珪素の製造方
法である。

ここで最小寸法ＳＯμｍ〜１０ｍｍ　を有する形状とは
、例えば板状体又はフレーク状であれば厚みがＳＯノ汀
〜１０ｍｍ、角棒又は丸棒であればその辺又は直径が３
０１１ｍ〜１０ｍｍ、粒形てあわば粒子短辺がｓｏｔｒ
ｍ〜／（：１ｍｍなどの、その物体の中心部の表面層か
らの最短距離が２３μｍ−５ｍｍの物体の形状を訂う。

ここで、鉱酸中に添加して多孔質の二酸化珪素の得らＪ
＋る含水珪酸塩原料（固体状含水珪酸塩（含水珪酸塩カ
ラス、ゲル状含水珪酬塩）、液体状含水珪酸塩（］：４
．酸塩水溶液、ゾル状含水珪酸塩））は４（分含自量が
総重量の４〜１２ｗｔ％てあり、かつ５１０２含有量が
総重量の２７〜１２ｗｔ％のちのが好まねる。

水分含有量が７２ｗｔ％より多くなるか又は５１０２含
有量が２／ｗｔ％より少なくなると、鉱酸に含水珪酸塩
原料がとけてしまって多孔質の二酸化珪素が得られに＜
＜、又水分含有量がグｗｔ％未満であるか又は５１０２
含有量が７２ｗｔ％より多くなると、洗浄により高純度
化するのに十分な多孔質状の二酸化珪素が得られにくい
。

水分含有量の少ない含水珪酸塩原料は固形のガラス状な
どとして、又含水量が多くなるに径って固形状態から液
体状態となった珪酸塩水溶液なとが使用されるが、その
いずれてあっても鉱酸と接触することにより不純物成分
（Ｎ　ａ十、　Ｃａ２＋、　Ｔ　ｊ−４十など）のみが
鉱酸中に溶出され、含水珪酸塩カラスがより高純度化し
やずいのて好ま１＋る。

この様な含水珪酸塩原料は、固体の場合には鉱酸内に沈
める形で、又液体の場合には鉱酸内へ流し込む形で鉱酸
と接触させることが好まねる。

含水珪酸塩の珪酸塩原料としては、アルカリ金属および
アルカリ土類金属などを用いたガラス（Ｒ２０−ＲＯ−
ＲｎＯｍ−３ｉ０２ガラス）が使用出来ルカ、」−記理
由により水分を多く含んだ通常水ガラスと呼ばれるアル
カリ珪酸塩が好まれ使用される。これらアルカリ珪酸塩
は比較的洗浄のしにくいアルカリ土類金属が少ないため
９９゜９９ｗｔ％以上の純度の二酸化珪素を得るために
好ましく、又容易に手に入れられるので好ましい。アル
カリ珪酸塩としては経済的にナトリウム珪酸塩が好まし
く、又アルカリ珪酸塩作成の際５ｉ０２／Ｎａ２Ｏ比が
２−３．３の範囲の物が溶融がし易いなどの点で望まし
い。

含水珪酸塩原料は、固体ガラスの場合には熱圧水処理、
水溶液の場合には通常の希釈・濃縮操作など従来知られ
ている操作によって１」的の水分量および５１０２濃度
に調整される。

上記水分量に調整された含水珪酸塩原料は、鉱酸と接触
させられるが、鉱酸としては塩酸、硫酸。

硝酸およびこれらの混合溶液が使用出来る。ここで硫酸
および硝酸が含水珪酸塩原料中に含まれるＴｉ、Ｚｒの
各元素を抽出除去する効果が大きいので好まれる。中で
も硫酸は、高濃度液としてもガスの蒸気圧が硝酸とくら
べ低いため、金属製の器具の腐蝕防止の点２作業環境の
悪化防止の点で好ましい。鉱酸の濃度は、塩酸の場合に
は／〜／２規定、硝酸では／〜／ｌ／−規定、硫酸では
／〜３乙規定。

混合酸で／〜３乙規定が好まれ、内でも３〜１ｇ規定の
硫酸が望ましい。これら鉱酸は室温〜１００″Ｃの湿度
として使用される。

鉱酸と鉱酸に加えられる含水珪酸塩原料との比率として
は、生成した二酸化珪素と鉱酸量とを考えて含水珪酸塩
７００重量部に対して鉱酸／ｊｔｏ重量部以上を使用す
ることが好ましい。

該最小月決を持った含水珪酸塩原料が鉱酸と接触すると
、まず含水珪酸塩原料の表面でイメン交換とシラノール
基の縮合反応が行なわれ二酸化珪素の殻が生成する。殻
の生成後も水素イメンの内部への浸入によって、内部の
珪素のシラノール基の縮合反応が進んでいくが、その際
外側の殻が内部のシラ／−ル基の縮合反応の進行に伴な
う収縮を妨げ、内部は非常にポーラスな多孔質状となる
。

内部の収縮力および外部からの力により殻に６ｉ？細な
りラックも生しるが、上述と同様の殻生成が該クラック
によって生した新しい含水珪酸塩原料表面に起こるため
、出来あがる二酸化珪素はクラックが生しる生しないに
かかわらず非常に多孔質なものとなる。

含水珪酸塩原料を鉱酸に添加する際に鉱酸を激しくかく
はんすると、含水珪酸塩原料が液状の場合などは含水珪
酸塩原料表面に殻が生成するひまがなく加えられた含水
珪酸塩原料が鉱酸中に溶解してしまう様な欠点となる。

又含水珪酸塩原料が液状の場合など激しいいきおいで流
し込むと同様に鉱酸中に全て溶＋１でしまう。この様に
珪酸塩が溶解した混合液は、適当な５Ｆ−０２４度、適
当な縮合度になると混合液全体がゼリー状とな。て固ま
り通常のシリカゲルとなる。この様なシリカゲルは洗浄
を行ないにくく又高純度となりにくい。

含水珪酸塩原料は、」二重理由のため鉱酸によるシラー
ル基の縮合反応（てよる表面の殻が形成されある程度破
壊されない様な状態て鉱酸と接触させられる。含水珪酸
塩原料が固形の場合の添加方法の板状体、又は粒径ＳＯ
μｍ〜３ｍｍの粒状体）として鉱酸中に沈めることが好
ましい。

固形の含水珪酸塩原料の場合、ＳＯμｍ未満の厚みを持
った板状体又はＳＯμｍ未満の粒径の粒状体では作成し
た二酸化珪素が小粒となるためろ過性が悪くなり、３ｍ
ｍより厚い板状体又は３ｍｍより大きな粒状体では、作
成した二酸化珪素が大粒となりすぎて洗浄性が悪くなる
。

液状の含水珪酸塩原料の場合も上記理由と同様形ノズル
又はＳＯμｍ〜／（７ｒｎｍ　の辺を有するスリット形
ノズルなど）を有するノズルから鉱酸中に流し込むこと
が好ましいが、さらに、該液状含水珪酸塩原料の流出方
向、流出速度に対してほぼ同方向、／−，２（７倍の速
度を持った鉱酸中に流し込むことが好ましい。

液状含水珪酸塩原料の流出速度が鉱酸の流速より速いと
、含水珪酸塩原料がノズルの出ロイ」近でだんご状の二
酸化珪素となり、この様なだんこ状の二酸化珪素は比較
的洗浄性が悪くなり好ましくない。鉱酸の流速が液状含
水珪酸基原Ｆ１の流出速度の２０倍より速くなると、ノ
ズル出［１から流出した液状含水珪酸塩原料が鉱酸と接
触して殻を生成するひまなくつぎつぎと流されてしまい
鉱酸中に溶けてしまう欠点となる。流出方向と鉱酸の流
れの方向は同一であることが好ましいが、多少ずれてい
ても障害はない。

流出速度および鉱酸の流れの速度はノズルに対する速度
として決定され、鉱酸がノズルに対して流れるものであ
っても、鉱酸に対してノズルが移動するものであっても
かまわないが、流出速度および鉱酸の流動速度としては
、上記条件を満足する範閣内であり、かつ０．０　／−
０，，２ｍ／Ｓ　、　０．０　／　−２ｍ／ｓの範囲内
であることが望ましい。

上記方法で作成された多孔質状の二酸化珪素は鉱酸中か
らろ過等の通常の方法で分取され洗浄される。洗浄には
、通常の純水洗浄の前段として酸洗浄を行なうことが好
まれる。酸洗浄を行なうことにより、該多孔質状二酸化
珪素中のＣａ　２＋　、　’Ｔ　１４千などの不純物が
洗浄され、又縮合反応が姿さらに促進される。その後該
二酸化珪素は純水洗浄され非常に高純度な二酸化珪素と
なる。

上記酸洗？ｖＩＫ使用される酸としては、珪酸塩原料を
添加する鉱酸と同様に、塩酸、硫酸、硝酸およびリン酸
およびこれらの混合物が使用出来、中でも／−／、２規
定の硫酸または塩酸およびこれらの混合物が好まれ、さ
らに３〜Ｉｒ規定のものが望ましい。

ｅ　実施例 実施例／ ｓｏｏｍｉ　のガラスビーカー中の２０°Ｃ乙規定の硫
酸、２．２０ｍ１を回転式かくはん機を用いてかくはん
しながら、内径／、３９ｍｍのプラスチックチューブ（
タイボンチューブ）からチューブポンプ（ペリスタリン
クポンプ）を用いてＪＩＳＪ号水ガラス（水分含有量ｔ
ｏ−＋３ｗｔ％、　５ｉ０２含有量２ざ〜３０ｗｔ％）
１０Ｏｆｇをｊｇ／ｍｉｎ　の速度で該硫酸中に流し込
んだ。（チーーブ先での液体含水珪酸塩原料の流出速度
約ｏ、ｏｐｍ７Ｓ）該プラスチックチューブは先端が硫
酸の流れの方向に向く様に硫酸中に沈めて固定しておき
、又硫酸の流れの速度はかくはん機の回転を調整して液
状含水珪酸塩原料の流出速度の約３〜Ｓ倍となる様に設
定した。

該液状含水珪酸塩原料は、鉱酸にプラスチソクチー−ブ
の先から流し込まれると直径約／、ｊｍｍの細長い半透
明のひも状となってプラスチックチューブの先から硫酸
の流れに乗って漂よう。やがてチューブポンプの脈動、
流れによる力、先に流出した二酸化珪素との丙寅によっ
て、３〜／３ｍｍの長さで流出する。流れ出した液状含
水珪酸塩原料は、その形状を保ちながらシラノール基の
縮合反応を起こして多孔質状の二酸化珪素となる。外観
変化はほとんどないが、数分後には硬い殻生成が完ｒし
ている様である。液状含水珪酸塩原料を添加終ｒする２
０分後には流出した二酸化珪素は相ｔ７の衝突などによ
ってさらに細かくなるが、全体的には／ｍｉｎ以上の長
さのものが大半であった。

殻の出来た含水珪酸塩原料は、殻の内部への鉱酸の進入
によりシラノール基の縮合反応を起こして二酸化珪素の
多孔質骨格を形成すると共にアルカリ分が鉱酸中に溶出
して純度の高い二酸化珪素となる。液状含水珪酸塩原料
流し込み終了後の硫酸濃度は約３．’ｌ規定であった。

ここで該鉱酸の粘度はほとんど増加しないことから該液
状含水珪酸原料中の珪酸がほとんど鉱酸に溶解せずに多
孔質状の二酸化珪素よなっていることがわかる。

該多孔質状二酸化珪素の入った鉱酸に水／２０ｍ１を加
え９５〜１００°Ｃの温浴中で６時間保ち、該多孔質状
二酸化珪素のシラノール基の縮合反応の促進と二酸化珪
素中の不純物の洗浄を言１つだ。得られた多孔質の二酸
化珪素をブフナーロ−１・に定性濾紙をひいた分離装置
で分取し、得られた二酸化珪素重量（硫酸を内部に含ん
だ状態）およびろ液容量及びろ液中のＮ　ａ　２０　ｒ
　Ａ　ｌ　＋　Ｚ　ｒ　Ｊｉｉをプラズマ発光分析装置
で測定した。結果を第１表に示す。

得られた硫酸を内部に含んだ二酸化珪素に６規定の塩酸
２００ｍ１を加え９Ｓ〜１００″Ｃの温浴中でｑ時間保
持し、その後再び二酸化珪素と塩酸を濾過により分離し
た。得られた二酸化珪素型Ｎ（塩酸を内部に含んだ状態
）およびろ液容量及びろ液中のＮａ２Ｏｒ　Ａｌ、　Ｚ
ｒ　量を同様に測定した。

上記塩酸による洗浄を上記を含めて金側３回実施し、そ
のつど上記項目を測定した。得られた結果を第１表に示
す。

比較例／ 実施例／で用いた物お同様な３号水ガラス１００ｇと水
／２０ｍ１とを混ぜ合せて２０°Ｃに保持し、溶液をか
くはんしなから乙規定の硫酸２０ｍ１をＫｍ　ｌ１分の
速度で加えた。溶液全体はしだいに粘度が増加しやがて
全体が固まりゲル状態となった。

ゲル状態となってもさらにかくはんを続けてゲルを粉砕
し、ゲル粒子が３ｍｍ以下（大半は／ｍｍ以下）となる
様にした。このシリカゲルに乙規定の硫酸２００ｍ１ｊ
を加え９Ｓ〜１００″Ｃの温浴中で乙時間加熱した。作
成したシリカゲルをブ７ナーロートおよび定性濾紙を用
いて分離し、得られたシリカゲルの重量（硫酸を含んだ
重量）、ろ液容量、ろ液中の不純物濃度を実施例／と同
様測定した。更に実施例１と同様に６規定の塩酸２００
ｍ１（／Ｃよる９Ｓ〜１００″ＣＩＩ時間の酸洗浄をψ
回行なった。毎回得らに示す。

本比較例１では、実施例／とくらベブフナーロートによ
る吸引ろ過に数倍の時間を要し、又洗浄による酸中の不
純物の濃度からも推定される様に実施例／よりも純度の
向上が遅く、手間を要するものであった。

実施例２ ３号水ガラスをポリエチレンの型に流し込み／昼夜室温
で乾燥させて大きさざＸ＃）ミｌＪ、厚さ約／ミリの含
水珪酸塩ガラスを得た。水分含有率は２３、ｑ％＋　３
１０２含有量５７．４％であった。この含水珪酸塩ガラ
ス２３ｇを乙規定の塩・酸２００ｍ１中へ加え９Ｓ〜１
００″Ｃの温浴中でご時間加熱した。加熱をはじめて数
十分後には含水珪酸塩ガラス表面に多数のクランクが発
生し、含水珪酸塩ガラスは白色に見られた。シラノール
基の縮合反応がある程度完ｒして得られた白色板状の二
酸化珪素をろ過し、更に実施例／と同様に３回塩酸（乙
規定）２００ｍｌＶを用いて洗浄しさらに純水を用いて
ろ紙上で、その水洗液のＰＨが３．Ｓ以上になる迄水洗
した。最後に１００°Ｃで乾燥して約ｌｊｇの二酸化珪
素を得た。酸による洗浄を行う間及び乾燥によって白色
板状の二酸化珪素は元の寸法から３割程度のＩＩ′ｙ、
縮かみられたが、かくはんによって破砕されたものを除
いてほぼ元の形状を保っていた。しかしながら板状体の
表面には無数の細かなひび割れがみらねた。得られた多
孔質状の二酸化珪素を弗化水素酸によって分解したのち
不純物をプラズマ発光分析法で分析した。結果を第２表
に示す。

比較例２および３として市販シリカゲル（メルク社製二
薄層りロマト用ンリカゲル乙０ＨＲ）および原料として
用いた３号水ガラスの分析結果も合せて示した。

して表わした。

第２表かられかる様に本実施例により得られた二酸化珪
素は、従来３号水ガラス等から作成されたＭｌｌｔ’の
高いシリカゲルとくらべて非常に高純度なものとなって
いる。

実施例３ ３号水ガラスをポリエチレン網を！；ｉｆｉ重ねた上に
注ぎ室温で一夜乾燥させたのち網をはがし網を変形させ
るなどしてうずいフレーク状（厚さ／ｍｍ以下、大きさ
１０ｍｍ角以丁）の含水珪酸塩ガラス片を得た。水分含
有率は３３．５％であり実施例２（２３゜ＩＩ％）とく
らべると多かった。５１０ｇ濃度は、ｔｔｑ、ｓ％であ
った。この含水珪酸塩ガラス２３ｇを実施例−と同し条
件で多孔質状二酸化珪素の作成。

抽出洗浄を？Ｊない乾燥重量約９ｇの二酸化珪素を得た
。不純物分析結果は第２表に示す通りであり、得らＪｌ
だ二酸化珪素は高い純度を有している。

ここで実施例λで得られた二酸化珪素と実施例３て得ら
れた二酸化珪素では実施例３で得られた二酸化珪素の方
が純度が高く、水分含有量が多い珪酸塩原料の方が純度
の高い二酸化珪素が得られる。

実施例ｔ ３号水ガラス（水分含有量乙θ〜乙Ｊｗｔ％、５ｉ０２
含有量、２ｇ〜３０ｗｔ％）２００ｇを６規定の塩酸、
２００ｍ１中に実施例／と同様チューブポンプを用いて
添加し９Ｓ〜１００°Ｃの温浴中で加熱した。実施例２
と同様塩酸による洗浄を更に３回行なった。その復水！
；００ｍ１を加えて９５〜１００°Ｃで２時間加熱する
酸洗浄と類似した水洗を３回行ない、／回目の水洗後サ
ンプルの７部を分取し最後迄洗浄したものと共に不純物
を分析した。結果を７回水洗後を実施例’ｉ’−／、３
回水洗後を実施例’ｌ−２として第２表に示す。

得られた二酸化珪素は約Ｓｊｇであった。第２表かられ
かる様ＶＣ得られる二酸化珪素は、上記水洗１回で充分
に高純度なものとなっている。

実施例Ｓ ３号水ガラス２００ｇを／ざ規定の硫酸１００ｍ１中に
添加し実施例ｔと同様に塩酸による洗浄３回と水洗を３
回行なった。得られた二酸化珪素量は約ｓｓｇであり、
分析結果を第２表に示す。第２表にはスパークソース質
量分析法によるＢ、Ｐについての分析結果も合せて示す
。

第２表からもわかる様に本実施例および実施例＜／によ
れば、固形の含水珪酸塩原料を用いた実施例２〜３とく
らべてＴｉ、Ｚｒ、ＡＩなどの不純物濃度が低い二酸化
珪素が得られ、特に本実施例と実施例グとを比較してわ
かる様に濃度の高い硫酸を用いた方がより高純度のもの
が得られる。又Ｂ、Ｐの分析値も低く、特Ｋ　Ｂ、Ｐの
不純物濃度の低い二酸化珪素が要求される太陽電池用シ
リコンの原料用二酸化珪素としての条件を本実施例の二
酸化珪素が満足していることがわかる。

実施例乙 水分含有量を名Ｏ１乙〜７０．ｊｗｔ％　と変化さセた
ダ種類の珪酸塩原料を、３号水ガラスの水分を乾燥さゼ
たり、水を加えたりして作成した。この珪酸塩原料を２
０°Ｃおよび乙０°Ｃの２規定、３規定、乙規定のかく
はん中の塩酸３０ｍ１中に、／、！；ｍｍ２ｑ種を作成
した。多孔質二酸化珪素の作成条件としては、塩酸への
添加終了後／分間かくはんを続けその後かくはんを停止
して１分間放置し、その後ガラスフィルター（／Ｇ、２
）でろ過し、ろ紙」二でＰＨが３．５以上になるまで水
洗した後１５０°Ｃで２時間乾燥するという一定の条件
で行なった。得られた多孔質二酸化珪素の重量およびＮ
ａ２Ｏ含有量を測定し、珪酸塩原料中の８１０２含有重
量に対する得られた二酸化珪素重量（Ｓｊ−０２回ｊｙ
、量）および不純物量をめた。得られた結果を第３表に
示す。第３表中で各区分の上段はＳｉ０２回収率であり
下段はＮａ２Ｏ含有量である。

第３表かられかる様に水分含有量がふえ、Ｓ　］−０２
含有量が低下するにしたがって５ｊ−０２回収率が低下
する。しかしながら酸の湿度を上昇させ、縮合反応の速
度を早めることにより、回収率を向上させることが出来
る。又、水分含有量がふえ、５ｉ０２含有量が低下する
にしたがって比較的不純物濃度（Ｎａ２ｏ含有量）が低
下する傾向がある。又総体的筒　３　表 上段　８１０２回収率 下段　Ｎ　ａ、２０含有ｉ　（ＰＰｍ）には、酸による
処理時間が５分と非常に短かいにもかかわらず、純度の
良い二酸化珪素が得られている。

実施例７ 実施例！、ゲ、夕で得られた二酸化珪素を、自動ポロシ
メーター（マイクロメトリンク社製メートボア９．２０
０）によりその比表面積、細孔容積、平均細孔径を測定
した。細孔径分布はシリカゲルに見られる物と同様な粒
子の外側と内側との細孔に起因するとみられる２つのピ
ークが見られ、本製造方法によって得られている二酸化
珪素は多孔質体であることがわかる。測定結果を第を表
に示す。

ｆ　発明の効果 本発明によれば、実施例からも明らかな様に９９．９り
ｗｔ％以−ヒの二酸化珪素が得られている。

この様な二酸化珪素は、高純度ガラスの原料あるいは太
陽電池用Ｓ１の原料として有用である。

ここで本発明により製造された二酸化珪素を太陽電池用
Ｓ１製造に使用する際には、本発明で得られた二酸化珪
素を炭素と混合して還元する外、微粉状の炭素を本発明
の二酸化珪素生成のための珪酸塩原料中に均一に分散さ
せておき、炭素の分散された二酸化珪素を還元に使用す
ることも出来る。ここで微粉状炭素を二酸化珪素中に含
ませる事は、二酸化珪素と炭素がより均一に混合出来、
二酸化珪素原料と炭素原料とを同時に酸洗浄等の高純度
化操作にかけられるという利点を持っている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （］）含含水珪酸凍原を最小寸法ＳＯμｍ〜１７ｍｍを
   有する形状に保ちなから鉱酸と接触させて該含水珪酸塩
   原料表面からシラノール基の縮合反応を起こさせ、それ
   により該含水珪酸塩原料を多孔質状の二酸化珪素に変え
   ることを特徴とする高純度二酸化珪素の製造方法。 （２）該含水珪酸塩原料の総重毒に対する水分含有量が
   ＩＩ〜７．２ｗｔ％、　５ｉ０２含有量が２／〜７２ｗ
   ｔ％である特１′１請求の範囲第１項記載の高純度二酸
   化珪素の製造方法。 （：→　該含水珪酸塩原料が液体状であり、該液状含水
   ］４−酸塩原第１を最小マエ法！；　０１ｒｍ〜１０ｍ
   ｍ　を右する形状となる様に鉱酸中に流し込む特Ｆｌ’
   請求の範囲第１項又は第２項記載の高純度二酸化珪素の
   製造方法。 （４）該含水珪酸塩原料が液体状であり、該液状含水珪
   酸塩原料をＳＯμｍ〜１０ｍｍ　の口径を有するノズル
   から該液状含水珪酸塩原料の流出方向、流出速度に対し
   て略同方向、７〜２０倍の速度を持った鉱酸中に流し込
   む特許請求の範囲第１項ないし第３項記載の高純度二酸
   化珪素の製造方法。 （５）該液状含水珪酸塩原料の流出速度が０．０／−０
   ，２ｍ／ｓであり、該鉱酸の速度が０．０７〜２ｍ／ｓ
   である特許請求の範囲第４項記載の高純度二酸化珪素の
   製造方法。 （６）該含水珪酸塩原料が最小寸法ＳＯμｍ〜３ｍｍの
   含・　水球酸塩ガラスである特許請求の範囲第１項又は
   第２項記載の高純度二酸化珪素の製造方法。