JPS60205331A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPS60205331A JPS60205331A JP6417084A JP6417084A JPS60205331A JP S60205331 A JPS60205331 A JP S60205331A JP 6417084 A JP6417084 A JP 6417084A JP 6417084 A JP6417084 A JP 6417084A JP S60205331 A JPS60205331 A JP S60205331A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- measuring
- capusle
- diaphragm
- measuring diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は差圧測定装置に関し、例えば、差圧測定の対象
である２つの圧力をそれぞれのシールダイアフラムで受
け、これを封入液を介して測定ダイアフラムの両側に導
くようにした３重ダイアフラム型の差圧測定装置で、し
かも、測定ダイアフラムが設けられている測定カプセル
をハウジングの内部空所に収容する構造の差圧測定装置
に関する。
である２つの圧力をそれぞれのシールダイアフラムで受
け、これを封入液を介して測定ダイアフラムの両側に導
くようにした３重ダイアフラム型の差圧測定装置で、し
かも、測定ダイアフラムが設けられている測定カプセル
をハウジングの内部空所に収容する構造の差圧測定装置
に関する。
（従来技術）
ハウジング内に測定カプセルを内蔵さｌこ３重ダイアフ
ラム型の圧力測定装置は知られている。
ラム型の圧力測定装置は知られている。
この差圧測定装置においては、ハウジングに加わる外部
からの力や、温度変化によって生ずる力を、如何にして
測定カプセルに伝えないようにするかが、測定精度を向
上させるうえからも、又、温度ゼロ誤差や温度スパンｆ
ｌｌ差をむく１うえからも画質となる。そこで、従来か
ら、この点に関する改良提案が種々なされているが、効
果的な解決策となるものはない。
からの力や、温度変化によって生ずる力を、如何にして
測定カプセルに伝えないようにするかが、測定精度を向
上させるうえからも、又、温度ゼロ誤差や温度スパンｆ
ｌｌ差をむく１うえからも画質となる。そこで、従来か
ら、この点に関する改良提案が種々なされているが、効
果的な解決策となるものはない。
（発明の目的）
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、その目的
は、簡単な構成で、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差が小
さく且つ測定精度が高い差圧測定装置を実現することに
ある。
は、簡単な構成で、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差が小
さく且つ測定精度が高い差圧測定装置を実現することに
ある。
（発明の構成）
この目的を達成する本発明は、測定ダイアフラム及びこ
の測定ダイアフラムを挟持するボディから成る測定カプ
セルを、ハウジングの内部空所に収容する構成の差圧測
定装置において、前記測定カプセルの両側にチューブ部
をそれぞれ設け、一方のチューブ部を前記ハウジングに
結合すると共に、他方のチューブ部を薄板弾性部材を介
して前記ハウジングに結合するようにしたことを特徴と
するものである。
の測定ダイアフラムを挟持するボディから成る測定カプ
セルを、ハウジングの内部空所に収容する構成の差圧測
定装置において、前記測定カプセルの両側にチューブ部
をそれぞれ設け、一方のチューブ部を前記ハウジングに
結合すると共に、他方のチューブ部を薄板弾性部材を介
して前記ハウジングに結合するようにしたことを特徴と
するものである。
（実施例）
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
この装置において、１は平板で形成された測定ダイアフ
ラム、２．３は測定ダイアフラム１を挟持する円板状の
ボディで、咳ボディ２，３は測定ダイアフラム１と共に
測定カプセル４を構成している。このボディ２，３の対
向する凹部には、絶縁材料５．６が球状凹表面を形成す
る如く充填され、又、側面中央部にはチューブ７．８が
突設されている。測定カプセル４の内部には、測定ダイ
アフラム１で仕切られた測定全９．．１０が形成され、
更に絶縁材料５．６の凹表面にはコンデンサ板が薄膜状
に形成されている。測定ダイアフラム１のたわみ（変位
）は、この測定ダイアフラム１と各コンデンサ板１１．
１２との間の静電容量の変化として検出される。１３は
測定カプセル４を内蔵させるハウジングで、内部空所１
４を有する本体部１３ａと円板状の蓋部１３ｂとで構成
され、共に中心部に前記ボディ２．３のチューブ７．８
が挿通されるための貫通孔が穿設されている。
ラム、２．３は測定ダイアフラム１を挟持する円板状の
ボディで、咳ボディ２，３は測定ダイアフラム１と共に
測定カプセル４を構成している。このボディ２，３の対
向する凹部には、絶縁材料５．６が球状凹表面を形成す
る如く充填され、又、側面中央部にはチューブ７．８が
突設されている。測定カプセル４の内部には、測定ダイ
アフラム１で仕切られた測定全９．．１０が形成され、
更に絶縁材料５．６の凹表面にはコンデンサ板が薄膜状
に形成されている。測定ダイアフラム１のたわみ（変位
）は、この測定ダイアフラム１と各コンデンサ板１１．
１２との間の静電容量の変化として検出される。１３は
測定カプセル４を内蔵させるハウジングで、内部空所１
４を有する本体部１３ａと円板状の蓋部１３ｂとで構成
され、共に中心部に前記ボディ２．３のチューブ７．８
が挿通されるための貫通孔が穿設されている。
ここで、測定カプセル４はハウジング本体部１３ａの内
部空所１４内に収容され、一方のチューブ７は例えば溶
接によってハウジング本体部１３ａに固着され、他方の
チューブ８はへロー１５を介してハウジング蓋部１３ｂ
に固着される。尚、ハウジング本体部１３８と蓋部１３
ｂとは、測定カプセル４をハウジング内部空所に内蔵し
た後、溶接され一体となる。１６．１７は差圧測定の対
象である２つの圧力をそれぞれ受けるシールダイアフラ
ムで、ハウジング１３の両側面周縁部に環３− 状プレート２５．２６で押えられた状態で溶接され、ハ
ウジング本体部１３ａと蓋部１３ｂの外表面にそれぞれ
受圧室１８，１９を形成する。そして、この受圧室１８
，１９は、測定カプセル４に穿設されている連通孔２１
．２２によって、それぞれ測定室９．１０と連通ずる。
部空所１４内に収容され、一方のチューブ７は例えば溶
接によってハウジング本体部１３ａに固着され、他方の
チューブ８はへロー１５を介してハウジング蓋部１３ｂ
に固着される。尚、ハウジング本体部１３８と蓋部１３
ｂとは、測定カプセル４をハウジング内部空所に内蔵し
た後、溶接され一体となる。１６．１７は差圧測定の対
象である２つの圧力をそれぞれ受けるシールダイアフラ
ムで、ハウジング１３の両側面周縁部に環３− 状プレート２５．２６で押えられた状態で溶接され、ハ
ウジング本体部１３ａと蓋部１３ｂの外表面にそれぞれ
受圧室１８，１９を形成する。そして、この受圧室１８
，１９は、測定カプセル４に穿設されている連通孔２１
．２２によって、それぞれ測定室９．１０と連通ずる。
これら受圧室１８．１９、測定室９．１０及び連通孔２
１，２２内には、非圧縮性の流体（例えばジルコンオイ
ル）が封入されており、シールダイアフラム１６，１７
が受ける圧力は、測定ダイアフラム１０両側に導かれ、
この測定ダイアフラム１は、測定室９と１０の圧力差に
応じて変位する。
１，２２内には、非圧縮性の流体（例えばジルコンオイ
ル）が封入されており、シールダイアフラム１６，１７
が受ける圧力は、測定ダイアフラム１０両側に導かれ、
この測定ダイアフラム１は、測定室９と１０の圧力差に
応じて変位する。
２３．２４はシールダイアフラム１６，１７に対向配置
され、被測定圧流体が導入される室を形成するカバーで
、ボルト２９とナツト３０との締付は力によって、ガス
ケット２７．２８を介してハウジング１３側（環状プレ
ート２５．２６）に圧接されている。これにより、被測
定圧流体が導入される各室は、シールダイアフラム１６
，１７、カバー２３．２４及びガスケット２７．２８に
よ４− って封じられる。
され、被測定圧流体が導入される室を形成するカバーで
、ボルト２９とナツト３０との締付は力によって、ガス
ケット２７．２８を介してハウジング１３側（環状プレ
ート２５．２６）に圧接されている。これにより、被測
定圧流体が導入される各室は、シールダイアフラム１６
，１７、カバー２３．２４及びガスケット２７．２８に
よ４− って封じられる。
このような構成の本実施例では、測定カプセル４は、一
方のチューブ７並びに他方のチューブ８及びベロー１５
を介して、ハウジング１３の内部空所１４内に支持され
る。従って、ハウジング１３の線膨張係数αｌと、測定
カプセル４の線膨張係数α２ （通常、α１〉α２）の
差分によって生ずる引張力や圧縮力或いは外部から加え
られる力やボルト２９及びナツト３０による締付けによ
る力は、ベロー１５やチューブ７．８部分で吸収され、
測定ダイアフラム１に張力変化を起こさせることがない
。
方のチューブ７並びに他方のチューブ８及びベロー１５
を介して、ハウジング１３の内部空所１４内に支持され
る。従って、ハウジング１３の線膨張係数αｌと、測定
カプセル４の線膨張係数α２ （通常、α１〉α２）の
差分によって生ずる引張力や圧縮力或いは外部から加え
られる力やボルト２９及びナツト３０による締付けによ
る力は、ベロー１５やチューブ７．８部分で吸収され、
測定ダイアフラム１に張力変化を起こさせることがない
。
第２図は本発明の他の実施例を示す要部の断面図である
。この実施例では、ベローに代えてカップ３１を用い、
チューブ８をカップ３１を介してハウジング蓋部１３ｂ
に結合させたものである。
。この実施例では、ベローに代えてカップ３１を用い、
チューブ８をカップ３１を介してハウジング蓋部１３ｂ
に結合させたものである。
ここで、Ｗｄはカップ３１とチューブ部８及びハウジン
蓋部１３ｂの溶接部を示す。このように構成しても、第
１図の実施例と全く同様の効果を得ることができる。
蓋部１３ｂの溶接部を示す。このように構成しても、第
１図の実施例と全く同様の効果を得ることができる。
尚、上記の説明では、測定ダイアフラム１の圧力差に対
応する変位を静電容量の変化として検出するものについ
て述べたが、コンデンサ板１１゜１２に代えてコイルを
設置し、そのコイルのインダクタンス変化から測定ダイ
アフラム１の変位を検出するようにしてもよい。又、チ
ューブ部８とハウジンブ蓋部１３ｂとの結合は、ベロー
やノコツブ以外に、ダイアフラム等の薄板弾性部材を介
して行うようにしてもよい。
応する変位を静電容量の変化として検出するものについ
て述べたが、コンデンサ板１１゜１２に代えてコイルを
設置し、そのコイルのインダクタンス変化から測定ダイ
アフラム１の変位を検出するようにしてもよい。又、チ
ューブ部８とハウジンブ蓋部１３ｂとの結合は、ベロー
やノコツブ以外に、ダイアフラム等の薄板弾性部材を介
して行うようにしてもよい。
〈発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、簡単な構成でハ
ウジングに加わる外部からの力や、温度変化によって生
ずる種々の力が測定ダイアフラムに与える影響を小さく
でき、従って、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差が小さく
、且つ測定精度が高い差圧測定装置を実現できる。
ウジングに加わる外部からの力や、温度変化によって生
ずる種々の力が測定ダイアフラムに与える影響を小さく
でき、従って、温度ゼロ誤差や温度スパン誤差が小さく
、且つ測定精度が高い差圧測定装置を実現できる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は本発
明の他の実施例を示す要部の断面図である。 １・・・測定ダイアフラム ２．３・・・ボディ ４・・・測定カプセル７．８・・
・チューブ部 １１．１２・・・コンデンサ板 １３・・・ハウジング １４・・・内部空所１５・・・
ベロー ヘ
明の他の実施例を示す要部の断面図である。 １・・・測定ダイアフラム ２．３・・・ボディ ４・・・測定カプセル７．８・・
・チューブ部 １１．１２・・・コンデンサ板 １３・・・ハウジング １４・・・内部空所１５・・・
ベロー ヘ
Claims (1)
- 測定ダイアフラム及びこの測定ダイアフラムを挟持する
ボディから成る測定カプセルを、ハウジングの内部空所
に収容する構成の差圧測定装置において、前記測定カプ
セルの両側にチューブ部をそれぞれ設け、一方のチュー
ブ部を前記ハウジングに結合すると共に、他方のチュー
ブ部を薄板弾性部材を介して前記ハウジングに結合する
ようにしたことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6417084A JPS60205331A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6417084A JPS60205331A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205331A true JPS60205331A (ja) | 1985-10-16 |
Family
ID=13250317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6417084A Pending JPS60205331A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205331A (ja) |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6417084A patent/JPS60205331A/ja active Pending
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