JPS60206148A - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS60206148A JPS60206148A JP59062727A JP6272784A JPS60206148A JP S60206148 A JPS60206148 A JP S60206148A JP 59062727 A JP59062727 A JP 59062727A JP 6272784 A JP6272784 A JP 6272784A JP S60206148 A JPS60206148 A JP S60206148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probes
- pellet
- probe
- window
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、半導体装置の製造工程においてウェハ状態の
名ペレットの電気的特性を測定するために用いられるプ
ローブカードに関する。
名ペレットの電気的特性を測定するために用いられるプ
ローブカードに関する。
［発明の技術的背景コ
半導体装置の製造に於いて、トランジスタやＩＣ（集積
回路）をケースに組込んだ最終段階で検査し不良と判明
したのでは、途中での組立て工程が無駄になる。そのた
め、一般に、各ペレットをウェハの段階で検査し、良品
ペレットだけを次の工程に送るようにして、無駄を省き
製造原価を安くする方法が取られている。
回路）をケースに組込んだ最終段階で検査し不良と判明
したのでは、途中での組立て工程が無駄になる。そのた
め、一般に、各ペレットをウェハの段階で検査し、良品
ペレットだけを次の工程に送るようにして、無駄を省き
製造原価を安くする方法が取られている。
そして、その目的のために、プローブ〈探針）と送り装
置を組合わせた測定装置（プローバ）が用いられている
。
置を組合わせた測定装置（プローバ）が用いられている
。
第１図は、このプローバに用いられるプローブカードの
従来の構成を示すものである。同図において、１１はカ
ード基盤であり、このカード基盤１１は円形状に形成さ
れ、その中央部には円形状の窓１２が形成されている。
従来の構成を示すものである。同図において、１１はカ
ード基盤であり、このカード基盤１１は円形状に形成さ
れ、その中央部には円形状の窓１２が形成されている。
この窓１２の周部にはガイドリング１３が設けられてい
る。窓１２がらは少数のプローブ（探針）１４が放射状
に導出されている。すなわち、これらプローブ１４の各
先端部を、ウェハ状態のペレット１５の各Ｎ極（ポンデ
ィングパッド）１６に接触させることにより、当該ペレ
ッ１〜１５の電気的特性を検査するものである。
る。窓１２がらは少数のプローブ（探針）１４が放射状
に導出されている。すなわち、これらプローブ１４の各
先端部を、ウェハ状態のペレット１５の各Ｎ極（ポンデ
ィングパッド）１６に接触させることにより、当該ペレ
ッ１〜１５の電気的特性を検査するものである。
［背景技術の問題点］
しかしながら、上記従来のプローブカードに於いては次
のような欠点があった。
のような欠点があった。
（１）プローブ１４が放射状に導出され、かつ窓１２が
円形のため、第１図にＡ、Ｂで示すように各プローブ１
４の長さが同じにならない。従って、プローブ１４相互
間の弾性が異なり、そのためペレット１５への針圧に差
が生じる。針圧が異なると、強いプローブ１４はアルミ
ニウムにより形成された電極１６を突抜け、一方弱いプ
ローブ１４は電極１６と接触不良となり測定がうまくで
きない場合がある。
円形のため、第１図にＡ、Ｂで示すように各プローブ１
４の長さが同じにならない。従って、プローブ１４相互
間の弾性が異なり、そのためペレット１５への針圧に差
が生じる。針圧が異なると、強いプローブ１４はアルミ
ニウムにより形成された電極１６を突抜け、一方弱いプ
ローブ１４は電極１６と接触不良となり測定がうまくで
きない場合がある。
（２） 第２図に示すように、ダイシングライン１７を
基準にして電極１Ｇに対する角度が各プローブ１４によ
り異なるため、プローブ１４の位置合せが困難である。
基準にして電極１Ｇに対する角度が各プローブ１４によ
り異なるため、プローブ１４の位置合せが困難である。
［発明の目的］
本発明は上記の点にみてなされたもので、その・目的は
、各プローブのペレット上の電極への針圧が均一であり
測定精度が向上すると共に、各プローブの電極への位置
合せが容易であり作業性の向上したプローブカードを提
供することにある。
、各プローブのペレット上の電極への針圧が均一であり
測定精度が向上すると共に、各プローブの電極への位置
合せが容易であり作業性の向上したプローブカードを提
供することにある。
［発明の概要］
本発明は、カード基盤に設ける窓の形状をペレットの形
状に対応させて方形状とし、この窓から導出される複数
のプローブの長さを全て同一とすると共に、それぞれそ
の先端部を前記ペレット上の対応する電極の対角線上に
位置するように設定するものである。
状に対応させて方形状とし、この窓から導出される複数
のプローブの長さを全て同一とすると共に、それぞれそ
の先端部を前記ペレット上の対応する電極の対角線上に
位置するように設定するものである。
このような構成により、各プローブの針圧が均一になる
と共に、これらプローブの電極への位置合せの許容範囲
が大きくなる。
と共に、これらプローブの電極への位置合せの許容範囲
が大きくなる。
［発明の実施例］
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第
３図において、２１はカード基盤であり、このカード基
盤２１は円形状に形成され、その中央部には後述のペレ
ット２４の形状に対応して方形状の窓２２が設けられて
いる。この窓２２の周部にはガイドリング２３が設けら
れている。窓２２内の下方部にはウェハ状態のペレット
２４が順次送込まれるようになっている。窓２２からは
複数のプローブ２５が導出され、これらプローブ２５の
各先端部がペレット２４の各電極２６に接触するように
なっている。これらプローブ２５は全て同じ長さを有し
ている。また、これらプローブ２５は第４図に示すよう
に、ウェハのダイシングライン２７すなわちペレット２
４の側辺に対して、傾斜して例えば４５度の角度をもっ
て設定されている。その結果、プローブ２５はその先端
部が、第５図（ｂ）に示すように電極２Ｇの対角線上に
接触するようになっている。
３図において、２１はカード基盤であり、このカード基
盤２１は円形状に形成され、その中央部には後述のペレ
ット２４の形状に対応して方形状の窓２２が設けられて
いる。この窓２２の周部にはガイドリング２３が設けら
れている。窓２２内の下方部にはウェハ状態のペレット
２４が順次送込まれるようになっている。窓２２からは
複数のプローブ２５が導出され、これらプローブ２５の
各先端部がペレット２４の各電極２６に接触するように
なっている。これらプローブ２５は全て同じ長さを有し
ている。また、これらプローブ２５は第４図に示すよう
に、ウェハのダイシングライン２７すなわちペレット２
４の側辺に対して、傾斜して例えば４５度の角度をもっ
て設定されている。その結果、プローブ２５はその先端
部が、第５図（ｂ）に示すように電極２Ｇの対角線上に
接触するようになっている。
上記構成により、本発明のプローブカードにおいては、
従来のプローブカードに比べ下記のような効果がある。
従来のプローブカードに比べ下記のような効果がある。
（１） プローブ２５の長さが第３図にＣ，Ｄで示すよ
うに、長辺部、短辺部に拘らず同じであるため、ペレッ
ト２４の電極２６にかかる針圧が同一になり、従って各
プローブ２５と電極２６との間の電気的特性が同じにな
る。また、全てのプローブ２５を最適針圧に設定するこ
とが容易であり、プローブ２５の寿命が伸びると共に、
電極２６への損傷も少なくなる。
うに、長辺部、短辺部に拘らず同じであるため、ペレッ
ト２４の電極２６にかかる針圧が同一になり、従って各
プローブ２５と電極２６との間の電気的特性が同じにな
る。また、全てのプローブ２５を最適針圧に設定するこ
とが容易であり、プローブ２５の寿命が伸びると共に、
電極２６への損傷も少なくなる。
（２プローブ２５の先端部が電極２６の対角線上に設定
されているため、プローブ２５の電極２６への位置許容
範囲が大きくなる。すなわち、従来のプローブカードに
あっては、プローブ１４は放ＱＪ状に設定されているた
め、大部分は第５図（ａ）に示すようにＸ方向すなわち
電極１６の辺方向に位置ずれが発生しやすく、その位置
許容範囲は電極の辺長ｄ、となる（プローブの位置ずれ
は当該プローブの疲労、摩耗によりその前後方向に多く
発生する。
されているため、プローブ２５の電極２６への位置許容
範囲が大きくなる。すなわち、従来のプローブカードに
あっては、プローブ１４は放ＱＪ状に設定されているた
め、大部分は第５図（ａ）に示すようにＸ方向すなわち
電極１６の辺方向に位置ずれが発生しやすく、その位置
許容範囲は電極の辺長ｄ、となる（プローブの位置ずれ
は当該プローブの疲労、摩耗によりその前後方向に多く
発生する。
）。これに対し、本発明のプローブカードにあっては、
プローブ２５の先端部は電極２６の対角線上に設定され
ているため、第５図（ｂ）に示すようにＺ方向に位置ず
れが発生しやすいが、その位置許容範囲は電極２Ｇの対
角線の長さｄ２となり従来に比べ大きく（約１．４１倍
）なる。従って、プローブ２６の位置合せ精度が大幅に
向上する。
プローブ２５の先端部は電極２６の対角線上に設定され
ているため、第５図（ｂ）に示すようにＺ方向に位置ず
れが発生しやすいが、その位置許容範囲は電極２Ｇの対
角線の長さｄ２となり従来に比べ大きく（約１．４１倍
）なる。従って、プローブ２６の位置合せ精度が大幅に
向上する。
［発明の効果］
以上のように本発明によれば、各プローブのペレット上
の電極への針圧が均一となるため測定精度が向上すると
共に電極への損傷がなく、またプローブの電極への位置
合せが容易であり、測定の作業性が大幅に向上する。
の電極への針圧が均一となるため測定精度が向上すると
共に電極への損傷がなく、またプローブの電極への位置
合せが容易であり、測定の作業性が大幅に向上する。
第１図は従来のプローブカードの構成を示す平面図、第
２図は第１図のプローブカードの一部を拡大して示す平
面図、第３図は本発明の一実施例に係るプローブカード
を示す平面図、第４図は第３図のプローブカードの一部
を拡大して示す平面図、第５図は従来例と本発明のプロ
ーブ接触部を比較して示す図である。 ２１・・・カード基盤、２２・・・窓、２３・・・力′
イドリング、２４・・・ペレット、２５・・・プローブ
、２６・・・電極、２７・・・タイシングライン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
２図は第１図のプローブカードの一部を拡大して示す平
面図、第３図は本発明の一実施例に係るプローブカード
を示す平面図、第４図は第３図のプローブカードの一部
を拡大して示す平面図、第５図は従来例と本発明のプロ
ーブ接触部を比較して示す図である。 ２１・・・カード基盤、２２・・・窓、２３・・・力′
イドリング、２４・・・ペレット、２５・・・プローブ
、２６・・・電極、２７・・・タイシングライン。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第２図
Claims (1)
- カード基盤と、ウェハ状態のペレットに対応して前記カ
ードＩＩに設けられた当該ペレットと同形状の窓と、こ
の窓から導出され、各先端部が前記ペレットの各電極に
接触することにより当該ペレッｉ〜の電気的特性を測定
する複数のプローブとを具備し、前記プローブは全て長
さが同一であり、かつそれぞれその先端部が前記ベレッ
ト上の対応する電極の対角線上に位置するように設定さ
れたことを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59062727A JPS60206148A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59062727A JPS60206148A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | プロ−ブカ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60206148A true JPS60206148A (ja) | 1985-10-17 |
Family
ID=13208681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59062727A Pending JPS60206148A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60206148A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201166A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | プローブカード |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP59062727A patent/JPS60206148A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01201166A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-14 | Tokyo Kasoode Kenkyusho:Kk | プローブカード |
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