JPS60207075A - Ｉｃｐ分析装置用高周波電力表示装置 - Google Patents
Ｉｃｐ分析装置用高周波電力表示装置Info
- Publication number
- JPS60207075A JPS60207075A JP6384484A JP6384484A JPS60207075A JP S60207075 A JPS60207075 A JP S60207075A JP 6384484 A JP6384484 A JP 6384484A JP 6384484 A JP6384484 A JP 6384484A JP S60207075 A JPS60207075 A JP S60207075A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency power
- high frequency
- output
- detector
- power display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・産業上の利用分野
本発明は高周波誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ
分析）における高周波電源の高周波出力表示装置に関す
る。
分析）における高周波電源の高周波出力表示装置に関す
る。
口・ 従来技術
ＩＣＰ分析では元素濃度の分析値はコーチ以下まで再現
可能である。しかし実際にこのような再現性を実現しよ
うとすると高周波電源の出力の安定性も変動率１％以下
に抑えなければならない。そしてこのような安定性を実
現するには高周波電力の表示もまた１％以下の桁捷で表
示できることが望まれる。そうでないと本当に高周波出
力がそこまで安定しているかどうかが確認できないから
である。
可能である。しかし実際にこのような再現性を実現しよ
うとすると高周波電源の出力の安定性も変動率１％以下
に抑えなければならない。そしてこのような安定性を実
現するには高周波電力の表示もまた１％以下の桁捷で表
示できることが望まれる。そうでないと本当に高周波出
力がそこまで安定しているかどうかが確認できないから
である。
所で高周波電力の測定には熱起電力検出型のものとダイ
オード検出型の二種類がちシ、熱起電力型のものは検出
信号がｍＶのオーダであるので出力がＫＷのオーダであ
る高周波電源の出力安定用のフィードバック回路の検出
器としては適当でない。これに対してダイオード検出型
のものは出力特性がリニヤでないが検出信号が数Ｖのオ
ーダであり、フィードバック回路の検出器としてけりニ
ャリテイは要求されないから、ＩＣＰ分析装置の高層′
波出力検出器としてはダイオード検出型が用いられてい
る。しかしこの検出器は上述したように特性がリニヤで
ないから、その検出出力で高周波電力の表示をしようと
すると、分析装置毎にその検出器の特性に合せて較正さ
れたメータによってでないと電力表示ができない。この
ような理由で従来の工ＣＰ分析装置では高周波電源出力
の表示はなされていなかった。なお指針型のアナログメ
ータであれば目盛線を検、出語特性に合せ較正時に書込
むのでノンリニヤの特性であってもメータ目盛は刻める
のであるが、１％以下のオーダの変会し 動を監視するためには、このような指餠型のメータは不
向きで、表示値の最下位の桁の数値が一目で分るディジ
タル表示が適している。
オード検出型の二種類がちシ、熱起電力型のものは検出
信号がｍＶのオーダであるので出力がＫＷのオーダであ
る高周波電源の出力安定用のフィードバック回路の検出
器としては適当でない。これに対してダイオード検出型
のものは出力特性がリニヤでないが検出信号が数Ｖのオ
ーダであり、フィードバック回路の検出器としてけりニ
ャリテイは要求されないから、ＩＣＰ分析装置の高層′
波出力検出器としてはダイオード検出型が用いられてい
る。しかしこの検出器は上述したように特性がリニヤで
ないから、その検出出力で高周波電力の表示をしようと
すると、分析装置毎にその検出器の特性に合せて較正さ
れたメータによってでないと電力表示ができない。この
ような理由で従来の工ＣＰ分析装置では高周波電源出力
の表示はなされていなかった。なお指針型のアナログメ
ータであれば目盛線を検、出語特性に合せ較正時に書込
むのでノンリニヤの特性であってもメータ目盛は刻める
のであるが、１％以下のオーダの変会し 動を監視するためには、このような指餠型のメータは不
向きで、表示値の最下位の桁の数値が一目で分るディジ
タル表示が適している。
へ目 的
本発明は工ＣＰ分析装置で、高周波電源のフィードバッ
ク回路のダイオード検出型の高周波電力検出器を利用し
て、高周波出力を高精度でディジタル表示しようとする
ものである。
ク回路のダイオード検出型の高周波電力検出器を利用し
て、高周波出力を高精度でディジタル表示しようとする
ものである。
二、構 成
行って高周波電力値に変換し、゛ディジタル表示するよ
うにしたＩＣＰ分析装置の高周波出力表示装置を提供す
るものであるっ ホ・実施例 あるが、電力Ｏの近くでカーブが寝ており急に曲って立
上っているので、原点を少し下芳革移して電力が大きな
所のカーブを点線のように下方に延長すると、０１点を
原点とした出力特性のカーブＰはｂ点から上の部分が放
物線で充分な精度の近似ができるようになる。本発明は
この点に着眼したものである。
うにしたＩＣＰ分析装置の高周波出力表示装置を提供す
るものであるっ ホ・実施例 あるが、電力Ｏの近くでカーブが寝ており急に曲って立
上っているので、原点を少し下芳革移して電力が大きな
所のカーブを点線のように下方に延長すると、０１点を
原点とした出力特性のカーブＰはｂ点から上の部分が放
物線で充分な精度の近似ができるようになる。本発明は
この点に着眼したものである。
第２図に本発明の一実施例の構成を示す。１は高周波電
源、２がダイオード形高周波電力検出器、３はマツチン
グボックス、４は高周波コイル、５はプラズマトーチで
、６が負荷のプラズマ炎である。高周波電源１と電力検
出器２との間及び電力検出器２とマツチングボックスと
の間は夫々同軸ゲーブルで接続されている。電力検出器
２の出力信号は高周波電源にフィードバックされると共
に、アナログ加算回路７で第１図にｅで示すバイアス値
が加算され、Ａ ／ Ｄコンバータ８に入力される。
源、２がダイオード形高周波電力検出器、３はマツチン
グボックス、４は高周波コイル、５はプラズマトーチで
、６が負荷のプラズマ炎である。高周波電源１と電力検
出器２との間及び電力検出器２とマツチングボックスと
の間は夫々同軸ゲーブルで接続されている。電力検出器
２の出力信号は高周波電源にフィードバックされると共
に、アナログ加算回路７で第１図にｅで示すバイアス値
が加算され、Ａ ／ Ｄコンバータ８に入力される。
演算回路９はこのＡ ／ Ｄコンバータ８の出力デー電
力値の数値データに変換し、出力インターフェース１０
を介してディジタル電力表示器１１に入力して、高周波
電源の出力をＷ単位で４１桁の数字で表示する。
力値の数値データに変換し、出力インターフェース１０
を介してディジタル電力表示器１１に入力して、高周波
電源の出力をＷ単位で４１桁の数字で表示する。
へ・効 果
本発明は上述したような構成で、高周波電源のフィード
バック回路の電力検出器であるダイオード型高周波電力
検出器を利用して電力表示を行っているので、別に高周
波電力検出回路を設ける必要がなく、ダイオード型高周
波電力検出器は出力がノンリニヤであるにもかＸわらず
、適当なバイアスを加えることで２乗特性に近似させ、
簡単な演算で精度１良く高周波電力をディジタル表示す
ることが可能となり、ディジタル表示であるから、最後
の桁の数字の変化で高周波出力のわずかな変動を一目で
読取ることが可能となった。
バック回路の電力検出器であるダイオード型高周波電力
検出器を利用して電力表示を行っているので、別に高周
波電力検出回路を設ける必要がなく、ダイオード型高周
波電力検出器は出力がノンリニヤであるにもかＸわらず
、適当なバイアスを加えることで２乗特性に近似させ、
簡単な演算で精度１良く高周波電力をディジタル表示す
ることが可能となり、ディジタル表示であるから、最後
の桁の数字の変化で高周波出力のわずかな変動を一目で
読取ることが可能となった。
第１図はダイオード型高周波電力検出器の出力特性を示
すグラフ、第２図は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。 １・・・高周波電源、２・・・ダイオード型高周波電力
計、マ・・・加算回路、９・・・演算回路、１０・・・
インターフェース、１１・・・ディジタル電力表示器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
すグラフ、第２図は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。 １・・・高周波電源、２・・・ダイオード型高周波電力
計、マ・・・加算回路、９・・・演算回路、１０・・・
インターフェース、１１・・・ディジタル電力表示器。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 工ＣＰ分析装置の高周波電源のフィードバック回路の高
周波電力検出器であるダイオード型高周力して高周波電
力をディジタル表示することを特徴とする工ＣＰ分析装
置用高周波電力表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6384484A JPS60207075A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | Ｉｃｐ分析装置用高周波電力表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6384484A JPS60207075A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | Ｉｃｐ分析装置用高周波電力表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60207075A true JPS60207075A (ja) | 1985-10-18 |
Family
ID=13241043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6384484A Pending JPS60207075A (ja) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | Ｉｃｐ分析装置用高周波電力表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60207075A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5391783A (en) * | 1977-01-21 | 1978-08-11 | Nec Corp | Alternating current wattmeter |
| JPS5873848A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Shimadzu Corp | 高周波誘導結合プラズマ安定装置 |
-
1984
- 1984-03-31 JP JP6384484A patent/JPS60207075A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5391783A (en) * | 1977-01-21 | 1978-08-11 | Nec Corp | Alternating current wattmeter |
| JPS5873848A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Shimadzu Corp | 高周波誘導結合プラズマ安定装置 |
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