JPS5873848A - 高周波誘導結合プラズマ安定装置 - Google Patents

高周波誘導結合プラズマ安定装置

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JPS5873848A
JPS5873848A JP17250081A JP17250081A JPS5873848A JP S5873848 A JPS5873848 A JP S5873848A JP 17250081 A JP17250081 A JP 17250081A JP 17250081 A JP17250081 A JP 17250081A JP S5873848 A JPS5873848 A JP S5873848A
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high frequency
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JP17250081A
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Hideo Hattori
秀雄 服部
Shotaro Asada
浅田　庄太郎
Koji Okada
幸治 岡田
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置のプ
ラズマ光源安定化装置に関するものである０ 従来上述した発光分光分析装置では通過形電力形を用い
て負荷への高周波入射波′紙力を検出しこの電力が一定
になるような負帰還制御によって光源の安定を計ってい
たつしかし負荷のインピーダンスはプラズマへの供給ガ
ス流蓋によって変化し、試料を導入しても変化するので
高周波電源の周波数を一定に保っていても、電源と負荷
との整合状態がずれ反射波が生ずるので、入射波電力を
一定に保つように制御していても負荷に吸収される電力
が一定になる保証はない。またプラズマの特性として消
費電力が減少した場合、プラズマは誘導性となる特性が
あるだめ、成る状態で電源と負荷とのインピーダンスが
整合していると、その状態からプラズマ炎が誘導性とな
るよう変化した場合、反射波がでて消費電力が減るとプ
ラズマはますます誘導性となって整合のずれはひどくな
り、ついにはプラズ毎を維持する電力がつぎこめなくな
り消えてしまう。従って入射波電力を一定に保つ制御だ
けではプラズマ炎の安定は困難で別途電源と負荷との整
合を正確に維持する制御が必要であった。
本発明は上述したような現状に鑑み、より簡単なシステ
ムで高周波誘導結合プラズマ光源の安定化を可能にしよ
うとしてなされた。この目的に従って本発明は負荷への
入射波電力Ｐｆと負荷からの反射波電力Ｐｒを検出し、
負荷の吸収電力Ｐｐ−Ｐ　ｉ’　−Ｐ　ｒが一定になる
ようにした制御装置を提供する。以下実施例によって本
発明を説明する。
１図は本発明の一実施装置を示す。１は高周波電源回路
、２は負荷で３は通過形電力計である。
高周波電源ｌから出力される高周波は通過形電力計３を
通過して負荷２に供給される。通過形電力計３は２コの
出力端子を有し、一方に入射波電力Ｐｆの検出値が出力
され、もう一つの出力端子には負荷２からの反射波電力
Ｐｒの検出値が出力されている。４は引算回路で通過形
電力計３の２つの出力信号に対してＰｆ−Ｐｒに対応す
る引算演算を行う。この引算回路４の出力は増幅器５を
経て比較回路６に印加され基準信号と比較され、比較回
路°０出力によりて高−波電源回路”０出力制御がなさ
れ、切載回路６の出力が０になるように制御される。
本発明装置は上述した±し・うな構成で、負荷のインピ
ーダンへ変動に関係ｉ１４′Ｒ常に負荷が消費する電力
が一定になるように動作するので、長時間使用時に負荷
の整合状態がドリフトしても、その影響を受けないで分
析ができ分析の長時間安定性が向上し、負荷の状態を変
化させた場合、例えばプラズマのガス流星を変えたり或
は試料溶媒の種類を変えた場合等でも従来のように負荷
と電源との整合をとり直す必要がなく、プラズマ炎の安
定性が従来に比し向上しているので、プラズマを安定に
点灯できる同調範囲が広くなり、同調をとるのが容易に
なり、しかもプラズマを安定化する他の制御装置が不要
である。
なお本発明装置は積極的に負荷を整合状態に戻すように
作用するものではないから、負荷の整合状態が大きくず
れた場合、高周波電源回路は非常に大きな出力を行うよ
うに強制されることになるので、高周波電源回路に無理
な負担がか＼らないように、図の通過形電力計３の反射
波電力検出出力をモニタして反射波′心力が成るレベル
に達するまでは上述した制−動作を行い、このレベル以
上□・ｊｌ’、’。
に反射波電力が増大しても、高周波出力を増大させない
ようクランプするようにしておいてもよい。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図で
ある。 １・・・高周波電源回路、２・・・負荷、３・・・通過
形電力計、４・・・引算回路、６・・・比較回路。 代理人　弁理士　　鮭　　　浩　　介

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 通過形電力計を用い、負荷への入射波電力と負荷からの
    反射波電力を検出し、入射波電力から反射波電力を引い
    た差が一定になるように高周波供給電力を制御するよう
    に、した高周波誘導結合プラズマ安定装置。　　　、　
JP17250081A 1981-10-27 1981-10-27 高周波誘導結合プラズマ安定装置 Granted JPS5873848A (ja)

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JPS6148101B2 JPS6148101B2 (ja) 1986-10-22

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