JPS6021071U - 真空弁装置 - Google Patents

真空弁装置

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Publication number
JPS6021071U
JPS6021071U JP11272483U JP11272483U JPS6021071U JP S6021071 U JPS6021071 U JP S6021071U JP 11272483 U JP11272483 U JP 11272483U JP 11272483 U JP11272483 U JP 11272483U JP S6021071 U JPS6021071 U JP S6021071U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve device
valve body
valve
vacuum chamber
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11272483U
Other languages
English (en)
Inventor
吉川　善三郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP11272483U priority Critical patent/JPS6021071U/ja
Publication of JPS6021071U publication Critical patent/JPS6021071U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Sliding Valves (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成断面図、第２図は第１図のＡ−
Ａ’断面図、第３図は本考案の一実施例装置の構成断面
図、第４図は第３図の一実施例装置の動作状態を示す断
面図、第５図は第４図のＢ−Ｂ’断面図である。 １．２０：弁体、２：第１真空室、３：第２真空室、４
：弁室、５，２２：移動台、６：弁棒、７．８ニスプリ
ング、９：ストッパー、１０：弁座、１１：０リングパ
ツキン、１２：排気路、２１．２３：凹部、２４：球体
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１真空室と第２真空室の間に弁室を設け、該弁室内に
    弁体及び該弁体を移動するための移動台とを設け、該弁
    体と移動台をスプリングにより係合し、該移動台を移動
    することにより前記第１真空室と第２真空室を遮蔽する
    装置において、前記弁体と移動台の対向面の一方に凹部
    を形成し他方に一辺が斜面を有する凹部を形成すると共
    に該凹部に球体を配置したことを特徴とする真空弁装置
    。
JP11272483U 1983-07-20 1983-07-20 真空弁装置 Pending JPS6021071U (ja)

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JP11272483U JPS6021071U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 真空弁装置

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JP11272483U JPS6021071U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 真空弁装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6021071U true JPS6021071U (ja) 1985-02-13

Family

ID=30261217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11272483U Pending JPS6021071U (ja) 1983-07-20 1983-07-20 真空弁装置

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Country Link
JP (1) JPS6021071U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009008256A (ja) * 2007-06-08 2009-01-15 Vat Holding Ag 脚部要素を有する真空ゲートバルブ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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