JPS6021401A - コア突出型プロ−ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は渦流式膜厚測定装置のプローブに係シ、特に被
測定体の千面就による測定誤差の発生を最少とするに好
適なコア突出型プ日−プに関する。

〔発明の背景〕

従来の膜厚測定用プローブはコイル及びコアが外筒に内
存して測定端面が平担となっているため、被測定体の平
面度により測定端面に微小な隙間が発生し測定誤差が生
ずる欠点がめりた。被測足体の膜厚が数μｍと薄い場合
の誤差は比率が非常に大となる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、被測定体の平面度による測定誤差を最
小とする膜厚測定用プローブを提供する事にある。

〔発明の概要〕

被測定体の平面度が悪く凹凸面のめる部分に、平担なプ
ローブを接触させた場合は、プローブの端面と被測定体
表面に隙間が生じて誤差となる。

グローブによって被測定体の導電部に誘起する渦電流は
、コイルに流れる交流電流によるが、これをコアで増大
している。コアの先端をプローブ端面から突き出す事に
よって表面に凹凸がめっても必ずコアが被測足体表面に
接触するため誤差を小とする事ができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図によシ説明する。第１
図は本発明によるコア突出し型プローブによって母材金
属上の膜厚を測定している状態を示す。コイルｌはコア
２の先端部に巻かれておシコイルｌの端はリード線３に
よって測定器と接続されている。コイル１、コア２は充
填材５で外筒４内に設置されてプローブを構成しておυ
プローブの下端面からコア２が突き出、している。案内
６はバネ７によってグローブを被測定材に安定して接触
させるものである。膜９の厚さは、コイル１１コア２に
よって誘起される母材金属内の渦電流によって測定され
る。第１図によればコア２の先端は被測定材８，９に凹
凸があっても必ず膜９の面に接触するので測定誤差は小
さい。第２図は表面凹凸による測定誤差を従来グローブ
と本発明によるプローブで比較実験した結果を示すもの
でコア突出しによる効果は著しるしい。

また他の実施例としては、被測定体に誘起される渦′屯
流は、コイルとコアによるものであるが、コアをグロー
ブ端面から突き出すことによって表向凹凸があっても必
ずコアが被測定体表面に接触するため誤差を最小とする
ことができるがこの場合、コアを突き出すことによって
、コイルとコア先端の間隔が増大して感度低下を招くの
でコアを半割シとしコイルによる磁束を有効に被測定体
に伝達することによって感度低下を抑制する。

〔発明の効果〕

本発明のコア突出型プローブによれば、被測定材の凹凸
、曲シ等の表面形状による膜厚測定誤差を最小とする効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるコア突出グローブによって膜厚を
測定している状態図、第２図（ａ）および（ｂ）は従来
グローブおよび本発明グローブを示す図、第３図は測定
誤差の比較結果を示す図である。 ｌ・・・コイル、２・・・コア、３・・・リード線、４
・・・外筒、５・・・充填材、６・・・案内、７・・・
バネ、８・・・母材金属、第１日 表面句傾きθ（劃

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　コイルとコアと外筒よシ成る渦流式膜厚測定用グ
   ローブにおいて、コア金外筒の端面から突き出させたこ
   とを特徴とするコア突出型グローブ。 ２、特許請求の範囲第１項において、コアを半割シとし
   て外筒の端面から突き出させたことを特徴とするコア突
   出型グローブ。