JPS6097202A - 非電導性コア型膜厚測定プロ−ブ - Google Patents
非電導性コア型膜厚測定プロ−ブInfo
- Publication number
- JPS6097202A JPS6097202A JP20469483A JP20469483A JPS6097202A JP S6097202 A JPS6097202 A JP S6097202A JP 20469483 A JP20469483 A JP 20469483A JP 20469483 A JP20469483 A JP 20469483A JP S6097202 A JPS6097202 A JP S6097202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- measured
- conductive core
- thickness measuring
- core
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は渦流式膜厚測定装置のグローブに係シ、特に被
測定体の温度変化による零点変動発生を最少とするに好
適な、膜厚測定グローブに関する。
測定体の温度変化による零点変動発生を最少とするに好
適な、膜厚測定グローブに関する。
従来の膜厚測定用グローブはコイル、磁性コア及び外面
から構成されているが、プローブの温度による電磁気的
特性によシ、被測定体の温度変化による零点＄１１ｈが
大きい欠点がめった。
から構成されているが、プローブの温度による電磁気的
特性によシ、被測定体の温度変化による零点＄１１ｈが
大きい欠点がめった。
本発明の目的は、被測定体の温度変化による零点変動発
生を最小とする膜厚測定用グローブを提供する事にある
。
生を最小とする膜厚測定用グローブを提供する事にある
。
本発明は、電磁気的特性を持たない非電導体をコアに用
い、被測定体の温度がプローブコイルの高周波特性に及
ぼす＃譬を最小とするようにした。
い、被測定体の温度がプローブコイルの高周波特性に及
ぼす＃譬を最小とするようにした。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。コイ
ルｌは非電導性コア２に巻かれて接着剤等の充填剤３に
よって外ｍ４内の先端部に埋ち込まれ、リード巌５によ
ってグローブケーブルに接続されている。
ルｌは非電導性コア２に巻かれて接着剤等の充填剤３に
よって外ｍ４内の先端部に埋ち込まれ、リード巌５によ
ってグローブケーブルに接続されている。
非電導性コア２は外筒４の中心軸上に位置されて２シ、
フィルｌと被測定材６０間隔が、被測定材６０表面凹凸
に影響されないようにする為の突起物としての役目もｆ
ねている。第２図は従来プローブと本発明によるプロー
ブの温度影響を実験した結果を示すもので、コアレスの
効果は著しるしい。
フィルｌと被測定材６０間隔が、被測定材６０表面凹凸
に影響されないようにする為の突起物としての役目もｆ
ねている。第２図は従来プローブと本発明によるプロー
ブの温度影響を実験した結果を示すもので、コアレスの
効果は著しるしい。
本発明の膜厚測定プローブによれば、被測定材の温匿影
響による零点変動を約１／６とする効果がある。
響による零点変動を約１／６とする効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の膜厚測定プローブの構造
図、第２図は、従来プローブと本発明によるグローブで
零点変動の比較結果を示す線図である。 ｌ・・・コイル、２・・・非電導性コア、３・・・充填
剤、４・・・外筒、５・・・ケーブル、６・・・被測定
材。 宋１図 第２図 う則 定 時 間 （Ｓｅｃ） 第１頁の続き ＠発明者 牧原 善次 日立車輪３ 会社内 Ｏ発明者 飯１）耕司 日立市会輌 ング株式会社 下目２番１号 日立コエンジニアリング株式２丁目９番
１号 日立サービスエンジニアリ内
図、第２図は、従来プローブと本発明によるグローブで
零点変動の比較結果を示す線図である。 ｌ・・・コイル、２・・・非電導性コア、３・・・充填
剤、４・・・外筒、５・・・ケーブル、６・・・被測定
材。 宋１図 第２図 う則 定 時 間 （Ｓｅｃ） 第１頁の続き ＠発明者 牧原 善次 日立車輪３ 会社内 Ｏ発明者 飯１）耕司 日立市会輌 ング株式会社 下目２番１号 日立コエンジニアリング株式２丁目９番
１号 日立サービスエンジニアリ内
Claims (1)
- １、 コイルとコアと外面から成る渦流式膜厚測定用グ
ローブにおいて、コア？非嵯導性材料としたことを特徴
とする非酸導性コア型膜厚測定グローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20469483A JPS6097202A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 非電導性コア型膜厚測定プロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20469483A JPS6097202A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 非電導性コア型膜厚測定プロ−ブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6097202A true JPS6097202A (ja) | 1985-05-31 |
Family
ID=16494760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20469483A Pending JPS6097202A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 非電導性コア型膜厚測定プロ−ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6097202A (ja) |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP20469483A patent/JPS6097202A/ja active Pending
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