JPS6021507A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6021507A JPS6021507A JP58128717A JP12871783A JPS6021507A JP S6021507 A JPS6021507 A JP S6021507A JP 58128717 A JP58128717 A JP 58128717A JP 12871783 A JP12871783 A JP 12871783A JP S6021507 A JPS6021507 A JP S6021507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- magnetic material
- material thin
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁・邊(、記録媒体に係り、特に垂直磁気記録
ができるM K l!L! 峰、楳1トに関する十)の
である。
ができるM K l!L! 峰、楳1トに関する十)の
である。
近年、jlkl配気媒体の記録密度を高めるため、垂直
磁気記録11式が倹it・1されている。この記録方式
に用いられる磁気記録媒体は、基t(と、その基材の表
面に形成さhl−第1の磁性材薄膜と、ぞの第1171
磁性H’AI膜の表面に形成された第2の磁性材薄膜と
から構成されている。tしてこの第2の磁性材薄膜の膜
厚方向、すなわち垂直方向に磁化されることにより、所
望のデータが記録されるようになっている。
磁気記録11式が倹it・1されている。この記録方式
に用いられる磁気記録媒体は、基t(と、その基材の表
面に形成さhl−第1の磁性材薄膜と、ぞの第1171
磁性H’AI膜の表面に形成された第2の磁性材薄膜と
から構成されている。tしてこの第2の磁性材薄膜の膜
厚方向、すなわち垂直方向に磁化されることにより、所
望のデータが記録されるようになっている。
前記第1の磁性材薄膜は第2の磁性材薄膜を磁化するど
きに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁力が
低く、しかも透磁率ならびしコ飽和磁束密度がどもに高
いことが要求される。一方、第2の磁性f1薄膜どして
は、特に垂直方向に異方性を有することが要求され、こ
の要求に応えるものとして、コバルト−り[1ムの2成
分系合金あるいけこれに「■ジウムなどの第3合属を添
加した3−2・ 成づ)系合金などのコバルト−クロム系合金薄膜がある
。
きに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁力が
低く、しかも透磁率ならびしコ飽和磁束密度がどもに高
いことが要求される。一方、第2の磁性f1薄膜どして
は、特に垂直方向に異方性を有することが要求され、こ
の要求に応えるものとして、コバルト−り[1ムの2成
分系合金あるいけこれに「■ジウムなどの第3合属を添
加した3−2・ 成づ)系合金などのコバルト−クロム系合金薄膜がある
。
従来のこの種の磁気記録媒体では第1の磁性材薄1僕と
して、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイか用いられ
ている。ところがこのものは透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合
金からなる第2の磁性上4薄膜との磁気特性」二の所謂
相性が良くない。すなわら、結晶構造が面心立方晶系の
パーマロイからろ゛る第1の磁性材薄膜の上に、コバル
ト−クロム系合金の第2の磁性材薄膜を形成した場合、
それの丁層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて(特
に第2の磁性材薄膜が薄いことも関係して)、その=】
パル1−一クロム系合金薄膜の結晶構造が正規の六方晶
系になり輩い。そのためクロム−コバ用1〜系合金の特
長である優れた垂直異方性が十分に発■IVされない。
して、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイか用いられ
ている。ところがこのものは透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合
金からなる第2の磁性上4薄膜との磁気特性」二の所謂
相性が良くない。すなわら、結晶構造が面心立方晶系の
パーマロイからろ゛る第1の磁性材薄膜の上に、コバル
ト−クロム系合金の第2の磁性材薄膜を形成した場合、
それの丁層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて(特
に第2の磁性材薄膜が薄いことも関係して)、その=】
パル1−一クロム系合金薄膜の結晶構造が正規の六方晶
系になり輩い。そのためクロム−コバ用1〜系合金の特
長である優れた垂直異方性が十分に発■IVされない。
このようにパーマロイはコバ用1−−クロム系合金との
磁気特性上の相性が良くないことと、前述のように透磁
率ならびに飽和磁束密度が十分に高くないことが原因で
、折角、磁気特性の優、IllたIバルト−り[1ム系
6合がIE昌・る第2 (7) [(’l・材aIli
5 e=用イ゛c +i、ソノ特1’l カー1分1:
’Q揮で古lj・い欠点/バあ−)だ。
磁気特性上の相性が良くないことと、前述のように透磁
率ならびに飽和磁束密度が十分に高くないことが原因で
、折角、磁気特性の優、IllたIバルト−り[1ム系
6合がIE昌・る第2 (7) [(’l・材aIli
5 e=用イ゛c +i、ソノ特1’l カー1分1:
’Q揮で古lj・い欠点/バあ−)だ。
本発明σ月1的(42,こ(fl J、うな従来技術の
欠点7iM/1ff17. (Jj S<、特1’l
rlI f、llれ/h i:lA磁気記録媒体Il^
(IL するにあう。
欠点7iM/1ff17. (Jj S<、特1’l
rlI f、llれ/h i:lA磁気記録媒体Il^
(IL するにあう。
本発明跨ら(J、スパッタリン)fなどによ〜)で得ら
れろアモルノ)′ス合fL薄+1’Jに−)い−rff
fl々研究しノ:結東、:」バルト((、”、 o )
を1ミ成分どし、少■のハ7二1°ツム白1[)とニー
4ブ(Nb)&添加したC o−11f−N l百ノ)
′(成≦)系“yモルファス合余が、この種の1ill
鼠記録411体の第1の磁性材薄膜どして優れた特性
を有1. rいろ4ことをり1出(,7た、1」大板に
結晶11;ガラスも用い、コバルトデーrス)J(的、
1″¥101.611111111’fさ5m+n)、
1−にハフニウムのべL/ツ)・と−オブのべ1ツバノ
ド l rl +nm 、横10mm−厚さI+,1tn)
を中心J:り放射状に交1fに配置??+,9−ゲット
にのべ14ノソ1への数を調整する二どにk IJ斤6
7〃旧I\tが変えられるにうにする。tしでう′ルゴ
ンによ装置1m前の真空度がJ=3− Xl11−’Torr以下の高真空にし、アルゴンの雰
囲気中で、高周波電力2W/cm2でスパッタリングを
行ない、基板−ににコバルトを主成分とするGo )I
f Nbの3成分系アモルファス合金薄膜を作成する。
れろアモルノ)′ス合fL薄+1’Jに−)い−rff
fl々研究しノ:結東、:」バルト((、”、 o )
を1ミ成分どし、少■のハ7二1°ツム白1[)とニー
4ブ(Nb)&添加したC o−11f−N l百ノ)
′(成≦)系“yモルファス合余が、この種の1ill
鼠記録411体の第1の磁性材薄膜どして優れた特性
を有1. rいろ4ことをり1出(,7た、1」大板に
結晶11;ガラスも用い、コバルトデーrス)J(的、
1″¥101.611111111’fさ5m+n)、
1−にハフニウムのべL/ツ)・と−オブのべ1ツバノ
ド l rl +nm 、横10mm−厚さI+,1tn)
を中心J:り放射状に交1fに配置??+,9−ゲット
にのべ14ノソ1への数を調整する二どにk IJ斤6
7〃旧I\tが変えられるにうにする。tしでう′ルゴ
ンによ装置1m前の真空度がJ=3− Xl11−’Torr以下の高真空にし、アルゴンの雰
囲気中で、高周波電力2W/cm2でスパッタリングを
行ない、基板−ににコバルトを主成分とするGo )I
f Nbの3成分系アモルファス合金薄膜を作成する。
このようにして作成された各種組成の合金試料が後述の
各特性試験に使用される。
各特性試験に使用される。
第1図は、後記の合金組成表において合金中のNb含有
率Yが常に6.7原子%になるようにして、I( f含
有率Xを種々変えた場合の磁気特性図Cある。
率Yが常に6.7原子%になるようにして、I( f含
有率Xを種々変えた場合の磁気特性図Cある。
合金組成表
なお図中において曲線Bsは飽和磁束密度,曲線μeは
周波数5110KHzにおける困難軸方向の透磁率,曲
線f−T cは困難軸方向の保磁力である。
周波数5110KHzにおける困難軸方向の透磁率,曲
線f−T cは困難軸方向の保磁力である。
この図から明らかなように、I−1 f含有率が0原子
%のCON+)2成分系合金は、Bsは高いが、・I H c/J’高過ぎ、μeが低い。これにIゴfをり量
添加するとHcが極端に下がり、μeは連に高くなる。
%のCON+)2成分系合金は、Bsは高いが、・I H c/J’高過ぎ、μeが低い。これにIゴfをり量
添加するとHcが極端に下がり、μeは連に高くなる。
なお、■(Fの含有率がある程度以上になると。
Haは高くな;)、μθは低くなる。一方、B9は極端
ではないがi( fの含有率の増大とともに低下する傾
向にある。
ではないがi( fの含有率の増大とともに低下する傾
向にある。
このような特性傾向のなかで、Bsを高・(保ら、He
を下げ、扁μe&こするためには、Hfの含有率Xを1
原子%以上でかつ5原子%未満の範囲、好ましくは1.
5・〜,3M子%の範回に規制する必要がある。このこ
とはNb含有率Yを若干変fヒさせても同様eある。
を下げ、扁μe&こするためには、Hfの含有率Xを1
原子%以上でかつ5原子%未満の範囲、好ましくは1.
5・〜,3M子%の範回に規制する必要がある。このこ
とはNb含有率Yを若干変fヒさせても同様eある。
第2図は、前記合金組成表において合金中のHf含有率
Xが常に2.2原子%になるようにして.Nb含有率Y
を種々変えた場合の磁気特性図である。
Xが常に2.2原子%になるようにして.Nb含有率Y
を種々変えた場合の磁気特性図である。
この図から明らかなように、)Jb含有率が0原子・糸
のG o − H f 2成分系合金も前述と同様に。
のG o − H f 2成分系合金も前述と同様に。
Bsは高いが、Heが高過ぎ,μeが低い。これにNb
を少量添加することによりHeが極端に下がり、μ0が
逆に高くなる。なお、Nbの含有率がある程度以上にな
ると、Heは高くなり、Heは低くなる。一方、Bsは
極端ではないがNbの含有率の増大とともに低下する傾
向がある。
を少量添加することによりHeが極端に下がり、μ0が
逆に高くなる。なお、Nbの含有率がある程度以上にな
ると、Heは高くなり、Heは低くなる。一方、Bsは
極端ではないがNbの含有率の増大とともに低下する傾
向がある。
このような特性傾向のなかで、Bsを高く保ち、)−1
c:を下げ、高μ0にするためには、Nbの含有率Yを
4〜8原子%、好ましくは4〜6原子%の範囲に規制す
る必要がある。このことはHf含有率Xを若干変化させ
ても同様である。
c:を下げ、高μ0にするためには、Nbの含有率Yを
4〜8原子%、好ましくは4〜6原子%の範囲に規制す
る必要がある。このことはHf含有率Xを若干変化させ
ても同様である。
第3図は1本発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明す
るための図である。ポリエステル、ポリイミドヒJ〕ど
の合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニウム板などか
らなる基材1の表面に、Co含有率が91.1原子%、
11 f含有率が2.2原子%、Nb#有率が6.7J
Jil子%であるCo−HfN l+の3成分系アモル
ファス合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第
1の磁性材薄膜2とする。次にこの第1の磁性材薄膜2
の表面に、コバル1−を主成分とし、これに少量のクロ
ムを添加したに OCrの2成分系合金薄膜をスパッタ
リングによっ゛C形成して、第2の磁性材薄[3どする
。この磁性材薄膜2,3の膜厚は、両者とも約0.31
口ηcJうる。これら基材1と第1の磁性材a1112
ど第2の磁性14#膜3とがらテープ状あるいはデ、イ
ス!)状の磁気記録媒体が構成される。
るための図である。ポリエステル、ポリイミドヒJ〕ど
の合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニウム板などか
らなる基材1の表面に、Co含有率が91.1原子%、
11 f含有率が2.2原子%、Nb#有率が6.7J
Jil子%であるCo−HfN l+の3成分系アモル
ファス合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第
1の磁性材薄膜2とする。次にこの第1の磁性材薄膜2
の表面に、コバル1−を主成分とし、これに少量のクロ
ムを添加したに OCrの2成分系合金薄膜をスパッタ
リングによっ゛C形成して、第2の磁性材薄[3どする
。この磁性材薄膜2,3の膜厚は、両者とも約0.31
口ηcJうる。これら基材1と第1の磁性材a1112
ど第2の磁性14#膜3とがらテープ状あるいはデ、イ
ス!)状の磁気記録媒体が構成される。
])ム記磁姓((薄膜2.3は基材1の両面に設ける町
今もある。
今もある。
この磁気記録媒体を間に挟むようにして、主磁極5と補
助磁極〔;どが配置されている。主磁極5は厚さが約1
7z程度の)−のe、ガラスやポリーrミドMt4 I
]1jなどからなる非磁性材の基板ノ】」二にスパッタ
リングによで)(Jl?成される。補助磁極6には、コ
イル7が所定ターン数だけa′JAされている。このコ
イル7に記録されるべき信号電流を流し゛C主磁極5を
補助磁(、輯(j側がら励磁すると、主磁極5の先端付
近に強い曲直磁界が発生釘る。これによって主磁極!3
の先端近傍にある磁性材薄膜2,3が厚さij向に磁化
され、第2の磁性材薄膜3にデータが記録さ、#【、る
。第1の磁性材薄III 2は第2磁性材薄膜3にデー
、ぐI!L:li1気記録する際、磁路の一7一 部を構成するのに役立つ。
助磁極〔;どが配置されている。主磁極5は厚さが約1
7z程度の)−のe、ガラスやポリーrミドMt4 I
]1jなどからなる非磁性材の基板ノ】」二にスパッタ
リングによで)(Jl?成される。補助磁極6には、コ
イル7が所定ターン数だけa′JAされている。このコ
イル7に記録されるべき信号電流を流し゛C主磁極5を
補助磁(、輯(j側がら励磁すると、主磁極5の先端付
近に強い曲直磁界が発生釘る。これによって主磁極!3
の先端近傍にある磁性材薄膜2,3が厚さij向に磁化
され、第2の磁性材薄膜3にデータが記録さ、#【、る
。第1の磁性材薄III 2は第2磁性材薄膜3にデー
、ぐI!L:li1気記録する際、磁路の一7一 部を構成するのに役立つ。
本発明は前述のように、基材と、その基材の表面に形成
された第1の磁性材薄膜と、その第1の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第2の磁性材薄膜と
を備え、前記第2の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第1の磁性材薄膜が、コバ
ルトを主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオブ
を添加した3成分系のアモルファス合金から構成され、
その合金中におけるハフニウムの含有率をIM子%以上
でかつ5原子%未満、ニオブの含有率を4原子%以上で
かつ8原子%以下の範囲に規制したことを特徴とするも
のである。
された第1の磁性材薄膜と、その第1の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第2の磁性材薄膜と
を備え、前記第2の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第1の磁性材薄膜が、コバ
ルトを主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオブ
を添加した3成分系のアモルファス合金から構成され、
その合金中におけるハフニウムの含有率をIM子%以上
でかつ5原子%未満、ニオブの含有率を4原子%以上で
かつ8原子%以下の範囲に規制したことを特徴とするも
のである。
前述のアモルファス合金は、保磁力が低く、透磁率なら
びに飽和磁束密度が高く、しかもコバルト−クロム系合
金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロム
系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。その
ため優れた記録、再生特性を有し、また第2の磁性材薄
膜を可及的に薄くすることができる。
びに飽和磁束密度が高く、しかもコバルト−クロム系合
金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロム
系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。その
ため優れた記録、再生特性を有し、また第2の磁性材薄
膜を可及的に薄くすることができる。
9−
8−
第1図は本発明に係るC o −Hf −N b系アモ
ルファス合金中の)I f含有率と各種磁気特性との関
係を示す特性図、第2図は前記合金中のNb含有率と各
種磁気特性との関係を示す特性図、第3図は本発明の実
施例に係る磁気記録媒体を説明するための説明図である
。 し・・基材、2・・・第1の磁性材薄膜、3・・・第2
の磁性材薄膜。 第1図 第2図 Hf含を率(at%) Nl) gq千101−10J
ルファス合金中の)I f含有率と各種磁気特性との関
係を示す特性図、第2図は前記合金中のNb含有率と各
種磁気特性との関係を示す特性図、第3図は本発明の実
施例に係る磁気記録媒体を説明するための説明図である
。 し・・基材、2・・・第1の磁性材薄膜、3・・・第2
の磁性材薄膜。 第1図 第2図 Hf含を率(at%) Nl) gq千101−10J
Claims (1)
- (1)基+Aと、そのll1f++の表面に形成された
第1の磁性+A薄腸と、その第1の磁性材薄膜の表面に
形成されて垂直異方1’lを有する第2の磁性材薄膜と
を備え、前記第2の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
硯気配録媒1ト「おいて、前記第1の磁性材簿膜が、コ
バ月何−を1成分とし、それに小社のハフニラ15とニ
オブも添2+111.た3成分系のアモルファス合金か
ら構成さJ(、その合金中におけるハフニラ11の含有
率をI Jli(rγ、以1、でかつ5Jボ子%未満、
二Aブの含イ1申佇417に子“に以」−でかつ8〃バ
子%以1:の範囲に規制さ4ビエニいることを特徴とす
る磁気記録媒体。 (2、特許請求の範囲第(1)項i!+3戟において、
前記第2の磁性+4薄膜が」パルI・およびクロムを含
むコバル1−−り「113系今金薄膜から構成されてい
ることを特徴とする磁気記録媒体。 −1−へ−
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128717A JPS6021507A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128717A JPS6021507A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021507A true JPS6021507A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14991682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58128717A Pending JPS6021507A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021507A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5473506A (en) * | 1977-11-25 | 1979-06-12 | Fumiaki Nukada | Telephone transfer unit |
| US4622273A (en) * | 1983-11-05 | 1986-11-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Recording medium for perpendicular magnetization |
| US4686151A (en) * | 1985-04-09 | 1987-08-11 | Dynamic Disk | Substrate material for magnetic recording media |
-
1983
- 1983-07-16 JP JP58128717A patent/JPS6021507A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5473506A (en) * | 1977-11-25 | 1979-06-12 | Fumiaki Nukada | Telephone transfer unit |
| US4622273A (en) * | 1983-11-05 | 1986-11-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Recording medium for perpendicular magnetization |
| US4686151A (en) * | 1985-04-09 | 1987-08-11 | Dynamic Disk | Substrate material for magnetic recording media |
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