JPS6021509A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6021509A JPS6021509A JP58128719A JP12871983A JPS6021509A JP S6021509 A JPS6021509 A JP S6021509A JP 58128719 A JP58128719 A JP 58128719A JP 12871983 A JP12871983 A JP 12871983A JP S6021509 A JPS6021509 A JP S6021509A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- magnetic material
- material thin
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は繊成記録に’d体に係り、特に垂直磁気記録が
できる磁懺を記録媒体に関するものである。
できる磁懺を記録媒体に関するものである。
近年、磁気il+!録媒体の記録密度を高めるため。
垂直磁気記録方式が検問されている。この記録方式に用
いられる磁うt l!+!録蝉体は、基材と、その基材
の表面に形成された第1の磁(’l・材g膜と、その第
1の磁性材薄膜の表面に形成された第2の磁性材薄膜と
から構成されている。そしてこの第2の磁性+A薄11
gの膜厚方向、すなわち垂直方向に磁化されることによ
り、所望のデータが記録されるようになっている。
いられる磁うt l!+!録蝉体は、基材と、その基材
の表面に形成された第1の磁(’l・材g膜と、その第
1の磁性材薄膜の表面に形成された第2の磁性材薄膜と
から構成されている。そしてこの第2の磁性+A薄11
gの膜厚方向、すなわち垂直方向に磁化されることによ
り、所望のデータが記録されるようになっている。
前記第1の磁性材g1+*け第2の磁性材薄膜を磁化す
るときに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁
力が低く、しかも透磁率ならびに飽和磁束重度がともに
高いことが要求される。一方、第2の磁性材薄膜どり、
ては、特に垂直方向に異方性を有することが要求され、
この要求に応えるものとして、コバ用1−−クロt1の
2成分系合金あるいはこれにロシウl−x l’、どの
第3金属を添加した3j戊分系今金などのコバルト−ク
ロム系合金薄膜がある。
るときに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁
力が低く、しかも透磁率ならびに飽和磁束重度がともに
高いことが要求される。一方、第2の磁性材薄膜どり、
ては、特に垂直方向に異方性を有することが要求され、
この要求に応えるものとして、コバ用1−−クロt1の
2成分系合金あるいはこれにロシウl−x l’、どの
第3金属を添加した3j戊分系今金などのコバルト−ク
ロム系合金薄膜がある。
従来のこの種の磁気記録媒体では第1の磁性4A薄暎と
して、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用いられ
でいる。どころかこのものは透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合
金からなる第2の磁性材薄膜との磁気特性上の所謂相性
が良くない。すなわぢ、結晶構造か面心立方晶系のバー
マロ、イからなる第1の磁性材薄膜の上に、コバ用1−
−クロム系合金の第2の磁性材薄膜を形成した場合、ぞ
れの下層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて(特に
第2の磁性+4薄膜が薄いことも関係して)、その」パ
ルトークロム系合金薄膜の結晶fi造が正規の六方晶系
になり薩い。そのためクロム−コバ用1−系合金の特長
である優れた垂直異方性が十分に発IIgされない。こ
のようにパーマロイはコバルト−クロム系合金との磁気
特性上の相性が良くないことと、前述のように透磁率な
らびに飽和磁束密度が十分に高くないことが原因で、折
角、磁気特性の優れた1、Jパル1〜−り「lム系合金
からなる第2の磁性)4薄膜を用いでも、その特性が十
分に発揮できない欠点がif!’l−、)た。
して、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用いられ
でいる。どころかこのものは透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合
金からなる第2の磁性材薄膜との磁気特性上の所謂相性
が良くない。すなわぢ、結晶構造か面心立方晶系のバー
マロ、イからなる第1の磁性材薄膜の上に、コバ用1−
−クロム系合金の第2の磁性材薄膜を形成した場合、ぞ
れの下層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて(特に
第2の磁性+4薄膜が薄いことも関係して)、その」パ
ルトークロム系合金薄膜の結晶fi造が正規の六方晶系
になり薩い。そのためクロム−コバ用1−系合金の特長
である優れた垂直異方性が十分に発IIgされない。こ
のようにパーマロイはコバルト−クロム系合金との磁気
特性上の相性が良くないことと、前述のように透磁率な
らびに飽和磁束密度が十分に高くないことが原因で、折
角、磁気特性の優れた1、Jパル1〜−り「lム系合金
からなる第2の磁性)4薄膜を用いでも、その特性が十
分に発揮できない欠点がif!’l−、)た。
本発明tl+lI的は、このような従来技術の欠点配解
消し、磁気特性(/I I、1.lL/−、磁気記録媒
体を提倶”揉るにある。
消し、磁気特性(/I I、1.lL/−、磁気記録媒
体を提倶”揉るにある。
本発明H61よ、スパッタリングなどによって得られる
アモルノアス合fX、薄膜に″)いて種々研究した結果
、コバルト(C,o )を」ミ成分とし、少量のハフニ
ウム(月f)とタンタ゛ステンCW)を電力)1した(
:o −)1 f −W c71 :3成分系アモルフ
ァス合金が、この種の磁気R+4ttJr媒体の第1の
磁性材薄膜としC優れた特性をイ11..ていること&
1色出しム。
アモルノアス合fX、薄膜に″)いて種々研究した結果
、コバルト(C,o )を」ミ成分とし、少量のハフニ
ウム(月f)とタンタ゛ステンCW)を電力)1した(
:o −)1 f −W c71 :3成分系アモルフ
ァス合金が、この種の磁気R+4ttJr媒体の第1の
磁性材薄膜としC優れた特性をイ11..ていること&
1色出しム。
基板に結晶化ガラスに用い、」バ月用へディスク(直径
1111.fimm、 JW a !−+nuII)
l−ICハフ 1− ラム(hへL/ツ]−とタングス
テンのべ1ノツ1−(いVれのペレソ1−も縦101n
II、横’10mm、厚さ1mm’)を中心より放射状
に交h°に配置zシ、ターゲソ1−」二のペレツ1−の
数に調整1”ることにより合金組成が変えられるように
する。そして−アルゴンにJ:るIN換前の真空3一 度が]、X]O”−6Torr以下の高真空にし、アル
コンの雰囲気中で、高周波電力2W/cIn2でスパッ
タリングを17ない、基板上にコバルトを主成分どする
G o −1(f −Wの3成分系アモルファスQ−、
f、1(vI膜を作成する。このようにして作成された
各種組成の合金試料が後述の各特性試験に使用される。
1111.fimm、 JW a !−+nuII)
l−ICハフ 1− ラム(hへL/ツ]−とタングス
テンのべ1ノツ1−(いVれのペレソ1−も縦101n
II、横’10mm、厚さ1mm’)を中心より放射状
に交h°に配置zシ、ターゲソ1−」二のペレツ1−の
数に調整1”ることにより合金組成が変えられるように
する。そして−アルゴンにJ:るIN換前の真空3一 度が]、X]O”−6Torr以下の高真空にし、アル
コンの雰囲気中で、高周波電力2W/cIn2でスパッ
タリングを17ない、基板上にコバルトを主成分どする
G o −1(f −Wの3成分系アモルファスQ−、
f、1(vI膜を作成する。このようにして作成された
各種組成の合金試料が後述の各特性試験に使用される。
第1図は、後記の合金組成表において合金中のW含有率
Yが常に7.0原子%になるようにして、t(f含有率
Xを種々変えた場合の磁気特性図である。
Yが常に7.0原子%になるようにして、t(f含有率
Xを種々変えた場合の磁気特性図である。
ろ゛お図中において曲線Rsは飽和磁束密度9曲線μe
は周波数IMHzにおける困難軸方向の透磁率9曲線H
cは困難軸方向の保磁力である。この図から明らかなよ
うに、Hf含有率が0原子%4− のCo −W 2 +rQ 6)系合金は、T3 sは
高いが、 HCが高過ぎ、μ(Iが低い。これにHfを
少量添加するとHcが極端に下がり、/Z 6は逆に高
くなる。
は周波数IMHzにおける困難軸方向の透磁率9曲線H
cは困難軸方向の保磁力である。この図から明らかなよ
うに、Hf含有率が0原子%4− のCo −W 2 +rQ 6)系合金は、T3 sは
高いが、 HCが高過ぎ、μ(Iが低い。これにHfを
少量添加するとHcが極端に下がり、/Z 6は逆に高
くなる。
なお、Ll 、fの含有率がある程度以」二になると。
μθは低くなる。一方、F3 gは極端ではないがHf
の含有率の増大どともに低下する傾向にある。
の含有率の増大どともに低下する傾向にある。
このような特性傾向のなかで、Bsを高く保ち、](c
を下げ、高μeにするためには、 I−(fの含有率X
を1原子%以I:でかっ5原子%未満の範囲、好ましく
目]、5□−3原子%の範囲に規制する必要がある。こ
のことはW#有率Yを若干変化させても同様である。。
を下げ、高μeにするためには、 I−(fの含有率X
を1原子%以I:でかっ5原子%未満の範囲、好ましく
目]、5□−3原子%の範囲に規制する必要がある。こ
のことはW#有率Yを若干変化させても同様である。。
第2図は、前記合金組成表において合金中のHf含有率
Xが常に2,2H子%になるようにして、W含有率yを
種々変えた場合の磁気特性図である。
Xが常に2,2H子%になるようにして、W含有率yを
種々変えた場合の磁気特性図である。
この図から明らかなように、W含有率が0原子%のCo
−Hf 2成分系合金も前述と同様に、BSは高いが
、 Heが高過ぎ、μeが低い。これにWを少量添加す
ることによ番目−1cが極端に下がり、11〜 /l eが;ψに高くなる。なお、Wの含有率がある程
度以−ヒになると、μeは低くなる。一方、Bsは極端
ではないがWの含有率の増大とともに低下する傾向があ
る。
−Hf 2成分系合金も前述と同様に、BSは高いが
、 Heが高過ぎ、μeが低い。これにWを少量添加す
ることによ番目−1cが極端に下がり、11〜 /l eが;ψに高くなる。なお、Wの含有率がある程
度以−ヒになると、μeは低くなる。一方、Bsは極端
ではないがWの含有率の増大とともに低下する傾向があ
る。
このような特性傾向のなかで、Bsを高く保ち、Heを
下げ、高μeにするためには、Wの含有率Yを5〜12
原子%、好ましくは6〜8原子%の範囲に規制する必要
がある。このことは1−1f含有率Xを若干変化させて
も同様である。
下げ、高μeにするためには、Wの含有率Yを5〜12
原子%、好ましくは6〜8原子%の範囲に規制する必要
がある。このことは1−1f含有率Xを若干変化させて
も同様である。
第3図は、本発明の実施例に係る磁気記録媒体& dl
a明するための図である。ポリエステル、ポリ、イミド
などの合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニウム板な
どからなる基材1の表面に、Co含有率が90.8原子
%、Hf含有率が2.2原子%、W含有率が7.0原子
%であるC o −Hf −Wの3成分系アモルファス
合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第1の磁
性材薄膜2とする。次にこの第1の磁性材薄膜2の表面
に、コバルトを主成分と【ハこれに少量のクロムを添加
したG o −Crの2成分系合金薄膜をスパッタリン
グによ−)で形ハvして、第2の磁性材薄膜3とする。
a明するための図である。ポリエステル、ポリ、イミド
などの合成樹脂あるいは陽極酸化したアルミニウム板な
どからなる基材1の表面に、Co含有率が90.8原子
%、Hf含有率が2.2原子%、W含有率が7.0原子
%であるC o −Hf −Wの3成分系アモルファス
合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第1の磁
性材薄膜2とする。次にこの第1の磁性材薄膜2の表面
に、コバルトを主成分と【ハこれに少量のクロムを添加
したG o −Crの2成分系合金薄膜をスパッタリン
グによ−)で形ハvして、第2の磁性材薄膜3とする。
この磁性11.1ケIFJ ;シ 3 (/11ff/
i厚は、両者ども約0゜3μ川r47N+ 、、 、−
Jl、 j’、1基4(1ど第1の磁性材薄膜2ど第2
の磁性1才薄膜3とからテープ状あるいはディス/7汰
の磁気記録媒体が構成される。前記磁性t(1脇2 、
31:t M 、1−t 1の両面にdυJろ嚇合もあ
る。
i厚は、両者ども約0゜3μ川r47N+ 、、 、−
Jl、 j’、1基4(1ど第1の磁性材薄膜2ど第2
の磁性1才薄膜3とからテープ状あるいはディス/7汰
の磁気記録媒体が構成される。前記磁性t(1脇2 、
31:t M 、1−t 1の両面にdυJろ嚇合もあ
る。
、二の磁%T、 K11!録媒付、を聞に1央むよ)に
しで、主磁極5と補助磁1itj r;とが配置i’r
さお、−cいる。主磁極5は厚さが約1ツノ稈711″
の1+のC、ガラス、やポリイミド樹脂tcどからろ・
う非磁性#1の基板4」二にスパッタリングによって形
成9!!、扛る。補助磁極6には、コ、イル7が所定タ
ーン数だ1プ巻装、ゴれCいる。この:1−(ルアに記
録されるべき信号I41流を流して主磁極5を補助磁極
6側から励磁すると、主磁極5の先端付近に強いili
;i!磁界が発生する。これによってよ磁彬5の先端r
lF傍にある磁11・材薄膜2.j3が厚さt7向1.
亡(i用0二i、〕(,5第:2の磁性44薄1模3に
データが記録される。第1の磁性材薄膜2は第2磁性材
薄膜3にデータを磁気記録する際、磁路の一部を構成す
るのに役立つ。
しで、主磁極5と補助磁1itj r;とが配置i’r
さお、−cいる。主磁極5は厚さが約1ツノ稈711″
の1+のC、ガラス、やポリイミド樹脂tcどからろ・
う非磁性#1の基板4」二にスパッタリングによって形
成9!!、扛る。補助磁極6には、コ、イル7が所定タ
ーン数だ1プ巻装、ゴれCいる。この:1−(ルアに記
録されるべき信号I41流を流して主磁極5を補助磁極
6側から励磁すると、主磁極5の先端付近に強いili
;i!磁界が発生する。これによってよ磁彬5の先端r
lF傍にある磁11・材薄膜2.j3が厚さt7向1.
亡(i用0二i、〕(,5第:2の磁性44薄1模3に
データが記録される。第1の磁性材薄膜2は第2磁性材
薄膜3にデータを磁気記録する際、磁路の一部を構成す
るのに役立つ。
本発明は前述のように、基材と、その基材の表面に形成
された第1の磁性材薄膜と、その第1の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第2の磁性材薄膜と
を備え、前記第2の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第1の磁性材薄膜が、コバ
ル;〜を主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオ
ブを添加した3成分系のアモルファス合金から構成され
、その合金中におけるハフニウムの含有率を1原子%以
上でかつ5原子%未満、タングステンの含有率を5原子
%以]:、でかっ12原子%以下の範囲に規制したごと
を特徴とするものである。
された第1の磁性材薄膜と、その第1の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第2の磁性材薄膜と
を備え、前記第2の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第1の磁性材薄膜が、コバ
ル;〜を主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオ
ブを添加した3成分系のアモルファス合金から構成され
、その合金中におけるハフニウムの含有率を1原子%以
上でかつ5原子%未満、タングステンの含有率を5原子
%以]:、でかっ12原子%以下の範囲に規制したごと
を特徴とするものである。
前述のアモルファス合金は、保磁力が低く、透磁率なら
びに飽和磁束密度が高く、シかもコバ用1−−クロム系
合金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロ
ム系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。そ
のため優れた記録、再生特性を有し、また第2の磁性材
薄膜を可及的に薄くすることができる。
びに飽和磁束密度が高く、シかもコバ用1−−クロム系
合金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロ
ム系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。そ
のため優れた記録、再生特性を有し、また第2の磁性材
薄膜を可及的に薄くすることができる。
9−
一8・
第1図は本発明に係るC Q −Hf −W系アモルフ
ァス合金中のHf Nff申と各種磁気特性との関係を
示1持1/I:図、第2図は111j記合金中のW含有
率と各種磁気時(1:との関係を示す特性図、第3図は
本発明の実施例に係る磁気記録媒体)a:説明するため
の説明図である。 1・・・基材、2・・・第1の磁性料薄膜、3・・・第
2の磁性材薄膜。 10− 第1図 第2図
ァス合金中のHf Nff申と各種磁気特性との関係を
示1持1/I:図、第2図は111j記合金中のW含有
率と各種磁気時(1:との関係を示す特性図、第3図は
本発明の実施例に係る磁気記録媒体)a:説明するため
の説明図である。 1・・・基材、2・・・第1の磁性料薄膜、3・・・第
2の磁性材薄膜。 10− 第1図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 rl)!l111.Jど、そのJ+!i 4(の表面に
形成された第1の1tlN−目(イil[膜と、その第
1の磁性材薄1漠の表面に形成されC血直異If性k
:1t−4−る第2の磁性材薄膜どを備え、1IiIに
:3第2の磁性]I薄膜が膜厚方向に磁化される磁気記
録媒体においで、前記第1の磁性材薄膜が、二1バルト
を二)・成分どし、それに少鼠のハーフニラ11と9ン
))ステンを添加した3成分系のアモルー) 7+’ス
合ijFから構成され、その合金中におけるハフニラ7
1のafT率11原子%以上でかつ5原子%未満、タン
ノス戸ンの含有率に5原子%以上テカー’) I ’;
!ノIrl I’−’)f1以1;ノ範囲に規制されr
いることを特(蚊ど4゛イ)磁気記録媒体。 (2、特許請求の範囲口゛5(1)項記載におい゛C1
前記第2の磁性)(薄1藺が」バルトおよびクロtl含
む:1パル1−−−クロノ、系合金薄膜から構成されて
いることを・特徴ど4″る磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128719A JPS6021509A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128719A JPS6021509A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6021509A true JPS6021509A (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=14991731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58128719A Pending JPS6021509A (ja) | 1983-07-16 | 1983-07-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021509A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4622273A (en) * | 1983-11-05 | 1986-11-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Recording medium for perpendicular magnetization |
-
1983
- 1983-07-16 JP JP58128719A patent/JPS6021509A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4622273A (en) * | 1983-11-05 | 1986-11-11 | Alps Electric Co., Ltd. | Recording medium for perpendicular magnetization |
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