JPS6021763B2 - クリ−ンル−ムのフイルタ取付構造 - Google Patents
クリ−ンル−ムのフイルタ取付構造Info
- Publication number
- JPS6021763B2 JPS6021763B2 JP14006282A JP14006282A JPS6021763B2 JP S6021763 B2 JPS6021763 B2 JP S6021763B2 JP 14006282 A JP14006282 A JP 14006282A JP 14006282 A JP14006282 A JP 14006282A JP S6021763 B2 JPS6021763 B2 JP S6021763B2
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- Japan
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- filter
- clean room
- mounting structure
- seal
- filter frame
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、風下側よりフィル夕を取付けられるようにし
たクリーンルームのフィルタ取付構造に関する。
たクリーンルームのフィルタ取付構造に関する。
従来、クリーンルームの天井部にフィル夕を取付ける場
合、その取付を容易にするため、フィル夕をその風下側
から取付けるようにする方法がある。
合、その取付を容易にするため、フィル夕をその風下側
から取付けるようにする方法がある。
しかしこの方法によるとフィル夕枠材の側面が風だまり
となり、清浄な空気の流動による洗浄等がないため、空
気清浄装置の作動を中止し下部の機器を使用した時に風
だまりに塵挨が残り、空気清浄装置運転後、残置塵挨が
飛散し、クリーンルーム内が汚染されやすい。そこで本
発明は、クリーンルームにおけるフィル夕の取付けを風
下側から取付可能にするとともに、フィルタ枠材の側面
に風だまりができないようにすることを目的とする。
となり、清浄な空気の流動による洗浄等がないため、空
気清浄装置の作動を中止し下部の機器を使用した時に風
だまりに塵挨が残り、空気清浄装置運転後、残置塵挨が
飛散し、クリーンルーム内が汚染されやすい。そこで本
発明は、クリーンルームにおけるフィル夕の取付けを風
下側から取付可能にするとともに、フィルタ枠材の側面
に風だまりができないようにすることを目的とする。
次に図面により本発明のクＩＪーンルームのフィルタ取
付構造を説明する。
付構造を説明する。
クリーンルームの天井裏の骨組から支持材１を吊り下げ
、クリーンルームの側壁面位置では支持材１を側壁面に
固定する。支持材１は、取付けるクリーンフィル夕の大
きさに応じた格子状に配置され、支持材１の横断面形状
は中央水平部ｌａの両側に断面凹形部ｌｂが形成され、
中央水平部の上面に袋ナット２が取付けられて下方から
ボルトを螺合できるようになっている。なお、側壁面で
の支持材１は第２図に示す通り、フィルタ側の片側での
み断面凹形部ｌｂが形成され、水平部ｌａの上方延長部
が側壁面にボルト等で固定されて、端部がシール材でシ
ールされる。清浄空気を下方に通すフィル夕３は、アル
ミ引抜き材等の金属製の枠材４と一体成形されており、
枠材４の下部は水平部４ａと垂直部４ｂに折曲延長され
て凹溝５を形成する。
、クリーンルームの側壁面位置では支持材１を側壁面に
固定する。支持材１は、取付けるクリーンフィル夕の大
きさに応じた格子状に配置され、支持材１の横断面形状
は中央水平部ｌａの両側に断面凹形部ｌｂが形成され、
中央水平部の上面に袋ナット２が取付けられて下方から
ボルトを螺合できるようになっている。なお、側壁面で
の支持材１は第２図に示す通り、フィルタ側の片側での
み断面凹形部ｌｂが形成され、水平部ｌａの上方延長部
が側壁面にボルト等で固定されて、端部がシール材でシ
ールされる。清浄空気を下方に通すフィル夕３は、アル
ミ引抜き材等の金属製の枠材４と一体成形されており、
枠材４の下部は水平部４ａと垂直部４ｂに折曲延長され
て凹溝５を形成する。
フィル夕３は平面長方形であり、この凹溝５は枠材の４
つの側面にそれぞれ形成される。凹溝５内に、マスチツ
ク又はシリコンオイル或いは特殊鉱油状液体のようにあ
る程度の粘性をもつ液状物で非腐食性かつ非固化性のシ
ール液、またはシール液を含むガスケツト６等のシール
材を入れる。シール液を含むガスケット６の上に軟式合
成樹脂製のシール押え７を配置し、該シール押え７と支
持材の断面凹部ｌｂとの間に粘性を有するシール材１０
を介在させる。
つの側面にそれぞれ形成される。凹溝５内に、マスチツ
ク又はシリコンオイル或いは特殊鉱油状液体のようにあ
る程度の粘性をもつ液状物で非腐食性かつ非固化性のシ
ール液、またはシール液を含むガスケツト６等のシール
材を入れる。シール液を含むガスケット６の上に軟式合
成樹脂製のシール押え７を配置し、該シール押え７と支
持材の断面凹部ｌｂとの間に粘性を有するシール材１０
を介在させる。
シール押え７は、枠材の垂直部４ｂに対応する垂直部と
、該垂直部下方から水平部、上方傾斜部へと折曲つて続
く部分とからなり、シール押え７の垂直部は枠材の垂直
部４ｂに当接する突部７ａが形成され、シール押え７の
傾斜部上端は枠材４に当接する。なおシール押え７は、
各部分の境えに切溝を入れて、支持材の断面凹形部ｌｂ
に押されると前記の通り折れ曲がるようになっている。
フィルタ枠材の凹溝５内にシール液またはシール液を含
むガスケット６とシール押え７とを入れた状態で、フィ
ル夕３における凹溝５を支持材の断面凹形部ｌｂに鼓合
して、該断面凹形部ｌｂがシール押え７を介してシール
液またはシール液を含むガスケット６を押すようにする
。
、該垂直部下方から水平部、上方傾斜部へと折曲つて続
く部分とからなり、シール押え７の垂直部は枠材の垂直
部４ｂに当接する突部７ａが形成され、シール押え７の
傾斜部上端は枠材４に当接する。なおシール押え７は、
各部分の境えに切溝を入れて、支持材の断面凹形部ｌｂ
に押されると前記の通り折れ曲がるようになっている。
フィルタ枠材の凹溝５内にシール液またはシール液を含
むガスケット６とシール押え７とを入れた状態で、フィ
ル夕３における凹溝５を支持材の断面凹形部ｌｂに鼓合
して、該断面凹形部ｌｂがシール押え７を介してシール
液またはシール液を含むガスケット６を押すようにする
。
フィル夕枠村における水平部４ａ下面に例えば金属製の
おさえ板８を当て、該おさえ板の孔にボルト９を通して
、支持材上の袋ナット２に螺合して、フィル夕をクリー
ン室の天井部に固定する。なお、第２図で示すように、
側壁に面する枠材４の下面におさえ板８を当てないが、
枠材の池部分の下面がおさえ板で支持されているので問
題はない。また第２図の場合、側壁と枠材の垂直部４ｂ
間をシリコン等でシールしてもよい。フィル夕３には、
図示しないファンから通常１０〜４仇吻水柱の空気が送
られ、フィル夕３から下方に清浄な空気を流出すること
ができる。
おさえ板８を当て、該おさえ板の孔にボルト９を通して
、支持材上の袋ナット２に螺合して、フィル夕をクリー
ン室の天井部に固定する。なお、第２図で示すように、
側壁に面する枠材４の下面におさえ板８を当てないが、
枠材の池部分の下面がおさえ板で支持されているので問
題はない。また第２図の場合、側壁と枠材の垂直部４ｂ
間をシリコン等でシールしてもよい。フィル夕３には、
図示しないファンから通常１０〜４仇吻水柱の空気が送
られ、フィル夕３から下方に清浄な空気を流出すること
ができる。
そしてフィル夕３と支持材１間は、シール押え７の突部
７ａとフィル夕枠材の垂直部４ｂ間で一次シールされ、
さらにフィルタ枠材水平部４ａと支持材の断面凹形部ｌ
ｂとの圧縮によりシール液を含むガスケット又はマスチ
ツクが圧縮されてシール液が密封作用をするという二次
シールがされさらに支持材１とシール押え７との間もシ
ールされ、フィル夕３を通らずに汚染空気がフィルタ枠
材の支持部からクリーンルームに流出することはない。
なおフィル夕の寿命がシール液の性能劣化により長期に
渡る場合は、フィル夕を取外さないで隣接する一対のフ
ィルタ枠材の垂直部４ｂ間をシリコン等でシールして再
シールすることも可能である。本発明のフィルタ取付構
造は上記の通りであり、フィル夕を風下側から支持材に
取付けられるので、その取付作業が容易である。またフ
ァンからフィルタ上部に送られた空気は、フィル夕を通
過して清浄空気をクリーン室に流出し、従来のように天
井面から下方にフィルタ枠材側面が突出して取付けられ
るということがないので、風だまりがフィルタ枠材の側
面にできることはなく、常にクリーンルーム内を清浄に
保つことができる。
７ａとフィル夕枠材の垂直部４ｂ間で一次シールされ、
さらにフィルタ枠材水平部４ａと支持材の断面凹形部ｌ
ｂとの圧縮によりシール液を含むガスケット又はマスチ
ツクが圧縮されてシール液が密封作用をするという二次
シールがされさらに支持材１とシール押え７との間もシ
ールされ、フィル夕３を通らずに汚染空気がフィルタ枠
材の支持部からクリーンルームに流出することはない。
なおフィル夕の寿命がシール液の性能劣化により長期に
渡る場合は、フィル夕を取外さないで隣接する一対のフ
ィルタ枠材の垂直部４ｂ間をシリコン等でシールして再
シールすることも可能である。本発明のフィルタ取付構
造は上記の通りであり、フィル夕を風下側から支持材に
取付けられるので、その取付作業が容易である。またフ
ァンからフィルタ上部に送られた空気は、フィル夕を通
過して清浄空気をクリーン室に流出し、従来のように天
井面から下方にフィルタ枠材側面が突出して取付けられ
るということがないので、風だまりがフィルタ枠材の側
面にできることはなく、常にクリーンルーム内を清浄に
保つことができる。
第１図は、本発明のフィルタ取付構造の正面断面図、第
２図は側壁近くのフィルタ取付構造の正面断面図である
。 １・・・・・・支持材、ｌｂ・・・・・・断面凹形部、
３・…・・フィル夕、４……枠材、５・・・・・・凹溝
、６・・・・・・ガスケツト、７・・・・・・シール押
え、７ａ・・・・・・突部。 第２図第１図
２図は側壁近くのフィルタ取付構造の正面断面図である
。 １・・・・・・支持材、ｌｂ・・・・・・断面凹形部、
３・…・・フィル夕、４……枠材、５・・・・・・凹溝
、６・・・・・・ガスケツト、７・・・・・・シール押
え、７ａ・・・・・・突部。 第２図第１図
Claims (1)
- １ 断面凹形部を有する支持材を格子状に天井部に取付
け、フイルタの枠材下部を外方水平部と垂直部に延長し
て凹溝を形成し、フイルタ枠材の凹溝内ヘシール材を入
れ、該シール材上を被い少くともフイルタ枠材の垂直部
に当接する突部を有するシール押えをシール材上に配置
し、該シール押え上面を支持材の断面凹形部下面に当接
し、フイルタ枠材をボルト等で支持材に固定したクリー
ンルームのフイルタ取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14006282A JPS6021763B2 (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | クリ−ンル−ムのフイルタ取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14006282A JPS6021763B2 (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | クリ−ンル−ムのフイルタ取付構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929017A JPS5929017A (ja) | 1984-02-16 |
| JPS6021763B2 true JPS6021763B2 (ja) | 1985-05-29 |
Family
ID=15260089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14006282A Expired JPS6021763B2 (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | クリ−ンル−ムのフイルタ取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6021763B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5865674A (en) * | 1995-12-22 | 1999-02-02 | Envirco Corporation | Flush lighting system for cleanroom |
-
1982
- 1982-08-11 JP JP14006282A patent/JPS6021763B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5929017A (ja) | 1984-02-16 |
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