JPS60223033A - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関する。

〔背景技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基板を真空槽内に配設し
たガイドロール等を介して円筒状キャンの周側面に沿っ
て案内走行させ、この基板上に強磁性材を真空蒸着する
などしてつくられており、ガイドロール間を走行する基
板の張力を基板送り速度の調整等により適度に調整して
、走行する基板に皺等が生じたり、強磁性金属薄膜層に
亀裂が生じたりしないようにしている。

ところが、基板上への強磁性材の真空蒸着等は非常な高
温で行われるため、基板が伸び変形したりして、たとえ
ガイドロールの平行度が正確であっても、走行する基板
の走行方向の張力が基板の両端部等ｌＪ方向で不均一に
なり易く、このわずかな基板の変形によって、基板に皺
が生じたり、基板上に形成された靭性の低い強磁性金属
薄膜層に亀裂が生じたりするなどの難点があり、このよ
うな基板の伸び変形等に起因して生じる基板の皺や強磁
性金属薄膜層の亀裂は、ガイドロール間を走行する基板
の張力を基板送り速度の調整等によ殊適度に調整するだ
けでは充分に防止することができない。

〔発明の目的〕 この発明はかかる現状に鑑み、強磁性金属薄膜型磁気記
録媒体の製造装置におけるガイドロール間に基板張力検
出装置を配設して、ガイドロールの平行度を基板の張力
差に応じて調整し、常に基板の命中の走行方向の張力が
均一となるように保持して、基板に皺が生じたり強磁性
金属薄膜層に亀裂が生じたりするのを良好に抑制し、得
られる磁気記録媒体の歩留りを良好にすることを目的と
してなされたものである。

〔発明の概要〕

この発明は、真空槽内に、基板移動支持装置とこの基板
移動支持装置に対向する強磁性材供給源とを配設してな
る磁気記録媒体製造装置において、基板移動支持装置間
に配設されたガイドロール間に、基板に接して基板の走
行方向に回転するロールを回転自在に基板の１Ｊ方向に
回転可能な支持アームに枢支させてなる基板張力検出装
置を配設し、この基板張力検出装置の基板に接して回転
するロール長さ間での基板走行方向の張力に張力差が生
じたときその張力差を検出して、この張力差に基づき適
宜連動機構を介してガイドロールの平行度を調整しなが
ら、基板を走行案内させることを特徴とするもので、基
板張力検出装置の基板に接して基板の走行方向に回転す
るロールでもって、ロール長さ間での基板の走行方向の
張力の不均一を検出し、この検出された張力差により、
適宜連動機構を介してガイドロールの平行度を調整して
いるため、ガイドロールの平行度が常に基板の変形等に
対応して張力差が生じないように保持され、基板に皺が
発生したり、強磁性金属薄膜層に亀裂が生じることもな
く、電磁変換特性に優れた磁気記録媒体が得られ、歩留
りが向上される。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、１
は真空槽でこの真空槽１の内部は仕切板２によって区画
分離され、それぞれ排気系３および４によって真空に保
持される。５は真空槽１の中央部に前記区画分離された
２室に跨がり配設された円筒状キャンであり、ポリエス
テルフィルム等の基板６は原反ロール７より、ガイドロ
ール８を介してこの円筒状キャン５の周側面に沿って移
動し、ガイドロール９．１０．１１を介して巻き取りロ
ール１２に巻き取られる。ごの間円筒状キ中ン５の周側
面に沿って移動する基板６に対向して真空槽１の下部に
配設された強磁性材蒸発源１３で強磁性材１４が加熱蒸
発され、この蒸気流が防着板１５の作用により基板６に
斜め方向に差し向けられて斜め入射蒸着が行われる。

１６はガイドロール９および１０間を走行する基板６に
接して回転するロールであり、このロール１６は第２図
に示すように、基板６のｌ】方向に回転可能な支持アー
ム１７に回転自在に枢支されている。しかしてこのよう
なロールＩ６と支持アーム１７とからなる基板張力検出
装置Ａのロール１６が、ガイドロール９および１０間を
走行する基板６に接して回転するように配設されると、
たとえば、ロール１６の右端部が接する基板６に伸び変
形が認められる場合、ロール１６は支持アーム１７とと
もにロール１６の左端部が接する基板６に引っ張られて
左回転し、この左回転によって基板６の張力差が検出さ
れる。そしてこの検出された張力差は電気系統を介して
適宜連動機構に伝達され、適宜連動機構によりガイドロ
ール９および１０の平行度が基板６の伸び変形等に応じ
て基板６の命中において走行方向に張力差が生じないよ
うに調整される。従って、基板６は常にガイドロール９
および１０により基板６の状態に応じた平行度に保持さ
れ、張力差を生じることな（走行案内されるため、基板
に皺が生じることもなく、また基板上に真空蒸着等によ
って形成された強磁性金属薄膜層に亀裂が生じることも
ない。

なお、走行する基板６が熱等により変形するのは真空蒸
着等によって高温下にさらされるためであることが多い
ため、このような基板張力検出装置は基板６上に強磁性
金属薄膜層を形成した後、巻き取りロール１２に巻き取
られるまでの間に接するガイドロール間に配設するのが
好ましく、原反ロール７から円筒状キャン５に至る間の
ガイドロール間には必ずしも配設する必要はない。

このような、基板張力検出装置Ａの支持アーム１７に回
転自在に枢支されるロール１６は、材質は特に限定され
ないが、エツジ部が丸く、腹部は若干太鼓型に膨らんだ
形状であるのが、基板６の張力差を検出し易いため好ま
しい。

また、図面において図示した基板張力検出装置Ａは、基
板６の巾等に応じて１以上複数個使用され、使用数が多
いほど基板６の張力差が詳細に検出される。

強磁性金属薄膜層を形成する基板としては、ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等一般に使用きれている高
分子成形物からなるプラスチックフィルムおよび銅など
の非磁性金属板が使用され、強磁性金属薄膜層の形成は
、真空蒸着の他、スパッタリングおよびイオンブレーテ
ィング等の手段によっても行われる。

また強磁性材としては、コバルト、ニッケル、鉄などの
金属単体の伯、これらの合金あるいは酸化物、およびＣ
ｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐなど一般に使用される強磁性材
が広（使用される。

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図に示すように円筒状キャン５と原反ロール７およ
び巻き取りロール１２間にガイドロール８．９，１０．
１１を配設し、また基板張力検出装置Ａ（７）長さが２
７　Ｏｎ＋ｏ、曲率半径が８００１１０１（７）太鼓型
ロール１６をガイドロール９および１ｏ間を走行する基
板６に接するように配設した真空蒸着装置を使用し、厚
さが１１μでｉＪが５００ｍｍのポリエステルフィルム
６を原反ロール７よリガイドロール８を介して円筒状キ
ャン５の周側面に沿って移動させ、ガイドロール９、ロ
ール１６、ガイドロールＩＯおよび１１を介して巻き取
りロール１２に巻き取るようにセントするとともに強磁
性材蒸発源Ｉ３にコバルト−ニッケル合金（重量比８５
：１５）１４をセントした。次いで、排気系３および４
で真空槽１内を５Ｘ１０−５１−−ルに５まで真空排気
し、コバルト−＝ッヶル合金１４を加熱蒸発させて、基
板送り速度１０　ｍ　／ｗｉｎ　、基板張力約５Ｋｇ／
　５００ａｉｍで、ガイド−ロール９および１０の平行
度を調整しながらポリエステルフィルム６上に厚さが０
．１μのコバルート−ニッケル合金からなる強磁性金属
薄膜層を形成した。しかる後、これを所定の巾に裁断し
て磁気テープをっ（った。

比較例１ 実施例１において、基板張力検出装置Ａを配設せず、ガ
イドロール９および１ｏの平行度調整を省いた以外は実
施例１と同様にして磁気テープをつくった。

実施例および比較例においてガイドロール１゜の手前で
皺の発生を観察したところ、比較例ではｌｔ＋カ１８回
／　１０００　ｍ蒸着の頻度で生じたが、実施例では全
く生じなかった。また、実施例および比較例で得られた
磁気テープについて、皺の有無および強磁性金属薄膜層
の亀裂の有無を観察した結果、比較例で得られた磁気テ
ープは皺および強磁性金属薄膜層の亀裂が若干認められ
たが、実施例で得られた磁気テープでは全く認められな
かった・ 〔発明の効果〕 以上の結果から明らかなように、比較例では真空蒸着直
後および得られた磁気テープに、皺および強磁性金属薄
膜層の亀裂が認められたが、実施例では皺および強磁性
金属薄膜層の亀裂が全くなく、このことからこの発明の
製造方法および装置によれば、磁気記録媒体製造時に発
生ずる皺や強磁性金属薄膜層の亀裂が極めて効果的に抑
制されて電磁変換特性に優れた磁気記録媒体が得られ、
歩留りが向上されることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の１例を示す概略断面図、第２図は基板張
力検出装置の斜視図である。 １・・・真空槽、５・・・円筒状キャン、６・・・基板
、７・・・原反ロール、８．９．１０．１１・・・ガイ
ドロール、１２・・・巻き取りロール、１３・・・強磁
性材蒸発源、１４・・・強磁性材、１５・・・ロール、
１７・・・支持アーム、Ａ・・・基板張力検出装置 第１図 第２− Ｉ／

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空槽内で、基板移動支持装置により連続的に移動
   する基板に、強磁性材供給源から強磁性材を供給して強
   磁性金属薄膜層を形成する磁気記録媒体の製造方法にお
   いて、基板移動支持装置間に配設されたガイドロール間
   に、基板に接して基板の走行方向に回転するロールを回
   転自在に基板の１］方向に回転可能な支持アームに枢支
   させてなる基板張力検出装置を配設し、この基板張力検
   出装置の基板に接して回転するロール長さ間での基板走
   行方向の張力に張力差が生じたときその張力差を検出し
   て、この張力差に基づき適宜連動機構を介してガイドロ
   ールの平行度を調整しながら、基板を走行案内させるこ
   とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法 ２、真空槽内に、基板移動支持装置とこの基板移動支持
   装置に対向する強磁性材供給源とを配設してなる磁気記
   録媒体製造装置において、基板移動支持装置間に配設さ
   れたガイドロール間に、基板に接して基板の走行方向に
   回転するロールを回転自在に基板の中方向に回転可能な
   支持アームに枢支させてなる基板張力検出装置を配設し
   、この基板張力検出装置の基板に接して回転するロール
   長さ間での基板走行方向の張力に張力差が生したときそ
   の張力差を検出して、この張力差に基づき適宜連動機構
   を介してガイドロールの平行度を調整しながら、基板を
   走行案内させるようにしたことを特徴とする磁気記録媒
   体製造装置