JPS6022385A - レ−ザ−装置 - Google Patents
レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS6022385A JPS6022385A JP58131249A JP13124983A JPS6022385A JP S6022385 A JPS6022385 A JP S6022385A JP 58131249 A JP58131249 A JP 58131249A JP 13124983 A JP13124983 A JP 13124983A JP S6022385 A JPS6022385 A JP S6022385A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- laser
- visible
- detector
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は炭酸ガスレーザー、ＹＡＧレーザ−。
エキシマレーザ−等を利用したレーサー装置に関するも
のである。
のである。
従来例の構成とその問題点
炭酸ガスレーザーのような非可視レーザーを用いたレー
ザー装置では、その操作性、安全性等の面でヘリウムネ
オンレーザ−等の可視レーザーを重畳することが行われ
ている。
ザー装置では、その操作性、安全性等の面でヘリウムネ
オンレーザ−等の可視レーザーを重畳することが行われ
ている。
第１図に、通常行われている炭酸ガスレーザーにヘリウ
ムネオンレーザ−を重畳する方法を示す０図中、１は非
可視光である炭酸ガスレーザー光束を、２は可視光であ
るヘリウムネオンレーザ−光束を示す。ヘリウムネオン
レーザ−光束２は、４６゜に置かれた環状ミラー３によ
って折曲げられ炭酸ガスレーザー光束１を包むようにし
て、集光系４に導かれ、焦点５に結像する〇 この場合炭酸ガス１ノ−サー発振器からレンズ等の集光
系４までの導光路は、安全のため金属・非金属の筒等で
おおっていて、直接人間の身体に触れないようにしであ
る。
ムネオンレーザ−を重畳する方法を示す０図中、１は非
可視光である炭酸ガスレーザー光束を、２は可視光であ
るヘリウムネオンレーザ−光束を示す。ヘリウムネオン
レーザ−光束２は、４６゜に置かれた環状ミラー３によ
って折曲げられ炭酸ガスレーザー光束１を包むようにし
て、集光系４に導かれ、焦点５に結像する〇 この場合炭酸ガス１ノ−サー発振器からレンズ等の集光
系４までの導光路は、安全のため金属・非金属の筒等で
おおっていて、直接人間の身体に触れないようにしであ
る。
上記の導光路は、通常１ｍ以内であジ、導光路をおおっ
た金属・非金属カバーをはずすことは少ない。しかし、
中には、導光路が長く、４ｍから６ｍの離れた地点が加
工点となる場合がある。導光路にはカバーをかぶせるが
、カバーをはずしたま＼、炭酸ガスレーザーを発振させ
調整を行う必要が生ずる。
た金属・非金属カバーをはずすことは少ない。しかし、
中には、導光路が長く、４ｍから６ｍの離れた地点が加
工点となる場合がある。導光路にはカバーをかぶせるが
、カバーをはずしたま＼、炭酸ガスレーザーを発振させ
調整を行う必要が生ずる。
この際、誤って人体が炭酸ガスレーザー光に曝されるこ
とがあり、非常に危険であった。
とがあり、非常に危険であった。
発明の目的
本発明は従来の上記欠点を解消するもので、いかなる場
合でも人体が大出力非可視レーザー光に曝されることの
ない安全性の高いレーザー装置を提供することを目的と
する〇 発明の構成 本発明は上記目的ｋｉｎ’＜’するもので、非可視レー
ザー光の光路に傾斜して設けられ、可視レーザー光全反
射する反射面を有する光学部品を備え、前記反射面は、
周縁ｉＩ域近傍に設けられた傾斜面と中央部分の平坦面
とからなり、前記平坦面の中央近傍を貫通して設けられ
た開孔部を通して、前記反射面の反対側より入射された
非可視レーザー光に・、前記平坦面で反射された可視レ
ーサー光全重畳させるとともに、前記傾斜面で反射さり
、 ／こｉｊＪ視レーし−光の光路上に少なくとも１個
の検出器を設け、前記検出器の検出信号により、非ｉＪ
視［−一す−光の光路上に設けられた遮蔽手段全開閉す
るか又は非可視レーザー光の発振ｋ 停止するようにし
たものである。
合でも人体が大出力非可視レーザー光に曝されることの
ない安全性の高いレーザー装置を提供することを目的と
する〇 発明の構成 本発明は上記目的ｋｉｎ’＜’するもので、非可視レー
ザー光の光路に傾斜して設けられ、可視レーザー光全反
射する反射面を有する光学部品を備え、前記反射面は、
周縁ｉＩ域近傍に設けられた傾斜面と中央部分の平坦面
とからなり、前記平坦面の中央近傍を貫通して設けられ
た開孔部を通して、前記反射面の反対側より入射された
非可視レーザー光に・、前記平坦面で反射された可視レ
ーサー光全重畳させるとともに、前記傾斜面で反射さり
、 ／こｉｊＪ視レーし−光の光路上に少なくとも１個
の検出器を設け、前記検出器の検出信号により、非ｉＪ
視［−一す−光の光路上に設けられた遮蔽手段全開閉す
るか又は非可視レーザー光の発振ｋ 停止するようにし
たものである。
実施例の説明
本発明の一実施例であるレーザー装置の１現略図を第２
図に示す。
図に示す。
図において、６は大出力非可視し−サー光ｆ：発生する
炭酸ガスレーザー発振器、７は可視レーザー光を発生す
るヘリウムネオンレーザ−発振器、８は前記非可視レー
ザー光に可視レー→）−一部を重畳させると同時に可視
レーザー光の一部を分割する役目を果たすミラー、９は
仮照財物、４ばｉコＪ視し−ザー光を重畳した非凸」視
レーサー光を級１■７（財物に集光さゼる集光系、１０
（１ミラー８により分割された可視レーサー光を検出す
る、例えばフォトトランジスターの如き高速検出器、１
１は検出器１０からの信号を処理し、リレーを駆動する
論理駆動回路、１２は論理駆動回路１１からの信号によ
り作動するシャッターである。
炭酸ガスレーザー発振器、７は可視レーザー光を発生す
るヘリウムネオンレーザ−発振器、８は前記非可視レー
ザー光に可視レー→）−一部を重畳させると同時に可視
レーザー光の一部を分割する役目を果たすミラー、９は
仮照財物、４ばｉコＪ視し−ザー光を重畳した非凸」視
レーサー光を級１■７（財物に集光さゼる集光系、１０
（１ミラー８により分割された可視レーサー光を検出す
る、例えばフォトトランジスターの如き高速検出器、１
１は検出器１０からの信号を処理し、リレーを駆動する
論理駆動回路、１２は論理駆動回路１１からの信号によ
り作動するシャッターである。
本実施例のミラー８の拡大図を第３図に示す。
ミラー８には中央に開孔部１４が設けられており、非可
視レーザー光１６はこの開孔部１４を紙面左から右へ通
過する。またミラー８は円板状をしているが、さらに周
縁近くで勤径方向の外側に向って下降する傾斜面１６を
備えている。
視レーザー光１６はこの開孔部１４を紙面左から右へ通
過する。またミラー８は円板状をしているが、さらに周
縁近くで勤径方向の外側に向って下降する傾斜面１６を
備えている。
可視レーザー光１７は非可視レーザー光１６と垂直な方
向からミラー８に入射され、開孔部１４を通って放出さ
れるものを除き、非可視レーザー光１６の光束軸１３の
方向に折り曲げられ、可視レーザー光１８は非可視レー
ザー光１６を取り囲むように重畳され、加工時の利便に
供する。
向からミラー８に入射され、開孔部１４を通って放出さ
れるものを除き、非可視レーザー光１６の光束軸１３の
方向に折り曲げられ、可視レーザー光１８は非可視レー
ザー光１６を取り囲むように重畳され、加工時の利便に
供する。
一方可視し−ザ′−光１７のうち前記傾斜面１６で反射
された可視レーザー光１９は、第２図に示した１個以上
の検出器１０で検出される。
された可視レーザー光１９は、第２図に示した１個以上
の検出器１０で検出される。
次に第２図乏用いて本実施例の動作説明を行う。
正常状態では炭酸ガスレーザー発振器６から出だレーザ
ー光はシャッタ１２でさえき゛られることなく（すなわ
ちシャッタ１２は開）ミラー８によりヘリウムネオンレ
ーザ−光を重畳し、集光系４により被照射物９上に照射
されている。
ー光はシャッタ１２でさえき゛られることなく（すなわ
ちシャッタ１２は開）ミラー８によりヘリウムネオンレ
ーザ−光を重畳し、集光系４により被照射物９上に照射
されている。
この時、ヘリウムネオンレーサー発振器７からのヘリウ
ムネオンレーサー光の一７５Ｂはミラー８の傾斜面（第
３図の１６で示す）で反射され検出器１０に導入されて
おり、常に検出信号か送り出されている。
ムネオンレーサー光の一７５Ｂはミラー８の傾斜面（第
３図の１６で示す）で反射され検出器１０に導入されて
おり、常に検出信号か送り出されている。
この正常状卯では、炭酸ガスレーザー発振器６の励起は
行われ、発振器の出力窓の外１１１１ ＋ｒｔｃ置かれ
たシャッター１２は開の状態にある。
行われ、発振器の出力窓の外１１１１ ＋ｒｔｃ置かれ
たシャッター１２は開の状態にある。
もし、検出器に４かれるヘリウムネオン光が途中で人体
等に遮られ、検出器１ｏに導がれないとすると、検出器
１０からの信号はセロとなる。このとき論理・駆動回路
１１によＶ直ちにツヤツタ−１２が閉の状態となり、高
出力の炭酸ガスレーザー光は遮断されるので、人体が高
出力のレーザー光に曝爆れることはない。
等に遮られ、検出器１ｏに導がれないとすると、検出器
１０からの信号はセロとなる。このとき論理・駆動回路
１１によＶ直ちにツヤツタ−１２が閉の状態となり、高
出力の炭酸ガスレーザー光は遮断されるので、人体が高
出力のレーザー光に曝爆れることはない。
検出器１ｏにヘリウムネオン光が導入されなくなった時
、シャッター１２を閉にするがわりに炭酸ガスレーザー
発振器６の励起を停止するように論理・駆動回路１１を
作動させても同じ効果が得られる。
、シャッター１２を閉にするがわりに炭酸ガスレーザー
発振器６の励起を停止するように論理・駆動回路１１を
作動させても同じ効果が得られる。
安全性金増すには、ヘリウムネオン光を受ける検出器１
０の数を複数個にして、いずれが１個の検出器１０の信
号がゼロｖｃなれ（ブ、励起手段の停止又は、シャッタ
ーの閉状！序が瞬時に生ずる様にすれはよい。
０の数を複数個にして、いずれが１個の検出器１０の信
号がゼロｖｃなれ（ブ、励起手段の停止又は、シャッタ
ーの閉状！序が瞬時に生ずる様にすれはよい。
検出器１０の信号を処理する論理・駆動回路１１の具体
的回路図を第４図に示す。
的回路図を第４図に示す。
図は検出器１０を２個設けた場合を示している〇ヘリウ
ムネオンレーザー光を検知するフォトトランジスター２
０の信号１ＡＮＤ回路２１−で処理し、トランジスター
２２の信号でリレー２３を駆動し、シャッター１２全開
閉するように構成されている。
ムネオンレーザー光を検知するフォトトランジスター２
０の信号１ＡＮＤ回路２１−で処理し、トランジスター
２２の信号でリレー２３を駆動し、シャッター１２全開
閉するように構成されている。
今、たとえば集光系４の外側１０ｃｒｒＬの所に上記構
成のフォトトランジスター２０を配置したとする。
成のフォトトランジスター２０を配置したとする。
フォトトランジスター２０に入るヘリウムネオン光を遮
光して、炭酸ガスレーザー元金よき゛る迄に通常の人体
の動きでは約１００ｍ５ｅｃｌ’Ｊ上かかるので、第４
図に示す回路構成の場合、この間にリレー２３が作動し
シャッター１２を閉じることができだ。
光して、炭酸ガスレーザー元金よき゛る迄に通常の人体
の動きでは約１００ｍ５ｅｃｌ’Ｊ上かかるので、第４
図に示す回路構成の場合、この間にリレー２３が作動し
シャッター１２を閉じることができだ。
発明の効果
り、上のように本発明は非町視レーザー光の光路に傾斜
して設けられ、ロ■祝し−ザー元を反射する反射面金層
する光学部品を備え、前記反射面は、周縁領域近傍の傾
斜面と中央部分の平坦面とからなジ、前記平坦面の中央
近傍を貫通して設けられた開孔部全通して、前記反射面
の反対側より入射された非可視レーザー光に、前記平坦
面で反射された可視レーザー光を重畳させるとともに、
前記傾斜面で反射された可視レーサー光の光路上に少な
くとも１個の検出器を設け、前記検出器の検出信号によ
り、非可視レーザー光の光路」二に設けられた遮蔽手段
を開閉するか又は非可視レーザー光の発振を停止するよ
うにしたことを特徴とするレーザー装置で作業中に人体
等が高出力のレーサー光に曝されることなく安全性の高
いものである。
して設けられ、ロ■祝し−ザー元を反射する反射面金層
する光学部品を備え、前記反射面は、周縁領域近傍の傾
斜面と中央部分の平坦面とからなジ、前記平坦面の中央
近傍を貫通して設けられた開孔部全通して、前記反射面
の反対側より入射された非可視レーザー光に、前記平坦
面で反射された可視レーザー光を重畳させるとともに、
前記傾斜面で反射された可視レーサー光の光路上に少な
くとも１個の検出器を設け、前記検出器の検出信号によ
り、非可視レーザー光の光路」二に設けられた遮蔽手段
を開閉するか又は非可視レーザー光の発振を停止するよ
うにしたことを特徴とするレーザー装置で作業中に人体
等が高出力のレーサー光に曝されることなく安全性の高
いものである。
第１図は従来性われている炭酸ガスレーザーにヘリウム
ネオンレーサー全重畳する方法を説明する図、第２図は
本発明の一実施セリであるレーザー装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例のミラ一部分の拡大図、第４図は
本発明の一実施例の論理・駆動回路の具体的回路図であ
る。 １・・・・・・炭酸ガスレーサー光束、２・・・・・・
ヘリウムネオンレーザ−光束、３・・−・−・環状ミラ
ー、４・・・・・・集光鏡、６・・・・・・焦点、６・
・・・・・炭酸ガスレーサー発振器、７・・・・・・ひ
リウムネオンレーサー発振器、８・・・・・・ミラー（
光学部品）、９山由被照射物、１０・・・・・検出器、
１１・・・・・・論理・駆動回路、１２・・・・・・シ
ャッター、１３・・・・・・光軸、１４・・・・・・開
Ｉし部、１６・・・・・非可視レーザー光、１６・・・
・・・傾斜面、１７・・・・・・可視レーザー光、１８
．１９・・・・・・可視レーサーＥ ＪＪＪ光、２０・
・・・−・フォトトランジス２−１２１・・・・・ＡＮ
Ｄ回路、２２・・曲・トランジスタ、２３・川・・リレ
ー。 第１図
ネオンレーサー全重畳する方法を説明する図、第２図は
本発明の一実施セリであるレーザー装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例のミラ一部分の拡大図、第４図は
本発明の一実施例の論理・駆動回路の具体的回路図であ
る。 １・・・・・・炭酸ガスレーサー光束、２・・・・・・
ヘリウムネオンレーザ−光束、３・・−・−・環状ミラ
ー、４・・・・・・集光鏡、６・・・・・・焦点、６・
・・・・・炭酸ガスレーサー発振器、７・・・・・・ひ
リウムネオンレーサー発振器、８・・・・・・ミラー（
光学部品）、９山由被照射物、１０・・・・・検出器、
１１・・・・・・論理・駆動回路、１２・・・・・・シ
ャッター、１３・・・・・・光軸、１４・・・・・・開
Ｉし部、１６・・・・・非可視レーザー光、１６・・・
・・・傾斜面、１７・・・・・・可視レーザー光、１８
．１９・・・・・・可視レーサーＥ ＪＪＪ光、２０・
・・・−・フォトトランジス２−１２１・・・・・ＡＮ
Ｄ回路、２２・・曲・トランジスタ、２３・川・・リレ
ー。 第１図
Claims (1)
- 非可視レーザー光の光路に傾斜して設けられ、可視レー
ザー光を反射する反射面を有する光学部品を備え、前記
反射面は、周縁領域近傍に設けられた傾斜面と中央部分
の平坦面とからなり、前記平坦面の中央近傍を貫通して
設けられた開孔部を通して、前記反射面の反対側より入
射された非可視レーザー光に、前記平坦面で反射された
可視レーザー光を重畳させるとともに、前記傾斜面で反
射された可視レーザー光の光路上に少なくとも１個の検
出器を設け、前記検出器の検出信号により、非可視レー
ザー光の光路上に設けられたー遮蔽手段を開閉するか又
は非可視レーザー光の発振を停止するようにしたことを
特徴とするレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131249A JPS6022385A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131249A JPS6022385A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022385A true JPS6022385A (ja) | 1985-02-04 |
| JPH0454998B2 JPH0454998B2 (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=15053487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58131249A Granted JPS6022385A (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022385A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4802079A (en) * | 1987-05-15 | 1989-01-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | PWM control apparatus for interphase reactor multiplex inverter |
| JPH05505250A (ja) * | 1990-04-30 | 1993-08-05 | ロフイン―ジナール レーザー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | レーザー光の伝送装置 |
-
1983
- 1983-07-18 JP JP58131249A patent/JPS6022385A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4802079A (en) * | 1987-05-15 | 1989-01-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | PWM control apparatus for interphase reactor multiplex inverter |
| JPH05505250A (ja) * | 1990-04-30 | 1993-08-05 | ロフイン―ジナール レーザー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | レーザー光の伝送装置 |
| US5323269A (en) * | 1990-04-30 | 1994-06-21 | Siemens Aktiengesellschaft | System for transmitting and monitoring laser light and method for optical monitoring of a transmission path |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0454998B2 (ja) | 1992-09-01 |
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