JPS6022650A - 光学デイスク検査装置 - Google Patents
光学デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPS6022650A JPS6022650A JP59121361A JP12136184A JPS6022650A JP S6022650 A JPS6022650 A JP S6022650A JP 59121361 A JP59121361 A JP 59121361A JP 12136184 A JP12136184 A JP 12136184A JP S6022650 A JPS6022650 A JP S6022650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- disk
- defect
- output
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は映像情報、音情報を微小のピットとして記録す
る光学ディスクにおけるピット以外の凹凸の傷を検出す
ることができる光学ディスク検査装置に関するものであ
る。
る光学ディスクにおけるピット以外の凹凸の傷を検出す
ることができる光学ディスク検査装置に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
光学ディスクは映像情報等をディスク表面に微小ピット
として記録している。このような光学ディスクに微小ピ
ット以外に凹凸や傷があると、内生時にこの凹凸や傷が
ノイズとして生じる。
として記録している。このような光学ディスクに微小ピ
ット以外に凹凸や傷があると、内生時にこの凹凸や傷が
ノイズとして生じる。
第１〆は平面板の微小欠陥を検出する従来の検査装置の
概略を示している。第１図において、１は被測定物であ
り、その表面はきれいにみがかれている。２は被測定物
１に照射されるレーザー光であり、とのレーザ光２は被
測定物１の表面に微小スポットに絞られている。３は反
射光であり、この反射光３の強度分布は八である。被ｄ
ｌｌｌ定物１の表面に欠陥がない場合には反射光は」−
記反射光３のみであるが、被測定物１の表面に欠陥かあ
ると、例えば第１図に破線で示す様な強度分布Ｂの反射
光（丑たけ散乱光）が生じる。この反射光（または散乱
光）の反射角度θは欠陥の大きさ。
概略を示している。第１図において、１は被測定物であ
り、その表面はきれいにみがかれている。２は被測定物
１に照射されるレーザー光であり、とのレーザ光２は被
測定物１の表面に微小スポットに絞られている。３は反
射光であり、この反射光３の強度分布は八である。被ｄ
ｌｌｌ定物１の表面に欠陥がない場合には反射光は」−
記反射光３のみであるが、被測定物１の表面に欠陥かあ
ると、例えば第１図に破線で示す様な強度分布Ｂの反射
光（丑たけ散乱光）が生じる。この反射光（または散乱
光）の反射角度θは欠陥の大きさ。
形状等によって異なる。４は被測定物１の表面ヒのレー
ザ光２の照射点の上部に配置された口ｆ子の広いレンズ
であり、このレンズ４の周辺とレーザ光２の照射点とを
結ぶ線の内部の光１１１（斜線部分）がレンズ４で集光
され光検出器５に・入射する。
ザ光２の照射点の上部に配置された口ｆ子の広いレンズ
であり、このレンズ４の周辺とレーザ光２の照射点とを
結ぶ線の内部の光１１１（斜線部分）がレンズ４で集光
され光検出器５に・入射する。
第１図において、被測定物１の表面に欠陥がない場合に
は、反射光３のみであり、光検出器５に反射光（′−！
たは散乱光）が入射しない。一方、被測定物１０表面に
欠陥がある場合には、Ｂの反射光を検出するため、欠陥
の伺無が判別できるものである。
は、反射光３のみであり、光検出器５に反射光（′−！
たは散乱光）が入射しない。一方、被測定物１０表面に
欠陥がある場合には、Ｂの反射光を検出するため、欠陥
の伺無が判別できるものである。
」二足従来の検査装置では、表面にピットがあるディス
クのピット以外の欠陥を検出することは困難である。
クのピット以外の欠陥を検出することは困難である。
第２図は、上１１Ｌ従来の検査装置を用いてピットをイ
１するディスク表面の欠陥を検出する状態を示している
。この場合、反射光３０強度分布は、ディスク１′表面
のピットによる回折が生じるため（（、第２図にＡ′
で示すように広い分布となる。
１するディスク表面の欠陥を検出する状態を示している
。この場合、反射光３０強度分布は、ディスク１′表面
のピットによる回折が生じるため（（、第２図にＡ′
で示すように広い分布となる。
一方、欠陥による反射光の強度分布が第１図におけるＢ
と同じであるとすると、欠陥がある場合に光検出器５が
受光する光量は、反則光３の強度分布Ａ′の内の点々で
示す部分と、欠陥による反射光の強度分布Ｂの内の斜線
部分との和である。一方、第２図において、ディスク１
′表面に欠陥が無い場合、光検出器５が受光する光量は
、反則光３０強度分布Ａ′の内の点々で示す部分であり
、欠陥がある場合とない場合との光検出器に大引する光
量の比が小さい。すなわちＳ／Ｎが悪く欠陥の有無を判
別することか困難であるという欠点を有していた。
と同じであるとすると、欠陥がある場合に光検出器５が
受光する光量は、反則光３の強度分布Ａ′の内の点々で
示す部分と、欠陥による反射光の強度分布Ｂの内の斜線
部分との和である。一方、第２図において、ディスク１
′表面に欠陥が無い場合、光検出器５が受光する光量は
、反則光３０強度分布Ａ′の内の点々で示す部分であり
、欠陥がある場合とない場合との光検出器に大引する光
量の比が小さい。すなわちＳ／Ｎが悪く欠陥の有無を判
別することか困難であるという欠点を有していた。
発り１の１１勺
本発明は」二足従来の欠点を除去するものであり、光学
ディスクのビット以外の凹凸や傷等の欠陥を検出する光
学ディスク検査装置を提供することを目的とするもので
ある。
ディスクのビット以外の凹凸や傷等の欠陥を検出する光
学ディスク検査装置を提供することを目的とするもので
ある。
発明の構成
本発明は、ピットを有するディスク表面に微小スポット
のレーザ光を照射するレーザ照射装置と、上記レーザー
光の上記ディスク表面での反射を軸を除く部分に配置さ
れた複数個の光検出器と、この各光検出器の出力を増幅
する複数個の増幅器と、この各増幅器の出力と設定電圧
直とを比較する複数個の比較器とを具備した構成とな−
・ており、これにより映像情報、音情報を微小のピット
として記録する光学ディスクにおけるビット以外の凹凸
の傷を検出することができるものである。
のレーザ光を照射するレーザ照射装置と、上記レーザー
光の上記ディスク表面での反射を軸を除く部分に配置さ
れた複数個の光検出器と、この各光検出器の出力を増幅
する複数個の増幅器と、この各増幅器の出力と設定電圧
直とを比較する複数個の比較器とを具備した構成とな−
・ており、これにより映像情報、音情報を微小のピット
として記録する光学ディスクにおけるビット以外の凹凸
の傷を検出することができるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について第３図とともに説り１す
る。
る。
第３図において、６はディスク１表面のレーザ光２の照
’Ｗ部の１１力、すなわち反射光３の光軸と異なる方向
に配置された多数個の光検出器であり、各光検出器６の
出力は増幅器７で増幅され、比較器８に入力され、この
比較器８で増幅器６の出力か一定姶に達しているか？ｒ
ｉ’かが比較され、増幅器６の出力が一定幀以１−であ
れば比較器８に出力が生じ、この各比較器８の出力が論
理加算器９に入力される。
’Ｗ部の１１力、すなわち反射光３の光軸と異なる方向
に配置された多数個の光検出器であり、各光検出器６の
出力は増幅器７で増幅され、比較器８に入力され、この
比較器８で増幅器６の出力か一定姶に達しているか？ｒ
ｉ’かが比較され、増幅器６の出力が一定幀以１−であ
れば比較器８に出力が生じ、この各比較器８の出力が論
理加算器９に入力される。
第３図において、ディスク１′の表面に欠陥があると、
この欠陥による反則光の光量の最大値にある光検出器６
ａは、欠陥による反則光のほとんとの光域を受ける。寸
だ、ディスク１のピットの回折による回折光Ａ′は光検
出器６ａの受光面積が小さいためその光はけ少ない。こ
のように、欠陥による反射光の光検出ＫＪ ｓ ａへの
光量と、ピットによる回Ｊ７ｊ光の光検出器６ａへの光
ＩＪ１との比は人さくなり、Ｓ／Ｎがよくなるものであ
る。６ａ以外の池の光検出器へもピット回折光を受）“
Ｃするか、その光量は小さく比較器８における設定車１
」Ｅより小さいため、比較器１０の出力は零となり、論
理加算器９で加算しても出力は零となる。
この欠陥による反則光の光量の最大値にある光検出器６
ａは、欠陥による反則光のほとんとの光域を受ける。寸
だ、ディスク１のピットの回折による回折光Ａ′は光検
出器６ａの受光面積が小さいためその光はけ少ない。こ
のように、欠陥による反射光の光検出ＫＪ ｓ ａへの
光量と、ピットによる回Ｊ７ｊ光の光検出器６ａへの光
ＩＪ１との比は人さくなり、Ｓ／Ｎがよくなるものであ
る。６ａ以外の池の光検出器へもピット回折光を受）“
Ｃするか、その光量は小さく比較器８における設定車１
」Ｅより小さいため、比較器１０の出力は零となり、論
理加算器９で加算しても出力は零となる。
このように本実施例によれば、欠陥による反則光の最大
値に対応する光検出器６ａの出力が比１咬器８の設定電
圧より高ければ、この光検出器６ａの出力のみが論理加
算器９にＳ／Ｎよく出力されるものであり、ディスク表
面のピット以外の欠陥が（ｌｕｌｌ実に検出できるもの
である。
値に対応する光検出器６ａの出力が比１咬器８の設定電
圧より高ければ、この光検出器６ａの出力のみが論理加
算器９にＳ／Ｎよく出力されるものであり、ディスク表
面のピット以外の欠陥が（ｌｕｌｌ実に検出できるもの
である。
発１町の効果
以上のように本発明によれば、光学ディスクにおけるビ
ア）以外の凹凸の傷を光検出器と比較器とを用いて検出
し、ディスク表面のビット以外の欠陥を確実に検出でき
るものである。
ア）以外の凹凸の傷を光検出器と比較器とを用いて検出
し、ディスク表面のビット以外の欠陥を確実に検出でき
るものである。
第１図は従来の欠陥検査装置の概略図、第２図は同装置
を用いてディスク表面の欠陥を検出する状慝を示す概略
図、第３図は不発Ｅｌ１１の一実施例における光学ディ
スク検査装置の概＋ｕ３図である。 １′・・・ディスク、２・・・・・レーザ光、３・・・
・・反射光、６・・・・・・光検出器、７・・・・・・
増幅器、８・・・・・・比較器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
を用いてディスク表面の欠陥を検出する状慝を示す概略
図、第３図は不発Ｅｌ１１の一実施例における光学ディ
スク検査装置の概＋ｕ３図である。 １′・・・ディスク、２・・・・・レーザ光、３・・・
・・反射光、６・・・・・・光検出器、７・・・・・・
増幅器、８・・・・・・比較器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図
Claims (1)
- ピントラ有するディスク表面に微小スポットのレーザ光
を１１６則するレーザ光照射装置と、上記レーザ光の」
−記ティスク表面での反射光軸を除く部分に配置された
複数個の光検出器と、この各光検出器の出力を増幅する
複数個の増幅器と、この各増幅器の出力と設定車１下値
とを比較する複数個の比較器とを具備してなる光学ディ
スク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59121361A JPS6022650A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 光学デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59121361A JPS6022650A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 光学デイスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022650A true JPS6022650A (ja) | 1985-02-05 |
Family
ID=14809347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59121361A Pending JPS6022650A (ja) | 1984-06-13 | 1984-06-13 | 光学デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022650A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335568A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Agency Of Ind Science & Technol | Measuring method of tool abrasion by light reflection |
-
1984
- 1984-06-13 JP JP59121361A patent/JPS6022650A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335568A (en) * | 1976-09-13 | 1978-04-03 | Agency Of Ind Science & Technol | Measuring method of tool abrasion by light reflection |
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