JPS6022836U - 試料ホルダ - Google Patents
試料ホルダInfo
- Publication number
- JPS6022836U JPS6022836U JP11372083U JP11372083U JPS6022836U JP S6022836 U JPS6022836 U JP S6022836U JP 11372083 U JP11372083 U JP 11372083U JP 11372083 U JP11372083 U JP 11372083U JP S6022836 U JPS6022836 U JP S6022836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- sample holder
- 0yran
- rrun
- yran
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案試料ホルダの第１の実施例を示す断面図
、第２図は試料止めの各種の例を示す平面図、第３図は
本考案の第２の実施例を示す断面図である。 １．１１・・・試料ホルダ本体、２・・・試料、３・・
・試料止めリング、４・・・リング止めネジ。
、第２図は試料止めの各種の例を示す平面図、第３図は
本考案の第２の実施例を示す断面図である。 １．１１・・・試料ホルダ本体、２・・・試料、３・・
・試料止めリング、４・・・リング止めネジ。
Claims (1)
- 円板状のシリコンウェハなどの試料を、該試料の縁より
外側に０． １〜５． ０ｙｒａｎ余裕をもち、かつ前
記試料の厚さより０．０５〜１． ０ｒｒｕｎ大きい間
隔をもって、前記試料の縁部を保持するようにしたこと
を特徴とする試料ホルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11372083U JPS6022836U (ja) | 1983-07-23 | 1983-07-23 | 試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11372083U JPS6022836U (ja) | 1983-07-23 | 1983-07-23 | 試料ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6022836U true JPS6022836U (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=30263143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11372083U Pending JPS6022836U (ja) | 1983-07-23 | 1983-07-23 | 試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022836U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61237431A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-22 | Wakomu:Kk | ウエ−ハのアニ−ル処理用基板ホルダ |
| WO1991012631A1 (fr) * | 1990-02-19 | 1991-08-22 | Purex Co., Ltd. | Recipient pour echantillons de tranches semiconductrices et procede de preparation de tranches |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5050870A (ja) * | 1973-09-05 | 1975-05-07 | ||
| JPS5742174U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-08 |
-
1983
- 1983-07-23 JP JP11372083U patent/JPS6022836U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5050870A (ja) * | 1973-09-05 | 1975-05-07 | ||
| JPS5742174U (ja) * | 1980-08-15 | 1982-03-08 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61237431A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-22 | Wakomu:Kk | ウエ−ハのアニ−ル処理用基板ホルダ |
| WO1991012631A1 (fr) * | 1990-02-19 | 1991-08-22 | Purex Co., Ltd. | Recipient pour echantillons de tranches semiconductrices et procede de preparation de tranches |
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