JPS60230574A - 給油ポンプ装置 - Google Patents
給油ポンプ装置Info
- Publication number
- JPS60230574A JPS60230574A JP59086407A JP8640784A JPS60230574A JP S60230574 A JPS60230574 A JP S60230574A JP 59086407 A JP59086407 A JP 59086407A JP 8640784 A JP8640784 A JP 8640784A JP S60230574 A JPS60230574 A JP S60230574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- piezoelectric element
- check valve
- ceramic
- pump chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Feeding And Controlling Fuel (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はポンプ分野のうち、とくにポンプの流量安定
性が要求される灯油燃焼用給油ポンプに関するものであ
る。
性が要求される灯油燃焼用給油ポンプに関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
灯油燃焼に使用される給油ポンプは、燃焼を安定化させ
るために流量を決められた値に保併する必要がある。現
在量もポピユラーなのは電磁力でピストンを駆動して送
油する電磁ポンプであるがピストンの移動量を管理する
手段がなく、そのため、初期流量全一度セッティングし
てしまうと、あとは、経年変化で流量が変化しても対応
できず灯油燃焼が不安定になるという欠点を有している
。
るために流量を決められた値に保併する必要がある。現
在量もポピユラーなのは電磁力でピストンを駆動して送
油する電磁ポンプであるがピストンの移動量を管理する
手段がなく、そのため、初期流量全一度セッティングし
てしまうと、あとは、経年変化で流量が変化しても対応
できず灯油燃焼が不安定になるという欠点を有している
。
圧電セラミックを使用したポンプは従来がら発表されて
いるが、圧電セラミックの出方パワー不良により、ポン
プの負荷変動による特性変化が激しく使用に耐えないも
のであった。
いるが、圧電セラミックの出方パワー不良により、ポン
プの負荷変動による特性変化が激しく使用に耐えないも
のであった。
発明の目的
本発明の目的は、圧電セラミックの構成の簡便さの有利
さを大いに活かすと同時に、圧電セラミックポンプの欠
点を解消し、流量安定化が強く望まれる灯油用給油ポン
プに使用できる全く新しい給油ポンプ装置を提供するも
のである。
さを大いに活かすと同時に、圧電セラミックポンプの欠
点を解消し、流量安定化が強く望まれる灯油用給油ポン
プに使用できる全く新しい給油ポンプ装置を提供するも
のである。
発明の構成
圧電セラミックをポンプの駆動源として使用すると同時
に圧電セラミックの体積変化移動量を別設の歪センサで
検知し、歪センサ信号を圧電セラミックの駆動電源にフ
ィードバックする構成とすることにより圧電セラミック
のパワー不足による外乱からの影響をなくし、常に一定
の体積変化を確立させ、経年変化による流量の変化を防
止したものであり、さらに、歪センサの温度特性をうま
く利用して灯油燃焼の温度による空気と灯油の混合比変
化を解消させたものである。
に圧電セラミックの体積変化移動量を別設の歪センサで
検知し、歪センサ信号を圧電セラミックの駆動電源にフ
ィードバックする構成とすることにより圧電セラミック
のパワー不足による外乱からの影響をなくし、常に一定
の体積変化を確立させ、経年変化による流量の変化を防
止したものであり、さらに、歪センサの温度特性をうま
く利用して灯油燃焼の温度による空気と灯油の混合比変
化を解消させたものである。
実施例の説明
第1図は圧電セラミ’7りを使用した液体ポンプC以下
ポンプと呼ぶ)の基本構成図であって、(a)は正面図
、(b)は(a)のI −、I線で切断した側断面図で
ある。
ポンプと呼ぶ)の基本構成図であって、(a)は正面図
、(b)は(a)のI −、I線で切断した側断面図で
ある。
1はポンプ本体であり、構成上一体にされた吸入口2と
吐出口3を有する。吸入口2は−@全開放し他端は弁座
4が形成され、さらに弁座4側には吸入用逆止弁室5が
存在し、内部に逆止弁6がスプリング7により弁座4を
閉じる方向に押圧されかつ吸入用逆止弁室5内で移動し
、弁座4を開閉させるように構成する。吸入用逆止弁室
5はさらに弁座8と連通しており、弁座8側には吐出用
逆止弁室9が形成され、吸入用逆止弁室5と同様の機能
・構成を有する、逆止弁10、スプリング11を配設す
る。吐出用逆止弁室9は吐出口3に連通ずる。以上2つ
の逆止弁は通常往復動ポンプに使用される逆止弁と同様
、流体の整流作用を行うものである。ポンプ本体1には
、さらにポンプ室12が形成されており、−面は、圧電
セラミック13(以下圧電素子と呼ぶ)がシール材14
で外部と流体的にシールしつつ、蓋15により押圧され
、ネジ16によりポンプ本体1に固定されている。蓋1
5は中心部が開放されており外周部のみで圧電素子13
を固定している。圧力室12は連通@17により吸入用
逆止弁室5と連通されていて、内部に連通部材18を有
する。連通部材18社連通路17内を適当な隙間を有し
て軸方向に摺動自在に設けられ、中心部に連通口19を
有する。
吐出口3を有する。吸入口2は−@全開放し他端は弁座
4が形成され、さらに弁座4側には吸入用逆止弁室5が
存在し、内部に逆止弁6がスプリング7により弁座4を
閉じる方向に押圧されかつ吸入用逆止弁室5内で移動し
、弁座4を開閉させるように構成する。吸入用逆止弁室
5はさらに弁座8と連通しており、弁座8側には吐出用
逆止弁室9が形成され、吸入用逆止弁室5と同様の機能
・構成を有する、逆止弁10、スプリング11を配設す
る。吐出用逆止弁室9は吐出口3に連通ずる。以上2つ
の逆止弁は通常往復動ポンプに使用される逆止弁と同様
、流体の整流作用を行うものである。ポンプ本体1には
、さらにポンプ室12が形成されており、−面は、圧電
セラミック13(以下圧電素子と呼ぶ)がシール材14
で外部と流体的にシールしつつ、蓋15により押圧され
、ネジ16によりポンプ本体1に固定されている。蓋1
5は中心部が開放されており外周部のみで圧電素子13
を固定している。圧力室12は連通@17により吸入用
逆止弁室5と連通されていて、内部に連通部材18を有
する。連通部材18社連通路17内を適当な隙間を有し
て軸方向に摺動自在に設けられ、中心部に連通口19を
有する。
連通部材18は吸入用逆止弁室5、あるいはポンプ室1
2内に抜は落ちないよう適当なストッパが設けられる。
2内に抜は落ちないよう適当なストッパが設けられる。
さらにポンプ室12には、注入口2が開口しており、外
部側は、栓21のシール棉ηによりシールされつつ封止
されている。
部側は、栓21のシール棉ηによりシールされつつ封止
されている。
第2図は圧電素子13であり、(alは正面図、ら)は
、■−■線で切断した側断面図である。
、■−■線で切断した側断面図である。
圧電素子13は、弾性金属板23、セラミック24より
成り、両者は接着材により強固に結合されている。セラ
ミック24の円形面は電極25が形成されており、この
電極25と弾性金属板23とに電圧を加えると軸方向に
変位する。この変位原理については、現在市販されてい
る圧電ブザーと同様のものであり省略する。この圧電素
子13が第1図で使用されている。第1図で示すとおり
セラミック24がポンプ室12と反対側に存在し、蓋1
5で押圧される部分は弾性金属板23であるようにする
のが望ましい。この理由は、電圧供給手段の構成簡単化
と、圧電素子13の変位拡大にあるが詳細は省略する。
成り、両者は接着材により強固に結合されている。セラ
ミック24の円形面は電極25が形成されており、この
電極25と弾性金属板23とに電圧を加えると軸方向に
変位する。この変位原理については、現在市販されてい
る圧電ブザーと同様のものであり省略する。この圧電素
子13が第1図で使用されている。第1図で示すとおり
セラミック24がポンプ室12と反対側に存在し、蓋1
5で押圧される部分は弾性金属板23であるようにする
のが望ましい。この理由は、電圧供給手段の構成簡単化
と、圧電素子13の変位拡大にあるが詳細は省略する。
第3図は歪センサを有した場合の実施例である。
歪センサ30は一端を絶縁体31でサンドイッチし、押
え金具32でビス33を使用して蓋15に固定されてい
る。他端は接触部材34により圧電素子13のほぼ中心
に臨ませ、圧電素子13の軸方向に移動自由なごとく接
触し、圧電素子13の軸方向移動を歪センサ30の移動
に伝達するごとく組立てられている。
え金具32でビス33を使用して蓋15に固定されてい
る。他端は接触部材34により圧電素子13のほぼ中心
に臨ませ、圧電素子13の軸方向に移動自由なごとく接
触し、圧電素子13の軸方向移動を歪センサ30の移動
に伝達するごとく組立てられている。
第4図は歪センサ30の一例であり金属片35に圧電セ
ラミック36′t−接着したものであり構造上は、圧電
素子13と同様のものである。金属片35は先端に穴3
7を有し、この穴に接触部材あが嵌合される。この歪、
センサ3(1−1金属片35の弾性範囲内でたわませ、
圧電素子13と歪センサ30の結合を達成するものであ
る。
ラミック36′t−接着したものであり構造上は、圧電
素子13と同様のものである。金属片35は先端に穴3
7を有し、この穴に接触部材あが嵌合される。この歪、
センサ3(1−1金属片35の弾性範囲内でたわませ、
圧電素子13と歪センサ30の結合を達成するものであ
る。
栓21をはずし注入口20よりポンプ室12に液体(非
圧縮性)を充満させ、栓21を閉じる、この時、連通部
材18は注入の圧力に押され吸入用逆止弁室5側に押さ
れて安定する。余分な液体は連通口19を通じて吸入用
逆止弁室5に流入する、この状態で圧電素子13に交流
の電圧を印加する。電源は図示せず。印加する交流の波
形は正弦波、ないしは矩形波が良い。交流の周波数は2
0Hz〜60 Hz の範囲が使用される。交流の電圧
が印加されると圧電素子13が軸方向に変位しプ室12
内の液体は連通路17を往復運動することになる。この
液体の往復運動によって連通部材18も往復運動を行う
。すなわち、ポンプ室12から吸入用逆止弁室5、ある
いは、その反対の方向の時、液体の流れは連通口19を
流れようとするが、その時、流体抵抗や液体の表面張力
によって連通部材18に流れようとする方向に力が加わ
る。この力によって連通部材18は連通路17内を液体
の往復運動に従って移動する。この連通部材18の効果
は後述する。
圧縮性)を充満させ、栓21を閉じる、この時、連通部
材18は注入の圧力に押され吸入用逆止弁室5側に押さ
れて安定する。余分な液体は連通口19を通じて吸入用
逆止弁室5に流入する、この状態で圧電素子13に交流
の電圧を印加する。電源は図示せず。印加する交流の波
形は正弦波、ないしは矩形波が良い。交流の周波数は2
0Hz〜60 Hz の範囲が使用される。交流の電圧
が印加されると圧電素子13が軸方向に変位しプ室12
内の液体は連通路17を往復運動することになる。この
液体の往復運動によって連通部材18も往復運動を行う
。すなわち、ポンプ室12から吸入用逆止弁室5、ある
いは、その反対の方向の時、液体の流れは連通口19を
流れようとするが、その時、流体抵抗や液体の表面張力
によって連通部材18に流れようとする方向に力が加わ
る。この力によって連通部材18は連通路17内を液体
の往復運動に従って移動する。この連通部材18の効果
は後述する。
連通路17内の液体が往復運動すると吸入用逆止弁室5
の体積が見かけ上増減するため、減少した場合は、逆止
弁6が順方向になるため開き、逆止弁10が逆方向で閉
じ、吸入口2より流体を吸入する。その反対に増加した
場合は、逆止弁6が閉じ、逆止弁10が開くため、吐出
口3へ流体全吐出する。この動作が連続で起って、吸入
口2より吐出口3へのポンプ作用が発生する。以上、圧
電素子13の移動によりポンプ作用を生じるものである
。
の体積が見かけ上増減するため、減少した場合は、逆止
弁6が順方向になるため開き、逆止弁10が逆方向で閉
じ、吸入口2より流体を吸入する。その反対に増加した
場合は、逆止弁6が閉じ、逆止弁10が開くため、吐出
口3へ流体全吐出する。この動作が連続で起って、吸入
口2より吐出口3へのポンプ作用が発生する。以上、圧
電素子13の移動によりポンプ作用を生じるものである
。
圧電素子をポンプの駆動体として使用した場合次ぎのよ
うな欠点が問題になる、すなわち、圧電素子は、消費電
力が少ないのがメリットであるが、反対に少ないが故に
、ポンプに加わる負荷が少しでも変化すると印加電圧が
同じでも流量が変化することになってしまう。このよう
な特性は、第5図のような灯油用バーナの給油ポンプ3
8として使用する場合問題となる。灯油タンク39より
灯油を吸引し、混合気化器40に送り灯油を気化すると
同時に、ファン41よりの空気と混合してバーナ42で
燃焼全行う燃焼器にあっては、燃料と・突気の割合を一
定に保たないと燃焼が成立しないことはよく知られてい
る。今、このようなシステムにおいて灯油タンク39の
灯油油面の変化、混合気化器40の内圧変化により、給
油ポンプ38に加わる負荷は刻々変化している。この変
化で給油ポンプ38の油量が変化してはバーナ41での
安定した燃焼が得られない。第3図の液体ポンプは、こ
の問題を以下のように解決する。ポンプの負荷が変化し
て流量が変化すると、圧電素子13の移動量もそれに比
例して変化する、すなわち、非咀弊性の液体を使用する
ため、ポンプの駆動体である圧電素子13の移動量が、
ポンプの流量を決定するのである。今、圧電素子13の
移動量は歪センサ30で検知しているため、この歪セン
サ30の信号を第6図のBに入れ、Aに基準信号を入れ
て、常にAとBの信号が一致するように比較器42から
の信号で電力増巾器43を動かせば圧電素子13の移動
量は圧電素子13への印加電圧をコントロールすること
によって常に一定にコントロールできる。このことはポ
ンプ流量も一定にコントロールできることになる。以上
自己制御型の流量安定化ポンプを供給でき、バーナ41
の燃焼は安定化される。歪センサ30は、自己の歪が大
きくなればそれに比例して大きな電圧出力を出すもので
あり、これは、圧電セラミック36の材質で決定され、
種々のものが作られるものである。
うな欠点が問題になる、すなわち、圧電素子は、消費電
力が少ないのがメリットであるが、反対に少ないが故に
、ポンプに加わる負荷が少しでも変化すると印加電圧が
同じでも流量が変化することになってしまう。このよう
な特性は、第5図のような灯油用バーナの給油ポンプ3
8として使用する場合問題となる。灯油タンク39より
灯油を吸引し、混合気化器40に送り灯油を気化すると
同時に、ファン41よりの空気と混合してバーナ42で
燃焼全行う燃焼器にあっては、燃料と・突気の割合を一
定に保たないと燃焼が成立しないことはよく知られてい
る。今、このようなシステムにおいて灯油タンク39の
灯油油面の変化、混合気化器40の内圧変化により、給
油ポンプ38に加わる負荷は刻々変化している。この変
化で給油ポンプ38の油量が変化してはバーナ41での
安定した燃焼が得られない。第3図の液体ポンプは、こ
の問題を以下のように解決する。ポンプの負荷が変化し
て流量が変化すると、圧電素子13の移動量もそれに比
例して変化する、すなわち、非咀弊性の液体を使用する
ため、ポンプの駆動体である圧電素子13の移動量が、
ポンプの流量を決定するのである。今、圧電素子13の
移動量は歪センサ30で検知しているため、この歪セン
サ30の信号を第6図のBに入れ、Aに基準信号を入れ
て、常にAとBの信号が一致するように比較器42から
の信号で電力増巾器43を動かせば圧電素子13の移動
量は圧電素子13への印加電圧をコントロールすること
によって常に一定にコントロールできる。このことはポ
ンプ流量も一定にコントロールできることになる。以上
自己制御型の流量安定化ポンプを供給でき、バーナ41
の燃焼は安定化される。歪センサ30は、自己の歪が大
きくなればそれに比例して大きな電圧出力を出すもので
あり、これは、圧電セラミック36の材質で決定され、
種々のものが作られるものである。
さらに第5図で周囲環境湯度が変化した場合どうなるか
を考える。温度が低下すると77ン41で送られる実質
的な力量は、を気の密度が大きくなるため増加の傾向を
示す。しかるに給油ポンプ38が一定の油量を送ると空
気と油量にアンバランスを生じてくる。灯油は温度によ
り密度変化をほとんどおこさないため%空気の密度変化
が影響する。故に、給油ポンプ38は常に一定の油量を
送るのではなく温度が下がれば油量を大きくするのが望
ましい。これに対応するには、第3図の歪センサ30の
出力電圧特性が温度が下がれば、出力電圧が降下するも
のを選定しておけば、電気回路上、一定の出力電圧を得
ようとフィードバックをかけるため、ポンプの流量は、
温度が下がれば、流量が増加する特性とすることが出来
る、増加の度合は、圧電セラミック36の温度特性を任
意に選定することによって調節することが可能である1
連通部材18の効果を述べる。ポンプ設置初期はポンプ
室12.吸入用逆止弁室5までは液体を充満できるが吸
入口2−1では液体を入れられなりのでポンプを駆動す
ると吸入用逆止弁室5にを気が入ってくる。連通部材1
8がないとポンプ室120体積が収縮するとき、圧電素
子13の動作応答性が早いため、急激な変化が生じ、ポ
ンプ室12内の液体が吸入用逆止弁室5の空気中に飛散
し、それと入れ換わりに空気がポンプ室12内に入って
しまう。ポンプ室12に空気が入ると、空気は圧縮性で
あるためポンプ作用を減衰させるのでポンプ流量が減少
し、歪センサ30の出力電圧と流量の相関がくずれてし
寸う。これを防止するため液体の急激な移動があっても
液体が飛散しないように連通部材18を挿入するのであ
る。連通部材18があると、液体の急激な変位が連通部
材18の質量と抵抗で緩和され液体の飛散を防止するも
のである。
を考える。温度が低下すると77ン41で送られる実質
的な力量は、を気の密度が大きくなるため増加の傾向を
示す。しかるに給油ポンプ38が一定の油量を送ると空
気と油量にアンバランスを生じてくる。灯油は温度によ
り密度変化をほとんどおこさないため%空気の密度変化
が影響する。故に、給油ポンプ38は常に一定の油量を
送るのではなく温度が下がれば油量を大きくするのが望
ましい。これに対応するには、第3図の歪センサ30の
出力電圧特性が温度が下がれば、出力電圧が降下するも
のを選定しておけば、電気回路上、一定の出力電圧を得
ようとフィードバックをかけるため、ポンプの流量は、
温度が下がれば、流量が増加する特性とすることが出来
る、増加の度合は、圧電セラミック36の温度特性を任
意に選定することによって調節することが可能である1
連通部材18の効果を述べる。ポンプ設置初期はポンプ
室12.吸入用逆止弁室5までは液体を充満できるが吸
入口2−1では液体を入れられなりのでポンプを駆動す
ると吸入用逆止弁室5にを気が入ってくる。連通部材1
8がないとポンプ室120体積が収縮するとき、圧電素
子13の動作応答性が早いため、急激な変化が生じ、ポ
ンプ室12内の液体が吸入用逆止弁室5の空気中に飛散
し、それと入れ換わりに空気がポンプ室12内に入って
しまう。ポンプ室12に空気が入ると、空気は圧縮性で
あるためポンプ作用を減衰させるのでポンプ流量が減少
し、歪センサ30の出力電圧と流量の相関がくずれてし
寸う。これを防止するため液体の急激な移動があっても
液体が飛散しないように連通部材18を挿入するのであ
る。連通部材18があると、液体の急激な変位が連通部
材18の質量と抵抗で緩和され液体の飛散を防止するも
のである。
発明の効果
以上のように本発明の給油ポンプ装置によれば次の効果
が得られる。
が得られる。
(1)ポンプを駆動する圧電セラミックの変位量を検出
し、圧電セラミンクに加える電圧をコントロールして常
に変位量を一定に保つようフィードバンク系を有する構
成としているので、ポンプに加わる負荷が変化してもポ
ンプ吐出量が変化しないように作用し、定流量ポンプを
提供できる。
し、圧電セラミンクに加える電圧をコントロールして常
に変位量を一定に保つようフィードバンク系を有する構
成としているので、ポンプに加わる負荷が変化してもポ
ンプ吐出量が変化しないように作用し、定流量ポンプを
提供できる。
(2)圧力セラミックの変位量を検出する歪センサの温
度特性f:湯温度対して負の特性を有しているため、灯
油バーナの空気と燃料の比が温度変化が起こっても一定
にすることができる。
度特性f:湯温度対して負の特性を有しているため、灯
油バーナの空気と燃料の比が温度変化が起こっても一定
にすることができる。
第1 図(at 、 (b)は圧電セラミック使用のポ
ンプの正面図および断側面図、第2図(a) 、 (b
)は圧電セラミックの正面図および側面図、第3図(a
) 、 (b)は本発明の一実施例における給油ポンプ
装置の正面図および一部断面側面図、第4図(a) 、
、(b)は歪センサの正面図および断面側面図、第5図
は灯油燃焼袋“ 置のブロック図、第6図は圧電セラミ
ック駆動装置の電気系ブロック図である。 1・・°・・ポンプ本体、2・・・・吸入口、3・・・
・・・吐出口、6・・・・・・吸入用逆止弁、10・・
・・・・吐出用逆止弁、12・・・・・・ポンプ室、1
3・・・・・・圧電素子、3o・・・・・・歪センサ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 a 第2図 & 24 2ム==4 第3図 a 第4図 第5図 第 6 図
ンプの正面図および断側面図、第2図(a) 、 (b
)は圧電セラミックの正面図および側面図、第3図(a
) 、 (b)は本発明の一実施例における給油ポンプ
装置の正面図および一部断面側面図、第4図(a) 、
、(b)は歪センサの正面図および断面側面図、第5図
は灯油燃焼袋“ 置のブロック図、第6図は圧電セラミ
ック駆動装置の電気系ブロック図である。 1・・°・・ポンプ本体、2・・・・吸入口、3・・・
・・・吐出口、6・・・・・・吸入用逆止弁、10・・
・・・・吐出用逆止弁、12・・・・・・ポンプ室、1
3・・・・・・圧電素子、3o・・・・・・歪センサ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 a 第2図 & 24 2ム==4 第3図 a 第4図 第5図 第 6 図
Claims (2)
- (1)単数の圧電セラミックの変位で内容積が変化する
ポンプ室と、このポンプ室に結合された吸入用逆止弁と
吐出用逆止弁とこあ圧電セラミックに交流電圧を加える
電源装置とでポンプを構成し、この圧電セラミックの変
位量を検出し電気出力を出す歪センサを設け、この歪セ
ンサの電気出力が一定になるごとくこの圧電セラミック
に加える交流電圧値を制御するフィードバック制御系を
有する給油ポンプ装置。 - (2)歪センサの電気出力特性が温度に対して、温度が
低くなれば同−歪で電気出力が低下する正の特性を有す
るように設定した特許請求の範囲第1項記載の給油ポン
プ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086407A JPS60230574A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 給油ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086407A JPS60230574A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 給油ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230574A true JPS60230574A (ja) | 1985-11-16 |
Family
ID=13886006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59086407A Pending JPS60230574A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 給油ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230574A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186077A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-14 | Misuzu Erii:Kk | 圧電ポンプの駆動方法 |
| JPS62210241A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子の駆動装置 |
| JPH03168373A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-22 | Nippon Keiki Seisakusho:Kk | 圧電ポンプ制御装置 |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP59086407A patent/JPS60230574A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186077A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-14 | Misuzu Erii:Kk | 圧電ポンプの駆動方法 |
| JPS62210241A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電素子の駆動装置 |
| JPH03168373A (ja) * | 1989-11-24 | 1991-07-22 | Nippon Keiki Seisakusho:Kk | 圧電ポンプ制御装置 |
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