JPS60234788A - レ−ザ光軸調整方法 - Google Patents
レ−ザ光軸調整方法Info
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- JPS60234788A JPS60234788A JP59089293A JP8929384A JPS60234788A JP S60234788 A JPS60234788 A JP S60234788A JP 59089293 A JP59089293 A JP 59089293A JP 8929384 A JP8929384 A JP 8929384A JP S60234788 A JPS60234788 A JP S60234788A
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- laser light
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 2
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 3
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 3
- 101000579646 Penaeus vannamei Penaeidin-1 Proteins 0.000 description 3
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/042—Automatically aligning the laser beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は例えばレーザ加工機などのレーザ光の光軸を
調整づ−る方法に関する。
調整づ−る方法に関する。
［技術的背景及び問題点］
一般にレーザ加工機においてはそのレーザの光軸が設計
土足められる理想光軸に一致している事が要求される。
土足められる理想光軸に一致している事が要求される。
しかしながらレーザ光の行路上にある出力ミラーやペン
１〜ミラー、その伯の光学系の傾きや位置の微少な変化
によりレーザ光軸が理想光軸からはずれ、加工テーブル
」二の液加Ｊ物に対して正確に垂直に入射しないことが
ある。そのようにレーザ光が被加工物に正確に入射せず
、ある角度θだけ傾いて入射づると切断面が斜めに傾き
、正確な切断が出来ないことがある。またバー ′ニン
グという現象も起き易く、結果とし−Ｃ切断が不安定に
なるという問題があった。
１〜ミラー、その伯の光学系の傾きや位置の微少な変化
によりレーザ光軸が理想光軸からはずれ、加工テーブル
」二の液加Ｊ物に対して正確に垂直に入射しないことが
ある。そのようにレーザ光が被加工物に正確に入射せず
、ある角度θだけ傾いて入射づると切断面が斜めに傾き
、正確な切断が出来ないことがある。またバー ′ニン
グという現象も起き易く、結果とし−Ｃ切断が不安定に
なるという問題があった。
「発明の目的］
この発明はこのような従来の問題に鑑み−Ｃ／、「され
たものであって、レーザ光が被加工物に対しく正確に垂
直に入射する様に調整Ｊる事がでさるレーザ光軸調整方
法を提供覆ることを目的と覆る。
たものであって、レーザ光が被加工物に対しく正確に垂
直に入射する様に調整Ｊる事がでさるレーザ光軸調整方
法を提供覆ることを目的と覆る。
［発明の概要］
この発明は、集光レンズのレーザ先出用側に２枚のミラ
ーを液加］二物と平行に設置し、レーザ光を第１ミラー
のピンホールを通して第２ミラーに入射させ、両ミラー
間でのレーザ光の反θ・Ｊ状態を監視しなからレーザ光
の光学系の位置調整を行なうことを特徴とする。
ーを液加］二物と平行に設置し、レーザ光を第１ミラー
のピンホールを通して第２ミラーに入射させ、両ミラー
間でのレーザ光の反θ・Ｊ状態を監視しなからレーザ光
の光学系の位置調整を行なうことを特徴とする。
［発明の実施例］
以下、図に示す実施例について詳説する。第１図はこの
発明の一実施例の用いられるレーザ加工機１の全体を示
しており、レーザ光「Ｂを発振するレーザ発振装置３と
レーザ光ＬＢを集光して板状の被加工物Ｗを加工するレ
ーザ加■部５とよりなる。
発明の一実施例の用いられるレーザ加工機１の全体を示
しており、レーザ光「Ｂを発振するレーザ発振装置３と
レーザ光ＬＢを集光して板状の被加工物Ｗを加工するレ
ーザ加■部５とよりなる。
レーザ発振装置３はレーザ光を発生させる装置であって
、例えば、ＣＯ２ガスレーザ発振装置が用いられる。そ
し−にのレーザ発振装置３におい（発振されたレーザ光
１Ｂは出力ミラー７により水平方向に導き出され、導管
９内を水平に導かれて、ベントミラー１１に達する。こ
のペン１〜ミラー１１においてレーザ光が直角に下方に
屈折され、集光レンズ１３に入用づる。ここぐレーザ光
は集光されて液加に物Ｗ上に照射され、このレーザ光の
もつエネルギにより被加工物Ｗを加工づるのである。
、例えば、ＣＯ２ガスレーザ発振装置が用いられる。そ
し−にのレーザ発振装置３におい（発振されたレーザ光
１Ｂは出力ミラー７により水平方向に導き出され、導管
９内を水平に導かれて、ベントミラー１１に達する。こ
のペン１〜ミラー１１においてレーザ光が直角に下方に
屈折され、集光レンズ１３に入用づる。ここぐレーザ光
は集光されて液加に物Ｗ上に照射され、このレーザ光の
もつエネルギにより被加工物Ｗを加工づるのである。
この様なレーザ加工Ｉａ１においては、レーザ加■を続
けているとシー１１発振装置３からのレーザ光ＬＢのエ
ネルギにより出力ミラー７やベントミラー１１が湿度−
［昇して熱膨張して変形したり、その位置を変える事が
ある。その様な変形や位置移動があると、レーザ光ＬＢ
の光軸が理想光軸よりずれてしまって被加工物Ｗに対し
て垂直に入用せず、微少な角度だけ傾いた状態で入用Ｊ
る様になる。従って、この様なレーザ光軸の傾きを垂直
な方向に調整する必要がある。
けているとシー１１発振装置３からのレーザ光ＬＢのエ
ネルギにより出力ミラー７やベントミラー１１が湿度−
［昇して熱膨張して変形したり、その位置を変える事が
ある。その様な変形や位置移動があると、レーザ光ＬＢ
の光軸が理想光軸よりずれてしまって被加工物Ｗに対し
て垂直に入用せず、微少な角度だけ傾いた状態で入用Ｊ
る様になる。従って、この様なレーザ光軸の傾きを垂直
な方向に調整する必要がある。
第２図はこの様なレーザ光軸の調整を行なう一実施例を
示しており、ＣＯ２レーザ発振装置３と並列に光軸調整
のための１−１ｅ−Ｎｅレーザ発振器１５を設置し、光
軸調整には可視光線であるこのＨｅ−Ｎｅレーザを用い
る様にしである。Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１５からの可
視レーザ光ＩＢはハーフベントミラー１７によって水平
方向に垂角に■析されてペン１へミラー１１に達する。
示しており、ＣＯ２レーザ発振装置３と並列に光軸調整
のための１−１ｅ−Ｎｅレーザ発振器１５を設置し、光
軸調整には可視光線であるこのＨｅ−Ｎｅレーザを用い
る様にしである。Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１５からの可
視レーザ光ＩＢはハーフベントミラー１７によって水平
方向に垂角に■析されてペン１へミラー１１に達する。
そしてこのペン１〜ミラー１１によって再び垂直方向に
！ｉ角に屈折されて集光レンズ１３に達し、ここで集光
されて加工テーブル１７上に集光する様に設定されてい
る。
！ｉ角に屈折されて集光レンズ１３に達し、ここで集光
されて加工テーブル１７上に集光する様に設定されてい
る。
ところでベントミラ−１１が想像線で示した正規の位置
へに対して、若干ずれた位置Ｂにある時、レーザ光ＬＢ
は垂直方向に対してθ度だけ傾いた状態で加：■−デー
ツ゛ル１９上に入射づる事になる。
へに対して、若干ずれた位置Ｂにある時、レーザ光ＬＢ
は垂直方向に対してθ度だけ傾いた状態で加：■−デー
ツ゛ル１９上に入射づる事になる。
このレーリ“九Ｌ Ｂの傾きを検出するために、ピンホ
ール２１のある第１ミラー２３と第２ミラー２５どがゝ
Ｉ’ ｆｊに対向Ｍる様に一体化された光軸調整装置２
７を加工テーブル１９上に設置する。第１ミラー２３は
集光レンズ１３の出用側に近接した状態に設置される。
ール２１のある第１ミラー２３と第２ミラー２５どがゝ
Ｉ’ ｆｊに対向Ｍる様に一体化された光軸調整装置２
７を加工テーブル１９上に設置する。第１ミラー２３は
集光レンズ１３の出用側に近接した状態に設置される。
今、レーリ′光Ｌ Ｂの光軸が理想光軸である垂直軸Ｃ
ｉに対してθ度傾いＩζ状態にある時、集光レンズ１３
）から出たレーリ゛光１− Ｂはピン小−ル２１を通つ
Ｃ第２ミフー２ ｂのセンター０より乙名干り゛れ１．
、：位置１）１ に入用Ｊる事（Ｊなる。ぞして第２ミ
ー７−２５にＪ、−）て反則された反射光（、↓、今瓜
は第１ミーノー２３の外周部に達し、そこで反射され（
出ひ第２ミ“ノー２５のより外側の部分１）２に入ｒ＋
＞・する。、ぐしく、再び反則されて装置２７の外部に
出Ｃゆくことになる。従って、この第２ミラー２５を上
側からみてみると、実際のレーザ光ＬＢが入射している
点１）＋、ｐ２の部分に第３図に示ず様にスボッｈＳ＋
、Ｓ２がみえる。
ｉに対してθ度傾いＩζ状態にある時、集光レンズ１３
）から出たレーリ゛光１− Ｂはピン小−ル２１を通つ
Ｃ第２ミフー２ ｂのセンター０より乙名干り゛れ１．
、：位置１）１ に入用Ｊる事（Ｊなる。ぞして第２ミ
ー７−２５にＪ、−）て反則された反射光（、↓、今瓜
は第１ミーノー２３の外周部に達し、そこで反射され（
出ひ第２ミ“ノー２５のより外側の部分１）２に入ｒ＋
＞・する。、ぐしく、再び反則されて装置２７の外部に
出Ｃゆくことになる。従って、この第２ミラー２５を上
側からみてみると、実際のレーザ光ＬＢが入射している
点１）＋、ｐ２の部分に第３図に示ず様にスボッｈＳ＋
、Ｓ２がみえる。
そこで、これらのスポットＳ１．３２が第４図に示Ｊ様
に１つに重って第２ミラー２５のセンター〇十にくる様
にベントミラー１１を１３位Ｅ６からＡ位置に移動さけ
る。この様にづるならば、レーザ光ＬＢはベントミラー
１１によって！ｆｉｖ１に下りに屈折されてピンホール
２１を通して第２ミラー２５のセンター〇に入用Ｊる。
に１つに重って第２ミラー２５のセンター〇十にくる様
にベントミラー１１を１３位Ｅ６からＡ位置に移動さけ
る。この様にづるならば、レーザ光ＬＢはベントミラー
１１によって！ｆｉｖ１に下りに屈折されてピンホール
２１を通して第２ミラー２５のセンター〇に入用Ｊる。
、イして、ここで反射されたレーザ光ＬＢは再び第１ミ
ラー２３のピンホール２１を通って出てゆくことになる
。そのため、第２ミラー２５上にはその中心Ｏにａ５り
るスポットだけがみられる事になり、光軸の調整か完了
した事となる。
ラー２３のピンホール２１を通って出てゆくことになる
。そのため、第２ミラー２５上にはその中心Ｏにａ５り
るスポットだけがみられる事になり、光軸の調整か完了
した事となる。
上記の光軸調整ではＸ軸−軸り向のみについてその光軸
調整を行なったが、光軸のずれがＹ＠右方向も生じてい
る様な場合にはＹ ’ｌ！Ｉ１１方向についても同様の
調整を行なう必要がある。
調整を行なったが、光軸のずれがＹ＠右方向も生じてい
る様な場合にはＹ ’ｌ！Ｉ１１方向についても同様の
調整を行なう必要がある。
尚、上記実施例ではヘントミシーについＣその位置調整
をして光軸を調整したが、出力ミラーその他の光学系の
変動による光軸のずれをも同様の万ｄ１によって補正り
る事がで゛さる、。
をして光軸を調整したが、出力ミラーその他の光学系の
変動による光軸のずれをも同様の万ｄ１によって補正り
る事がで゛さる、。
［発明の効５！！１
この発明は集光レンズの出用側に第１ミラーと第２ミラ
ーとを平行に対向さけ、レーザ光を第１ミノ−のビン小
−ルを通しく第２ミラーに大剣さＬｌ、（のレーリ゛光
の反射状態をみながら光軸を調整りるムのて゛ある。従
つ（、第２ミラーにピンホールを通し−Ｃ人１．＋Ｊ
したレーザ光の反（ト）光が再び第゛１−ミフーのビン
ボールから出て行く様に光軸を調？！’Ｊづる事により
レーザ光の光軸調整が行なえ、レーリー光軸の傾きを容
易に補正する事ができる。
ーとを平行に対向さけ、レーザ光を第１ミノ−のビン小
−ルを通しく第２ミラーに大剣さＬｌ、（のレーリ゛光
の反射状態をみながら光軸を調整りるムのて゛ある。従
つ（、第２ミラーにピンホールを通し−Ｃ人１．＋Ｊ
したレーザ光の反（ト）光が再び第゛１−ミフーのビン
ボールから出て行く様に光軸を調？！’Ｊづる事により
レーザ光の光軸調整が行なえ、レーリー光軸の傾きを容
易に補正する事ができる。
第１図はこの発明の一実施例の用いられているレーザ加
工機の正面図、第２図はこの発明の一実施例の光学系図
、第３図は同上実施例における光軸調整前の第２ミラー
の平面図、第４図は光軸調整後の第２ミラーの平面図で
ある。
工機の正面図、第２図はこの発明の一実施例の光学系図
、第３図は同上実施例における光軸調整前の第２ミラー
の平面図、第４図は光軸調整後の第２ミラーの平面図で
ある。
Claims (1)
- 集光レンズのレーザ光出剣側にピンホールのある第１ミ
ラーを設り、被加工物に平行に第２ミラーを設けて両ミ
ラーを対向させ、レーザ発振装置からのレーザ光を前記
第１ミラーのピンホールを通しＣ第２ミラーに入射させ
、この入射レーザの反射光が前記第１ミラーのピンホー
ルを通って出て行くようにレーザ光軸を調整することを
特徴とするレーザ光軸調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59089293A JPS60234788A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | レ−ザ光軸調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59089293A JPS60234788A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | レ−ザ光軸調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60234788A true JPS60234788A (ja) | 1985-11-21 |
Family
ID=13966634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59089293A Pending JPS60234788A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | レ−ザ光軸調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60234788A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6386609U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-06 | ||
| JP2007007660A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Olympus Corp | レーザ加工装置 |
| CN103212787A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山思拓机器有限公司 | 同轴激光光束的调节方法 |
| JP2016010809A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5332264A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-27 | Toyota Motor Corp | Direct coupled clutch-loaded fluid transmission mechanism |
| JPS5741765U (ja) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 |
-
1984
- 1984-05-07 JP JP59089293A patent/JPS60234788A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5332264A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-27 | Toyota Motor Corp | Direct coupled clutch-loaded fluid transmission mechanism |
| JPS5741765U (ja) * | 1980-08-25 | 1982-03-06 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6386609U (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-06 | ||
| JP2007007660A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Olympus Corp | レーザ加工装置 |
| CN103212787A (zh) * | 2012-01-19 | 2013-07-24 | 昆山思拓机器有限公司 | 同轴激光光束的调节方法 |
| JP2016010809A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
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