JPS58103993A - レ−ザ加工機用外部光学装置 - Google Patents
レ−ザ加工機用外部光学装置Info
- Publication number
- JPS58103993A JPS58103993A JP56203913A JP20391381A JPS58103993A JP S58103993 A JPS58103993 A JP S58103993A JP 56203913 A JP56203913 A JP 56203913A JP 20391381 A JP20391381 A JP 20391381A JP S58103993 A JPS58103993 A JP S58103993A
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- JP
- Japan
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- laser beam
- nozzle
- lens
- processing machine
- optical device
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1482—Detachable nozzles, e.g. exchangeable or provided with breakaway lines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1494—Maintenance of nozzles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザを用いて加工を行う各種レーザ加工機
において、特に加工精度を必要とするレーザ加工全般お
よびアシストガス消費量を最少にするために、ノズルの
レーザビーム出口穴トレーザビームとの偏心を極少にで
きるレーザ加工機用外部光学装置に関する。
において、特に加工精度を必要とするレーザ加工全般お
よびアシストガス消費量を最少にするために、ノズルの
レーザビーム出口穴トレーザビームとの偏心を極少にで
きるレーザ加工機用外部光学装置に関する。
まずレーザ加工機の一般的利用原理を第１図に示す。す
なわち、レーザ発振器１から発振されたレーザビーム２
！／′ｉ全反射ミラー３によって屈折され、集光レンズ
４のレンズ中心点５を経て焦点６を形成する。この時、
屈折息子とレンズ中心点６が垂直でないと、焦点６は屈
折息子に対して垂直にならず被加工物８の切断面が直角
に切断されなかったり、アシストガスが有効に働かず切
れ味が悪くなる。この図は原理図であるから全反射ミラ
ー３はなり、レーザビーム２を直接集光レンズ４に照射
させてもよい。ただこの場合Ｆｉ、レーザ発振器１を縦
長にするか、集光レンズ、後述するノズルを横向けにす
る必要がある。また全反射ミラー３が複数個でもかまわ
ない。
なわち、レーザ発振器１から発振されたレーザビーム２
！／′ｉ全反射ミラー３によって屈折され、集光レンズ
４のレンズ中心点５を経て焦点６を形成する。この時、
屈折息子とレンズ中心点６が垂直でないと、焦点６は屈
折息子に対して垂直にならず被加工物８の切断面が直角
に切断されなかったり、アシストガスが有効に働かず切
れ味が悪くなる。この図は原理図であるから全反射ミラ
ー３はなり、レーザビーム２を直接集光レンズ４に照射
させてもよい。ただこの場合Ｆｉ、レーザ発振器１を縦
長にするか、集光レンズ、後述するノズルを横向けにす
る必要がある。また全反射ミラー３が複数個でもかまわ
ない。
第２図はこの種レーザ加工機における従来の外部光学装
置を示す。集光レンズ４はレンズマウント部９．１ｏで
挾まれて、ノズルマウント部１１にねじ１２などで取り
付けられている。ノズル１３はねじ１４などでノズルマ
ウント部１１に固定されている。レーザビーム２はｉ光
レンズ４の中心を通過し集光されながらノズル１３のレ
ーザビーム出口穴１６を経て焦点６を形成する。１６は
被加工物８の酸化を防止したり、燃焼を防止したり、ガ
スの運動エネルギーで溶融した部分を吹き飛ばしたりす
るためのアシストガスを供給するノズル１３の入口であ
る。アシストガスはレーザビーム２とともにレーザビー
ム出口穴１６より被加工物８に吹き付けられる。
置を示す。集光レンズ４はレンズマウント部９．１ｏで
挾まれて、ノズルマウント部１１にねじ１２などで取り
付けられている。ノズル１３はねじ１４などでノズルマ
ウント部１１に固定されている。レーザビーム２はｉ光
レンズ４の中心を通過し集光されながらノズル１３のレ
ーザビーム出口穴１６を経て焦点６を形成する。１６は
被加工物８の酸化を防止したり、燃焼を防止したり、ガ
スの運動エネルギーで溶融した部分を吹き飛ばしたりす
るためのアシストガスを供給するノズル１３の入口であ
る。アシストガスはレーザビーム２とともにレーザビー
ム出口穴１６より被加工物８に吹き付けられる。
この従来装置では、第３図に示すように１本来レーザビ
ーム２７５１人ってくるべきミラー中心点１６よりずれ
を生じ、ミラー中心外１７にレーザビームが入った場合
、集光レンズ４に対しても中心以外の所へレーザビーム
が反射されるのでレーザビームは本来ミラー中心点１６
．レンズ中心点６を経て、焦点６に米るべきものが誤焦
点１８へ行く。またレーザビームはレーザ発振器１の移
動、歪あるいはレーザ発振器１内のミラーの調整９機械
加工誤差などによりミラー中心点１６からずれを生じた
点ヘレーザビームを照射してしまうのが一般的である。
ーム２７５１人ってくるべきミラー中心点１６よりずれ
を生じ、ミラー中心外１７にレーザビームが入った場合
、集光レンズ４に対しても中心以外の所へレーザビーム
が反射されるのでレーザビームは本来ミラー中心点１６
．レンズ中心点６を経て、焦点６に米るべきものが誤焦
点１８へ行く。またレーザビームはレーザ発振器１の移
動、歪あるいはレーザ発振器１内のミラーの調整９機械
加工誤差などによりミラー中心点１６からずれを生じた
点ヘレーザビームを照射してしまうのが一般的である。
そのため１通常は全反射ミラー３の角度金変えることに
より、レーザビーム２を多少振ることができるが、それ
だけではレーザビームの直心性がなくなり、ミラー中心
外１７のレーザビーム２を全反射ミラー３の調整でレン
ズ中心点６に照射すると、レーザビーム２は誤焦点１８
へ行ってしまい、被加工物８に対して、あるいはガスを
直線状に吹き出すためのノズル１３に対して直角度、平
行度がそれぞれ確保できない。直角度、平行度が確保で
きないと、被加工物の切断面が直角でなくなり、商品価
値が大巾に低下する。また被加工物に対して直角にガス
が照射されなくなり、ガス消費量を増す必要が生じる。
より、レーザビーム２を多少振ることができるが、それ
だけではレーザビームの直心性がなくなり、ミラー中心
外１７のレーザビーム２を全反射ミラー３の調整でレン
ズ中心点６に照射すると、レーザビーム２は誤焦点１８
へ行ってしまい、被加工物８に対して、あるいはガスを
直線状に吹き出すためのノズル１３に対して直角度、平
行度がそれぞれ確保できない。直角度、平行度が確保で
きないと、被加工物の切断面が直角でなくなり、商品価
値が大巾に低下する。また被加工物に対して直角にガス
が照射されなくなり、ガス消費量を増す必要が生じる。
またこれらを解決する従来装置として第４図のように、
ミラー中心外１７のレーザビームを直角におろし、全反
射ミラー中心点１６から直角におろした場合の集光レン
ズ位置１９を２０の位置へ移動させ、レーザビーム２と
レンズ４が直交するようにする。その結果、本来の焦点
６は誤焦点２１を形成するが、レーザビーム出口穴１６
を本来の位置から第６図のように誤位置２２へ移動させ
る必要がある。これより全反射ミラー３のミラー中心点
１６へ必ずしもレーザビーム２が照射されなくとも、全
反射ミラー、集光レンズ、レーザビーム出口穴の直線性
と直角性を確保することができる。
ミラー中心外１７のレーザビームを直角におろし、全反
射ミラー中心点１６から直角におろした場合の集光レン
ズ位置１９を２０の位置へ移動させ、レーザビーム２と
レンズ４が直交するようにする。その結果、本来の焦点
６は誤焦点２１を形成するが、レーザビーム出口穴１６
を本来の位置から第６図のように誤位置２２へ移動させ
る必要がある。これより全反射ミラー３のミラー中心点
１６へ必ずしもレーザビーム２が照射されなくとも、全
反射ミラー、集光レンズ、レーザビーム出口穴の直線性
と直角性を確保することができる。
ただ、この第４図、第６図に示゛した方法を第２図の装
置に導入するだけでは、レーザビームが直線的に被加工
物に対しても直角であることを確認する方法がなかった
。
置に導入するだけでは、レーザビームが直線的に被加工
物に対しても直角であることを確認する方法がなかった
。
本発明では、上記のような従来装置に集光レンズ、レー
ザビーム出口穴の位置調整を付加するとともに、その直
線性と直角性を目視にてチェックすることが可能な機。
ザビーム出口穴の位置調整を付加するとともに、その直
線性と直角性を目視にてチェックすることが可能な機。
能をあらかじめもたせ、レーザ発振器の移動、外力、内
部ミラーの反射方向変更１機械的製作誤差などを相当量
吸収し、その誤差と直線性、直角性を目視で確認できる
ようにしたものである。
部ミラーの反射方向変更１機械的製作誤差などを相当量
吸収し、その誤差と直線性、直角性を目視で確認できる
ようにしたものである。
以下本発明による外部光学装置の一実施例を第６図に第
２図と同等部分には同一番号を付しその他の部分につい
て説明する。ノズルマウント部２３には上ねじ２４が加
工され土製ナツト２６によって上ノズル２６とはまり合
つている。
２図と同等部分には同一番号を付しその他の部分につい
て説明する。ノズルマウント部２３には上ねじ２４が加
工され土製ナツト２６によって上ノズル２６とはまり合
つている。
下ノズル２７も同様に、上ノズル２６に加工された下ね
じ２８によって上製ナツト２９ではまり合っている。集
光レンズ４はレンズマウント部９゜１ｏにねじ１２で固
定されている。Ｑ ＩＪング３゜はレンズマウント部９
をノズルマウント部２３に押し付けるだめのもので、調
整ねじ３１Ｆｉレンズ４を移動させるためのものである
。レーザビーム出口穴１６はノズル３２に加工され、レ
ンズ４と同じように０リング３３で押し付けられ、調整
ねじ３４で移動可能となっている。
じ２８によって上製ナツト２９ではまり合っている。集
光レンズ４はレンズマウント部９゜１ｏにねじ１２で固
定されている。Ｑ ＩＪング３゜はレンズマウント部９
をノズルマウント部２３に押し付けるだめのもので、調
整ねじ３１Ｆｉレンズ４を移動させるためのものである
。レーザビーム出口穴１６はノズル３２に加工され、レ
ンズ４と同じように０リング３３で押し付けられ、調整
ねじ３４で移動可能となっている。
本発明の特長としては、レーザビーム２のレンズ中心６
．レーザビーム出口穴１６に対する直線性、直角性を確
認することができる点にある。
．レーザビーム出口穴１６に対する直線性、直角性を確
認することができる点にある。
光軸を確認する場合は、第６図に示す構成のうち、上ノ
ズル２６より焦点６までの全部品を取り外し、第７図に
示す光軸確認用治具３６を代りに挿入する。治具３６は
切り欠き３６．３６’と座３７゜３γ′を有し、切り欠
き３６．３６’の巾はＴおよびＴ・である。また下袋ナ
ツト２６で治具３６を固定する。レンズ部の光点を確認
する場合は、切り欠き３６の部分に樹脂等で作った光軸
確認板３８を挿入し、非常に短時間のレーザビーム２を
照射し、確認板３８を燃焼または変色させることにより
確認する。また確認板３８の取り出しは穴３９より丸棒
等を挿入して行う。同様に確認板３８を座３７′に挿入
し、レーザビーム出口穴に相当する光軸の確認を行う。
ズル２６より焦点６までの全部品を取り外し、第７図に
示す光軸確認用治具３６を代りに挿入する。治具３６は
切り欠き３６．３６’と座３７゜３γ′を有し、切り欠
き３６．３６’の巾はＴおよびＴ・である。また下袋ナ
ツト２６で治具３６を固定する。レンズ部の光点を確認
する場合は、切り欠き３６の部分に樹脂等で作った光軸
確認板３８を挿入し、非常に短時間のレーザビーム２を
照射し、確認板３８を燃焼または変色させることにより
確認する。また確認板３８の取り出しは穴３９より丸棒
等を挿入して行う。同様に確認板３８を座３７′に挿入
し、レーザビーム出口穴に相当する光軸の確認を行う。
レンズ部とレーザビーム出口穴の光軸が一致するように
全反射ミラー３を移動または角度調整してもよいし、全
反射ミラー３のレーザビームをレンズおよびノズルに直
角に照射するように全反射ミラー３を調整し、偏心分は
光軸を確認した方向へレンズおよびノズルを移動させて
もよい。第７図（づ）、（ハ）におけるＤＦｉ確認板３
８の挿入部の径を示している。そしてより正確な光軸の
確認をしたい時は、第８図に示すように・下袋ナツト２
９を利用してノズル用光軸調整治具４０を取り付けて行
えばよい。
全反射ミラー３を移動または角度調整してもよいし、全
反射ミラー３のレーザビームをレンズおよびノズルに直
角に照射するように全反射ミラー３を調整し、偏心分は
光軸を確認した方向へレンズおよびノズルを移動させて
もよい。第７図（づ）、（ハ）におけるＤＦｉ確認板３
８の挿入部の径を示している。そしてより正確な光軸の
確認をしたい時は、第８図に示すように・下袋ナツト２
９を利用してノズル用光軸調整治具４０を取り付けて行
えばよい。
なお、上記の確認板３８としては２９図のように中心を
示す罫書線４１を入れるか、第１０図のように中心を示
す小径穴４２を加工し、中心からのずれは第１１図のよ
うな燃焼による変色点４３で確認する。
示す罫書線４１を入れるか、第１０図のように中心を示
す小径穴４２を加工し、中心からのずれは第１１図のよ
うな燃焼による変色点４３で確認する。
以上のような構成よりなる本発明の外部光学装置によれ
ば、次のような効果がある。
ば、次のような効果がある。
（１）光軸のずれに対応して集光レンズ、ノズルの位置
を設定できる。
を設定できる。
（２）光軸のずれを目視で確認することができる構成と
なっている。
なっている。
（３）被加工物の切断面をより直角に近くできる。
（４）レーザビーム出口穴に対するレーザビームの偏心
を少なくできることにより、アシストガス量の効率がよ
くなるので、消費量を減らすことができる。
を少なくできることにより、アシストガス量の効率がよ
くなるので、消費量を減らすことができる。
（６） ノズル周辺を構成する部品が袋ナツトで取り
付けられているので分解が容易であり、これによりノズ
ルの清掃、集光レンズの清掃などが容易に行える。
付けられているので分解が容易であり、これによりノズ
ルの清掃、集光レンズの清掃などが容易に行える。
第１図はレーザ加工機の概略構成を示す正面図、第２図
は従来のレーザ加工機用外部光学装置の断面正面図、第
３図は偏心したレーザビームの屈折説明図、第４図は偏
心したレーザビームに集光レンズを合わせた時の屈折説
明図、第６図は偏心したレーザビームにノズルを合わせ
た時の屈折説明図、第６図は本発明によるレーザ加工機
用外部光学装置の一実施例の断面正面図、第７図（イ）
、（ロ）。 （ハ）は光軸確認用治具の正面図と一部側面図と底面図
、第８図はノズル用光軸調整治具の正面図、第９図、第
１０図は光軸確認板の各側の平面図、第１１図は光軸を
確認した時の変色点を示す光軸確認板の平面図である。 １・・・・・・レーザ発振器、２・・・・・・レーザビ
ーム、４・・・・・・集光レンズ、８・・・・・・被加
工物、９．１０・・・・・・レンズマウント部、１２・
・・・・・ねじ、２３・・・・・・ノズルマウント部、
２６・・・・・・下袋ナツト、２６・・・・・・上ノズ
ル、２７・・・・・・下ノズル、２９・・・・・・下袋
ナツト。 ３１・・・・・・調整ねじ、３２・・・・・・ノズル、
３４・・・・・・調整ねじ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 え、。 θ 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 手続補正書 昭和６７年６ 月２７日 特許庁長官殿 ｌ事件の表示 昭和５６年特許願第２０３９１３号 ２発明の名称 レーザー加工機用外部光学装置 ３補正をする者 事ｆ１との関１ふ 特 許 出
願 人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番
地名 称 （５８２）松下電器産業株式会社代表者
山 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地〔連絡先
電話（東京）４３７〜１１２１特許分室〕５補正の対象 図面 第６図
は従来のレーザ加工機用外部光学装置の断面正面図、第
３図は偏心したレーザビームの屈折説明図、第４図は偏
心したレーザビームに集光レンズを合わせた時の屈折説
明図、第６図は偏心したレーザビームにノズルを合わせ
た時の屈折説明図、第６図は本発明によるレーザ加工機
用外部光学装置の一実施例の断面正面図、第７図（イ）
、（ロ）。 （ハ）は光軸確認用治具の正面図と一部側面図と底面図
、第８図はノズル用光軸調整治具の正面図、第９図、第
１０図は光軸確認板の各側の平面図、第１１図は光軸を
確認した時の変色点を示す光軸確認板の平面図である。 １・・・・・・レーザ発振器、２・・・・・・レーザビ
ーム、４・・・・・・集光レンズ、８・・・・・・被加
工物、９．１０・・・・・・レンズマウント部、１２・
・・・・・ねじ、２３・・・・・・ノズルマウント部、
２６・・・・・・下袋ナツト、２６・・・・・・上ノズ
ル、２７・・・・・・下ノズル、２９・・・・・・下袋
ナツト。 ３１・・・・・・調整ねじ、３２・・・・・・ノズル、
３４・・・・・・調整ねじ。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 え、。 θ 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図 手続補正書 昭和６７年６ 月２７日 特許庁長官殿 ｌ事件の表示 昭和５６年特許願第２０３９１３号 ２発明の名称 レーザー加工機用外部光学装置 ３補正をする者 事ｆ１との関１ふ 特 許 出
願 人任 所 大阪府門真市大字門真１００６番
地名 称 （５８２）松下電器産業株式会社代表者
山 下 俊 彦 ４代理人 〒５７１ 住 所 大阪府門真市大字門真１００６番地〔連絡先
電話（東京）４３７〜１１２１特許分室〕５補正の対象 図面 第６図
Claims (1)
- （１）レーザ加工機のレーザビームを集光するための集
光レンズをマウントしたレンズマウント部と被加工物に
供給するアシストガスを案内するノズル部とをノズルマ
ウント部に対して分解可能かつ再現性可能に取り付けた
ことを特徴とするレーザ加工機用外部光学装置。 ＠）レンズマウント部およびノズル部をノズルマウント
部から袋ナツトにより分解可能にしたことを特徴とする
特許請求の範囲第（１）項に記載のレーザ加工機用外部
光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56203913A JPS58103993A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56203913A JPS58103993A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58103993A true JPS58103993A (ja) | 1983-06-21 |
Family
ID=16481762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56203913A Pending JPS58103993A (ja) | 1981-12-17 | 1981-12-17 | レ−ザ加工機用外部光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58103993A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6027487A (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ溶接装置 |
| JPS6090682A (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-21 | 株式会社妙徳 | 工具類の自動供給装置 |
| JPS60104692A (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-10 | 株式会社 妙徳 | ロボツト装置 |
| JPS6130294A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ集光装置 |
| JPH01500650A (ja) * | 1986-09-01 | 1989-03-09 | インスティテューテット・フォル・プロドゥクトウドビックリング | レーザー処理用ノズル |
| JPH0557470A (ja) * | 1991-08-31 | 1993-03-09 | Fanuc Ltd | レーザ加工方法及び加工装置 |
| US5702622A (en) * | 1995-04-28 | 1997-12-30 | Precitex Gmbh | Terminal head for processing a workpiece by means of a laser beam |
| CN104985330A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-10-21 | 嘉兴威斯柏自动化科技有限公司 | 小功率激光混切机及其使用方法 |
| WO2025046792A1 (ja) * | 2023-08-30 | 2025-03-06 | ファナック株式会社 | 調整用治具及びスキャナの調整方法 |
-
1981
- 1981-12-17 JP JP56203913A patent/JPS58103993A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6027487A (ja) * | 1983-07-26 | 1985-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ溶接装置 |
| JPS6090682A (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-21 | 株式会社妙徳 | 工具類の自動供給装置 |
| JPS60104692A (ja) * | 1983-11-14 | 1985-06-10 | 株式会社 妙徳 | ロボツト装置 |
| JPS6130294A (ja) * | 1984-07-23 | 1986-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ集光装置 |
| JPH01500650A (ja) * | 1986-09-01 | 1989-03-09 | インスティテューテット・フォル・プロドゥクトウドビックリング | レーザー処理用ノズル |
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| US5702622A (en) * | 1995-04-28 | 1997-12-30 | Precitex Gmbh | Terminal head for processing a workpiece by means of a laser beam |
| CN104985330A (zh) * | 2015-06-12 | 2015-10-21 | 嘉兴威斯柏自动化科技有限公司 | 小功率激光混切机及其使用方法 |
| WO2025046792A1 (ja) * | 2023-08-30 | 2025-03-06 | ファナック株式会社 | 調整用治具及びスキャナの調整方法 |
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