JPS60236024A - 直熱型空気流量センサ - Google Patents
直熱型空気流量センサInfo
- Publication number
- JPS60236024A JPS60236024A JP59091041A JP9104184A JPS60236024A JP S60236024 A JPS60236024 A JP S60236024A JP 59091041 A JP59091041 A JP 59091041A JP 9104184 A JP9104184 A JP 9104184A JP S60236024 A JPS60236024 A JP S60236024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- resistance
- air flow
- resistor
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000003187 abdominal effect Effects 0.000 claims description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000446 fuel Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 30
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 description 1
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 description 1
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 description 1
- 241000157302 Bison bison athabascae Species 0.000 description 1
- 101150032175 C1RL gene Proteins 0.000 description 1
- 101100027969 Caenorhabditis elegans old-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はたとえば内燃（幾閏の吸入空気−全検出するた
めの空気流ｌ杖センサに関し、特に、１１う１式抵抗を
有する直熱型空気流ｔ４センサに１句する。
めの空気流ｌ杖センサに関し、特に、１１う１式抵抗を
有する直熱型空気流ｔ４センサに１句する。
従来技術
一般に、電子制御式内燃機関においては、基本燃料噴装
置、基本点火時期等の制山１のために機関の吸入空気縦
は重要な運転状態パラメータの１つである。従来、この
ような吸入空気−を検出するための空気流黴センサ（エ
アフローメータとも阿り）はベーン式のものか主流であ
ったか、Ｍ近、小型、応答性が良い等の利点を有する温
度依存４１１４抗を用いた熱式ものか実用化されている
。
置、基本点火時期等の制山１のために機関の吸入空気縦
は重要な運転状態パラメータの１つである。従来、この
ような吸入空気−を検出するための空気流黴センサ（エ
アフローメータとも阿り）はベーン式のものか主流であ
ったか、Ｍ近、小型、応答性が良い等の利点を有する温
度依存４１１４抗を用いた熱式ものか実用化されている
。
さらに、温度依存抵抗を有する空気流−センサとしては
、空気型−を直接検出する初熱阜（マスフロー型）と、
空気界線を検出する的熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流駅センサにおいては、空気流のｉ
？Ｉ１１度を検知するたり）の温度依存抵抗の−Ｌ流に
発熱抵抗を設け、／１．１ｌＩＱ−依台抵抗の渇Ｉｆが
一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバック制
御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気重度を検出
するものである（参照；特公昭５４−９６６２号公報）
。他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流
量センサにおいては、空気流の基環を検知するための温
度依存抵抗を発熱抵抗としても作用させ、この温度依存
抵抗の渇ｔＯが一定になるように温度依存抵抗の電流値
全フィードパ、り制御し、温度依存抵抗に印加される電
ＩＥにより空気答駄を検出するものである。もちろん、
この直熱型を用いた内燃機関においては、吸入空気自体
の温度を検出するための温度依存抵抗は別個に設ける必
要がある。
、空気型−を直接検出する初熱阜（マスフロー型）と、
空気界線を検出する的熱型（ボリュームフロー型）とが
ある。傍熱型の空気流駅センサにおいては、空気流のｉ
？Ｉ１１度を検知するたり）の温度依存抵抗の−Ｌ流に
発熱抵抗を設け、／１．１ｌＩＱ−依台抵抗の渇Ｉｆが
一定になるように発熱抵抗の電流値をフィードバック制
御し、発熱抵抗に印加される電圧により空気重度を検出
するものである（参照；特公昭５４−９６６２号公報）
。他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気流
量センサにおいては、空気流の基環を検知するための温
度依存抵抗を発熱抵抗としても作用させ、この温度依存
抵抗の渇ｔＯが一定になるように温度依存抵抗の電流値
全フィードパ、り制御し、温度依存抵抗に印加される電
ＩＥにより空気答駄を検出するものである。もちろん、
この直熱型を用いた内燃機関においては、吸入空気自体
の温度を検出するための温度依存抵抗は別個に設ける必
要がある。
本発明は上記直熱型の空気流口センサであって、温度依
存抵抗を模式抵抗にて構成したものに適用される。
存抵抗を模式抵抗にて構成したものに適用される。
通常、模式抵抗の発熱温度を一定にする空気流量センサ
の応答性、ダイナミックレンジは熱容量（ヒートマス）
となる発熱部１に用センシング部の断熱効果の桿度で決
定される。すなわち、最も応答性がよく、且つダイナミ
ックレンジを酎も大きくするためには、理想的に発熱１
■＜兼用センシング部が完全に空気流中に浮かんだ状如
になることである。しかしながら、従来の模式抵抗の３
１４熱部兼用センシング部はほぼ同一の１１９．１でも
って空気１１４ｔｌｄセンサのダクトに保持されていた
ために、断熱効果が小さく、従って、応答性が悪く目、
つダイ・ノ゛ミックレンジが小さいという開店１点があ
った。
の応答性、ダイナミックレンジは熱容量（ヒートマス）
となる発熱部１に用センシング部の断熱効果の桿度で決
定される。すなわち、最も応答性がよく、且つダイナミ
ックレンジを酎も大きくするためには、理想的に発熱１
■＜兼用センシング部が完全に空気流中に浮かんだ状如
になることである。しかしながら、従来の模式抵抗の３
１４熱部兼用センシング部はほぼ同一の１１９．１でも
って空気１１４ｔｌｄセンサのダクトに保持されていた
ために、断熱効果が小さく、従って、応答性が悪く目、
つダイ・ノ゛ミックレンジが小さいという開店１点があ
った。
発明の目的
本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
模式抵抗の発熱部兼用センシング部とダクトの保持部と
の間に切欠きを設けることにより、模式抵抗の発熱部兼
用センシング部の断熱効果を大きくせしめ、空気流磁セ
ンサの応答性およびダイナミックレンジを向上せしめる
ことにある。
模式抵抗の発熱部兼用センシング部とダクトの保持部と
の間に切欠きを設けることにより、模式抵抗の発熱部兼
用センシング部の断熱効果を大きくせしめ、空気流磁セ
ンサの応答性およびダイナミックレンジを向上せしめる
ことにある。
発明の構成
上述の目的を達成するために本発明によれば、模式抵抗
をダクト内に収納した直熱吸気通路センサにおいて、前
記模式抵抗の前記ダクトへの保持部分に切欠きを形成し
たこと？ｉ：特徴とする白熱型空気流嶽センサが提供さ
れる。
をダクト内に収納した直熱吸気通路センサにおいて、前
記模式抵抗の前記ダクトへの保持部分に切欠きを形成し
たこと？ｉ：特徴とする白熱型空気流嶽センサが提供さ
れる。
実施例
第１図（Ａ）は本発明に係る模式抵抗を有する直熱吸気
通路２にはエアクリーナ６および整流格子４を介して空
気が吸入される。この吸気通路２内にｄ［測管（ダクト
）５が設けられ、その内部に空気流祉を計測するための
発熱ヒータ兼用温度依存抵抗６が設けられている。この
温度依存抵抗６は第１図（Ｂ）に示すように、ステイア
に固定され、第１図（０）に示すようにステイアの外側
に設けられた吸入空気温度を検出するための温度依存抵
抗８と共にハイブリッド基板１１に接続されている。こ
のハイプリ、ド基板１１は第１図（Ａ）のセンサ回路部
９′であり、温度依存抵抗６の温度が吸気温度に対して
一定潟度になる様に抵抗６の発熱量をフィードバック制
御し、その消費電力信号（センサ出力）を第１図（Ａ）
の制御回路９に出力している。制御回路９は例えば、マ
イクロコンピュータによって構成され燃料噴射弁１０の
制御ｉｌ＋＋等を行なり。
通路２にはエアクリーナ６および整流格子４を介して空
気が吸入される。この吸気通路２内にｄ［測管（ダクト
）５が設けられ、その内部に空気流祉を計測するための
発熱ヒータ兼用温度依存抵抗６が設けられている。この
温度依存抵抗６は第１図（Ｂ）に示すように、ステイア
に固定され、第１図（０）に示すようにステイアの外側
に設けられた吸入空気温度を検出するための温度依存抵
抗８と共にハイブリッド基板１１に接続されている。こ
のハイプリ、ド基板１１は第１図（Ａ）のセンサ回路部
９′であり、温度依存抵抗６の温度が吸気温度に対して
一定潟度になる様に抵抗６の発熱量をフィードバック制
御し、その消費電力信号（センサ出力）を第１図（Ａ）
の制御回路９に出力している。制御回路９は例えば、マ
イクロコンピュータによって構成され燃料噴射弁１０の
制御ｉｌ＋＋等を行なり。
第２図（Ａ）は第１図の７Ｍ Ｉす依存１」１．抗６の
一例をツバす平面図、第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）のＢ
−Ｂ線断面図である。第２図（Ａ）、 （Ｂ）において
は、２０〜５（］μｍ厚の金属板２１上に８１０２．５
ｉ３１Ｊ４１の絶Ｗ ＩＦＪ２２を形成し、さらに、そ
のにに、導体ｌ１１２３を形成する。導体Ｎ２３は、第
２図（Ａ）に示ずごとく、工、チングによってパターン
化される。特に、２３αは発熱部兼用センシング部を形
成する。１本発明によれば、この発熱部兼用センシング
部２３αの両端の保持部に切欠き２４Ｔｒ：形成するこ
とにより発熱部兼用センシング部２３ｇの断熱効果な大
きくしている。なお、導体層２３の部分２５ｈは電圧印
加部である。さらに、図示せぬが、導体層２３を保護す
るためにそのＬに絶縁膜が形成される。
一例をツバす平面図、第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）のＢ
−Ｂ線断面図である。第２図（Ａ）、 （Ｂ）において
は、２０〜５（］μｍ厚の金属板２１上に８１０２．５
ｉ３１Ｊ４１の絶Ｗ ＩＦＪ２２を形成し、さらに、そ
のにに、導体ｌ１１２３を形成する。導体Ｎ２３は、第
２図（Ａ）に示ずごとく、工、チングによってパターン
化される。特に、２３αは発熱部兼用センシング部を形
成する。１本発明によれば、この発熱部兼用センシング
部２３αの両端の保持部に切欠き２４Ｔｒ：形成するこ
とにより発熱部兼用センシング部２３ｇの断熱効果な大
きくしている。なお、導体層２３の部分２５ｈは電圧印
加部である。さらに、図示せぬが、導体層２３を保護す
るためにそのＬに絶縁膜が形成される。
第６図（Ａ）は第１図の濡度依存抵抗乙の他の例を示す
平面図、第６図（Ｂ）は第３図（Ａ）のＢ−ＢＩＩＭ断
面図、第３図（０）は第６図（Ａ）のｏ−ｏＨ断面図で
ある。
平面図、第６図（Ｂ）は第３図（Ａ）のＢ−ＢＩＩＭ断
面図、第３図（０）は第６図（Ａ）のｏ−ｏＨ断面図で
ある。
第６図（Ａ）〜（０）においては、Ｐ−＠型単結晶シリ
コン１＾板６１上にＮ型の単結晶シリコン５２を成長さ
け、次いで、このｌＪ型シリコンに低抵抗層としての１
」へ敗層６３およびアイソレージ、ン用のＰ拡散層５４
を形成する。そして、Ｎ＋拡散層３３上に配梅用アル１
ニウム電極Ｐ１．Ｐ２を形成する。
コン１＾板６１上にＮ型の単結晶シリコン５２を成長さ
け、次いで、このｌＪ型シリコンに低抵抗層としての１
」へ敗層６３およびアイソレージ、ン用のＰ拡散層５４
を形成する。そして、Ｎ＋拡散層３３上に配梅用アル１
ニウム電極Ｐ１．Ｐ２を形成する。
本発明によれば、ざらにＮ拡散層３２の両側に第２図（
Ａ）、 （Ｂ）の切欠き２４と同様な切欠き３５を形成
し、また、基板３１の裏面からも切欠き３６を形成する
。このようにして、発熱部兼用センシング部とし°Ｃの
Ｎ拡散層６２の断熱効果が大きくなる。なお、切欠き３
５．３６は異方性工、チングによって形成できる。さら
に、温度依存抵抗６全体は図示せぬ絶縁膜で被膜するも
のとする。
Ａ）、 （Ｂ）の切欠き２４と同様な切欠き３５を形成
し、また、基板３１の裏面からも切欠き３６を形成する
。このようにして、発熱部兼用センシング部とし°Ｃの
Ｎ拡散層６２の断熱効果が大きくなる。なお、切欠き３
５．３６は異方性工、チングによって形成できる。さら
に、温度依存抵抗６全体は図示せぬ絶縁膜で被膜するも
のとする。
第４図（Ａ）もまた第１図の温度依存抵抗６のさらに他
の例を示す平面図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）のＢ−
Ｉｎ断面図、第４図（０）は第４図（Ａ）の０−０線断
面図である。第４図（Ａ）〜（０）においては、第３図
（蜀〜（０）に対して、さらに切欠き６７を形成したも
のである。これにより、発熱兼用センシング部としての
Ｎ拡散層６２の断熱効果はさらに大きくなる。
の例を示す平面図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）のＢ−
Ｉｎ断面図、第４図（０）は第４図（Ａ）の０−０線断
面図である。第４図（Ａ）〜（０）においては、第３図
（蜀〜（０）に対して、さらに切欠き６７を形成したも
のである。これにより、発熱兼用センシング部としての
Ｎ拡散層６２の断熱効果はさらに大きくなる。
第２、第３の実施例では、第１の実ｊｄｈ例ＧＪｉ 、
−１＜したように金Ｂ４（たとλ−ば１）ｔ、Ｎ１等）
な点有、スパッタ等で製膜し発熱１１１４抗体とするこ
とも＋＊ｒ ｔｎ４了゛あるが、本実施例のＪ［うに発
熱Ｉｌｌ；抗体を半増１１・技術を用いた拡散抵抗と４
ることによ？）、同質４７目１での抵抗値を変えること
で僑わたＬ Ｉ’ｌｌｔ分をｆル、抵抗のまま細くでき
る、ヒータ部が面ヒータとｌＪすｌ＾、１川分布を小さ
くでき応η性が向上する、発熱体の接着強ＩＬ熱膨張率
の１（？い等を考慮する必要がｔｃい等の利点がある。
−１＜したように金Ｂ４（たとλ−ば１）ｔ、Ｎ１等）
な点有、スパッタ等で製膜し発熱１１１４抗体とするこ
とも＋＊ｒ ｔｎ４了゛あるが、本実施例のＪ［うに発
熱Ｉｌｌ；抗体を半増１１・技術を用いた拡散抵抗と４
ることによ？）、同質４７目１での抵抗値を変えること
で僑わたＬ Ｉ’ｌｌｔ分をｆル、抵抗のまま細くでき
る、ヒータ部が面ヒータとｌＪすｌ＾、１川分布を小さ
くでき応η性が向上する、発熱体の接着強ＩＬ熱膨張率
の１（？い等を考慮する必要がｔｃい等の利点がある。
なお、第２図に示す第１の実か！ξ例において、）ＩＩ
板２１を樹脂フィルム（例えば耐熱性のボＩＪ −（ｉ
ド）にして、導体層２３をそのＩ−に蒸オｔ１スバアタ
で製膜したり、金属フィルムを接治したりして形成する
こともできる。
板２１を樹脂フィルム（例えば耐熱性のボＩＪ −（ｉ
ド）にして、導体層２３をそのＩ−に蒸オｔ１スバアタ
で製膜したり、金属フィルムを接治したりして形成する
こともできる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、腹式１１１抗の発熱
部兼用センシング部の断熱効果が大きくｆ、ｒるので、
空気流ｈｉセンヤの応答性およびダイナミックレンジを
向−にさゼることかできる。
部兼用センシング部の断熱効果が大きくｆ、ｒるので、
空気流ｈｉセンヤの応答性およびダイナミックレンジを
向−にさゼることかできる。
第１図（Ａ）は本発明に係る模式抵抗を有する直熱型空
気流敏センザが適用された内燃機関を示す全体概要図、
第１図（Ｂ）、第１図（０）は第１図（Ａ）の空気流思
センダの拡大縦断面図および横断面図、第２図（Ａ）は
第１図の７Ｍ Ｉｔ依存抵抗６の一例を示す平面図、第
２図（Ｅ）は第２ＦＡ（Ａ）のＢ−Ｅ線断面図；第６図
（勾は第１図の渇ＩＶ依存抵抗６の他の例を示す平面図
、第３図（Ｂ）は第５図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第３
図（０）は第３図（Ａ）のＯ−ａ線断面図、第４図（Ａ
）は第１図の温度依存抵抗乙のさらに他の例を示す平面
図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第
４図（０）は第４図（Ａ）の０−ａ線断面図である。 ４寡空気流量センサ ６冨濡度依存抵抗（模式抵抗） ２４．５５． ろ６，６７：切欠き。 第１図 （Ａ） １） 第１図（。） 第 第２図（Ａ）／旦 １ ｆ ： ：２２１ □ □ ２図（Ｂｙ １ □ □ ）１ ・ ４２４ ｉ４−口］ 目−山 第１頁の続き ＠発明者 金属 賢治 西尾重下Ｊ 研究所内 ［株］１発 明 者 服 部 正 西尾市下町研究所内 ）角町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品総合ｊ角
町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品総合手続補正
書（自発） 昭和６０年２ 月／ユ日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９１０４１ 号２、発明の名称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称（４６９）株式会社 日不自書車部品総合研究所
４、代理人 （外 ４ 名） ５ 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明 ６、 袖ｊ１−の内含 （１）明細書第３田第８行［」 「一定」の前にｒ列気濡度す４「わち吸入空気の温度に
対して』を挿入する。 （２ン 明細書第３田第１１行＋１ 「もちろん」を「従って』とｈｌｆ ＋Ｅずる。 手続補正書（６発） 昭和６０年４ 月１０日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９１０４１ 号２、発明の名称 直熱型空気Ｉ＃、址センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 （外 ４ 名） ５ 補正の灼象 明細書の１発す１のｊｉｌＩＩＩｌなりｌｌ明ＩＱノ（
捲６ 補正の内容 明細書第２自第１５行目から第；３白８１Ｎ］ ３竹［
１［さらに、’・’”’ｍす６−ｙ＞ ９がｉ、＋ｏＪ
（Ｉｌ−次σ）（：とく補止する。 １畑らに、温度依存抵抗（！７市−すＺ）空気随一セン
サとしては、傍熱型と自熱ハ１１とがある○罠とλば、
傍熱型の空気流−センサ１１、機関の吸気ｊｌｌｌ路Ｖ
Ｃ６けられた発熱抵抗、お、Ｌびその−に流、■Ｊω１
１１１１ ｉ′Ｃ１ｒｌ之けられ罠２つの１品度依存抵
抗を１耐１えている。この場合、土に側のム＾糺依イＦ
抵抗は発熱りＬ ＰＡ ＶＣよｌＪ Ｊｌｌｌｌｌｌ空
前流のＩＭ度全慣慣用るものであり、つまり、外気温吸
油ｆ旧１］であり、ま７こ、ｌ；６口（１１１のｔｔ＊
ｔｓ−依存抵抗に加熱抵抗に１って加熱さＪ１罠空気
ωｉの温度を検出すゐ０これにエリ、−トか＋、 １＋
１１１の睨１耳イ六イＩ抵抗と上流側の温度依存抵抗と
のｒｋＪｌ黒差が−＞ｉｉ Ｖ（なるように発熱ｉに
４Ａ、の篭０市値會ンイードバ・ツク制御し、発熱抵抗
に印加８れる′Ｂｌ’、 Ｉ ｆ： ＶＣＪ−り空気流
量（實口）を慣用するものである。なお・、土浦１ ＋
１１１１の（２） 外気幅＋ｈｖ補憤用温度依存抵抗を削除し、下流側の縣
ＩＷ依存抵抗の温度が一定ＶＣなる工うに発熱抵抗を制
御すると、体！★存装としての空気流量が検出できる。 （ｌ照：特公昭５４−９６６２号公報）。 他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気Ｍｔ
、 ｔｎ：−ヒンサ汀、機関の吸気通路に設けられ７Ｃ
＠度検出兼用の発熱抵抗、お工びその上茄ＩＩＫ設けら
れた温度依存抵抗金偏えている。この場合、傍熱ｊｄと
１ｔｉＪ様罠、上流側の温度依存抵抗は発熱抵抗による
加熱前の空気流の温度を検出するものであり、つ゛まり
、外気温度補償用である。これにニジ、発熱抵抗とその
上流１ｔｌｌｌ （Ｄ温度依存抵抗との温度差が一定に
なるように発熱抵抗の′Ｄｔ流値をフィードバック制製
し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流１＋質Ｍ）
を検出するものである。なお、この場合にも、外気温＃
補償用温度依存抵抗を削除１−７、発熱抵抗の温度が一
定になるように発熱抵抗を制御すると、体槓答址として
の空気流量が検出でへるＯｊ
気流敏センザが適用された内燃機関を示す全体概要図、
第１図（Ｂ）、第１図（０）は第１図（Ａ）の空気流思
センダの拡大縦断面図および横断面図、第２図（Ａ）は
第１図の７Ｍ Ｉｔ依存抵抗６の一例を示す平面図、第
２図（Ｅ）は第２ＦＡ（Ａ）のＢ−Ｅ線断面図；第６図
（勾は第１図の渇ＩＶ依存抵抗６の他の例を示す平面図
、第３図（Ｂ）は第５図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第３
図（０）は第３図（Ａ）のＯ−ａ線断面図、第４図（Ａ
）は第１図の温度依存抵抗乙のさらに他の例を示す平面
図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図、第
４図（０）は第４図（Ａ）の０−ａ線断面図である。 ４寡空気流量センサ ６冨濡度依存抵抗（模式抵抗） ２４．５５． ろ６，６７：切欠き。 第１図 （Ａ） １） 第１図（。） 第 第２図（Ａ）／旦 １ ｆ ： ：２２１ □ □ ２図（Ｂｙ １ □ □ ）１ ・ ４２４ ｉ４−口］ 目−山 第１頁の続き ＠発明者 金属 賢治 西尾重下Ｊ 研究所内 ［株］１発 明 者 服 部 正 西尾市下町研究所内 ）角町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品総合ｊ角
町岩谷１４番地 株式会社日本自動車部品総合手続補正
書（自発） 昭和６０年２ 月／ユ日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９１０４１ 号２、発明の名称 直熱型空気流量センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称（４６９）株式会社 日不自書車部品総合研究所
４、代理人 （外 ４ 名） ５ 補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明 ６、 袖ｊ１−の内含 （１）明細書第３田第８行［」 「一定」の前にｒ列気濡度す４「わち吸入空気の温度に
対して』を挿入する。 （２ン 明細書第３田第１１行＋１ 「もちろん」を「従って』とｈｌｆ ＋Ｅずる。 手続補正書（６発） 昭和６０年４ 月１０日 特許庁長官 志 賀 学 殿 １、事件の表示 昭和５９年 特許願 第９１０４１ 号２、発明の名称 直熱型空気Ｉ＃、址センサ ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、代理人 （外 ４ 名） ５ 補正の灼象 明細書の１発す１のｊｉｌＩＩＩｌなりｌｌ明ＩＱノ（
捲６ 補正の内容 明細書第２自第１５行目から第；３白８１Ｎ］ ３竹［
１［さらに、’・’”’ｍす６−ｙ＞ ９がｉ、＋ｏＪ
（Ｉｌ−次σ）（：とく補止する。 １畑らに、温度依存抵抗（！７市−すＺ）空気随一セン
サとしては、傍熱型と自熱ハ１１とがある○罠とλば、
傍熱型の空気流−センサ１１、機関の吸気ｊｌｌｌ路Ｖ
Ｃ６けられた発熱抵抗、お、Ｌびその−に流、■Ｊω１
１１１１ ｉ′Ｃ１ｒｌ之けられ罠２つの１品度依存抵
抗を１耐１えている。この場合、土に側のム＾糺依イＦ
抵抗は発熱りＬ ＰＡ ＶＣよｌＪ Ｊｌｌｌｌｌｌ空
前流のＩＭ度全慣慣用るものであり、つまり、外気温吸
油ｆ旧１］であり、ま７こ、ｌ；６口（１１１のｔｔ＊
ｔｓ−依存抵抗に加熱抵抗に１って加熱さＪ１罠空気
ωｉの温度を検出すゐ０これにエリ、−トか＋、 １＋
１１１の睨１耳イ六イＩ抵抗と上流側の温度依存抵抗と
のｒｋＪｌ黒差が−＞ｉｉ Ｖ（なるように発熱ｉに
４Ａ、の篭０市値會ンイードバ・ツク制御し、発熱抵抗
に印加８れる′Ｂｌ’、 Ｉ ｆ： ＶＣＪ−り空気流
量（實口）を慣用するものである。なお・、土浦１ ＋
１１１１の（２） 外気幅＋ｈｖ補憤用温度依存抵抗を削除し、下流側の縣
ＩＷ依存抵抗の温度が一定ＶＣなる工うに発熱抵抗を制
御すると、体！★存装としての空気流量が検出できる。 （ｌ照：特公昭５４−９６６２号公報）。 他方、傍熱型に比べて応答速度が早い直熱型の空気Ｍｔ
、 ｔｎ：−ヒンサ汀、機関の吸気通路に設けられ７Ｃ
＠度検出兼用の発熱抵抗、お工びその上茄ＩＩＫ設けら
れた温度依存抵抗金偏えている。この場合、傍熱ｊｄと
１ｔｉＪ様罠、上流側の温度依存抵抗は発熱抵抗による
加熱前の空気流の温度を検出するものであり、つ゛まり
、外気温度補償用である。これにニジ、発熱抵抗とその
上流１ｔｌｌｌ （Ｄ温度依存抵抗との温度差が一定に
なるように発熱抵抗の′Ｄｔ流値をフィードバック制製
し、発熱抵抗に印加される電圧により空気流１＋質Ｍ）
を検出するものである。なお、この場合にも、外気温＃
補償用温度依存抵抗を削除１−７、発熱抵抗の温度が一
定になるように発熱抵抗を制御すると、体槓答址として
の空気流量が検出でへるＯｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 腹式抵抗をダクト内に収納した直熱型空気流量セン
サにおいて、前記腹式抵抗の前記ダクトへの保持部分に
切欠きを形成したことを特徴とする直熱型空気流量セン
サ。 ２ 前記腹式抵抗の側端部分に切欠きを形成した特許請
求の範囲第１項に記載の直熱型空気流量センサ。 ６、 前記腹式抵抗はシリコン基板に形成された特許請
求の範囲第１項に記載の直熱型空気流量センサ。 ４、 前記腹式抵抗として前記シリコン基板内に形成さ
れた拡散抵抗を用いた特許請求の範囲第３項に記載の直
熱型空気流量センサ。 ５、 前記切欠きのある橋わたしの部分を前記獲式抵抗
の部分より低抵抗にした特許請求の範囲第１項に記載の
空気流量センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59091041A JPS60236024A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
| DE3516794A DE3516794C2 (de) | 1984-05-09 | 1985-05-09 | Direkt beheizte Gasströmungsmeßvorrichtung |
| US06/935,109 US4735099A (en) | 1984-05-09 | 1986-11-24 | Direct-heated gas-flow measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59091041A JPS60236024A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60236024A true JPS60236024A (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=14015414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59091041A Pending JPS60236024A (ja) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | 直熱型空気流量センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4735099A (ja) |
| JP (1) | JPS60236024A (ja) |
| DE (1) | DE3516794C2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7992318B2 (en) * | 2007-01-22 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3604202C2 (de) * | 1985-02-14 | 1997-01-09 | Nippon Denso Co | Direkt beheizte Strömungsmeßvorrichtung |
| DE3542788A1 (de) * | 1985-12-04 | 1987-06-19 | Degussa | Vorrichtung zur thermischen massenstrommessung von gasen und fluessigkeiten |
| DE3606850A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| DE3606852A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| DE3606849A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| DE3606851A1 (de) * | 1986-03-03 | 1987-09-10 | Vdo Schindling | Anordnung zur messung der stroemungsgeschwindigkeit |
| US5231877A (en) * | 1990-12-12 | 1993-08-03 | University Of Cincinnati | Solid state microanemometer |
| DE4041578C2 (de) * | 1990-12-22 | 1997-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung eines Sensors zur Messung der Geschwindigkeit bzw. der Durchflußmenge eines strömenden Mediums |
| US5201221A (en) * | 1991-03-15 | 1993-04-13 | Ford Motor Company | Flow sensor and method of manufacture |
| DE4307512A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Bosch Gmbh Robert | Meßelement |
| DE4307513A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Bosch Gmbh Robert | Meßelement |
| DE4417679C1 (de) * | 1994-05-17 | 1995-07-06 | Gfai Ges Zur Foerderung Angewa | Heißfilmfolie für strömungstechnische Messungen und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| DE4439222C2 (de) * | 1994-11-03 | 1998-05-28 | Bosch Gmbh Robert | Massenflußsensor mit Druckkompensation |
| JP3461469B2 (ja) * | 1999-07-27 | 2003-10-27 | 株式会社日立製作所 | 熱式空気流量センサ及び内燃機関制御装置 |
| DE10035543C2 (de) * | 2000-07-21 | 2002-06-13 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung zumindest eines Parameters eines strömenden Mediums |
| US6631638B2 (en) | 2001-01-30 | 2003-10-14 | Rosemount Aerospace Inc. | Fluid flow sensor |
| DE10124964B4 (de) * | 2001-05-21 | 2004-02-05 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Sensor zur Messung von Strömungsgeschwindigkeiten und Verfahren zu dessen Betrieb |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1557134A (ja) * | 1967-12-29 | 1969-02-14 | ||
| US3900819A (en) * | 1973-02-07 | 1975-08-19 | Environmental Instruments | Thermal directional fluid flow transducer |
| US3996799A (en) * | 1975-09-29 | 1976-12-14 | Putten Antonius Ferdinandus Pe | Device for measuring the flow velocity of a medium |
| DE2750050C2 (de) * | 1977-11-09 | 1983-12-08 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur Luftmengenmessung |
| DE2749575A1 (de) * | 1977-11-05 | 1979-05-10 | Bosch Gmbh Robert | Messonde mit mindestens einem temperaturabhaengigen widerstand zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE2827780A1 (de) * | 1978-06-24 | 1980-01-03 | Degussa | Hitzdrahtanemometer zur messung der stroemungsgeschwindigkeit von gasen und fluessigkeiten (i) |
| DE2845662C2 (de) * | 1978-10-20 | 1987-03-19 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| DE2900210A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE2904154A1 (de) * | 1979-02-03 | 1980-08-14 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE2919433C2 (de) * | 1979-05-15 | 1987-01-22 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Meßsonde zur Messung der Masse und/oder Temperatur eines strömenden Mediums |
| DE2925975A1 (de) * | 1979-06-27 | 1981-01-15 | Siemens Ag | Mengendurchflussmesser |
| DE2929434A1 (de) * | 1979-07-20 | 1981-02-05 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum freibrennen eines widerstandes, insbesondere eines hitzdrahtes in einem luftmassenmesser einer brennkraftmaschine |
| DE3009382A1 (de) * | 1980-03-12 | 1981-09-24 | Degussa Ag, 6000 Frankfurt | Vorrichtung zur messung der stroemungsgeschwindigkeiten von gasen und fluessigkeiten |
| US4321825A (en) * | 1980-05-05 | 1982-03-30 | Texas Instruments Incorporated | Convective cooling rate sensor |
| JPS56162014A (en) * | 1980-05-16 | 1981-12-12 | Nippon Denso Co Ltd | Measuring device for flow rate of gas |
| DE3109608A1 (de) * | 1981-03-13 | 1982-09-23 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| JPS57169618A (en) * | 1981-04-10 | 1982-10-19 | Nippon Soken Inc | Measuring device for air flow rate |
| US4472239A (en) * | 1981-10-09 | 1984-09-18 | Honeywell, Inc. | Method of making semiconductor device |
| DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
| DE3227807A1 (de) * | 1982-07-24 | 1984-01-26 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren zur verhinderung einer beschaedigung eines in einem stroemungsquerschnitt angeordneten temperaturabhaengigen widerstandes durch ueberhitzung und luftmassenmessvorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| US4501144A (en) * | 1982-09-30 | 1985-02-26 | Honeywell Inc. | Flow sensor |
| US4445369A (en) * | 1982-10-27 | 1984-05-01 | General Motors Corporation | Hot film sensor for air flow meter |
| DE3328852A1 (de) * | 1983-08-10 | 1985-02-28 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| US4542650A (en) * | 1983-08-26 | 1985-09-24 | Innovus | Thermal mass flow meter |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP59091041A patent/JPS60236024A/ja active Pending
-
1985
- 1985-05-09 DE DE3516794A patent/DE3516794C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-11-24 US US06/935,109 patent/US4735099A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7992318B2 (en) * | 2007-01-22 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
| US8186077B2 (en) | 2007-01-22 | 2012-05-29 | Tokyo Electron Limited | Heating apparatus, heating method, and computer readable storage medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4735099A (en) | 1988-04-05 |
| DE3516794C2 (de) | 1995-01-26 |
| DE3516794A1 (de) | 1985-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4912975A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics | |
| US4783996A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus | |
| JPS63177023A (ja) | 流量センサ | |
| US4785662A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| JP2004012358A (ja) | 熱式流量計測装置 | |
| JPH11271123A (ja) | マイクロヒータおよびその製造方法ならびにエアフローセンサ | |
| US4735099A (en) | Direct-heated gas-flow measuring apparatus | |
| JPS62123318A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| EP0144057A2 (en) | Apparatus for measuring oxygen concentration and method of producing the appartus | |
| JPS61194317A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| US20080035480A1 (en) | Sensor Element For Determining The Physical Property Of A Test Gas | |
| US4715224A (en) | Method and apparatus for measuring the mass of a flowing medium | |
| JPS60236023A (ja) | 直熱型空気流量センサ | |
| Naito et al. | Development of planar oxygen sensor | |
| US20020154030A1 (en) | Sensor element | |
| JPS60235020A (ja) | 直熱型空気流量センサ | |
| JPH081495Y2 (ja) | ヒータ付酸素センサ | |
| JP3638786B2 (ja) | 流量検出素子及び流量センサ | |
| JPS6239722A (ja) | 流量センサ用膜式抵抗 | |
| JPS60236028A (ja) | 空気流量センサ | |
| JPH0441930B2 (ja) | ||
| JPS6226330A (ja) | 気化器のスロツトルバルブ | |
| JPS60227124A (ja) | 空気流量センサ | |
| JPS61194316A (ja) | 直熱型流量センサ | |
| JPS61186820A (ja) | 直熱型流量センサ |