JPS60236284A - Method of producing printed circuit board - Google Patents
Method of producing printed circuit boardInfo
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- JPS60236284A JPS60236284A JP9266284A JP9266284A JPS60236284A JP S60236284 A JPS60236284 A JP S60236284A JP 9266284 A JP9266284 A JP 9266284A JP 9266284 A JP9266284 A JP 9266284A JP S60236284 A JPS60236284 A JP S60236284A
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- photosensitive resin
- plating
- resist
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Landscapes
- Graft Or Block Polymers (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は印刷配線板の製造方法に関する。更忙詳しくは
フォトレジストを用い、無電解めっきによって配線パタ
ーンを形成する印刷配線板の製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board. More specifically, the present invention relates to a method of manufacturing a printed wiring board in which a wiring pattern is formed by electroless plating using a photoresist.
(従来の技術)
従来、印刷配線板の製造方法としては、銅張り積層板を
用い、配線パターン以外の部分の鋼をエツチングにより
除去する方法(エツチドフォイル法といわれている)が
主でるるか、これ九対し銅張り積層板を使用せず、絶縁
性の積層板上に無電解めっきで配線パターンを直接形成
する方法(アディティブ法といわれている)が、不用の
銅を除去する不経済がなく製造コストが低いため最近注
目されている。しかし無電解銅めっきの析出速度は非常
圧遅いため、長時間(通常5〜60時間)。(Prior art) Conventionally, the main method for manufacturing printed wiring boards has been to use a copper-clad laminate and remove the steel in areas other than the wiring pattern by etching (referred to as the etched foil method). In contrast, there is a method of forming wiring patterns directly on an insulating laminate by electroless plating without using a copper-clad laminate (referred to as an additive method), but it is uneconomical to remove unnecessary copper. It has recently attracted attention due to its low manufacturing cost. However, since the deposition rate of electroless copper plating is extremely slow, it takes a long time (usually 5 to 60 hours).
高温度(通常60〜80℃)、高アルカリ性(通常pH
11〜13.5)のめつき浴I/C浸漬しておかなけれ
ばならず、このようなきびしい条件Kkjえるような無
電解めっき用のレジストが必要である。High temperature (usually 60-80℃), high alkalinity (usually pH
11 to 13.5) must be immersed in the plating bath I/C, and a resist for electroless plating that can meet such severe conditions is required.
従来、この目的のレジストはエポキシ樹脂と硬化剤を主
成分とするインクをスクリーン印刷し。Traditionally, resists for this purpose are screen-printed with an ink containing epoxy resin and a hardener as the main ingredients.
熱硬化することKより形成されているが、印刷ではライ
ンの寸法精度が制限されるため、高密度パターンの印刷
配線板はアディティブ法では製造困難でめった。高密度
パターンの形成にはフォトレジストが適しているが、市
販されている電解めっき用るるいはエツチング用のフォ
トレジストには。Although it is formed from thermosetting K, the dimensional accuracy of lines is limited in printing, so it has been difficult to produce printed wiring boards with high density patterns using the additive method. Photoresists are suitable for forming high-density patterns, but commercially available photoresists for electrolytic plating or etching.
上記無電解めっきのきびしい条件に耐えるものがなかっ
た。本発明者らは特願昭56−199059号で無電解
めつきに耐えるフォトレジストを使用した印刷配線板の
製造方法の提案を行なったが。There was nothing that could withstand the harsh conditions of electroless plating. The present inventors proposed in Japanese Patent Application No. 56-199059 a method for manufacturing a printed wiring board using a photoresist that is resistant to electroless plating.
本発明はそれをさらに改良したものである。The present invention is a further improvement.
無電解めっきの際に用いたフォトレジストは無電解めっ
き後、剥離・除去する場合とそのまま永久レジストとし
て残す場合とがらる。印刷配線板が高密度忙なると必然
的にライン幅及びライン間隔が狭くなるが、狭いライン
間のレジストを完全に剥離・除去するKは単に溶剤浸漬
のみでは不可能で、スプレー、ブラシ等の機械的な力の
併用が必要となり、この方によって狭い幅のラインが基
板から浮いたり、移動する不都合が生じる。さらにレジ
スト剥離後の基板は配線ラインによる凹凸のためソルダ
レジストの印刷にはかなりの熟練が必要となる。The photoresist used during electroless plating is either peeled off and removed after electroless plating or left as a permanent resist. As printed wiring boards become denser and busier, the line width and line spacing inevitably become narrower. However, it is impossible to completely peel off and remove the resist between narrow lines simply by dipping in a solvent, and it is not possible to completely peel off and remove the resist between narrow lines. This requires the use of a combination of force, which causes the disadvantage that narrow lines may float or move from the substrate. Furthermore, since the substrate after the resist is removed is uneven due to wiring lines, considerable skill is required to print the solder resist.
これに対し、永久レジストとして残す場合は上述の問題
はないが、無電解めっきの際にレジスト表面への不必要
な鋼金属の析出を抑制しなければならないし、めっき後
のレジス)Kは高度の電気絶縁性、半田耐熱性、耐溶剤
性、耐熱衝撃性等の永久レジストとしての特性が必要に
なる。レジスト表面への銅金属の析出を抑制するものと
して。On the other hand, if the resist is left as a permanent resist, there is no problem mentioned above, but it is necessary to suppress the unnecessary precipitation of steel metal on the resist surface during electroless plating, and the resist (K) after plating is highly Properties required for a permanent resist include electrical insulation, soldering heat resistance, solvent resistance, and thermal shock resistance. To suppress copper metal precipitation on the resist surface.
硫黄含有複素環式化合物、硫黄含有アルカリ金属塩など
の触媒毒の使用が知られているが1本発明者らが該複素
環式化合物を7オトレジス)K適用したところ、無電解
めっき液中に該複素環式化合物が溶出し、めっき速度が
低下し、著しい場合にはめっきが完全に停止する不都合
が生じ、またアルカリ金属塩も同様にめつき液中に溶出
し易く。The use of catalyst poisons such as sulfur-containing heterocyclic compounds and sulfur-containing alkali metal salts is known, but when the present inventors applied these heterocyclic compounds to the electroless plating solution, The heterocyclic compound elutes, reducing the plating speed, and in severe cases, causes the inconvenience of completely stopping the plating, and the alkali metal salt also tends to elute into the plating solution.
これを多量に用いた場合には、レジストの電気絶縁性が
悪くなり永久レジストとしては使用できないことを見出
した。さらに、触媒毒が溶剤不溶の固体粒子の場合は、
像形成のためのイメージ露光の際に粒子表面で光が散乱
し、高密度のパターンは形成できないことを見出した。It has been found that when a large amount of this is used, the electrical insulation properties of the resist deteriorate and it cannot be used as a permanent resist. Furthermore, if the catalyst poison is a solid particle that is insoluble in the solvent,
It was discovered that during image exposure for image formation, light is scattered on the particle surface, making it impossible to form a high-density pattern.
本発明者らは種々検討したところ、末端エチレン基を少
なくとも2個有し、共有結合した硫黄原子を分子内に有
する光重合可能な不飽和化合物の使用によって上述の不
都合がなく、好ましい結果が得られることを見出した。The present inventors have conducted various studies and found that the use of a photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups and a covalently bonded sulfur atom in the molecule eliminates the above-mentioned disadvantages and yields favorable results. I found out that it can be done.
該不飽和化合物を触媒毒としてフォトレジスト中に用い
た場合、めっき速度の低下はほとんどないが、その理由
としては、露光により該不飽和化合物が光重合架橋し。When the unsaturated compound is used as a catalyst poison in a photoresist, there is almost no decrease in the plating rate, but the reason for this is that the unsaturated compound undergoes photopolymerization and crosslinking upon exposure to light.
めっき浴中にほとんど溶出しなくなるためと考えられる
。This is thought to be due to almost no elution into the plating bath.
(発明の目的)
本発明の目的は高精度の印刷配線板をアディティブ法で
製造する方法を提供することにある。(Objective of the Invention) An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a high-precision printed wiring board using an additive method.
(発明の構成)
本発明は
(1)無電解めっき鋼をその所要部分圧析出させるべき
絶縁性基板の表面K 、 +al 1種以上の末端エチ
レン基を少なくとも2個有する光重合可能な不飽和化合
物20〜75重量部、(b)線状高分子化合物20〜7
5重量部並びK(C1活性光により遊離ラジカルを生成
する増感剤又は(及び)増感剤系0.5〜10重量部を
含有し、上記falの1種以上の末端エチレン基を少な
くとも2個有する光重合可能な不飽和化合物の0.1〜
100重量%が共有結合した硫黄原子を分子内圧有する
不飽和化合物である感光性樹脂組成物の層を形成する工
程(2)像的な活性光を照射後現像して該基板の表面上
に感光性樹脂組成物のネガティブパターンを形成する工
程
(3) 活性光を再照射する工程
ならびに
(4)該基板の表面上の感光性樹脂組成物のネガティブ
パターンをめっきレジストとして無電解鋼めっきにより
配線パターンを形成する工程を経る印刷配線板の製造方
法に関する。(Structure of the Invention) The present invention provides (1) a photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups of one or more types on the surface K, +al of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be precipitated in a required portion; 20-75 parts by weight, (b) linear polymer compound 20-7
5 parts by weight and K (C1) containing 0.5 to 10 parts by weight of a sensitizer or (and) sensitizer system that generates free radicals by active light, and containing at least 2 parts by weight of one or more terminal ethylene groups of the above fal. 0.1~ of photopolymerizable unsaturated compounds
Step of forming a layer of a photosensitive resin composition which is an unsaturated compound having an intramolecular pressure of 100% by weight of covalently bonded sulfur atoms (2) After irradiation with imagewise actinic light, the layer is developed and exposed to light on the surface of the substrate. Step (3) of forming a negative pattern of the photosensitive resin composition; Step (4) of re-irradiating with actinic light; and (4) forming a wiring pattern by electroless steel plating using the negative pattern of the photosensitive resin composition on the surface of the substrate as a plating resist. The present invention relates to a method for manufacturing a printed wiring board, which includes a step of forming a printed wiring board.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法について以下に
詳細に説明する。The method of manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention will be described in detail below.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法は、無電解めっ
き鋼をその所要部分に析出させるべき絶縁性基板の表面
に感光性樹脂組成物の層を形成する工程を含むものでる
る。The method of manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention includes the step of forming a layer of a photosensitive resin composition on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited on the required portions.
絶縁性基板としては紙フェノール、ガラスエポキシ等の
積層板、鉄ホウロウ基板、アルミ板等の両面にエポキシ
樹脂絶縁層を形成した基板等の金属芯入り基板などが使
用できる。これらの基板は。As the insulating substrate, a metal cored substrate such as a laminated board of paper phenol, glass epoxy, etc., an iron enamel board, a board with an epoxy resin insulating layer formed on both sides of an aluminum board, etc. can be used. These boards.
穴ろけ後にめつき触媒を含む溶液に浸漬され、スルホー
ル内壁にめつき触媒をつけることもできる。It is also possible to apply a plating catalyst to the inner wall of the through hole by immersing it in a solution containing a plating catalyst after drilling.
このようなめつき触媒溶液としては1日立化成工業■製
増感剤H8−101B等が使用できる。基板の表面には
めつき触媒の付着を良好とするため。As such a plating catalyst solution, sensitizer H8-101B manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., etc. can be used. To ensure good adhesion of the catalyst to the surface of the substrate.
るるいは析出する無電解めっき鋼の基板に対する密着性
を良好とするため等のために接着剤層を塗布することが
好ましい。It is preferable to apply an adhesive layer in order to improve the adhesion of the electroless plated steel to the substrate where lubrication occurs.
接着剤としては、フェノール変性ニトリルゴム系接着剤
等アディティブ法用接着剤として知られているものが使
用できる。接着剤中にめつき触媒となる化合物を含ませ
ることもできる。As the adhesive, those known as additive adhesives such as phenol-modified nitrile rubber adhesives can be used. A compound serving as a plating catalyst can also be included in the adhesive.
内部KPd化合物等の無電解鋼めっきの触媒となる化合
物を分散させた積層板もスルホール内壁に無電解めっき
鋼を析出させる場合等に好ましい基板でろる。めっき触
媒を内部に含んだガラスエポキシ積層板の表面にめっき
触媒を含んだ接着剤層を形成した基板として1日立化成
工業■製積層板ACL−B−161等がおる。このよう
な基板を使用する場合は、ららたKめつき触媒を付着さ
せる工程は不要になる。めっき触媒の付着性を良好とす
るため、めるいは析出する無電解めっき鋼の密着性を良
好とするため、無電解めっき処理の前に接着剤層表面を
粗化することが好ましい。粗化方法としては重クロム酸
ソーダまたはクロム酸等を含む酸性溶液等に浸漬する方
法がろるが、公知の通り、粗化工程は無電解鋼めっき工
程の前でろれば1次に述べる感光性樹脂組成物の層を形
成する前であっても、レジストハターン形成後でろって
もかまわない。A laminate in which a compound such as an internal KPd compound which serves as a catalyst for electroless steel plating is dispersed is also a preferred substrate when depositing electroless plated steel on the inner wall of a through hole. A laminated plate ACL-B-161 manufactured by 1 Hitachi Chemical Co., Ltd. is a substrate in which an adhesive layer containing a plating catalyst is formed on the surface of a glass epoxy laminate containing a plating catalyst therein. When such a substrate is used, the step of attaching the Larata K plating catalyst is not necessary. In order to improve the adhesion of the plating catalyst and the adhesion of the deposited electroless plated steel, it is preferable to roughen the surface of the adhesive layer before the electroless plating treatment. As a roughening method, immersion in an acidic solution containing sodium dichromate or chromic acid may be used, but as is well known, the roughening process is carried out before the electroless steel plating process by photosensing as described in the next section. It does not matter whether it is removed before the layer of the transparent resin composition is formed or after the resist pattern is formed.
本発明で使用する感光性樹脂組成物は、1種以上の末端
エチレン基を少なくとも2個有する光重合可能な不飽和
化合物を必須成分として含有する。The photosensitive resin composition used in the present invention contains as an essential component a photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups of one or more types.
このような不飽和化合物としては1例えばトリメチロー
ルプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリト
ール、ジペンタエリスリトール。Examples of such unsaturated compounds include trimethylolpropane, trimethylolethane, pentaerythritol, dipentaerythritol.
1.6−ヘキサンジオール、プロピレンクリコール。1.6-hexanediol, propylene glycol.
テトラエチレングリコール、ジブロムネオペンチルクリ
コール等の多価アルコールのアクリル酸エステル又はメ
タクリル酸エステルを挙げ得る。さらKlj状脂肪族エ
ポキシ樹脂、エポキシ化ノボラック樹脂、ビスフェノー
ルA−エピクロルヒドリン系エポキシ樹脂等のエポキシ
基を少なくとも2個有する化合物とアクリル酸あるいは
メタクリル酸との反応生成物、ジオールモノアクリレ−
1)るいはジオールモノメタクリレートとジイソシアナ
ートとの反応生成物、リン含有アクリル酸誘導体、たと
えばトリスアクリロキシエチルフォスフェート等も使用
し得る。形成されるレジストの特性の点から特願昭55
−131322号及び特願昭55−141682号明細
書で記載されたトリメチルへキサメチレンジイソシアナ
ート、ジオールモノアクリレート又はジオールモノメタ
クリレート、及び場合により他のインシアナート化合物
又は(及び)他のアルコール化合物を反応させて得られ
るウレタンアクリレート化合物又はウレタンメタクリレ
ート化合物が好ましい。Mention may be made of acrylic or methacrylic esters of polyhydric alcohols such as tetraethylene glycol and dibroneopentyl glycol. Further, reaction products of compounds having at least two epoxy groups such as Klj-like aliphatic epoxy resins, epoxidized novolak resins, bisphenol A-epichlorohydrin epoxy resins, and acrylic acid or methacrylic acid, diol monoacrylates, etc.
1) Reaction products of monomethacrylates or diisocyanates, phosphorus-containing acrylic acid derivatives, such as trisacryloxyethyl phosphate, etc. may also be used. In view of the characteristics of the resist formed, a patent application was filed in 1983.
Trimethylhexamethylene diisocyanate, diol monoacrylate or diol monomethacrylate described in No. 131322 and Japanese Patent Application No. 55-141682, and optionally other incyanate compounds or (and) other alcohol compounds are reacted. A urethane acrylate compound or a urethane methacrylate compound obtained by this method is preferable.
本発明においては、1種以上の末端エチレン基を少なく
とも2個有する光重合可能な不飽和化合物の0.1〜1
00重量%は共有結合した硫黄原子を分子内に有する不
飽和化合物とされる。このような不飽和化合物としては
9例えばビスフェノールSを原料として得られる下記一
般式(3)、(B)の化合物を挙げ得る。In the present invention, 0.1 to 1 of photopolymerizable unsaturated compounds having at least two terminal ethylene groups of one or more
00% by weight is an unsaturated compound having a covalently bonded sulfur atom in the molecule. Examples of such unsaturated compounds include compounds of the following general formulas (3) and (B) obtained using bisphenol S as a raw material.
H
H
・・・・・・田)
チオジグリコール、ビス(2−ヒドロキシ)スルホン等
の硫黄原子を有する多価アルコールのアクリル酸エステ
ル及びメタクリル酸エステルも使用できる。Acrylic esters and methacrylic esters of polyhydric alcohols having a sulfur atom, such as thiodiglycol and bis(2-hydroxy)sulfone, can also be used.
共有結合した硫黄原子を分子内に有する不飽和化合物の
量が0.1重量%未満では銅金属の析出抑制効果が小さ
く、1重量−以上が特に好ましい。If the amount of the unsaturated compound having a covalently bonded sulfur atom in the molecule is less than 0.1% by weight, the effect of suppressing copper metal precipitation will be small, and an amount of 1% by weight or more is particularly preferable.
共有結合した硫黄原子を分子内に有する不飽和化合物の
量が100重量−未満の場合には共有結合した硫黄原子
を分子内圧有しない末端エチレン基を少なくとも2個有
する光重合可能な不飽和化合物が含有される。If the amount of the unsaturated compound having a covalently bonded sulfur atom in the molecule is less than 100% by weight, the photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups and having no covalently bonded sulfur atom in the molecule is used. Contains.
本発明において、1種以上の末端エチレン基を少なくと
も2個有する光重合可能な不飽和化合物の含有量は耐無
電解めっき性、半田耐熱性及び耐熱衝撃性から20〜7
5重量部の範囲とされる。In the present invention, the content of the photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups of one or more types is 20 to 7 from the viewpoint of electroless plating resistance, soldering heat resistance, and thermal shock resistance.
The range is 5 parts by weight.
本発明で使用する感光性樹脂組成物は線状高分子化合物
を必須成分として含有する。線状高分子化合物としては
1例えば特公昭41−15932号公報中に記載されて
いる熱可塑性重合体が使用できる。好ましい線状高分子
化合物としては9例えばメタクリル酸メチル、アクリル
酸エチル、アクリル酸、スチレン、2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート、t−ブチルアミノエチルメタクリレ
ート、アクリルアミド、アクリロニトリル、酢酸ビニル
等のビニル系単量体を重合又は共重合して得うレるビニ
ル系高分子化合物、ブタジェン/アクリロニトリル共重
合体、ブタジェン/アクリロニトリル/スチレン共重合
体等の合成ゴム、線状ポリウレタン化合物、アルコール
可溶性ナイロン等がめる。線状高分子化合物の含有量は
耐無電解めっき性、半田耐熱性及び耐熱偽撃性から20
〜75重量部の範囲とされる。The photosensitive resin composition used in the present invention contains a linear polymer compound as an essential component. As the linear polymer compound, for example, a thermoplastic polymer described in Japanese Patent Publication No. 15932/1984 can be used. Preferred linear polymer compounds include vinyl monomers such as methyl methacrylate, ethyl acrylate, acrylic acid, styrene, 2-hydroxyethyl methacrylate, t-butylaminoethyl methacrylate, acrylamide, acrylonitrile, and vinyl acetate. Vinyl polymer compounds obtained by polymerization or copolymerization, synthetic rubbers such as butadiene/acrylonitrile copolymers, butadiene/acrylonitrile/styrene copolymers, linear polyurethane compounds, alcohol-soluble nylon, etc. The content of the linear polymer compound is 20% based on electroless plating resistance, soldering heat resistance, and thermal false impact resistance.
The range is 75 parts by weight.
本発明で使用する感光性樹脂組成物は、活性光により遊
離ラジカルを生成する増感剤または(および)増感剤系
を0.5〜10重量部含有する。使用できる増感剤とし
ては、置換または非置換の多核キノン類2例えば、2−
エチルアントラキノン。The photosensitive resin composition used in the present invention contains 0.5 to 10 parts by weight of a sensitizer or/and sensitizer system that generates free radicals when activated by actinic light. Sensitizers that can be used include substituted or unsubstituted polynuclear quinones such as 2-
Ethylanthraquinone.
2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラ
キノン、1.2−ベンズアントラキノン、2゜3−ジフ
ェニルアントラキノン等、ジアセチルおよびベンジル等
のケトアルドニル化合物、ベンゾイン、ヒバロン等のα
−ケタルドニルアルコール類およびエーテル類、α−炭
化水素置換芳香族アシロインa、例えばα−フェニル−
ベンゾイン。α such as 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2゜3-diphenylanthraquinone, ketoaldonyl compounds such as diacetyl and benzyl, benzoin, hivalon, etc.
-ketaldonyl alcohols and ethers, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloin a, e.g. α-phenyl-
Benzoin.
α、α−ジェトキシアセトフェノン等、ベンゾフェノン
、4.4’−ビスジアルキルアミノベンゾフェノン等の
芳香族ケト/類を例示でき、これらは単独でも組合せて
もよい。使用できる増感剤系としては2,4.5−1リ
アリ一ルイミダゾールニ量体と2−メルカプトベンゾキ
ナゾール、ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4
−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン等との
組合せを例示できる。また、それ自体で光開始性はない
が。Examples include aromatic keto/groups such as α,α-jethoxyacetophenone, benzophenone, and 4,4'-bisdialkylaminobenzophenone, and these may be used alone or in combination. Sensitizer systems that can be used include 2,4.5-1 Really imidazole dimer, 2-mercaptobenzoquinazole, leuco crystal violet, Tris(4
-diethylamino-2-methylphenyl)methane, etc. can be exemplified. Moreover, it is not photoinitiated by itself.
前述した物質と組合せて用いることにより全体として光
開始性能のより良好な増感剤系となるような添加剤を用
いることができる。例えばベンゾフェノンに対するトリ
エタノールアミン等の三級アミンなどである。Additives can be used which, when used in combination with the previously mentioned materials, result in an overall sensitizer system with better photoinitiation performance. Examples include tertiary amines such as triethanolamine for benzophenone.
本発明で使用する感光性樹脂組成物はさらに他の副次的
成分を含有することができる。副次的成分としては熱重
合防止剤、染料、顔料、塗工性向上剤等であり、これら
の選択は通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮のもとに
行なわれる。The photosensitive resin composition used in the present invention can further contain other subsidiary components. The subsidiary components include thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, coating properties improvers, etc., and the selection of these is done based on the same consideration as for ordinary photosensitive resin compositions.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法は無電解めっき
鋼をその所要部分に析出させるべき絶縁性基板の表面に
上記で詳細に説明した感光性樹脂組成物の層を形成する
工程を必ず含む。無電解めっき鋼を析出させるべき絶縁
性基板の表面に感光性樹脂組成物の層を形成する工程は
常法で行なえる。たとえば感光性樹脂組成物をメチルエ
チルケトン、トルエン、塩化メチレン等の溶剤に均一に
溶解又は分散させ、デッグコート法、フローコート法等
で無電解めっき鋼を析出させるべき絶縁性基板の表面上
に塗布し、溶剤乾燥して行なわれる。The method of manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention necessarily includes the step of forming a layer of the photosensitive resin composition described in detail above on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited on the required portions. . The step of forming a layer of a photosensitive resin composition on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited can be carried out by a conventional method. For example, a photosensitive resin composition is uniformly dissolved or dispersed in a solvent such as methyl ethyl ketone, toluene, methylene chloride, etc., and applied on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited by a degg coating method, a flow coating method, etc. This is done by drying with a solvent.
感光性樹脂組成物の溶液を基板上に直接塗布せずに、支
持体フィルム上にナイフコート法、ロールコート法等公
知の方法で塗布乾燥し、支持体フィルム上に感光性樹脂
組成物の層を有する感光性エレメントを製造したのち、
該感光性エレメントを無電解めっき鋼を析出させるべき
絶縁性基板表面に公知の方法で加熱・加圧積層して、該
基板表面に感光性樹脂組成物の層を形成することもでき
る。A solution of the photosensitive resin composition is not directly applied onto the substrate, but is coated and dried on the support film by a known method such as knife coating or roll coating, thereby forming a layer of the photosensitive resin composition on the support film. After manufacturing a photosensitive element having
It is also possible to form a layer of the photosensitive resin composition on the surface of the substrate by laminating the photosensitive element under heat and pressure by a known method on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited.
支持体フィルムとしてはポリエステルフィルム。Polyester film is used as the support film.
ポリプロピレンフィルム、ポリイミドフィルム。Polypropylene film, polyimide film.
ポリスチレンフィルム等公知のフィルムを使用できる。Known films such as polystyrene film can be used.
感光性エレメントによる方法は塗布膜厚の均一化が容易
であり、また耐溶剤性の低い接着剤も使用できる等の点
で好ましい。The method using a photosensitive element is preferable because it is easy to make the coating thickness uniform and adhesives with low solvent resistance can also be used.
形成される感光性樹脂組成物の層の厚さKは特K 1I
l11限はないが、高密度の印刷配線板を製造する場合
には、無電解めっきにより析出されるめっき鋼の厚さと
ほぼ同じ厚さにするのが好ましい。例えば35μm厚の
めっきを行なう場合は感光性樹脂組成物の層の厚さは3
0〜40μmの範囲が好ましい。このようKしてめっき
鋼とレジストの厚さをほぼ合わせることKより、無1!
解めっき後の基板の表面はスルーホール等を除いてほぼ
平滑となり、ソルダレジストの印刷を非常に8易に行な
うことができる。The thickness K of the layer of the photosensitive resin composition formed is K 1I
Although there is no limit, when producing a high-density printed wiring board, it is preferable that the thickness be approximately the same as the thickness of plated steel deposited by electroless plating. For example, when performing plating with a thickness of 35 μm, the thickness of the photosensitive resin composition layer is 35 μm.
A range of 0 to 40 μm is preferred. In this way, by adjusting the thickness of the plated steel and the resist to almost match each other, there is no problem!
The surface of the substrate after deplating becomes almost smooth except for through holes, and printing of solder resist can be carried out very easily.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法は前約な活性光
を照射後現像して無電解めっき鋼をその所要部分に析出
させるべき絶縁性基板の表面上に感光性樹脂組成物のネ
ガティブパターンを形成する工程を必ず含む。前約な活
性光の照射は超高圧水鋏灯、高圧水鋏灯等の光源を用い
、ネガマスクを通して前約に露光することで行なえる。The method of manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention is to apply a negative pattern of a photosensitive resin composition on the surface of an insulating substrate to deposit electroless plated steel on the required areas by irradiation with active light and development. It always includes the step of forming. Preliminary irradiation with active light can be carried out by using a light source such as an ultra-high-pressure water lamp or a high-pressure water scissor lamp, and by exposing the material through a negative mask.
また微小断面積に絞ったレーザ光線等を前約にスキャン
して行なうこともできる。現像は、1,1.1−トリク
ロルエタン等の現傷液に前約に活性光の照射された感光
性樹脂組成物の層を有する基板を浸漬するか又は現像液
をスプレーする等して行なえる。It is also possible to perform pre-scanning with a laser beam or the like focused on a minute cross-sectional area. Development can be carried out by immersing the substrate having a layer of the photosensitive resin composition that has been previously irradiated with actinic light in a developing solution such as 1,1.1-trichloroethane, or by spraying the developing solution. Ru.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法は現像によるネ
ガティブパターンの形成後に活性光を再照射する工程を
必ず含む。活性光の再照射は超高圧水銀灯、高圧水銀灯
等の光源を用い基板全面に照射することKより行なえる
。The method for manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention necessarily includes a step of re-irradiating with actinic light after forming a negative pattern by development. Re-irradiation of the activation light can be carried out by irradiating the entire surface of the substrate using a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp or a high-pressure mercury lamp.
このようKして形成された感光性樹脂組成物のネガティ
ブパターンVi優れた耐アルカリ性を示す。The negative pattern Vi of the photosensitive resin composition thus formed shows excellent alkali resistance.
めっき浴の汚染を防ぐため、活性光の再照射されたネガ
ティブパターンに100〜200℃での加熱処理を行な
うのが好ましい。In order to prevent contamination of the plating bath, the negative pattern that has been reirradiated with active light is preferably subjected to a heat treatment at 100 to 200°C.
本発明の提案する印刷配線板の製造方法は、上記方法で
得られた感光性樹脂組成物のネガティブパターンをめっ
きレジストとして無電解鋼めつきKより配線パターンを
形成する工程を必ず含む。The method of manufacturing a printed wiring board proposed by the present invention necessarily includes the step of forming a wiring pattern from electroless steel plating K using the negative pattern of the photosensitive resin composition obtained by the above method as a plating resist.
無電解めっき液としては銅塩、錯化剤、還元剤及びpH
調整剤を含有するめつき液が使用できる。Electroless plating solution includes copper salt, complexing agent, reducing agent and pH
Plating solutions containing conditioning agents can be used.
銅塩としては例えば硫酸鋼、硝酸鋼、塩化第2銅等が使
用できる。錯化剤としては例えばエチレンジアミン四酢
酸、 N、 N、 N’、 N’−テトラキス−2−ヒ
ドロキシプロピルエチレンジアミン、ロッシェル塩等が
使用できる。還元剤としてはホルマリンが好ましい。ま
たpH調整剤としては通常。As the copper salt, for example, sulfuric acid steel, nitric acid steel, cupric chloride, etc. can be used. As the complexing agent, for example, ethylenediaminetetraacetic acid, N, N, N', N'-tetrakis-2-hydroxypropylethylenediamine, Rochelle salt, etc. can be used. Formalin is preferred as the reducing agent. It is also commonly used as a pH adjuster.
水酸化アルカリが使用され、水酸化ナトリウム。Alkali hydroxide and sodium hydroxide are used.
水酸化カリウム等がるる。さらにめっき浴の安定性を増
すため、るるいは析出する銅金鳥の特性を良くするため
等の目的で各種の添加剤が加えられることもある。めっ
き浴の条件は、めっき浴の安定性、析出する銅金属の特
性等から銅濃度5〜159/1. pH11〜13.浴
温度60〜80°Cが好ましい。無電解鋼めつきに6た
っては、必要ならばめっき触媒の付着及び/ろるいは活
性化を行なうことは勿論のことでるる。Potassium hydroxide etc. Furthermore, various additives are sometimes added for the purpose of increasing the stability of the plating bath, improving the properties of the copper gold that is precipitated, and so on. The conditions of the plating bath are such that the copper concentration is 5 to 159/1, depending on the stability of the plating bath, the characteristics of the deposited copper metal, etc. pH11-13. A bath temperature of 60 to 80°C is preferred. When electroless steel plating is completed, it goes without saying that the plating catalyst should be attached and/or activated if necessary.
無電解めっき後、めっきレジストとして用いた感光性樹
脂組成物のネガティブパターンを剥離・除去の際に無電
解めつきKよって形成した配線ラインの特に細線部分が
基板から剥れやすいこと。After electroless plating, when a negative pattern of a photosensitive resin composition used as a plating resist is peeled off and removed, particularly the thin line portion of the wiring line formed by electroless plating tends to peel off from the substrate.
また配線ラインによる凹凸が生じてソルダレジストの形
成がやりにくくなることなどから、感光性樹脂組成物の
ネガティブパターンを剥離・除去せずに、永久レジスト
として残すのが好ましい。In addition, since unevenness caused by wiring lines makes it difficult to form a solder resist, it is preferable to leave the negative pattern of the photosensitive resin composition as a permanent resist without peeling or removing it.
銅パターン形成後に、銅表面を酸化から保護するため、
わるいはその部分が電気的接続部分となる場合は接触抵
抗を低下させるため等の目的で。After copper pattern formation, to protect the copper surface from oxidation,
Or, if that part becomes an electrical connection part, the purpose is to reduce contact resistance.
半田レペラー等で銅パターン全体めるいは所望部分圧半
田を被膜したり、あるいは金めつき、スズめっき等を行
なうことができる。銅表面を半田。The entire copper pattern or a desired partial pressure can be coated with solder using a solder repeller, or gold plating, tin plating, etc. can be performed. Solder the copper surface.
金、スズ等の金属で覆った後、るるいは銅表面のまま基
板上の必要な部分にソルダマスクを形成することができ
る。銅パターンの所望部分のみに半田等の被覆を行なう
為のレジストとしてこのソルダマスクを利用することも
できる。ソルダマスクの形成は、エポキシ樹脂系インク
をスクリーン印刷などで印刷し、硬化させて行なうこと
もできるが9本発明で用いた感光性樹脂組成物を使用し
。After covering with a metal such as gold or tin, a solder mask can be formed on the required portions of the substrate while leaving the surface of the copper or copper surface. This solder mask can also be used as a resist for coating only desired portions of the copper pattern with solder or the like. Although the solder mask can be formed by printing an epoxy resin ink by screen printing or the like and curing it, the photosensitive resin composition used in the present invention may be used.
写真法で高精度のソルダマスクを形成する仁ともできる
。このようKして製造される印刷配線板は公知の方法で
種々の応用が可能でロク1例えば電子部品を半田付けす
る等して利用できるが、無電解銅めりき後の印刷配線板
を多層印刷配線板の内層板として使用することもできる
。It can also be used to form high-precision solder masks using photographic methods. Printed wiring boards manufactured in this manner can be used in various ways using known methods, such as for soldering electronic components, but printed wiring boards after electroless copper plating can be used in multiple layers. It can also be used as an inner layer board for printed wiring boards.
(実施例)
次に本発明の実施例を示す。ここに示す実施例によって
本発明が限定されるものではない。実施例中及び比較例
中の「部」は重量部を示す。(Example) Next, an example of the present invention will be shown. The present invention is not limited to the examples shown here. "Parts" in Examples and Comparative Examples indicate parts by weight.
参考例1
ウレタンアクリレート化合物の合成
トルエン(溶剤) 1200部
B 1,6−ヘキサンジオール 472部(8当量)ト
ルエン(溶剤) 88部
D メタノール(停止剤) 32部
上記人を温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及
び滴下器のついた。加熱及び冷却の可能■
なS積約51の反応器に加え攪拌しながら60℃に昇温
した。反応温度を55〜65℃に保ちながら約3時間で
均−KBを滴下した。B滴下終了後60℃の温度で約2
時間保ち、その後60℃の温度でCを約3時間で均一に
滴下した。C滴下終了後、約5時間かけて徐々に反応温
度を80℃まで昇温した。その後温度tl−60℃に下
げ、Dを加え約1時間攪拌を続けた。このようにしてウ
レタンアクリレート化合物の溶液を得た。その後、減圧
乾燥して粘稠なウレタンアクリレート化合物を得た。Reference Example 1 Synthesis of Urethane Acrylate Compound Toluene (solvent) 1200 parts B 1,6-hexanediol 472 parts (8 equivalents) Toluene (solvent) 88 parts D Methanol (terminator) 32 parts Equipped with a cooling pipe, nitrogen gas introduction pipe and dropper. The mixture was added to a reactor with a S capacity of about 51 which can be heated and cooled, and the temperature was raised to 60°C while stirring. While maintaining the reaction temperature at 55 to 65°C, KB was added dropwise over about 3 hours. At a temperature of 60℃ after the completion of B dropping, about 2
After that, C was uniformly added dropwise at a temperature of 60° C. over about 3 hours. After the C dropwise addition was completed, the reaction temperature was gradually raised to 80° C. over about 5 hours. Thereafter, the temperature was lowered to tl-60°C, D was added, and stirring was continued for about 1 hour. In this way, a solution of a urethane acrylate compound was obtained. Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane acrylate compound.
実施例ル −ト ベンゾフェノン 4部 p−メトキシフェノール o、i部 クリスタルバイオレット 0.1 部 メチルエチルケトン 80部 上記の配合で感光性樹脂組成物の溶液を調整した。Example - Benzophenone 4 parts p-methoxyphenol o, i parts Crystal violet 0.1 part Methyl ethyl ketone 80 parts A solution of a photosensitive resin composition was prepared using the above formulation.
日立化成工業■製アディティブ法用基板ACL−E−1
61(Pd系メッキ触媒含有ガラスエポキシ積層板の両
面に、メッキ触媒を含有するフェノール変性ニトリルゴ
ム系接着剤を約30μmの厚さに塗布した基板)にNC
ドリルで直径1.0 mmのスルホールを2..54m
m間隔でらけた試験基板を作った。この試験基板をナイ
ロンブラシで研磨、水洗し、80℃で10分加熱乾燥し
た後、上記の感光性樹脂組成物の溶液をディップコート
法で塗布し、80℃で20分溶剤乾燥した。このよう圧
して乾燥後の厚さ約25μmの感光性樹脂組成物の層を
形成した試験基板の両面に第1図に示す試験用ネガマス
クを密着させ■オーク製作所製フエニツクス3000型
露光機を使用し、 l 20 mJ/cm”で露光し、
80℃で5分加熱した後ネガマスクを剥離した。1はネ
ガマスクの不透明部分、2けネガマスクの透明部分を示
し数字の単位は藺である。Additive method substrate ACL-E-1 manufactured by Hitachi Chemical ■
61 (a substrate in which a phenol-modified nitrile rubber adhesive containing a plating catalyst was applied to a thickness of about 30 μm on both sides of a glass epoxy laminate containing a Pd-based plating catalyst) was coated with NC.
2. Drill a through hole with a diameter of 1.0 mm. .. 54m
A test board with holes spaced at m intervals was made. This test substrate was polished with a nylon brush, washed with water, heated and dried at 80°C for 10 minutes, and then a solution of the photosensitive resin composition described above was applied by dip coating, followed by solvent drying at 80°C for 20 minutes. The test negative mask shown in Fig. 1 was brought into close contact with both sides of the test substrate on which a layer of photosensitive resin composition with a thickness of about 25 μm was formed after being dried by pressure. , exposed at l 20 mJ/cm",
After heating at 80° C. for 5 minutes, the negative mask was peeled off. 1 indicates the opaque part of the negative mask, 2 indicates the transparent part of the negative mask, and the unit of number is ichi.
次K 1.1.1− )リクロルエタンを用いて20℃
で50秒間スプレー現像した。現像後80℃で10分間
加熱乾燥し、東芝電材■製紫外線照射装置を用いe2J
/cm”の量の紫外線を再照射した。その後160℃で
20分間加熱処理した。このようにしてレジスト像を形
成した試験基板を42%のホウフッ化水素酸1j’に重
クロム酸ナトリウム209を溶かした40℃の液に15
分間浸漬し、接着剤層の露出部分を粗化し水洗後、濃度
3規定の塩酸に5分間浸漬し水洗した。この試験基板を
。Next K 1.1.1-) 20℃ using dichloroethane
Spray development was carried out for 50 seconds. After development, heat dry at 80°C for 10 minutes, and e2J using an ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Denzai.
The test substrate on which the resist image had been formed in this way was irradiated with ultraviolet rays in an amount of 42% fluoroboric acid 1j' and 209% sodium dichromate. 15 in the dissolved 40℃ liquid
The exposed portion of the adhesive layer was roughened by immersion for 5 minutes, and the exposed portion of the adhesive layer was washed with water.Then, the sample was immersed in hydrochloric acid having a concentration of 3N for 5 minutes, and then washed with water. This test board.
Cu 804 ・5 H2O15ta/ l 、エチレ
ンジアミン四酢酸30g/l、371HCHO水溶液1
0m1!/V。Cu 804 ・5 H2O 15ta/l, ethylenediaminetetraacetic acid 30g/l, 371HCHO aqueous solution 1
0m1! /V.
シアン化ナトリウム25n1g/Vを含みNa OHで
、HI2.5に調整した無電解鋼めっき液VC70℃で
15時間浸漬し、水洗後80℃で10分間乾燥した。レ
ジストにはクランクの発生はなく基板からの浮きやはが
れもなく、基板上のレジストのない部分にネガマスクの
パターンに従った厚さ約30μmの銅パターンが形成さ
れた。またスルホール内壁にも厚さ約30μmの無電解
鋼めっき膜が形成された。レジスト表面には余分な銅金
属の析出はなかった。このようKして作成した印刷配線
板にロジン系フランクスA−226(タムラ化研■製)
を塗布し、260℃の半田浴[10秒間浸漬し、その後
25℃のトリクレンに20秒間浸漬してフラツクスを除
去した。レジストにはクランクの発生はなく、また基板
からの浮きやはがれは認められず半田耐熱性が優れてい
ることがわかった。さらにMIL−8TD−202E
107D条件B(−65℃、30分間ご常温5分向コ1
25℃、30分間)、50サイクルの熱衝撃試験を行な
ったがレジストにはクランクの発生はなく、また基板か
ら浮きやはがれは認められず長期間の信頼性に優れてい
ることがわかった。It was immersed for 15 hours in an electroless steel plating solution VC70°C containing 25n1g/V of sodium cyanide and adjusted to HI2.5 with NaOH, and after washing with water, it was dried at 80°C for 10 minutes. There was no cranking in the resist, no lifting or peeling from the substrate, and a copper pattern with a thickness of about 30 μm was formed in the part of the substrate where there was no resist, following the pattern of the negative mask. An electroless steel plating film with a thickness of about 30 μm was also formed on the inner wall of the through hole. There was no excess copper metal deposited on the resist surface. Rosin-based Franks A-226 (manufactured by Tamura Kaken ■) was added to the printed wiring board made in this way.
was applied and immersed in a 260°C solder bath for 10 seconds, and then immersed in 25°C Triclean for 20 seconds to remove the flux. There was no cranking in the resist, and no lifting or peeling from the board was observed, indicating that the resist had excellent soldering heat resistance. Furthermore, MIL-8TD-202E
107D Condition B (-65℃, 30 minutes, 5 minutes at room temperature
A thermal shock test was conducted for 50 cycles at 25° C. for 30 minutes, but the resist showed no cranking, and no lifting or peeling from the substrate was observed, indicating that it has excellent long-term reliability.
実施例2
アロエックス@M−20520部
ベンゾフェノン 27部
ミヒラーケトン 0.3部
p−メトキシフェノール 0.1部
ビクトリアピュアブルー 0.05部
メチルエチルケトン 80部
トルエン 40部
第2図に示す装置を用いて上記配合の感光性樹脂組成物
の溶液10を25μm厚さのポリエチレンテレフタレー
トフィルム16上に均−Km布し80〜100℃の熱風
対流式乾燥機11で約10分間乾燥した。感光性樹脂組
成物の層の乾燥後の厚さは約35μmでめった。感光性
樹脂組成物の層の上には、更に第2図のようKして厚さ
約25μmのポリエチレンフィルム17をカバーフィル
ムとして張り合わせ、感光性エレメントを得た。Example 2 Aloex@M-205 20 parts Benzophenone 27 parts Michler's ketone 0.3 parts p-methoxyphenol 0.1 part Victoria Pure Blue 0.05 parts Methyl ethyl ketone 80 parts Toluene 40 parts The above formulation was carried out using the apparatus shown in FIG. A solution 10 of the photosensitive resin composition was spread evenly on a 25 μm thick polyethylene terephthalate film 16 and dried in a hot air convection dryer 11 at 80 to 100° C. for about 10 minutes. The dry thickness of the photosensitive resin composition layer was approximately 35 μm. On the layer of the photosensitive resin composition, a polyethylene film 17 having a thickness of about 25 μm was further laminated as a cover film as shown in FIG. 2 to obtain a photosensitive element.
第2図において、5はポリエチレンテレフタレートフィ
ルム〈り出しロール、6,7.8はロール、9はナイフ
、12Uポリエチレンフイルムくり出しロール、13.
14はロール、15は感光性エレメント巻き取りロール
でめる。In FIG. 2, 5 is a polyethylene terephthalate film roll, 6, 7.8 are rolls, 9 is a knife, 12U polyethylene film roll, 13.
14 is a roll, and 15 is a photosensitive element winding roll.
アディティブ法用基板ACL−E−161にNCドリル
で直径o、 s uniのスルホールを2.54mm間
隔であけた試験基板を住友スリーエム■製スコッチブラ
イトで研磨、水洗し、80℃で15分加熱乾燥した。こ
の試験基板の両面に上記で得た感光性エレメントを曙産
業■製A−500型ラミネータを用い積層した。この2
枚の試験基板の両面に第1図に示す試験用ネガマスクを
密着させ100mJ/cm”で露光し、80℃で10分
加熱した。20分間常温で放置後支持体フィルムでろる
ポリエステルフィルムをはがし、1,1.1−)リクロ
ルエタンを用いて70秒間スプレー現像し、80℃で1
0分乾燥した。この試験基板を実施例1と同様に2J/
an’の紫外線で再照射したのち160℃で20分間加
熱処理し、実施例1と同様にして粗化処理後無電解鋼め
っきを20時間行なった。レジストVcFiクシツクの
発生はなく基板からの浮きゃハカレもなく、基板上にネ
ガマスクのパターンlc従った高精度の銅パターン(銅
厚さ約35μm)が形成された。レジスト表面には余分
な銅金属の析出はなかった。このろと、実施例1と同様
に半田付は処理し、50サイクルの熱衝撃試験を行なっ
たがレジストにはクランクの発生はなく、′また基板か
らの浮きやはがれは認められなかった。A test board for additive method ACL-E-161 with through holes of diameter o and suni drilled at 2.54 mm intervals using an NC drill was polished with Scotchbrite manufactured by Sumitomo 3M ■, washed with water, and heated and dried at 80°C for 15 minutes. did. The photosensitive elements obtained above were laminated on both sides of this test substrate using an A-500 model laminator manufactured by Akebono Sangyo. This 2
The test negative masks shown in Figure 1 were brought into close contact with both sides of the test board, exposed to light at 100 mJ/cm'', and heated at 80°C for 10 minutes.After being left at room temperature for 20 minutes, the polyester film was peeled off from the support film. 1,1.1-) Spray developed using dichloroethane for 70 seconds and 1
Dry for 0 minutes. This test board was used in the same manner as in Example 1 at 2J/
After re-irradiation with an' ultraviolet rays, heat treatment was performed at 160° C. for 20 minutes, and after roughening treatment, electroless steel plating was performed for 20 hours in the same manner as in Example 1. There was no occurrence of resist VcFi scratches, no peeling from the substrate, and a highly accurate copper pattern (copper thickness: about 35 μm) following the negative mask pattern lc was formed on the substrate. There was no excess copper metal deposited on the resist surface. After this, soldering was carried out in the same manner as in Example 1, and a thermal shock test was conducted for 50 cycles, but no cranking occurred in the resist, and no lifting or peeling from the substrate was observed.
比較例1
ベンゾフェノン 2.7部
ミ七う−ケトン 0.3部
p−メトキシフェノール 0.1部
ビクトリアピュアブルー 0.05i
メチルエチルケトン 80部
トルエン 40部
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用いること以外は
実施例2と同様にして感光性エレメントを作成し1次い
で該感光性エレメントを使用して無電解めっきを行なっ
たがレジスト表面に数10μm径程度の余分な銅金属の
析出が500個/cII+2以上ろり、銅パターン間で
電気的にショートしている部分もらった。無電解鋼めつ
きKより形成された銅パターンの銅厚さは約35μmで
めった。Comparative Example 1 Benzophenone 2.7 parts Ketone 0.3 parts p-methoxyphenol 0.1 part Victoria Pure Blue 0.05i Methyl ethyl ketone 80 parts Toluene 40 parts Using a solution of the photosensitive resin composition with the above formulation Except for this, a photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 2, and then electroless plating was performed using the photosensitive element, but 500 extra copper metal deposits with a diameter of several tens of μm were deposited on the resist surface. cII+2 or more, I found a part where there was an electrical short between the copper patterns. The copper pattern formed from electroless steel plating K was plated to a copper thickness of approximately 35 μm.
比較例2
比較例1の配合に、さらに触媒毒である2−メルカプト
ベンゾチアゾール2部を加えた感光性樹脂組成物の溶液
を用いること以外は実施例2と同様にして感光性エレメ
ントを作成し1次いで該感光性エレメントを使用して無
電解銅めっきを行なった。Comparative Example 2 A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 2, except that a solution of a photosensitive resin composition in which 2 parts of 2-mercaptobenzothiazole, which is a catalyst poison, was added to the formulation of Comparative Example 1 was used. First, electroless copper plating was performed using the photosensitive element.
レジスト表面には余分な銅金属の析出はなかったが、無
電解鋼めつきKより形成された銅パターンの銅厚さは約
5μmであった。レジスト中のベンゾチアゾールがめつ
き液中に多量に溶出し、めりき液を汚染したため、めっ
き速度が著しく低下したものと考えられる。Although there was no excess copper metal deposited on the resist surface, the copper thickness of the copper pattern formed from electroless steel plating K was about 5 μm. It is thought that a large amount of benzothiazole in the resist eluted into the plating solution and contaminated the plating solution, resulting in a significant decrease in the plating speed.
実施例3
レート
ベンゾフェノン 27部
ミヒラケトン 0.3部
ビクトリアピュアブルー 0.02部
フタロシアニングリーン 0.3部
メチルエチルケトン 50部
トルエン 50部
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、他は実施例
2と同様の操作を行ない、感光性樹脂組成物の層の厚さ
約35μmの感光性エレメントを得た。Example 3 Benzophenone 27 parts Mihiraketone 0.3 parts Victoria Pure Blue 0.02 parts Phthalocyanine Green 0.3 parts Methyl ethyl ketone 50 parts Toluene 50 parts A solution of the photosensitive resin composition having the above formulation was used, and the rest was as in Example 2. A similar operation was carried out to obtain a photosensitive element having a layer of photosensitive resin composition having a thickness of about 35 μm.
アディティブ法用基板ACL−E−161をスコッチプ
ライトで研磨、水洗し、80℃で10分加熱乾燥した。The additive method substrate ACL-E-161 was polished with Scotch prite, washed with water, and dried by heating at 80° C. for 10 minutes.
この試験基板の表面に上記で得た感光性エレメントを実
施例2と同様にして積層した。次KIIj!幅100μ
m、線間隔100 μmの高密度パターンを含むネガマ
スクを密着させ、■オーク製作新製フェニックス300
0型露光機を使用し+ 70 mJ/cm2で露光し、
80℃で5分加熱した。20分間常温で放置後、支持体
フィルムをはがし、共栄セミコンダクター■製スピンス
プレー装置を使用し、1,1.1−)リクロルエタンを
用いて500 RPMの回転数で2分間現像し、80℃
で10分間乾燥した。The photosensitive element obtained above was laminated on the surface of this test substrate in the same manner as in Example 2. Next KIIj! Width 100μ
m, a negative mask containing a high-density pattern with a line spacing of 100 μm is adhered, ■Oak made new Phoenix 300
Exposure at +70 mJ/cm2 using a 0-type exposure machine,
It was heated at 80°C for 5 minutes. After being left at room temperature for 20 minutes, the support film was peeled off and developed using 1,1.1-)lichloroethane at a rotation speed of 500 RPM for 2 minutes using a spin spray device manufactured by Kyoei Semiconductor ■ at 80°C.
and dried for 10 minutes.
この試験基板を実施例1と同様に2J/cm”の紫外線
で再照射したのち160℃で20分間加熱処理し、実施
例1と同様にして粗化処理後、無電解鋼めっきを20時
間行なった。レジストにはクラックの発生はなく基板か
らの浮きやはがれもなく。This test substrate was re-irradiated with 2 J/cm'' ultraviolet light in the same manner as in Example 1, then heat treated at 160°C for 20 minutes, and after roughening treatment in the same manner as in Example 1, electroless steel plating was performed for 20 hours. There were no cracks in the resist, and no lifting or peeling from the substrate.
ネガマスクのパターンに従った高精度の銅パターン(銅
厚さ約35μm)が形成された。レジスト表面には余分
な銅金桐の析出はなかった。このよう圧して作成した試
験基板の表面上にさらにタムラ化研■製ソルダレジスト
インクUSR−20=iスクリーン印刷した。基板表面
がほぼ平滑なため一度の印刷で容易にソルダレジストを
形成できた。A highly accurate copper pattern (copper thickness of about 35 μm) was formed according to the pattern of the negative mask. There was no excess copper-gold paulownia deposited on the resist surface. A solder resist ink USR-20 (made by Tamura Kaken ■) was further printed on the surface of the test board produced by pressing in this manner. Since the substrate surface was almost smooth, the solder resist could be easily formed in one printing.
このあと高圧水銀灯(東芝電材■製1(5600L/8
W)で2J/cIII2の量の紫外線を照射したのち。After this, a high-pressure mercury lamp (manufactured by Toshiba Denzai ■ 1 (5600L/8)
W) after irradiating with ultraviolet rays in an amount of 2 J/cIII2.
フラツクスを用いて260℃、20秒間半田処理を行な
ったが、レジストの浮きやはがれ等の異常は認められな
かった。Soldering was performed at 260° C. for 20 seconds using flux, but no abnormalities such as lifting or peeling of the resist were observed.
比較例3
実施例3と同様にして無電解鋼めっきまで行ない高精度
の銅パターン(銅厚さ約35μm)が形成された試験基
板を得た。この心とめつきに用いたレジストを除去する
ために25℃の塩化メチレン中に10分間浸漬したがレ
ジストを除去できなかった。さらに塩化メチレン中に浸
漬しながら。Comparative Example 3 Electroless steel plating was performed in the same manner as in Example 3 to obtain a test board on which a highly accurate copper pattern (copper thickness of about 35 μm) was formed. In order to remove the resist used for this fixing, it was immersed in methylene chloride at 25° C. for 10 minutes, but the resist could not be removed. While further immersed in methylene chloride.
ブラシを併用してレジスト除去を試みたが高精度の銅ラ
インを傷つけることなくレジストを除去することはでき
なかった。Attempts were made to remove the resist using a brush, but the resist could not be removed without damaging the highly precise copper line.
比較例4
現像後に2J/cm2の紫外線を照射しないこと以外は
実施例3と同様圧して無電解銅めっきまでを行ない高精
度の銅パターン(銅厚さ約30μm)が形成された試験
基板を得た。銅厚さが実施例3の場合より若干薄いのけ
紫外線の再照射を省略したため、めっき浴を汚染し、め
っき速度が若干低下したためと思われる。Comparative Example 4 A test board on which a high-precision copper pattern (copper thickness approximately 30 μm) was formed was obtained by applying pressure and performing electroless copper plating in the same manner as in Example 3, except that 2 J/cm2 ultraviolet rays were not irradiated after development. Ta. This is thought to be because the copper thickness was slightly thinner than in Example 3, and re-irradiation with ultraviolet rays was omitted, which contaminated the plating bath and caused the plating rate to decrease slightly.
この試験基板を25℃の塩化メチレン中[5分間浸漬し
基板をかるく上下に動かすとレジストが完全に除去され
た。このろとさらに試験基板の表が、銅ラインによる凹
凸がろるため、特に線幅。The test substrate was immersed in methylene chloride at 25° C. for 5 minutes, and the resist was completely removed by gently moving the substrate up and down. In addition to this, the surface of the test board is uneven due to the copper line, so the line width is particularly important.
線間隔100μmの高密度部分を気泡の残存なくレジス
トインクでうめるのは困難でめった。It was difficult to fill a high-density area with a line spacing of 100 μm with resist ink without leaving any air bubbles.
実施例4
参考例1で得られたウレタンアクリ 60部レート化合
物
ペンツ°フェノン 3部
ミヒラーケトン o、i部
p−メトキシフェノール 0.1部
フタロシアニングリーン 03部
ビクトリアピュアブルー 0.05部
メチルエチルケトン 80部
トルエン 40部
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用いること以外は
実施例2と同様にして感光性エレメントを作成し4次い
で該感光性エレメントを使用して無電解めっきを行なっ
た。Example 4 Urethane acrylic obtained in Reference Example 1 60 parts Rate compound Penz°phenone 3 parts Michler's ketone o, i part p-methoxyphenol 0.1 part Phthalocyanine Green 03 parts Victoria Pure Blue 0.05 part Methyl ethyl ketone 80 parts Toluene 40 A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 2 except that a solution of the photosensitive resin composition having the above formulation was used, and then electroless plating was performed using the photosensitive element.
レジストにはクラックの発生はなく基板からの浮きやは
がれもなく、基板上にネガマスクのパターンに従った高
精度の銅パターン(銅厚さ約35μm)が形成された。There were no cracks in the resist, no lifting or peeling from the substrate, and a highly accurate copper pattern (copper thickness about 35 μm) was formed on the substrate according to the pattern of the negative mask.
レジスト表面には余分な銅金属の析出はなかった。この
ると、実施例1と同様に半田付は処理し、50サイクル
の熱衝撃試験を行なったがレジストにはクランクの発生
はなく。There was no excess copper metal deposited on the resist surface. Then, soldering was performed in the same manner as in Example 1, and a thermal shock test was conducted for 50 cycles, but no cranking occurred in the resist.
また基板からの浮きやはがれは認められなかった。Further, no lifting or peeling from the substrate was observed.
実施例5
70ニ7クス”M 205 50部
ベンゾフェノン 3部
ミヒラーケトン 0.1部
p−メトキシフェノール 0.1部
フタロシアニングリーン 0.3 部
ビクトリアピュアブルー o、oss
メチルエチルケトン 80部
トルエン 40部
上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用いること以外は
実施例2と同様にして感光性エレメントを作成し1次い
で該感光性エレメントを使用して無電解めっきを行なっ
た。Example 5 70"M 205 50 parts Benzophenone 3 parts Michler's ketone 0.1 part p-methoxyphenol 0.1 part Phthalocyanine green 0.3 part Victoria Pure Blue o, oss Methyl ethyl ketone 80 parts Toluene 40 parts Photosensitive with the above composition A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 2, except that a solution of the photosensitive resin composition was used, and then electroless plating was performed using the photosensitive element.
レジストにはクランクの発生雌なく基板からの浮きやは
がれもなく、基板上にネガマスクのパターンに従った高
精度の銅パターン(銅厚さ約35μm)が形成された。There were no cranks in the resist, no lifting or peeling from the substrate, and a highly accurate copper pattern (copper thickness of about 35 μm) was formed on the substrate according to the pattern of the negative mask.
レジスト表面には余分な銅金属の析出はなかった。この
ろと、実施例1と同様に半田付は処理し、50サイクル
の熱衝撃試験を行なったがレジストにはクラックの発生
はなく。There was no excess copper metal deposited on the resist surface. After this, soldering was carried out in the same manner as in Example 1, and a thermal shock test was conducted for 50 cycles, but no cracks were observed in the resist.
また基板からの浮きやはがれは認められなかった。Further, no lifting or peeling from the substrate was observed.
(発明の効果)
実施例に示した様に本発明になる印刷配線板の製造方法
によって、アディティブ法で高密度、高精度の印刷配線
板が得られる。(Effects of the Invention) As shown in the examples, by the method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention, a printed wiring board with high density and high precision can be obtained by an additive method.
尚・、上記は本発明の実施例にすぎず、当然1本発明の
精神を逸脱しない範囲で種々の変形及び使用方法が可能
でろる。It should be noted that the above-mentioned embodiments are merely examples of the present invention, and various modifications and usage methods may be made without departing from the spirit of the present invention.
第1図は実施例で用いた試験用ネガマスクを示す図、第
2図は実施例で用いた感光性エレメントの製造装置の略
図でるる。
符号の説明
1・・・ネガマスクの不透明部分
2・・・ネガマスクの透明部分
5・・・ポリエチレンテレフタレートフィルム<す出し
ロール
6.7.8・・・ロール
9・・・ナイフ
10・・・感光性樹脂組成物の溶液
11・・・乾燥機
12・・・ポリエチレンフィルム<す出しロール13、
−14・・・ロール
15・・・感光性エレメント巻き取りロール16・・・
ポリエチレンテレフタレートフィルム17・・・ポリエ
チレンフイルム
第 1図
第 20FIG. 1 is a diagram showing a test negative mask used in Examples, and FIG. 2 is a schematic diagram of a manufacturing apparatus for photosensitive elements used in Examples. Explanation of symbols 1... Opaque part of negative mask 2... Transparent part of negative mask 5... Polyethylene terephthalate film <Base roll 6.7.8... Roll 9... Knife 10... Photosensitive Solution of resin composition 11...Dryer 12...Polyethylene film <Drawing roll 13,
-14...Roll 15...Photosensitive element winding roll 16...
Polyethylene terephthalate film 17...Polyethylene film Figure 1 Figure 20
Claims (1)
るべき絶縁性基板の表面に、(a)X種以上の末端エチ
レン基を少なくとも2個有する光重合可能な不飽和化合
物20〜75重量部、(b)線状高分子化合物20〜7
5重量部並びに(C1活性光により遊離ラジカルを生成
する増感剤又は(及び)増感剤系0.5〜10重量部を
含有し、上記(a)の1樵以上の末端エチレン基を少な
くとも2個有する光重合可能な不飽和化合物の0.1〜
100重量%が共有結合した硫黄原子を分子内に有する
不飽和化合物でろる感光性樹脂組成物の層を形成する工
程(2)像的な活性光を照射後現像して該基板の表面上
に感光性樹脂組成物のネガティブパターンを形成する工
程 (3)活性光を再照射する工程 ならびK (4)該基板の表面上の感光性樹脂組成物のネガティブ
パターンをめっきレジストとして無電解鋼めっきにより
配線パターンを形成する工程を経ることを特徴とする印
刷配線板の製造方法。 2 感光性樹脂組成物のネガティブパターンを無電解鋼
めっき後も永久レジストとして残す特許請求の範囲第1
項記載の印刷配線板の製造方法。 3、(1)で形成される感光性樹脂組成物の層の厚さを
無電解鋼めつきKより析出させるめっき鋼の厚さとほぼ
同じとした特許請求の範囲第1項又は第2項記載の印刷
配線板の製造方法。 4、共有結合した硫黄原子を分子内に有する不飽和化合
物が下記一般式囚及び(Blからなる群の少なくとも1
種で必る特許請求の範囲第1項、第2項、又は第3項記
載の印刷配線板の製造方法。 ・・・・・・(3) OH OH ・・・・・・・・・(B1 5、感光性樹脂組成物の層を形成する工程が。 支持体フィルム上に感光性樹脂組成物の層を有する感光
性エレメントを積層する方法である特許請求の範囲第1
項、第2項、第3項又は第4項記載の印刷配線板の製造
方法。[Claims] 1, +11 A photopolymerizable unsaturated compound having at least two terminal ethylene groups of type X or more on the surface of an insulating substrate on which electroless plated steel is to be deposited on the required parts 20-75 parts by weight, (b) linear polymer compound 20-7
5 parts by weight and 0.5 to 10 parts by weight of a sensitizer or (and) sensitizer system that generates free radicals by C1 active light, and at least one or more terminal ethylene groups in (a) above. 0.1 to 2 photopolymerizable unsaturated compounds
Step (2) of forming a layer of a photosensitive resin composition made of an unsaturated compound having 100% by weight of covalently bonded sulfur atoms in the molecule (2) irradiation with imagewise actinic light and development to form a layer on the surface of the substrate. Step (3) of forming a negative pattern of the photosensitive resin composition (3) Step of re-irradiating with actinic light (4) Using the negative pattern of the photosensitive resin composition on the surface of the substrate as a plating resist by electroless steel plating A method for manufacturing a printed wiring board, comprising the step of forming a wiring pattern. 2 Claim 1 in which the negative pattern of the photosensitive resin composition remains as a permanent resist even after electroless steel plating
A method for manufacturing a printed wiring board as described in Section 1. 3. Claim 1 or 2 states that the thickness of the layer of the photosensitive resin composition formed in (1) is approximately the same as the thickness of the plated steel deposited by electroless steel plating K. A method for manufacturing a printed wiring board. 4. An unsaturated compound having a covalently bonded sulfur atom in the molecule is at least one of the group consisting of the following general formula and (Bl).
A method for manufacturing a printed wiring board according to claim 1, 2, or 3, which requires a seed.・・・・・・(3) OH OH ・・・・・・・・・(B1 5. Step of forming a layer of a photosensitive resin composition. Forming a layer of a photosensitive resin composition on a support film. Claim 1, which is a method of laminating photosensitive elements having
The method for manufacturing a printed wiring board according to item 2, item 3, or item 4.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9266284A JPS60236284A (en) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | Method of producing printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9266284A JPS60236284A (en) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | Method of producing printed circuit board |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60236284A true JPS60236284A (en) | 1985-11-25 |
Family
ID=14060682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9266284A Pending JPS60236284A (en) | 1984-05-09 | 1984-05-09 | Method of producing printed circuit board |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60236284A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385538A (en) * | 1986-09-29 | 1988-04-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Photosettable laminated body and picture image forming method using thereof |
| JPS6410235A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition |
-
1984
- 1984-05-09 JP JP9266284A patent/JPS60236284A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385538A (en) * | 1986-09-29 | 1988-04-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | Photosettable laminated body and picture image forming method using thereof |
| JPS6410235A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-13 | Hitachi Chemical Co Ltd | Photosensitive resin composition |
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