JPS60237652A - 情報記録用デイスクの製造方法とその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、レーザ一方式や静電容量方式なとのビデオ
ディスク等で代表される情報記録用ディスクの製造方法
とその製造装置に関し、とくに成形用樹脂の露光工程に
着目したものである。

〔背景技術〕

この種の情報記録用ディスクの製造方式として。

流動性のある光硬化性の成形用樹脂をレプリカ基板で圧
着展伸してスタンパの情報パターンを転写するものが既
に知られている（特開昭５３−８６７５６、特開昭５３
−１１６１０５）。この方式では、必要量に余裕を見込
んでやや条目に成形用樹脂を供給する必要があり、成形
時にレプリカ基板とスタンパの両局縁から供給樹脂の余
剰分がはみ出る。そのため、はみ出た余剰部を除去する
作業が不可欠となるが、従来はこの除去方式に問題があ
った。

すなわち５第５図は従来の露光工程を示しており、スタ
ンバ５とレプリカ基板７との間に成形用樹脂６を層状に
圧着展伸した後５　レプリカ基板７上に露光マスク８を
重ね、樹脂硬化光を照射して成形用樹脂６を硬化させた
うえで、余剰部９の除去を行なう。露光マスク８は光透
過性の板材からなり、後工程で余剰部９の除去をしやす
くするために、その周縁内面に樹脂硬化光の通過を妨げ
るリング状のマスキング部材１８を付設してあり。

このマスキング部材１８の存在で余剰部９は未露光（未
硬イいのままとしでおき、該余剰部９を流動性のある状
態で払拭等により除去していた。

ところが、上記のような平板状の露光マスク８では、樹
脂硬化光を照射したとき、光が余剰部９の横外側方すな
わち周側面側から入射し、余剰部９の一部とくに外表面
側が硬化してパリが形成されるが、このハリの除去作業
が困難である。パリのために成形用樹脂６のスタンパ５
からの型層れが悪くなったり、剥離力を過大に要して製
品ディスクに精度不良を招きがちである。とくに、この
パリの突出高さが大きいと後述するように２枚のディス
ク単板１０・ＩＯを貼り合わせ両面記録用ディスクを得
ようとする場合に、パリの接当てディスクの平面度に狂
いが生じたり、大きく偏心したり、あるいはパリの破片
がディスクの記録面に混入して欠陥を生じるなど、ディ
スクの品質に悪影響を°及ぼしていた。したがって、こ
の種の）＼゛りは確実に除去されていなければならない
。

、また、従来の単なる平板状の露光マスク８ではその光
透過部がレプリカ基板７のほぼ全面を覆う構造であるた
め、光の一部が露光マスク８に吸収されて減衰し、その
分だけ成形用樹脂６の表面での照度が低下することから
、硬化に要する露光時間が長くなりがちであった。また
、光透過部に異物が付着していたり汚れがあると、成形
用樹脂６に露光むらが生じてこれまた欠陥の原因となっ
ていた。

〔発明の目的〕

この発明は、かかる事実に着目して成形用樹脂６の露光
工程における余剰部９の硬化を確実に防止し、その後に
続く該未硬化余剰部９の除去が容易にしかも完璧に行え
るようにすることを第一義に提案されたものである。

本発明の他の目的は、露光マスクに起因する露光むらの
解消と露光時間の短縮化を図ることにある。

〔発明の概要〕

本発明は大要、第１図のとくにｆｇ）に示すごとく原盤
１から情報パターンが反転して形成されたスタンパ５の
成形面と該スタンバ５の成形面に対向するよう配置され
るレプリカ基板７との間において１両者５・７間に供給
された流動性のある光硬化性の成形用樹脂６を圧着下で
層状に展伸する。

スタンバ５とレプリカ基板７との間に成形用樹脂６をど
のようにして供給するか、また成形用樹脂６をいかにし
て円滑に両者５・７間で展伸させるかについては特に限
定しない。例えば、第１図ｆｆ）に示すごとくスタンバ
５の成形面のほぼ中央部分に成形用樹脂６の所定量を置
き、予め球殻状（中央部が下方に中膨らみの断面皿形状
）に弾性変形させであるレプリカ基板７を成形用樹脂６
のうえに圧着し、該レプリカ基板７の変形を徐々に解除
しながら（平板状に戻しながら）、成形用樹脂６を中心
側から外周へ放射状に展伸されるようにすることが考え
られる。又はスタンパ５と平板状のままのレプリカ基板
７との間に成形用樹脂６を流し込みながら、レプリカ基
板７で成形用樹脂６を圧着する方式でもよい。

次に光源１５からの樹脂硬化光を成形用樹脂６に照射す
ることにより、成形用樹脂６を硬化させてレプリカ基板
７に一体化し、その際に露光マスク８で成形用樹脂６の
外周の余剰部９に樹脂硬化光が到達するのを遮って該余
剰部９を未硬化の状態のままにしておく。

続いて未硬化の余剰部９を適当な手段で除去したのち、
レプリカ基板７に成形用樹脂６が一体結着したディスク
単板１０をスタンパ５から離型する。

本発明は基本的に上記の工程を経るものであって、原盤
１からスタンパ５を得るまでの工程、および、ディスク
単板１０から製品ディスクを得るまでの工程は問題にし
ない。

本発明はとくに前述の露光工程において、成形用樹脂６
の余剰部９の上方と周側面を断面例り字形状の露光マス
ク８で完全に覆って１露光時における該余剰部９への樹
脂硬化光の照射を防止するとともに、樹脂硬化光が露光
マスク８を介さずに成形用樹脂６の必要部分に照射され
るようにした点に特徴を有する。

すなわち９本発明で使用する露光マスク８は第２図に示
すごとく中央空間が光源１５からの樹脂硬化光の光通過
領域Ｚに設定されてレプリカ基板７の外周部の上面に載
置される円環状の上面壁８ａと、該上面壁８ａの周縁か
ら下向きに一体連出されて前記余剰部９の外周側方を覆
う周側壁８ｂとからなり、該周側壁８ｂの長さを変える
ことで構外側方からの入射光をも完全に遮断できるよう
にしたものである。

〔実施例〕

第１図は情報記録用ディスクの製造工程を順次的に例示
している。これでは、まず第１Ｕｇ！Ｊ（ａ）に示す原
盤１の情報パターン面に非電解被着９例えば蒸着により
導電１Ｎ２を形成しく第１図（ｂ））、該導電１！ｌＩ
２の外面に電気めっきを施して金属めっき層４を形成し
く第１図１ｃ））、その表面を平坦に研磨したのち１機
械的強度の殆どを負担する金属製の支持床４を接着固定
する（第１図（ｄ））。この後に離型して情報パターン
が反転した成形面を有するスタンパ５を得る（第１図（
ｅ））。

スタンパ５のほぼ中央部分に、流動性のある光硬化性の
成形用樹脂６の所定量を供給し、これに球殻状に弾性変
形させた透明体製のレプリカ基板７　（一般に強化ガラ
ス）を圧着する（第１図（ｆ））。

そして、レプリカ基板７の変形を徐々に解除しながら成
形用樹脂６を中心側から放射方向に展伸して、原盤１と
同一の情報パターンを転写する（第り図（ｇ））。この
とき、レプリカ基板７とスタンパ５の両開縁から成形用
樹脂６の余剰分がはみ出て余剰部９が出来る。

レプリカ基板７上に露光マスク８を重ねて光源１５から
の樹脂硬化光を透明のレプリカ基板７゛を通して成形用
樹脂６に照射し、成形用樹脂６を硬化してレプリカ基板
７と一体化する（第１図（ｈ））。

次いで未硬化の余剰部９を払拭除去し、スタンパ５から
離型してディスク単板１０を得る（第１図（ｉ））。デ
ィスク単板１０の情報パターン面に金属蒸着膜からなる
反射１ｉｉ１１を形成する（第１図（ｊｌ）。最後に反
射ｌ１ｔｌｌどうしが対向する状態で２枚のディスク単
板１０・１０を並置し１両者１０・１０間の内外両縁に
シールリング１２・１３を接着固定して１例えば両面記
録形のレーザ一方式のヒデオディスク１４を完成する（
第１図（ｋ））。

第２図は上記の露光工程（第１図（ｈ））の詳細を示す
。露光マスク８は、中央の円形空間が樹脂硬化光の光通
過領域Ｚに設定されている円環状の上面壁８ａと、該上
面壁８ａの周縁から下向きに一体連出される周側壁８ｂ
とからなる断面例り字形状のものである。この光通過領
域Ｚの直径は成形用樹脂６に形成される情報パターン領
域の外縁直径よりも大きく、余剰部９の基端直径１図示
例ではスタンパ５の外縁直径と同等かこれより僅かに小
さく設定しである。

露光マスク８の材質としては、アルミニウムやステンレ
スなどの金属、あるいはプラスチックなど、樹脂硬化光
が通過しない単一素材で形成するのが好ましい。尤も、
単一素材で形成する必要はなく９例えば若干の光通過が
認められる素材でも。

別に光通過防止材を塗布したりメッキするなどして使用
できる。

露光マスク８は上面壁８ａがレプリカ基板７の外周部の
上面に載置された状態で装着され、この状態において周
側壁８ｂが余剰部９の外側方はもちろん、これより下方
の領域まで十分に覆える上下長さを有する。従って、光
源１５から照射された樹脂硬化光は横外側方からも露光
マスク８に遮られて余剰部９には到達しない。樹脂硬化
光は光通過領域Ｚからレプリカ基板７を通して成形用樹
脂６の必要部分にのみ照射されてこれを硬化させる。し
かるときは、露光マスク８が樹脂硬化光を減衰すること
がないので、従来に比べて照射時間を短縮化できる。露
光マスク８の汚れや、付着塵埃による露光むらなどの悪
影響も全く無くなるに至ったものである。

所定の時間だけ露光を行ったのち、露光マスク８を取り
外して余剰部９を除去するが、該余剰部９は露光マスク
８によって硬化が妨げられているので、余剰部９は露光
前と同様の十分に流動性を保った状態にある。従って、
その除去たとえば成形用樹脂６の溶剤を含ませたガーゼ
による払拭除去が確実かつ容易に行なえる。その結果、
成形用樹脂６における周側面の整形精度が向上し、型層
れの点でも、製品ディスクの品質安定性の面でも従来の
問題点を一掃することができた。

第３図は本発明の別実施例を示す。これでは下方からの
反射光の侵入をも防止するものである。

つまり、露光マスク８が金属などの光を反射しやすいも
ので形成されるとき、樹脂硬化光の間接光が周側壁８ｂ
の下縁から侵入し、該壁８ｂとスタンパ５の周面との間
で反射を繰り返しながら余剰部９に到達することがあり
、かかる事態は特に周側壁８ｂの上下長さが短いときに
生じやすい。そこで、この例では露光マスク８の全面も
しくは少なくとも周側壁８ｂの内周面に、黒色の吸光処
理層８ｃを形成した。吸光処理層８Ｃはアルマイト処理
により、又はテフロンあるいは黒色塗料の塗布なとによ
り形成する。この吸光処理層８Ｃを設けることにより樹
脂硬化光は該処理層８Ｃに吸収されるので、下方からの
侵入光による余剰部９の硬化もよく防止できる。

この吸光処理層８Ｃとしては、光吸収材を被覆してもよ
い。その場合はポリイミド樹脂などの溶液を塗布するこ
とにより、あるいは真空蒸着やスパフクなどの方法で周
側壁８ｂに薄膜を形成することになる。

第４図は本発明の更に別実施例を示しており。

これでは成形用樹脂６の露光時における硬化に伴う肉厚
変動を防ぐための付加重量体１６を露光マスク８に付加
する点が先の各実施例と異なる。

付加重量体１６はリング状で、露光マスク８の上面壁８
ａの上部に載置固定される。これにより成形用樹脂６の
厚み寸法の面内バラツキを±１０μｍに抑止することが
できた。

この付加重量体１６は必ずしも露光マスク８の上面に設
ける必要はなく、第４図の想像線で示すごとく周側壁８
ｂに装着してもよい。また、付加重量体１６は露光マス
ク８の適用対象となる成形用樹脂６が特定され、その粘
度や表面張力が一定し、かつレプリカ基板７の弾性値が
特定されるなど一定条件の下で使用する場合は、予め露
光マスク８と一体に形成しておいてもよく５図示例のよ
うに別部品とする必要はない。

〔発明の効果〕

以上説明したように９本発明では成形用樹脂６の余剰部
９の上面及び外周側面を露光マスク８で覆って、露光時
における余剰部９の硬化を確実に防止できるようにした
ので、流動性のある状態のまま余剰部９を除去できるこ
とになり、この除去作業が確実かつ容易に行なえる利点
を有する。これにより成形用樹脂６の周面の整形精度を
飛躍的に向上でき、パリの発生や型層れの悪さなど従来
例にみられた問題点を一掃して２寸法上の品質安定性に
優れた情報記録用ディスクが得られる。

露光マスク８は余剰部９の存在領域をマスキングするだ
けで、成形用樹脂６の情報パターン形成領域などに向か
って照射される樹脂硬化光には何等の影響を与えない。

したがって、露光時間を短縮化できるとともに、従来の
露光マスク８による露光むらを一掃でき２寸法上の品質
安定性と協働して高品質のディスクを得ることができる
。

また、露光マスク８の全面もしくは少なくともその周側
壁８ｂの内周面に吸光処理層８Ｃが形成されている場合
には、露光マスク８が光反射性を有する金属材などから
なるときでも、露光時における前記余剰部９の硬化を更
に確実に防止できる。

更に、露光マスク８の外面に付加重量体１６を装着した
ときは、成形用樹脂６の露光時における硬化に伴う肉厚
変動を抑えて厚み寸法の均一化を図るに有利なものとな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の代表的な実施例を示し、
第１図ｔａ＋〜（ｋｌは情報記録用ディスクの製造工程
を概念的に示す工程説明図、第２図は露光工程の詳細を
概念的に示す一部縦断面図である。 第３図は本発明の別実施例を示す露光マスクの縦断面図
である。 第４図は本発明の更に異なる別実施例を示す露光マスク
を含む要部の縦断面図である。 第５図は従来例を示す第２図相当の一部縦断面図である
。 １・・・・原盤。 ５・・・・スタンパ。 ６・・・・成形用樹脂。 ７・・・・レプリカ基板３ ８・・・・露光マスク。 ８ａ・・・露光マスクの上面壁。 ８ｂ・・・露光マスクの周側壁。 ８Ｃ・・・露光マスクの吸光処理層。 ９・・・・成形用樹脂の余剰部５ １５・・・光源。 １６・・・付加重量体。 Ｚ・・・・露光マスクの光通過領域。 発　明　者　清　水　満

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）情報パターンが反転して形成されたスタンパ５の
   成形面と該スタンパ５の成形面に対向するよう配置され
   るレプリカ基板７との間において９両者５・７間に供給
   された流動性のある光硬化性の成形用樹脂６を圧着下で
   層状に展伸し、光源１５からの樹脂硬化光を成形用樹脂
   ６に照射することにより成形用樹脂６を硬化させてレプ
   リカ基板７に一体化し、その際に露光マスク８で成形用
   樹脂６の外周の余剰部９に樹脂硬化光が到達するのを遮
   って該余剰部９を未硬化の状態のままにしておき２次に
   未硬化の余剰部９を除去したのち、レプリカ基板７に成
   形用樹脂６が一体結着したディスク単板１０をスタンパ
   ５から離型して情報記録用ディスクを製造する方法にお
   いて、前記余剰部９の上面の外周縁部と周側面を露光マ
   スク８で覆い。 成形用樹脂６の必要部に樹脂硬化光を照射して硬化させ
   るようにしたことを特徴とする情報記録用ディスクの製
   造方法。
2. （２）情報パターンが反転して形成された成形面を有す
   るスタンパ５と、該スタンパ５の成形面に供給された流
   動性のある光硬化性の成形用樹脂６をスタンパ５との間
   で圧着して層状に展伸させる透明のレプリカ基板７と、
   成形用樹脂６に樹脂硬化光を照射する光源１５と、スタ
   ンパ５とレプリカ基板７との間に圧着された成形用樹脂
   ６の外周に生じる余剰部９の存在領域に光源１５からの
   樹脂硬化光が到達するのを遮るための露光マスク８とを
   備えており、この露光マスク８が中央空間が樹脂硬化光
   の光通過領域Ｚに設定されてレプリカ基板７の外周部の
   上面に載置される円環状の上面壁８ａと、該上面壁８ａ
   の周縁から下向きに一体連出されて前記余剰部９の外周
   側方を覆う周側壁８ｂとからなることを特徴とする情報
   記録用ディスクの製造装置。
3. （３）露光マスク８の少なくとも周側壁８ｂの内周面に
   吸光処理層８ｃが形成されている特許請求の範囲第２項
   記載の情報記録用ディスクの製造装置。 ＋４）　’ｆ＠光マスク８の外面に付加重量体１６が装
   着されている特許請求の範囲第２項又は第３項記載の情
   報記録用ディスクの製”造装置。