JPS6024190B2 - 部分めっき治具 - Google Patents
部分めっき治具Info
- Publication number
- JPS6024190B2 JPS6024190B2 JP7013880A JP7013880A JPS6024190B2 JP S6024190 B2 JPS6024190 B2 JP S6024190B2 JP 7013880 A JP7013880 A JP 7013880A JP 7013880 A JP7013880 A JP 7013880A JP S6024190 B2 JPS6024190 B2 JP S6024190B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- base plate
- partial
- jig
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、部分めつき治具に関し、特に半導体用セラミ
ック・パッケージ等の電子部品全般の部分めつき治具に
関するのである。
ック・パッケージ等の電子部品全般の部分めつき治具に
関するのである。
半導体用セラミック・パッケージに、シリコン・チップ
を実装するには、Au−Si共晶法が用いられる。
を実装するには、Au−Si共晶法が用いられる。
Au−Si共晶法は、AuとSiが重量比で滋/6のと
き37000の共晶点を持つので、40ぴ0程度に加熱
したAuメッキ導体やAuを含む厚腰導体上に、Siベ
レットを押しつけてこすりつけると熱励起によって接触
面で双方の金属の拡散が生じ、融点が共晶温度まで下が
って溶融し接着する方法であり、他のマウント法に比べ
てオーミック・コンタクト性や熱伝導性が優れている。
従釆、上記の場合のように、あらかじめ部分的に金めつ
きを必要とする場合には、第1図に示すように、セラミ
ック基板1に装着されたスタッド(ネジ付きパッケージ
のネジのついた部分)2の上面3に、金めつき液を部分
的に吹き付ける方法(スプレー法)が探られる。
き37000の共晶点を持つので、40ぴ0程度に加熱
したAuメッキ導体やAuを含む厚腰導体上に、Siベ
レットを押しつけてこすりつけると熱励起によって接触
面で双方の金属の拡散が生じ、融点が共晶温度まで下が
って溶融し接着する方法であり、他のマウント法に比べ
てオーミック・コンタクト性や熱伝導性が優れている。
従釆、上記の場合のように、あらかじめ部分的に金めつ
きを必要とする場合には、第1図に示すように、セラミ
ック基板1に装着されたスタッド(ネジ付きパッケージ
のネジのついた部分)2の上面3に、金めつき液を部分
的に吹き付ける方法(スプレー法)が探られる。
通常、金めつき液には青化金溶液が用いられ下地のめつ
きのように全面にめつきする場合には陰極に品物を取付
けて電流を流し、電気分解させて陰極上に金属を折出さ
せる電気メッキを行う。
きのように全面にめつきする場合には陰極に品物を取付
けて電流を流し、電気分解させて陰極上に金属を折出さ
せる電気メッキを行う。
しかし、前述のスプレー法であると、事前に全面に下地
めつきが必要な場合には、工程や使用するめつき装置が
異り、作業性が非常に悪く工程や時間が多くかかり、設
備費も高価になるという欠点がある。本発明の目的は、
このような従来の欠点を除去するため、めつき液を部分
的に吹き付ける方法によることなく、下地めつきの工程
に使用するのと同一装置で、都分めつきすることができ
る都分めつき治具を提供することにある。
めつきが必要な場合には、工程や使用するめつき装置が
異り、作業性が非常に悪く工程や時間が多くかかり、設
備費も高価になるという欠点がある。本発明の目的は、
このような従来の欠点を除去するため、めつき液を部分
的に吹き付ける方法によることなく、下地めつきの工程
に使用するのと同一装置で、都分めつきすることができ
る都分めつき治具を提供することにある。
本発明の都分めつき治具は、めつき用電源をとるめつき
ベース板と、めつき部分を残し自身でもしくはめつきベ
ース板との共同で被めつき物をおおう形状で気密シール
を行うゴムベース等の弾力性のある気密シール物と、前
記めつきベース板に接続されて被めつき物との通電を行
う、ばね性のある電極と、被めつき物に圧力を加え、被
めつき物と気密シールを押える手段を有することを特徴
としている。
ベース板と、めつき部分を残し自身でもしくはめつきベ
ース板との共同で被めつき物をおおう形状で気密シール
を行うゴムベース等の弾力性のある気密シール物と、前
記めつきベース板に接続されて被めつき物との通電を行
う、ばね性のある電極と、被めつき物に圧力を加え、被
めつき物と気密シールを押える手段を有することを特徴
としている。
以下、図面により、本発明の実施例を説明する。
第2図は、本発明の部分めつき治具の構造図である。
第2図aはその平面図、第2図bは正面図である。第2
図においては、電極4に接続されるめつきベース板5に
、はんだ付け等によってばね電極6を取付け、前記めつ
きベース板5上にはゴムベース7を設ける。
図においては、電極4に接続されるめつきベース板5に
、はんだ付け等によってばね電極6を取付け、前記めつ
きベース板5上にはゴムベース7を設ける。
ゴムベース7には、パッケージ挿入部12が設けられて
いる。このゴムベース7には、後述するように、ばね電
極6を貫通することのできるスリット8が凹部底面に設
けられる。さらに、ゴムべ−ス7上に、第1図に示され
るようなスタッド2、めつき部3を有するセラミック基
板1が乗せられる。前記めつきベース板5には、支点9
に基板押え10が取付けられ、これを固定点11におい
て固定する。
いる。このゴムベース7には、後述するように、ばね電
極6を貫通することのできるスリット8が凹部底面に設
けられる。さらに、ゴムべ−ス7上に、第1図に示され
るようなスタッド2、めつき部3を有するセラミック基
板1が乗せられる。前記めつきベース板5には、支点9
に基板押え10が取付けられ、これを固定点11におい
て固定する。
第3図は、第2図に示されるゴムベース7の構造図でる
。
。
第3図aはその上面図、第3図bは正面図、第3図cは
下面図である。第3図においては、前記セラミック基板
1の挿入および保持が可能なパッケ−ジ挿入部12とセ
ラミック基板1との気密シールを行うシール部13と、
めつきベース板5のヱポキシ・コーティングされた部分
との気密シールを行うシール部14が設けられる。
下面図である。第3図においては、前記セラミック基板
1の挿入および保持が可能なパッケ−ジ挿入部12とセ
ラミック基板1との気密シールを行うシール部13と、
めつきベース板5のヱポキシ・コーティングされた部分
との気密シールを行うシール部14が設けられる。
シール部13および14は気密性をよくするため、円形
に突出した形状にし、かつその断面は半円形にして、気
密性を良くしている。さらに、ゴムベース7の凹部底面
にはばね電極6を貫通するためのスリット8が穿ってあ
る。第4図は、第2図aに示されるAA′における縦断
面図である。第4図に示されるように、電極4を通った
電流は、ばね電極6を介して、基板押え1川こよって押
えられたセラミック基板1のスタッド2に伝わり、次に
めつき部3に伝わる。
に突出した形状にし、かつその断面は半円形にして、気
密性を良くしている。さらに、ゴムベース7の凹部底面
にはばね電極6を貫通するためのスリット8が穿ってあ
る。第4図は、第2図aに示されるAA′における縦断
面図である。第4図に示されるように、電極4を通った
電流は、ばね電極6を介して、基板押え1川こよって押
えられたセラミック基板1のスタッド2に伝わり、次に
めつき部3に伝わる。
ここで、めつきベース板5は電極2にェボキシ・コーテ
ィング部15が設けられたものである。したがって、セ
ラミック基板1に装着されたスタッド部2は、ゴムベー
ス7の凹部内に密閉され、外部から完全に気密シールさ
れる。
ィング部15が設けられたものである。したがって、セ
ラミック基板1に装着されたスタッド部2は、ゴムベー
ス7の凹部内に密閉され、外部から完全に気密シールさ
れる。
このため、上面のめつき部3を除き、めつきは行われな
い。第5図は、本発明の部分めつき拾具の他の実施例を
示す図である。
い。第5図は、本発明の部分めつき拾具の他の実施例を
示す図である。
即ち、半導体用セラミック・パッケージの構造が、第5
図aに示されるように、セラミック基板16にリード1
7が取付けられ、リード17と金めつき部18とが、セ
ラミック内にメタラィズされた内層において電気的に接
続されている場合である。
図aに示されるように、セラミック基板16にリード1
7が取付けられ、リード17と金めつき部18とが、セ
ラミック内にメタラィズされた内層において電気的に接
続されている場合である。
第5図bに示すように、ゴムベース19に上記セラミッ
ク基板16を挿入し、シール部20、シール部21を設
けて、セラミック基板16およびェポキシ・コーティン
グ部15とをそれぞれ気密シールし、さらに電極4上に
コの字形のはね電極22を設けて、リード17と接触さ
せ通電する。
ク基板16を挿入し、シール部20、シール部21を設
けて、セラミック基板16およびェポキシ・コーティン
グ部15とをそれぞれ気密シールし、さらに電極4上に
コの字形のはね電極22を設けて、リード17と接触さ
せ通電する。
以上説明したように、本発明によれば、めつき用電源を
とるめつきベース板と、めつき部分を残して自身でもし
くはめつきベース板との共同で被めつき物との気密シー
ルを行うゴムベースと、ベース板に接続され被めつき物
との通電を行うばね電極と、被めつき物とゴムベースと
の気密シールを行うために、被めつき物に圧力を加える
手段を設けたので、めつき不要部分にめつき液が入らず
、下地めつきと同一の装置を使用することができかつ、
めつき金属(金、銀)の高価なものを必要最小限に限定
してめつきすることができ、大幅な原価低減を計ること
が可能となる。
とるめつきベース板と、めつき部分を残して自身でもし
くはめつきベース板との共同で被めつき物との気密シー
ルを行うゴムベースと、ベース板に接続され被めつき物
との通電を行うばね電極と、被めつき物とゴムベースと
の気密シールを行うために、被めつき物に圧力を加える
手段を設けたので、めつき不要部分にめつき液が入らず
、下地めつきと同一の装置を使用することができかつ、
めつき金属(金、銀)の高価なものを必要最小限に限定
してめつきすることができ、大幅な原価低減を計ること
が可能となる。
第1図はめつき部を有するネジ付きパッケージの断面図
、第2図は本発明の実施例を示す部分めつき治具の構造
図、第3図は第2図に示されるゴムベースの構造図、第
4図は第2図に示されるAA′における断面図、第5図
は本発明の他の実施例を示す部分めつき拾具の断面図で
ある。 1,16・・・・・・セラミック基板、2・・・・・・
スタッド、3,18・・・・・・金めつき部、4・・・
・・・電極、5・・・・・・めつきベース板、6,22
・・・・・・ばね電極、7,19……ゴムベース、8…
…スリット、9……支点、10・・…・基板押え、11
・・・・・・固定点、12・・・.・・パッケージ挿入
部、13,14,20,21・・・…シール部、15…
…ェポキシ・コーティング、17……リード。 オー図 オ2図 オ3図 オ4図 才S四
、第2図は本発明の実施例を示す部分めつき治具の構造
図、第3図は第2図に示されるゴムベースの構造図、第
4図は第2図に示されるAA′における断面図、第5図
は本発明の他の実施例を示す部分めつき拾具の断面図で
ある。 1,16・・・・・・セラミック基板、2・・・・・・
スタッド、3,18・・・・・・金めつき部、4・・・
・・・電極、5・・・・・・めつきベース板、6,22
・・・・・・ばね電極、7,19……ゴムベース、8…
…スリット、9……支点、10・・…・基板押え、11
・・・・・・固定点、12・・・.・・パッケージ挿入
部、13,14,20,21・・・…シール部、15…
…ェポキシ・コーティング、17……リード。 オー図 オ2図 オ3図 オ4図 才S四
Claims (1)
- 1 複数の被めつき物を保持して部分めつきを行う部分
めつき治具であつて、めつき用電源をとるめつきベース
板と、各被めつき物のめつき部分を残し、自身でもしく
は前記めつきベース板としの共同で被めつき物をおおう
形状で気密シールを行うゴムベース等の弾力性のある気
密シール物と、前記めつきベース板に接続され、各被め
つき物との通電を行うばね性のある電極と、被めつき物
に圧力を加え、被めつき物と気密シール物を一体的に前
記めつきベース板に押える手段を有することを特徴とす
る部分めつき治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013880A JPS6024190B2 (ja) | 1980-05-28 | 1980-05-28 | 部分めっき治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7013880A JPS6024190B2 (ja) | 1980-05-28 | 1980-05-28 | 部分めっき治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56166392A JPS56166392A (en) | 1981-12-21 |
| JPS6024190B2 true JPS6024190B2 (ja) | 1985-06-11 |
Family
ID=13422903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7013880A Expired JPS6024190B2 (ja) | 1980-05-28 | 1980-05-28 | 部分めっき治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024190B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194589U (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-14 | ||
| CN103074651A (zh) * | 2013-02-16 | 2013-05-01 | 马国荣 | 用于盖板局部镀金的电镀夹具 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59145591A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | 株式会社日立製作所 | 電子回路用基板の電気メッキ方法 |
| CN114921826B (zh) * | 2022-05-26 | 2022-11-29 | 恩森(台州)化学有限公司 | 一种高耐腐蚀性塑料电镀系统及方法 |
-
1980
- 1980-05-28 JP JP7013880A patent/JPS6024190B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63194589U (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-14 | ||
| CN103074651A (zh) * | 2013-02-16 | 2013-05-01 | 马国荣 | 用于盖板局部镀金的电镀夹具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56166392A (en) | 1981-12-21 |
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