JPS60242403A - 補色形カラ−フイルタの形成方法 - Google Patents
補色形カラ−フイルタの形成方法Info
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- JPS60242403A JPS60242403A JP59099840A JP9984084A JPS60242403A JP S60242403 A JPS60242403 A JP S60242403A JP 59099840 A JP59099840 A JP 59099840A JP 9984084 A JP9984084 A JP 9984084A JP S60242403 A JPS60242403 A JP S60242403A
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は固体撮像索子の撮像部の表面上に補色形カラ
ーフィルタを形成する方法に関するものである。
ーフィルタを形成する方法に関するものである。
、〔従来技術〕
固体撮像索子の撮像部の表面上に形成されるカラーフィ
ルタには、固体撮像素子の撮像部に投映される画像を例
えば赤色と青色と緑色との三原色に分解する三原色形と
、例えば紫青色と紫青色の補色である黄色と紫青色およ
び黄色の混色である緑色とに分解する補色形とがある。
ルタには、固体撮像素子の撮像部に投映される画像を例
えば赤色と青色と緑色との三原色に分解する三原色形と
、例えば紫青色と紫青色の補色である黄色と紫青色およ
び黄色の混色である緑色とに分解する補色形とがある。
この補色形カラーフィルタの形成工程が三原色形カラー
フィルタの形成工程に比べて簡単であるので、補色形カ
ラーフィルタが広く用いられている。
フィルタの形成工程に比べて簡単であるので、補色形カ
ラーフィルタが広く用いられている。
第１閃は従来の補色形カラーフィルタの形成方法の一例
を説明するための要部断面図である。
を説明するための要部断面図である。
まず、リンケイ酸ガラス（ＰＥＩＧ ）などからなり固
体撮像素子（１１の光検知部（ｌａｌ）、 （１１）ｌ
）、 （ｌｃｘ）、 （ｌａｇ）。
体撮像素子（１１の光検知部（ｌａｌ）、 （１１）ｌ
）、 （ｌｃｘ）、 （ｌａｇ）。
（ｌｂａ）、 （Ｉｃ２）＋・・・・・・・が配設され
ているｉ＃Ｌ像面部上に設けられ固体撮像素子（１）の
構成要素である絶縁膜（２）の表面上に透明で油性の高
分子材料からなり染料で染色されない下地絶縁膜（３）
を形成する。次いで、光検知部（ｌａｘ）、 （１ｂｌ
）、 （１ｃｘ）、 （−１ａ２）、 （１−Ｄ２）、
（１０２）−・・・・のうちの霊前色光を検知する光
検知部（ＩＡＩ）、 （−）・・・・・に対応する下地
絶縁膜（３）の部分の表面上から光検知部（ｍｘ）、
（ｌｂｌ）、 （ｘｃｘ）、 （ｌａｇ）、 （ｌｂａ
）、 （Ｉｃ２）−−のうちの緑色光を検知する光検知
部（ｌｂｘ）、 （ｌｂｇ）、・・・・・・・に対応す
る下地絶縁膜（３）の部分の表面上にわたってゼラチン
などの水溶性の高分子材料からなり紫青色染料で染色さ
れた紫青色染色膜（４ａ、）、 （ａａ２）、・・・・
・・・を形成する。
ているｉ＃Ｌ像面部上に設けられ固体撮像素子（１）の
構成要素である絶縁膜（２）の表面上に透明で油性の高
分子材料からなり染料で染色されない下地絶縁膜（３）
を形成する。次いで、光検知部（ｌａｘ）、 （１ｂｌ
）、 （１ｃｘ）、 （−１ａ２）、 （１−Ｄ２）、
（１０２）−・・・・のうちの霊前色光を検知する光
検知部（ＩＡＩ）、 （−）・・・・・に対応する下地
絶縁膜（３）の部分の表面上から光検知部（ｍｘ）、
（ｌｂｌ）、 （ｘｃｘ）、 （ｌａｇ）、 （ｌｂａ
）、 （Ｉｃ２）−−のうちの緑色光を検知する光検知
部（ｌｂｘ）、 （ｌｂｇ）、・・・・・・・に対応す
る下地絶縁膜（３）の部分の表面上にわたってゼラチン
などの水溶性の高分子材料からなり紫青色染料で染色さ
れた紫青色染色膜（４ａ、）、 （ａａ２）、・・・・
・・・を形成する。
次に、下地絶縁膜（３）の表面上および紫青色染色膜（
４ａｌ）、 （４ａｚ）、・・・・・・・の表面上にわ
たって透明で油性の高分子材料からなり染料で染色され
ない中間防染膜（５１１に形成する。次いで、緑色光を
検知する光検知部（１１）ｌ）、 （１１）２）、・・
・・・・・に対応する中間防染膜（５）の部分の表面上
から光検知部（ｌａｌ）、 （ｌｂｌ）、 （Ｉｃ１）
、 （ｌａｚ）。
４ａｌ）、 （４ａｚ）、・・・・・・・の表面上にわ
たって透明で油性の高分子材料からなり染料で染色され
ない中間防染膜（５１１に形成する。次いで、緑色光を
検知する光検知部（１１）ｌ）、 （１１）２）、・・
・・・・・に対応する中間防染膜（５）の部分の表面上
から光検知部（ｌａｌ）、 （ｌｂｌ）、 （Ｉｃ１）
、 （ｌａｚ）。
（ｌｂａ）、 （Ｉｃ２）、・・・・・・・のうちの黄
色光を検知する光検知部（ｌｅｌ）、 （ｌｅａ）、・
・・・・・・に対応する中間防染膜（６）の部分の表面
上にわたってゼラチンなどの水溶性の高分子材料からな
り黄色染料で染色された黄色染色膜（６１）ｌ）、 （
６ｂ２）ｌ・・・・・・・を形成する。
色光を検知する光検知部（ｌｅｌ）、 （ｌｅａ）、・
・・・・・・に対応する中間防染膜（６）の部分の表面
上にわたってゼラチンなどの水溶性の高分子材料からな
り黄色染料で染色された黄色染色膜（６１）ｌ）、 （
６ｂ２）ｌ・・・・・・・を形成する。
最後に、中間防染膜（５）の表面上および黄色染色膜（
６ｂｘ）、 （６ｂｚ）、・・・・・・・の表面上にわ
たって表面保護膜（７）全形成すると、この従来例の方
法になる補色形カラーフィルタが得られる。
６ｂｘ）、 （６ｂｚ）、・・・・・・・の表面上にわ
たって表面保護膜（７）全形成すると、この従来例の方
法になる補色形カラーフィルタが得られる。
ところで、この従来例の方法では、紫青色染色膜（４ａ
ｘ）、 （４ａ２）、・・・・・・・の端面によってこ
の端面に対応する中間防染膜（５）の表面の部分に段差
ができるので、この段差によって例えば黄色染色膜（６
ｂ１ ）の光検知部（１ｂ、）の上の部分の膜厚が光検
知部（ｌｃｌ）の上の部分の膜厚より薄くなる。従って
、黄色染色膜（６ｂｌ）の光検知部（ｌｃｘ）の上の部
分の膜厚を霊前色膜（ａａＺ）の膜厚と同一程度にし夷
うとすれば、黄色染色膜（６ｂｌ）の光検知部（ｘｂｘ
）の上の部分の膜厚が紫青色染色膜（４ａ１）の膜厚よ
り薄くなるので、黄色染色膜（６１）ｌ）および紫青色
染色膜（４ａ１）の光検知部（１ｂ、）の上の部分を透
過する緑色光が短波長側にシフトして緑色光の色ずれが
生ずる。
ｘ）、 （４ａ２）、・・・・・・・の端面によってこ
の端面に対応する中間防染膜（５）の表面の部分に段差
ができるので、この段差によって例えば黄色染色膜（６
ｂ１ ）の光検知部（１ｂ、）の上の部分の膜厚が光検
知部（ｌｃｌ）の上の部分の膜厚より薄くなる。従って
、黄色染色膜（６ｂｌ）の光検知部（ｌｃｘ）の上の部
分の膜厚を霊前色膜（ａａＺ）の膜厚と同一程度にし夷
うとすれば、黄色染色膜（６ｂｌ）の光検知部（ｘｂｘ
）の上の部分の膜厚が紫青色染色膜（４ａ１）の膜厚よ
り薄くなるので、黄色染色膜（６１）ｌ）および紫青色
染色膜（４ａ１）の光検知部（１ｂ、）の上の部分を透
過する緑色光が短波長側にシフトして緑色光の色ずれが
生ずる。
第２図は従来例の方法になる補色形カラーフィルタの霊
前色、緑色光および黄色光の波長と透過率との関係の一
例を示す図である。
前色、緑色光および黄色光の波長と透過率との関係の一
例を示す図である。
図において、横軸は霊前色、緑色光および黄色光の波長
（単位ｍｍ）’ｉ示し、縦軸は霊前色光。
（単位ｍｍ）’ｉ示し、縦軸は霊前色光。
緑色光および黄色光の透過率（単位％）を示す。
ＶＢ、ＧおよびＹｅはそれぞれ霊前色光、緑色光および
黄色光である。なお、黄色染色膜（６′ｂｌ）の光検知
部（１０１）の上の部分の膜厚と紫青色染色膜（４ａ１
）の膜厚とが同一程度である。
黄色光である。なお、黄色染色膜（６′ｂｌ）の光検知
部（１０１）の上の部分の膜厚と紫青色染色膜（４ａ１
）の膜厚とが同一程度である。
第３図に示すように、黄色染色膜（ａｂｘ）の光検知部
（ｘｂｘ）の上の部分の膜厚と紫青色染色膜（４ａｌ）
の膜厚とがＮ−程度であれば、緑色光（Ｇ）が霊前色光
（ＶＢ）と黄色光（ｙｅ）との交わる部分で構成される
が、従来例の方法では、黄色染色膜（ａｂ、）の光検知
部（１１）ｌ）の上の部分の膜厚が紫青色染色膜（４ａ
ｘ）の膜厚より薄くなるので、緑色光が短波長側にシフ
トして緑色光・の色ずれが生ずる。
（ｘｂｘ）の上の部分の膜厚と紫青色染色膜（４ａｌ）
の膜厚とがＮ−程度であれば、緑色光（Ｇ）が霊前色光
（ＶＢ）と黄色光（ｙｅ）との交わる部分で構成される
が、従来例の方法では、黄色染色膜（ａｂ、）の光検知
部（１１）ｌ）の上の部分の膜厚が紫青色染色膜（４ａ
ｘ）の膜厚より薄くなるので、緑色光が短波長側にシフ
トして緑色光・の色ずれが生ずる。
よって、従来例の方法では、霊前色、緑色および黄色の
良好な色バランスを得ることがむず力）しく、良好な色
再現性を得ることは容易ではな力）つたＯ 〔発明の概要〕 この発明け、かかる欠点を除去する目的でなされたもの
で、複数個の光検知部が配設された撮像部の表面上に形
成された下地絶縁膜の表面の、第１の色の光を検知する
光検知部に対応する部分上から第１の色とこ−の第１の
色の補色である第２の色との混色である第３の色の光を
検知する光検知部に対応する部分上にわたって第１の色
染色膜を形成したのちに、下地絶縁膜の表面の第１の色
染色膜の形成部分以外の部分上に第１の色染色膜の膜厚
とほぼ同一の膜厚上布する表面平坦化膜を形成し、第１
の色染色膜の表面上および表面平坦化膜の表面上にわた
って形成される中間防染膜の表面平坦化を行い、中間防
染膜の表面の、第３の色の光を検知する光検知部に対応
する部分上から第２の色の光を検知する光検知部に対応
する部分上にわたって形成される第２の色染色膜の膜厚
を均一にすることによって、良好な色再現性を得ること
ができる補色形カラーフィルタの形成方法を提供するも
のである。
良好な色バランスを得ることがむず力）しく、良好な色
再現性を得ることは容易ではな力）つたＯ 〔発明の概要〕 この発明け、かかる欠点を除去する目的でなされたもの
で、複数個の光検知部が配設された撮像部の表面上に形
成された下地絶縁膜の表面の、第１の色の光を検知する
光検知部に対応する部分上から第１の色とこ−の第１の
色の補色である第２の色との混色である第３の色の光を
検知する光検知部に対応する部分上にわたって第１の色
染色膜を形成したのちに、下地絶縁膜の表面の第１の色
染色膜の形成部分以外の部分上に第１の色染色膜の膜厚
とほぼ同一の膜厚上布する表面平坦化膜を形成し、第１
の色染色膜の表面上および表面平坦化膜の表面上にわた
って形成される中間防染膜の表面平坦化を行い、中間防
染膜の表面の、第３の色の光を検知する光検知部に対応
する部分上から第２の色の光を検知する光検知部に対応
する部分上にわたって形成される第２の色染色膜の膜厚
を均一にすることによって、良好な色再現性を得ること
ができる補色形カラーフィルタの形成方法を提供するも
のである。
第３図はこの発明の一実施例の補色形カラーフィルタの
形成方法を説明するための要部断面図である。
形成方法を説明するための要部断面図である。
図において、第１図に示した符号と同一符号は同等部分
を示す。
を示す。
まず、固体撮像菓子（１１の光検知部（Ｈａｌ）、 （
ｌｂｌ）。
ｌｂｌ）。
（ｌｃ４）、 （ｌａ２）、 （１１）２）、 （ＩＣ
２）ｌ ・−・・が配設されている撮像面部上に設けら
れ固体撮像菓子＋１１の構成要素である絶縁膜（２）の
表面上に下地絶縁膜（３）ｔ−形成する。
２）ｌ ・−・・が配設されている撮像面部上に設けら
れ固体撮像菓子＋１１の構成要素である絶縁膜（２）の
表面上に下地絶縁膜（３）ｔ−形成する。
次いで、光検知部（ｌａｘ）、 （ｌｂｘ）、 （ｌｃ
ｘ）、 （１ａａ）、 （ｌｂＱ）、 （ｌｃ２）、・
・・・・・・のうちのこの実施例での第１の色の光であ
る霊前色光を検知する光検知部（ｍｘ）、 （１ａ２）
＋・・・・・・・に対応する下地絶縁膜（３）の部分の
表面上から光検知部（ｌａｌ）、 （ｌｂｌ）、 （１
０１）、 （ｌａＱ）、 （１１）２）、 （ｌｅｇ）
、 ＝−のうちのこの実施例での第３の色の光である緑
色光を検知する光検知部（ｌｂｌ）、 （１１）＋１）
ｌ・・・・・・・に対応する下地絶縁膜（３）の部分の
表面上にわたってこの実施例での第１の色染色膜である
紫青色染色膜（４ａ＋）、 （４ａＱ）。
ｘ）、 （１ａａ）、 （ｌｂＱ）、 （ｌｃ２）、・
・・・・・・のうちのこの実施例での第１の色の光であ
る霊前色光を検知する光検知部（ｍｘ）、 （１ａ２）
＋・・・・・・・に対応する下地絶縁膜（３）の部分の
表面上から光検知部（ｌａｌ）、 （ｌｂｌ）、 （１
０１）、 （ｌａＱ）、 （１１）２）、 （ｌｅｇ）
、 ＝−のうちのこの実施例での第３の色の光である緑
色光を検知する光検知部（ｌｂｌ）、 （１１）＋１）
ｌ・・・・・・・に対応する下地絶縁膜（３）の部分の
表面上にわたってこの実施例での第１の色染色膜である
紫青色染色膜（４ａ＋）、 （４ａＱ）。
・・・・・・・を形成する。
次に、下地絶縁膜（３）の表面の紫青色染色Ｍ （４ａ
ｌ）。
ｌ）。
（４ａ２）＋・・・・・・・の形成部分屋、外の部分上
に透明で油性の高分子材料からなり紫青色染色膜（４ａ
１）、 （４ａ２）、 ’・・・・・・・の膜厚とほぼ
同一の膜厚を有し染料で染色されない表面平坦化膜（１
４ａｘ）＋ （１４ＪＬ２）＋・・・・・・・を形成す
る。
に透明で油性の高分子材料からなり紫青色染色膜（４ａ
１）、 （４ａ２）、 ’・・・・・・・の膜厚とほぼ
同一の膜厚を有し染料で染色されない表面平坦化膜（１
４ａｘ）＋ （１４ＪＬ２）＋・・・・・・・を形成す
る。
次に、紫青色染色膜（４ａｌ）、 （４ａ２）、・・・
・・・・のμｓ閉面上よび表面平坦化膜（１４ａｌ）、
（１４ａ２）、・・・・・・・の驚面上にわたって中間
防染膜（５）を形成する。次いで、緑色光を検知する光
検知部（ｌｂｘ）、 （ｌｂ２）、・・・・・・・に対
応する中間防染膜（６）の部分の表面上ｆＪ）ら光検知
部（１＆ｚ）、 （ｌｂｌ）、 （ｌｃｌ）、 （ｌａ
ｚ）、 （ｌｂ２）、 （ｌｃ２）、 ・−・・のうち
のこの実施例での第２の色の光である黄色光を検知する
光検知部（ｌａｘ）、 （ｌａｇ）、・・・・・・・に
対応する中間防染膜（５）の部分の表面上にわたってこ
の実施例での第２の色染色膜である黄色染色膜（６ｂｘ
）、 （ｓｂ２）、・・・・・・・全形成する。
・・・・のμｓ閉面上よび表面平坦化膜（１４ａｌ）、
（１４ａ２）、・・・・・・・の驚面上にわたって中間
防染膜（５）を形成する。次いで、緑色光を検知する光
検知部（ｌｂｘ）、 （ｌｂ２）、・・・・・・・に対
応する中間防染膜（６）の部分の表面上ｆＪ）ら光検知
部（１＆ｚ）、 （ｌｂｌ）、 （ｌｃｌ）、 （ｌａ
ｚ）、 （ｌｂ２）、 （ｌｃ２）、 ・−・・のうち
のこの実施例での第２の色の光である黄色光を検知する
光検知部（ｌａｘ）、 （ｌａｇ）、・・・・・・・に
対応する中間防染膜（５）の部分の表面上にわたってこ
の実施例での第２の色染色膜である黄色染色膜（６ｂｘ
）、 （ｓｂ２）、・・・・・・・全形成する。
最後に、中間防染膜（５）の表面上および黄色染色膜（
■ｌ）、 （６ｂＱ）、・・・・・・・の表面上にわた
って表面保護膜（７）全形成すると、この実施例の方法
になる補色形カラーフィルタが得られる。
■ｌ）、 （６ｂＱ）、・・・・・・・の表面上にわた
って表面保護膜（７）全形成すると、この実施例の方法
になる補色形カラーフィルタが得られる。
この実施例の方法では、中間防染膜（５）を紫青色染色
膜（４ａｘ）、 （４ａ２）ｌ・・・・・・・の表面上
および表面平坦化膜（１４ａｉ）、 （１４ａ２）、・
・・・・・・の表面上にわ几って形成するので、中間防
染膜（６）の表面が平坦になる。従って。
膜（４ａｘ）、 （４ａ２）ｌ・・・・・・・の表面上
および表面平坦化膜（１４ａｉ）、 （１４ａ２）、・
・・・・・・の表面上にわ几って形成するので、中間防
染膜（６）の表面が平坦になる。従って。
中間防染膜（５）の表面上に形成される黄色染色膜（６
ｂｘ）、 （６ｂ２）、・・・・・・・の膜厚が均一に
なるので、例えば黄色染色膜（６１）ｌ）および紫青色
染色膜（４ａｚ ）の光検知部（Ｔｏｌ）の上の部分の
それぞれの膜厚を同一にすることが可能となり、これら
の部分を透過する緑色光の短波長側へのシフトによる色
ずれをなくすことができる。従って、霊前色、緑色およ
び黄色の良好な色バランスを得ることができ、良好な色
再現性を得ることができる。
ｂｘ）、 （６ｂ２）、・・・・・・・の膜厚が均一に
なるので、例えば黄色染色膜（６１）ｌ）および紫青色
染色膜（４ａｚ ）の光検知部（Ｔｏｌ）の上の部分の
それぞれの膜厚を同一にすることが可能となり、これら
の部分を透過する緑色光の短波長側へのシフトによる色
ずれをなくすことができる。従って、霊前色、緑色およ
び黄色の良好な色バランスを得ることができ、良好な色
再現性を得ることができる。
なお、この実施例では、紫青色とこの紫青色の補色であ
る黄色と紫青色および黄色の混色である緑色とに分解す
る補色形カラーフィルタの形成方法について述べたが、
この発明けこれに限らず、第１の色とこの第１の色の補
色である第２の色と第１および第２の色の混色である第
３の色とに分解する補色形カラーフィルター酸の製造方
法に適用できる。
る黄色と紫青色および黄色の混色である緑色とに分解す
る補色形カラーフィルタの形成方法について述べたが、
この発明けこれに限らず、第１の色とこの第１の色の補
色である第２の色と第１および第２の色の混色である第
３の色とに分解する補色形カラーフィルター酸の製造方
法に適用できる。
以上、説明したように、この発明の補色形カラーフィル
タの形成方法では、複数個の光検知部が配設され几撮像
面部上に形成された下地絶縁膜の表面の、第１の色の光
を検知する光検知部く対応する部分上から第１の色とこ
の第１の色の補色である第２の色との混色である第３の
色の光を検知する光検知部に対応する部分上にわたって
第１の色染色膜を形成したのちに、下地絶縁膜の表面の
第１の色染色膜の形成部分以外の部分−ヒに第１の色染
色膜とほぼ同一の膜厚を有する表面平坦化膜を形成し、
第１の色染色膜の表面上および表面平坦化膜の表面上に
わたって形成される中間防染膜の表面平坦化を行い、中
間防染膜の表面の、第３の色の光を検知する光検知部に
対応する部分上から第２の色の光を検知する光検知部に
対応する部分にわたって形成される第２の色染色膜の膜
厚を均一にするので、第１および第２の色染色膜の第３
の色の光を検知する光検知部の上の部分のそれぞれの膜
厚を同一にすることが可能となり、これらの部分を透過
する第３の色の光の色ずれ′Ｊｋなくすことができ、良
好な色再現性を得ることができる。
タの形成方法では、複数個の光検知部が配設され几撮像
面部上に形成された下地絶縁膜の表面の、第１の色の光
を検知する光検知部く対応する部分上から第１の色とこ
の第１の色の補色である第２の色との混色である第３の
色の光を検知する光検知部に対応する部分上にわたって
第１の色染色膜を形成したのちに、下地絶縁膜の表面の
第１の色染色膜の形成部分以外の部分−ヒに第１の色染
色膜とほぼ同一の膜厚を有する表面平坦化膜を形成し、
第１の色染色膜の表面上および表面平坦化膜の表面上に
わたって形成される中間防染膜の表面平坦化を行い、中
間防染膜の表面の、第３の色の光を検知する光検知部に
対応する部分上から第２の色の光を検知する光検知部に
対応する部分にわたって形成される第２の色染色膜の膜
厚を均一にするので、第１および第２の色染色膜の第３
の色の光を検知する光検知部の上の部分のそれぞれの膜
厚を同一にすることが可能となり、これらの部分を透過
する第３の色の光の色ずれ′Ｊｋなくすことができ、良
好な色再現性を得ることができる。
第１図は従来の補色形カラーフィルタの形成方法の一例
を説明するための要部断面図、第２図はこの従来例の方
法になる補色形カラーフィルタの紫青色、緑色光および
黄色光の波長と透過率との関係の一例を示す図、第３図
はこの発明の一実施例の補色形カラーフィルタの形成力
法を説明するための要部断面図である。 図において、ｆｉｌけ固体撮像索子、（ｋｘ）、 （ｌ
ｂｕ）。 （ｌｅｌ）、 （ｌａ２）、 （ｌｂ２）および（ｌｃ
２）け光検知部、（３）は下地絶Ｒ膜、（４ａｚ）およ
び（４ｂ２）は紫青色染色膜（第１の色染色膜）、［５
１１−を中間防染膜、（６１）１）および（６ｂｇ）は
黄色染色膜（第２の色染色膜）、（７１は表面保護膜、
（１４ａｘ ）および（１４ａ２）は表面平坦化膜であ
る。 なお、図中向−符Ｊ＋けそれぞれ同一または相当部分を
示す。 代理人 大岩増雄 −） ｖ７ ｔＮ
を説明するための要部断面図、第２図はこの従来例の方
法になる補色形カラーフィルタの紫青色、緑色光および
黄色光の波長と透過率との関係の一例を示す図、第３図
はこの発明の一実施例の補色形カラーフィルタの形成力
法を説明するための要部断面図である。 図において、ｆｉｌけ固体撮像索子、（ｋｘ）、 （ｌ
ｂｕ）。 （ｌｅｌ）、 （ｌａ２）、 （ｌｂ２）および（ｌｃ
２）け光検知部、（３）は下地絶Ｒ膜、（４ａｚ）およ
び（４ｂ２）は紫青色染色膜（第１の色染色膜）、［５
１１−を中間防染膜、（６１）１）および（６ｂｇ）は
黄色染色膜（第２の色染色膜）、（７１は表面保護膜、
（１４ａｘ ）および（１４ａ２）は表面平坦化膜であ
る。 なお、図中向−符Ｊ＋けそれぞれ同一または相当部分を
示す。 代理人 大岩増雄 −） ｖ７ ｔＮ
Claims (1)
- （１１固体撮像索子の複数個の光検知部が互いの間に間
隔をおいて形成されている撮像部の表面上に透明で油性
の高分子材料からなり染料で染色されない下地絶縁膜を
形成する工程、上記複数個の光検知部のうちの第１の色
の光を検知する光検知部に対応する上記下地絶縁膜の部
分の表面上から上記複数個の光検知部のうちの上記第１
の色とこの第１の色の補色である第２の色との混色であ
る第３の色の光を検知する光検知部に対応する上記下地
絶縁膜の部分の表面上にわたって水浴性の高分子材料か
らなり上記第１の色の染料で染色された第１の色染色膜
を形筬する工程、上記下地絶縁膜の表面の上記第１の色
染色膜の形成部分以外の部分上に透明で油性の高分子材
料からなり上記第１の色染色膜の膜厚とほぼ同一の膜厚
上布し染料で染色されない表面平坦化膜を形成する工程
、上記第１の色染色膜の良面上セよび上記表面平坦化膜
の表面上にわたって透明で油性の高分子材料からなり染
料で染色されない中間防染膜を形成する工程、上記第３
の色の光音検知する光検知部に対応する上記中間防染膜
の部分の表面上から上記複数個の光検知部のうちの上記
第２の色の光を検知する光検知部に対応する上記中間防
染膜の部分の表面上にわたって水溶性の高分子材料から
なり上記第２の色の染料で染色された第２の色染色膜を
形成する工程、並びに上記中間防染膜の表面上および上
記第２の色染色膜の表面上にわたって表面保護膜を形成
する工程を備えた補色形カラーフィルタの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59099840A JPS60242403A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 補色形カラ−フイルタの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59099840A JPS60242403A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 補色形カラ−フイルタの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60242403A true JPS60242403A (ja) | 1985-12-02 |
Family
ID=14257993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59099840A Pending JPS60242403A (ja) | 1984-05-16 | 1984-05-16 | 補色形カラ−フイルタの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60242403A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5795786A (en) * | 1981-10-14 | 1982-06-14 | Hitachi Ltd | Solid-state color image pickup device and its manufacture |
| JPS58184109A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-27 | Nec Corp | カラ−フイルタ− |
-
1984
- 1984-05-16 JP JP59099840A patent/JPS60242403A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5795786A (en) * | 1981-10-14 | 1982-06-14 | Hitachi Ltd | Solid-state color image pickup device and its manufacture |
| JPS58184109A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-27 | Nec Corp | カラ−フイルタ− |
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