JPS60165602A - 色分解フイルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、微小なモザイクパターン或いはストライプ
よりなる色分解フィルタ、即ち、カラーフィルタに関し
、特に良好な色再現性が可能なカラーフィルタに関する
ものである。

〔従来技術〕

一般に、固体撮像素子、撮像管あるいは多色表示素子等
に使用されている、微小なパターンからなるモザイク状
又はストライブ状のカラーフィルタは、例えば、特公昭
５２−１７３７５号公報に記載されているような方法で
製造されている。これを第１図を用いて説明すると、ま
ずゼラチンやポリビニルアルコール等の水溶性樹脂に感
光性を付与した感光液を、ガラスやシリコンウェハ等か
らなる基板１０上に均一に塗布し、これを乾燥して感光
膜を形成した後、写真製版技術を用いて所望のパターン
を形成し、この画像部分を所定の分光特性を有する染料
を用いて染色法等で着色してＣｙ（シアン）フィルタ層
ｌを形成する。つづいて、これを透明な中間防染膜２で
被覆し、再び感光膜を形成しこれを露光現像して着色す
るという工程を順次繰り返して所望パターンの着色画像
、即ちＹｅ（イエロー）フィルタ層３を上記Ｃｙフィル
タ層１の一部に重ねて形成する。そしてその後、最上面
に透明な保護膜４を形成すると、Ｃｙｙフイルタａ、Ｙ
ｅｅフイルタａ、及び両フィルタ層１゜３の重なった部
分からなるＧ（グリーン）フィルタ６を有する色分解フ
ィルタが作成できる。この第１図に示したフィルタのよ
うに、２色、即ちＣｙ、Ｙｅフィルタ層１，３を重ねて
第３色のＧフィルタ６を形成する手法は、その作業工程
を短縮することを目的として行なわれるものである。

第２図は以上の工程により得られた第１図の色分解フィ
ルタの分光感度特性を示し、図中のＧ。

Ｃ）’、Ｙｅはそれぞれフィルタ６、ｌａ、３ａの分光
感度特性を示している。

従来の色分解フィルタは以上のように構成されているの
で、２色重ね合わせフィルタでは第３色の分光特性は重
ね合わせ２色の特性により決定されてしまい、それぞれ
相互の色バランスをコン１−ロールすることは非常に困
難である。また、それぞれの色バランスがコントロール
できるよう１固々にフィルタを設けた場合、防染膜の形
成、フィルタバターニング、染色という３つの工程をさ
らに増やさなければならないという問題があった。

〔発明の概要〕

この発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、出力を
増加させたい所望の色フィルタの保護膜の上に、該色フ
ィルタへの入射光量を制御するための透明な色調整膜を
積層することにより、相互の色バランスを容易にコンＩ
・ロールできる色分解フィルタを提供することを目的と
している。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第３
図において、１０はガラスやシリコンウェハ等からなる
基板、１は該基板１０上に所望のパターンで形成された
Ｃｙ（シアン）フィルり層、１ａは該ｃｙフィルタ層１
の一部パターンからなるｃｙｙフイルタ２は上記基板１
０及び上記ｃｙフィルタ層層上上積層され、後工程であ
るＹｅ（イエロー）染色の際の防染膜となる中間防染膜
、３は上記基板１０−ト及び上記ｃｙフィルタ層１の他
の一部パターンｌｂ上に上記中間防染ｌｌ１２を介して
所望のパターンで形成されたＹｅ（イエロー）フィルタ
層、３ａは該Ｙｅフィルタ層３の一部パターンからなる
Ｙｅｅフイルタあり、上記Ｃｙ５Ｙｅフィルタ層１，３
の重なり合った部分、即ちＣｙフィルタ層１の一部パタ
ーン１ｂ及びＹｅフィルタ層３の一部パターン３ｂによ
りＧ（グリーン）フィルタ６が形成されている。４は上
記中間防染膜２及び上記Ｙｅフィルタ層層上上積層され
た保護膜、５は上記Ｇフィルタ６上の保護膜上に積層さ
れた透明な色調整膜である。

次に該フィルタの製造方法について述べる。まず感光性
のゼラチン等を基板１０上に塗布し、写真製版技術を用
いて所定のパターンを形成した後、これを染色してｃｙ
フィルタ層１を形成する。次に中間防染膜２を積層し、
上記ｃｙフィルタ層１と同様にしてＹｅフィルタ層３を
形成する。そしてその上に保護１１１ｉ４を積層するま
では従来法と同じである。本実施例の製造方法では、該
保護膜４を積層した後、Ｃｙ、Ｙｅフィルタ層１．３が
重なり合った部分、即ち、Ｇフィルタ６上のレンズ効果
を増して感度を上げるために、該フィルタ６上に透明な
色調整膜５を写真製版工程を適用して積層する。

次に作用効果について説明する。本実施例では、Ｇフィ
ルタ６上に透明な色調整膜５が積層されているので、そ
のレンズ効果により該Ｇフィルタ６への入射光量が増し
、感度が増加する。従って、この色調整膜５の膜厚及び
／またはパターン寸法を調整すれば、ＣＹ、Ｙｅフィル
タ層１，３の特性によって決るＧフィルタ６の色再現性
を、個別にかつ微妙にコントロールすることができる。

第４図はＧ（グリーン）の分光感度特性の測定結果を示
す。図中、曲線ＡはＧフィルタ６上に色調整膜を積層し
ていない第１図の従来のフィルタをデバイス上に積層し
測定したもので、曲線Ｂ。

Ｃは、Ｇフィルタ６上の保護膜４上に色調整膜５をそれ
ぞれ１．０μｍ　、　２．０μｍ積層したものを曲線Ａ
と同様にして測定したものである。

図から分かるように、色調整膜５を積層することにより
、Ｇフィルタ６の分光感度を増加することができる。従
って、上記色調整膜５の膜厚を調整することにより感度
を良好にコントロールすることができ、他のフィルタｌ
ａ、３ａとの色バランスを調整できる。

第５図は色調整膜をＧフィルタ上に積層したものの分光
感度特性を他のフィルタの特性とともに示す。図におい
て、第２図と同一符号は同一のものを示す。ここで、第
２図、第５図を比較すれば分かるように、本実施例では
他のフィルタｌａ。

３ａには影響を与えずに、Ｇ（グリーン）の感度だけが
上がっている。このように、本実施例ではフィルタの感
度を個別にコントロールすることが可能となり、そのた
め設計も容易となる。

なお、−上記実施例ではＧフィルタの上のみに色調整膜
を設けたものを示したが、これはＣｙ、ｙｅ等の準独の
フィルタ上に設計−Ｊてもよいし、複数のフィルタ上に
設置ｊても良い。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明に係る色分解フィルタによれば
、出力を増加させたい所望の色フィルタの保護膜の上に
、該色フィルタへの入射光量を制御するための透明な色
調整膜を積層したので、各色バランスを容易にコントロ
ールでき、良好な色可現性が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のカラーフィルタを示す図、第２図は従来
のフィルタを装備したデバイスの分光感度特性図、第３
図は本発明の一実施例によるカラーフィルタを示す図、
第４図は該フィルタにおける分光特性の色調整膜の膜厚
による変化を示す図、第５図は従来フィルタのＧフィル
タ上に色調整膜を積層したデバイスの分光感度特性図で
ある。 １・・・Ｃｙ（シアン）フィルタ層、１ａ・・・Ｃｙフ
ィルタ、２・・・中間防染膜、３・・・Ｙｅ（イエロー
）フィルタ層、３ａ・・・Ｙｅフィルタ、４・・・保護
膜、５・・・色調整膜、６・・・Ｇ（グリーン）フィル
タ。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　大岩増雄 第２図 波長（ｎｍ）− 第４図 波長（ｎｍ）− 第５図 う皮　長（ｎｍ）−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １１１　それぞれ所定の分光特性を有する複数の色フィ
   ルタと、該色フィルタ上に積層されたフィルタ保＃！繞
   と、上記複数の色フィルタのうちの所望の色フィルタの
   保護膜上に積層され該色フィルタへの入射光量を制御す
   る透明な色調整膜とを備えたことを特徴とする色分解フ
   ィルタ。 （２）上記複数の色フィルタとして、基板−Ｆに所望の
   パターンで形成されたシアンフィルタ層の一部パターン
   からなるシアンフィルタ、上記基板上及び上記シアンフ
   ィルタ層の他の一部パターン上に透明な中間防染膜を介
   して所望のパターンで形成されたイエローフィルタ層の
   一部パターンからなるイエローフィルタ、及び上記両フ
   ィルタの重なった部分からなるグリーンフィルタが設け
   られており、上記透明な色調整膜は上記グリーンフィル
   タ上に形成されていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の色分解フィルタ。